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1、(10)申请公布号 CN 104004993 A (43)申请公布日 2014.08.27 CN 104004993 A (21)申请号 201310058915.3 (22)申请日 2013.02.25 C23C 14/24(2006.01) C23C 14/50(2006.01) (71)申请人 北京中科三环高技术股份有限公司 地址 100190 北京市海淀区中关村东路 66 号甲 1 号楼 （长城大厦） 27 层 (72)发明人 王进东 饶晓雷 胡伯平 (74)专利代理机构 北京航忱知识产权代理事务 所 ( 普通合伙 ) 11377 代理人 陈立航 (54) 发明名称 一种表面处理装置 。
2、(57) 摘要 本发明提供一种表面处理装置。 该装置包括 ： 能充放气体的容器 ； 旋转构件， 安装在所述容器 ； 工件盛放构件， 以能拆卸的方式安装在所述旋转 构件， 所述工件盛放装置具有盛放待处理工件的 内部空间 ； 表面处理构件， 对盛放在所述内部空 间的所述待处理工件进行表面处理。该装置能够 使工件在相对于蒸发源翻转的同时， 减少工件特 别是工件边角和网状管筒之间的滑动和摩擦， 实 现工件各个表面的镀层均匀一致， 同时边角镀层 不发生破损。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 4 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1。
3、页 说明书3页 附图4页 (10)申请公布号 CN 104004993 A CN 104004993 A 1/1 页 2 1. 一种表面处理装置， 包括 ： 容器， 能充放气体 ； 旋转构件， 安装在所述容器 ； 工件盛放构件， 以能拆卸的方式安装在所述旋转构件， 所述工件盛放装置具有盛放待 处理工件的内部空间 ； 表面处理构件， 对盛放在所述内部空间的所述待处理工件进行表面处理。 2. 根据权利要求 1 所述的表面处理装置， 其特征在于， 所述旋转构件旋转时， 盛放在所 述内部空间的所述待处理工件相对所述表面处理构件发生翻转， 而不相对所述工件盛放构 件发生翻转。 3. 根据权利要求 1 所。
4、述的表面处理装置， 其特征在于， 多个所述工件盛放构件安装在 所述旋转构件的周部， 当所述旋转构件绕其中心轴线旋转时， 所述工件和工件盛放构件一 起由于重力作用发生转动。 4. 根据权利要求 1 所述的表面处理装置， 其特征在于， 所述工件盛放构件为网状筒构 件， 其内设有分隔件， 用于隔开和固定所述待处理工件。 5. 根据权利要求 4 所述的表面处理装置， 其特征在于， 所述分隔件为网状分隔件。 6. 根据权利要求 1 所述的表面处理装置， 其特征在于， 所述表面处理构件是金属或金 属氧化物镀材蒸发源。 权 利 要 求 书 CN 104004993 A 2 1/3 页 3 一种表面处理装置 。
5、技术领域 0001 本发明涉及一种表面处理装置， 具体是一种用于对块状磁体的表面进行处理的表 面处理装置。 背景技术 0002 钕铁硼永磁体体积小、 重量轻和磁性强， 在各个行业都得到广泛的使用。 但是钕铁 硼如果暴露在湿润大气中容易氧化， 通常需要对其进行表面处理以防止腐蚀。通过气相沉 积金属薄膜的方式可以达到对其进行防腐的目的。 所用金属可以是铝、 锌和锡或者其合金。 要想达到良好的防腐效果， 表面镀层必须不能有任何挂点及划伤。 0003 株式会社新王磁材的 CN1209487C 提供了一种干表面处理装置， 其中涉及一种有 多孔外壁的、 用于装入工件的管筒。 这种管筒垂直于转动轴线的剖面为。
6、多边形， 分布在转轴 圆周上管筒围绕转轴转动， 从而实现工件在管筒内的自动翻面。这种方式虽然可以满足大 部分片状磁体通过表面处理气相沉积进行防腐的要求。但是对于方块状或近似方块状的 大型磁体， 由于其质量大且边角比较尖， 采用上述的装置翻转滑动时， 边角部受力非常大， 同时刚沉积在边角上的沉积层比较软， 从而容易在翻转时造成工件和管筒之间的磕碰和摩 擦， 以及边角镀层的破坏。 这种损伤对于表面镀层质量高， 特别是稀土永磁体等基体容易腐 蚀的工件来说是非常致命的。 发明内容 0004 针对上述问题， 本发明提供一种表面处理装置， 该表面处理装置包括 ： 能充放气 体的容器 ； 旋转构件， 安装在。
7、所述容器 ； 工件盛放构件， 以能拆卸的方式安装在所述旋转构 件， 所述工件盛放装置具有盛放待处理工件的内部空间 ； 表面处理构件， 对盛放在所述内部 空间的所述待处理工件进行表面处理。 0005 优选地， 所述旋转构件旋转时， 所述待处理工件相对所述表面处理构件翻转， 而不 相对所述工件盛放构件发生翻转。 0006 优选地， 多个所述工件盛放构件安装在所述旋转构件的周部， 当所述旋转构件绕 其中心轴线旋转时， 所述工件和所述工件盛放构件一起由于重力作用发生转动。 0007 所述工件盛放构件优选为网状筒构件， 其内设有分隔件， 用于隔开和固定所述待 处理工件。 0008 所述表面处理构件是金属。
8、或金属氧化物镀材蒸发源。 0009 上述表面处理装置能够使工件在相对于蒸发源翻转的同时， 减少工件特别是工件 边角和网状管筒之间的滑动和摩擦， 实现工件各个表面的镀层均匀一致， 同时边角镀层不 发生破损。 附图说明 0010 图 1 是本发明一个实施方式的表面处理装置的纵向剖面图 ； 说 明 书 CN 104004993 A 3 2/3 页 4 0011 图 2 是图 1 的表面处理装置的横向剖面图 ； 0012 图 3 是示出图 1 中支撑架和工件盛放构件细节的图 ； 0013 图 4 是示出图 3 中的工件盛放构件闭合状态的图， 其内部空间盛放有工件 ； 0014 图 5 是示出图 3 中。
9、的工件盛放构件打开状态的图， 其内部空间盛放有工件 ； 0015 图 6 是示出图 3 中的工件盛放构件打开状态的图， 其内部空间未盛放工件 ； 0016 图 7 是示出图 1 中的表面处理装置工作时， 工件盛放构件和盛放在其中的工件的 转动状态的图。 具体实施方式 0017 下面结合附图对本发明一个实施方式的表面处理装置进行详细的说明。 0018 如图 1 和图 2 所示， 一个实施方式的表面处理装置包括容器 1， 可以向其中充入气 体和从中抽出气体。 在容器1的底部设置有表面处理构件2， 例如用于蒸发金属或金属氧化 物镀材的蒸发源。在容器 1 的下部设有支撑部件， 支撑部件上有转轮 3。转。
10、轮 3 用于支持用 作旋转构件的转架4， 转架4的两端各有一个圆盘， 圆盘被转轮3支持， 两个圆盘通过连接杆 7 连接在一起。 0019 在容器 1 的一端设置有可以旋转的齿轮轴 5。转架 4 的其中一个圆盘上固定有齿 轮 6， 该齿轮 6 和齿轮轴 5 共同构成行星齿轮结构。通过控制调整齿轮轴 5 的旋转方向和转 速， 使得转架 4 可以按照不同的速度旋转。 0020 转架 4 上沿其外周设置有多个支撑架 8， 如图 1 和图 2 所示。支撑架 8 以可拆卸方 式固定安装在转架 4 上。支撑架 8 上固定有多个支撑套环 9， 如图 3 所示， 它们的中心孔共 有一条轴线。可以开合的网状管筒 。
11、10（见图 4 至图 6） 套装在支撑套环 9 的中心孔上， 如图 3 所示， 网状管筒 10 的外周尺寸比支撑套环 9 的中心孔的内径小， 使得网状管筒 10 与支撑 套环 9 之间有一定的间隙。如图 5 和图 6 所示， 网状管筒 10 的内部空间设置有分隔件 12， 用于隔开并固定待处理的工件11。 分隔件12可以呈网状或梳型， 还可以设置成上下对应的 小突块。 0021 网状管筒 10 内部空间的尺寸略大于待处理工件 11 的尺寸， 使得工件 11 能被顺利 装入网状管筒 10 中并与网状管筒 10 之间有一定的空隙。当网状管筒 10 转动时， 工件 11 在网状管筒10的内部空间仅有。
12、少量移动， 而不发生翻转， 这样可以减少工件11和网状管筒 10 之间的滑动和摩擦。 0022 由于网状管筒 10 和支撑套环 9 之间有一定的间隙， 这样随着转架 4 的旋转， 套装 在支撑套环 9 的中心孔的网状管筒 10 由于重力作用也发生转动。转架 4 绕其中心轴线每 旋转一周， 网状管筒 10 随之转动的状态如图 7 所示。网状管筒 10 的转动带动着工件 11 相 对于蒸发源 2 的翻转， 使得工件 11 的各个表面都能获得均匀的镀层， 同时工件 11 的边角镀 层不发生破损。 0023 实施例 0024 待处理的工件 11 为经过除油除锈后尺寸为 15mm18mm40mm 且边角。
13、 R0.1mm 的 烧结钕铁硼磁体制品。网状管筒 10 的内径为 26mm， 网壁厚为 0.6mm。支撑套环 9 的内径为 35mm。 0025 对容器 1 进行抽气当真空度达到 1.010-2Pa 以上时， 充入惰性保护性气体到达 说 明 书 CN 104004993 A 4 3/3 页 5 0.5Pa 时， 转架 4 的转速为 5r/min。按常规方法对磁体制品表面进行镀铝处理。 0026 工件经上述过程在表面沉积金属铝后， 表面无划伤剥落处及裸漏基体的悬挂点， 避免了不良品的出现。各个工件的平均膜厚也都在 101.5m 范围以内， 取得了很好的产 品一致性。随机选取 10 个经上述过程处。
14、理的工件按照标准 ISO3768-1976 进行中性盐雾试 验 120 小时， 结果显示无肉眼可观察到的失效点。 0027 由上述可知， 采用实施方式中的装置对磁体工件进行表面处理可以获得优异的表 面镀膜效果。 0028 以上通过具体实施方式和实施例对本发明进行了详细说明， 但不发明并不限于 此。本领域技术人员可以对上述表面处理装置做出其他改变或变型。例如， 工件盛放构件 可以安装在旋转构件的内周面， 而不安装在旋转构件的外周。表面处理构件可以是喷砂或 喷丸相关的设备， 用于在镀膜前处理喷砂或者在镀膜后处理喷丸。 说 明 书 CN 104004993 A 5 1/4 页 6 图 1 说 明 书 附 图 CN 104004993 A 6 2/4 页 7 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 104004993 A 7 3/4 页 8 图 4 图 5 说 明 书 附 图 CN 104004993 A 8 4/4 页 9 图 6 图 7 说 明 书 附 图 CN 104004993 A 9 。