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一种超声波清洗装置(50)包括:具有多个超声波振荡器(1)的超声波振动盘(2);超声波波导室(3),其用于收集由超声波振动盘产生的超声波力;和用于贮存清洗液(20)的清洗槽(4),当将被清洗物(5)浸入清洗槽中时对其进行清洗。因为超声波波导室的上部通过其顶面(31)形成气密闭合,且其被形成碗形,所以在超声波波导室中清洗液的液面和顶面(31)之间形成一空气层(10)。清洗槽与超声波波导室连接,超声波。