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1、(10)申请公布号 CN 104294219 A (43)申请公布日 2015.01.21 CN 104294219 A (21)申请号 201410400453.3 (22)申请日 2014.08.14 C23C 14/24(2006.01) (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路 10 号 申请人 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 (72)发明人 肖昂 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 代理人 许静 黄灿 (54) 发明名称 蒸镀线源 (57) 摘要 本发明属于蒸镀领域， 公开了一种蒸镀线源， 包括外壳和设置在外壳。
2、中的坩埚， 所述坩埚包括 锅体和喷嘴， 所述锅体的外部设置有用于对锅体 进行加热的加热装置， 所述外壳和锅体之间设有 用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置。本发 明的蒸镀线源在外壳和坩埚的锅体之间设有用于 阻止热量向外壳进行散发的隔热装置， 可以有效 减少加热装置在加热时的能量损耗， 由于外壳内 壁减少了受加热装置的热辐射， 使用寿命延长。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (10)申请公布号 CN 104294219 A CN 104294219 A 1/。
3、1 页 2 1. 一种蒸镀线源， 其特征在于， 包括外壳和设置在外壳中的坩埚， 所述坩埚包括锅体和 喷嘴， 所述锅体的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置， 所述外壳和锅体之间设有 用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置。 2. 根据权利要求 1 所述的蒸镀线源， 其特征在于， 所述隔热装置在朝向锅体的方向设 有反射层。 3. 根据权利要求 2 所述的蒸镀线源， 其特征在于， 所述反射层上设有用于防止变形的 间隙孔。 4. 根据权利要求 3 所述的蒸镀线源， 其特征在于， 所述隔热装置围绕在所述锅体的周 围， 所述隔热装置在与喷嘴对应位置设有一开口。 5. 根据权利要求 3 所述的蒸镀线源， 。
4、其特征在于， 所述隔热装置还包括一承载所述反 射层的基底。 6. 根据权利要求 5 所述的蒸镀线源， 其特征在于， 所述反射层包括热反射材料层和用 于将热反射材料层附着到基底上的膜层。 7. 根据权利要求 6 所述的蒸镀线源， 其特征在于， 所述热反射材料包括氧化镧系金属 共铝或者氧化铝掺杂的 NaZn(PO4)。 8. 根据权利要求 7 所述的蒸镀线源， 其特征在于， 所述掺杂的氧化镧系金属占热反射 材料的 0.1 1， 掺杂的铝或氧化铝占热反射材料的 0.5 2。 9. 根据权利要求 2-8 任何一项所述的蒸镀线源， 其特征在于， 所述反射层与所述坩埚 的距离大于 2cm。 10. 根据权。
5、利要求 2-8 任何一项所述的蒸镀线源， 其特征在于， 还包括一用于对外壳进 行冷却的冷却装置， 所述冷却装置设置在所述外壳靠近锅体的一侧、 背离锅体的一侧或者 外壳腔室中。 权 利 要 求 书 CN 104294219 A 2 1/3 页 3 蒸镀线源 技术领域 0001 本发明涉及蒸镀领域， 特别是涉及一种蒸镀线源。 背景技术 0002 现有 OLED 面板的生产中通常采用蒸镀工艺使发光材料附着到基板上， 在量产中 蒸镀发光材料需要使用到线性蒸发源 ( 简称线源 )。现有的蒸镀线源在蒸镀前先将发光材 料装填在坩埚中， 密封好。 蒸镀时保持线源内外部的真空状态， 由加热装置对坩埚进行加热 蒸。
6、发内部的材料， 同时冷却装置冷却坩埚外壁， 防止热量太高损坏线源外部的设备。 0003 但是现有线源的设计存在如下问题 ： 0004 1. 加热装置的加热能量有部分损失在与冷却装置的热交换中 ； 0005 2. 长期蒸镀后， 线源内壁内外直接受温差大的热辐射和冷却装置作用， 容易导致 线源内壁的损坏。 发明内容 0006 为了解决现有蒸镀线源存在导致线源内壁损坏的问题， 本发明提供了一种减少线 源外壳损坏的蒸镀线源。 0007 本发明采用的技术方案是 ： 一种蒸镀线源， 包括外壳和设置在外壳中的坩埚， 所述 坩埚包括锅体和喷嘴， 所述锅体的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置， 所述外壳 和。
7、锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置。 0008 优选地， 所述隔热装置在朝向锅体的方向设有反射层。 0009 优选地， 所述反射层上设有用于防止变形的间隙孔。 0010 优选地， 所述隔热装置围绕在所述锅体的周围， 所述隔热装置在与喷嘴对应位置 设有一开口。 0011 优选地， 所述隔热装置还包括一承载所述反射层的基底。 0012 优选地， 所述反射层包括热反射材料层和用于将热反射材料层附着到基底上的膜 层。 0013 优选地， 所述热反射材料包括氧化镧系金属共铝或者氧化铝掺杂的 NaZn(PO4)。 0014 优选地， 所述掺杂的氧化镧系金属占热反射材料的 0.1 1， 掺杂的。
8、铝或氧化 铝占热反射材料的 0.5 2。 0015 优选地， 所述反射层与所述坩埚的距离大于 2cm。 0016 优选地， 还包括一用于对外壳进行冷却的冷却装置， 所述冷却装置设置在所述外 壳靠近锅体的一侧、 背离锅体的一侧或者外壳腔室中。 0017 本发明的有益效果是 ： 本发明的蒸镀线源在外壳和坩埚的锅体之间设有用于阻止 热量向外壳进行散发的隔热装置， 可以有效减少加热装置在加热时的能量损耗， 由于外壳 内壁减少了受加热装置的热辐射， 使用寿命延长。 说 明 书 CN 104294219 A 3 2/3 页 4 附图说明 0018 图 1 为本发明一种实施例的蒸镀线源的结构示意图 ； 00。
9、19 图 2 为图 1 的截面图 ； 0020 图 3 为本发明一种实施例的蒸镀线源上的隔热装置的间隙孔的分布图 ； 0021 图 4 为本发明一种实施例的蒸镀线源上的隔热装置的截面图。 具体实施方式 0022 为使本发明要解决的技术问题、 技术方案和优点更加清楚， 下面将结合附图及具 体实施例进行详细描述。 0023 如图 1-4 所示， 为本发明一种实施例的蒸镀线源的结构示意图， 本实施例的蒸镀 线源包括外壳 100 和设置在外壳中的坩埚 200， 所述坩埚 200 包括锅体 201 和喷嘴 202， 所 述锅体201的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置300， 所述外壳100和锅体2。
10、01之 间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置 400。 0024 本发明的蒸镀线源在外壳和坩埚的锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发 的隔热装置， 可以有效减少加热装置在加热时的能量损耗， 由于外壳内壁减少了受加热装 置的热辐射， 使用寿命延长。 0025 本发明的隔热装置用于阻挡加热装置向外壳散发热量， 优选地， 隔热装置在朝向 锅体的方向设有反射层 401， 从而将热量反射回锅体方向， 避免了热量损失。隔热装置在背 离坩埚方向设置有一基底 402， 通过底座 403 固定在线源底部， 基底 402 为铝或铜合金。更 优地， 所述反射层上设有用于防止变形的间隙孔404。 由于反射层在。
11、加热装置的作用下会造 成膨胀， 从而导致破裂， 影响到使用寿命。 为此， 本发明在反射层上设置多条间隙孔， 间隙孔 均匀分布， 从而避免了反射层的膨胀破裂。 更优地， 隔热装置的基底在与反射层上间隙孔对 应位置也设置有空隙， 使得隔热装置上形成了通孔， 通孔的大小和形状可以根据需要进行 设定。如图 3 所示， 间隙孔为条形， 对称分布在隔热装置上。本发明在隔热装置上形成了间 隙孔， 大大减小了隔热装置受热造成的破裂。当然， 如果隔热装置采用强度足够大的材料， 也可以不设置间隙孔。此时， 需要的成本会有所增加。 0026 再次参阅图 2， 本实施例的隔热装置 400 围绕在所述锅体的周围， 所述。
12、隔热装置在 与坩埚的喷嘴 202 对应位置设有一开口， 从而与坩埚的锅体相匹配。本实施例的坩埚的锅 体可以是方形、 圆形等形状， 本实施例的隔热装置 400 为板状结构， 包括板状基底 402 和形 成在板状基底上的反射层 401， 该板状隔热装置由多个弧形面组成， 如图 4 所示， 本实施例 的板状隔热装置与锅体形成相匹配的结构。 本实施例的隔热装置的反射层包括热反射材料 层和用于将热反射材料层附着到基底上的膜层。热反射材料层由热反射材料制成， 从而对 接收的来自坩埚的热量进行反射， 优选地， 所述热反射材料包括氧化镧系金属共铝或者氧 化铝掺杂的 NaZn(PO4)。优选地， 反射层和坩埚的。
13、距离大于 2cm， 从而可以减少坩埚中的热 量辐射到隔热装置上。当然， 本发明的反射层和坩埚的距离可以根据具体线源的尺寸进行 设计， 还可以根据需要进行距离的调整。 0027 本实施例的热反射材料采用甲基或乙基或丙基或异丙基或丁基或叔丁基或异丁 基丙烯酸乳液为膜层成型基底， 从而将热反射材料附着到基底上。 镧系金属优选镧、 铕、 铈、 釹， 掺杂的氧化镧系金属占热反射材料的 0.1 1， 掺杂的铝或氧化铝占热反射材料的 说 明 书 CN 104294219 A 4 3/3 页 5 0.5 2。 0028 再次参阅图 1， 本发明的蒸镀线源还包括一用于对外壳进行冷却的冷却装置 500， 冷却装置。
14、 500 可以选用各种适合能够给外壳进行冷却的结构， 本实施采用液体冷却袋， 液 体冷却袋可以设置在外壳靠近坩埚的一侧、 背离坩埚的一侧或者外壳的腔室中。 优选地， 液 体冷却袋为循环液体， 从而可以对外壳进行持续冷却。循环液体可以是水或者冷却油等液 体， 从而对外壳进行循环冷却， 降低温度。 0029 上述技术方案在外壳和坩埚的锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔 热装置， 可以有效减少加热装置在加热时的能量损耗， 由于外壳内壁减少了受加热装置的 热辐射， 使用寿命延长。 0030 以上所述是本发明的优选实施方式， 应当指出， 对于本技术领域的普通技术人员 来说， 在不脱离本发明所述原理的前提下， 还可以作出若干改进和润饰， 这些改进和润饰也 应视为本发明的保护范围。 说 明 书 CN 104294219 A 5 1/2 页 6 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 104294219 A 6 2/2 页 7 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 104294219 A 7 。