集成电路生产车间用地面抽尘装置.pdf

本发明涉及一种集成电路生产车间用地面抽尘装置，包括通过纵横梁支撑的抽吸板，所述抽吸板上均布有微抽吸孔，位于微抽吸孔的下方，所述纵横梁的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管，所述抽吸管的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸管上设有独立的控制阀并连接吸尘设备。本发明采用地面抽吸方式，对集中靠近地面的灰尘进行抽吸，其抽吸效果好，效率高。

1.一种集成电路生产车间用地面抽尘装置，其特征在于：包括通过纵横梁(1)支撑的抽
吸板(2)，所述抽吸板(2)上均布有微抽吸孔(3)，位于微抽吸孔(3)的下方，所述纵横梁(1)
的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管(4)，所述抽吸管(4)的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸
管(4)上设有独立的控制阀并连接吸尘设备。

集成电路生产车间用地面抽尘装置

技术领域

本发明涉及集成电路的生产车间相关技术领域，特别涉及集成电路生产车间的除
尘系统。

背景技术

集成电路的生产车间，必须保证无尘、无菌环境。现有的车间中，采用墙壁及顶部
抽尘、换气系统，由于灰尘主要产生于人体脚部及靠近地面的位置，这种抽尘换气方式，对
保证车间的无尘环境的效果不佳。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，申请人进行研究及改进，提供一种集成电路生产
车间用地面抽尘装置，采用地面抽吸灰尘的方式，提高灰尘的抽吸效果。

为了解决上述问题，本发明采用如下方案：

一种集成电路生产车间用地面抽尘装置，包括通过纵横梁支撑的抽吸板，所述抽
吸板上均布有微抽吸孔，位于微抽吸孔的下方，所述纵横梁的支撑空隙中间隔安装有多根
抽吸管，所述抽吸管的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸管上设有独立的控制阀并连接吸尘设
备。

本发明的技术效果在于：

本发明采用地面抽吸方式，对集中靠近地面的灰尘进行抽吸，其抽吸效果好，效率
高。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中：1、纵横梁；2、抽吸板；3、微抽吸孔；4、抽吸管。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。

如图1所示，本实施例的集成电路生产车间用地面抽尘装置，包括通过纵横梁1支
撑的抽吸板2，抽吸板2上均布有微抽吸孔3，位于微抽吸孔3的下方，纵横梁1的支撑空隙中
间隔安装有多根抽吸管4，抽吸管4的管壁上设有吸尘孔，抽吸管4上设有独立的控制阀并连
接吸尘设备。本发明采用地面抽吸方式，对集中靠近地面的灰尘进行抽吸，其抽吸效果好，
效率高。

以上所举实施例为本发明的较佳实施方式，仅用来方便说明本发明，并非对本发
明作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本发明所提技
术特征的范围内，利用本发明所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例，并且
未脱离本发明的技术特征内容，均仍属于本发明技术特征的范围内。