《用于激光束扫描的声光偏转器的配置.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《用于激光束扫描的声光偏转器的配置.pdf（18页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、10申请公布号CN104105994A43申请公布日20141015CN104105994A21申请号201180076303622申请日20111222G02B26/1020060171申请人英特尔公司地址美国加利福尼亚州72发明人李永刚I萨拉玛C张74专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人何焜54发明名称用于激光束扫描的声光偏转器的配置57摘要第一声光偏转器接收激光束。第一声光偏转器使所接收的激光束沿着第一轴衍射。第二声光偏转器接收经衍射的激光束。第二声光偏转器使所接收的经衍射的激光束沿着第二轴衍射。85PCT国际申请进入国家阶段日2014073086PCT国际申请的申请数。
2、据PCT/US2011/0670012011122287PCT国际申请的公布数据WO2013/095556EN2013062751INTCL权利要求书4页说明书5页附图8页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书4页说明书5页附图8页10申请公布号CN104105994ACN104105994A1/4页21一种方法，包括通过第一声光偏转器接收激光束；通过第一声光偏转器使所接收的激光束沿着第一轴衍射；通过第二声光偏转器接收经衍射的激光束；以及通过第二声光偏转器使所接收的经衍射的激光束沿着第二轴衍射。2如权利要求1所述的方法，其特征在于所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器相隔垂。
3、直距离；所述第一声光偏转器沿着所述第一轴取向；以及所述第二声光偏转器沿着第二轴取向，所述第二轴与所述第一轴垂直。3如权利要求2所述的方法，其特征在于，通过所述第二声光偏转器衍射的激光束通过放大光学装置折射，以在基板上产生通孔或暴露光致抗蚀剂材料以用于激光直接成像来制造电路。4如权利要求2所述的方法，其特征在于，激光束由一个或多个脉冲构成，所述方法进一步包括通过第一声光偏转器接收激光束的脉冲；通过所述第一声光偏转器使所接收的激光束的脉冲沿着第一轴衍射；通过第三声光偏转器接收经衍射的激光束的脉冲，所述第三声光偏转器沿着第二轴取向并且与所述第一声光偏转器相隔垂直距离；以及通过所述第三声光偏转器使所接。
4、收的经衍射的激光束的脉冲沿着第二轴衍射，所述第二轴与所述第一轴垂直。5如权利要求4所述的方法，其特征在于，与在不操作所述第三声光偏转器的情况下操作第二声光偏转器相比，当第二和第三声光偏转器两者都操作时，落到基板上用于产生通孔的激光束的空间范围更大。6如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括调节第一和第二声光偏转器的电输入来改变第一和第二声光偏转器中的声波频率以控制使激光束偏转的衍射角度，同时避免使用任何机械移动部件来偏转激光束。7如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括通过激光谐振器产生激光束；通过孔眼掩模传输由所述激光谐振器产生的激光束；通过反射镜反射所传输的激光束以使其落到所述第一声光。
5、偏转器上；将基板定位到平面表面上；以及通过第二声光偏转器的经衍射的激光束在所述基板上钻通孔。8如权利要求1所述的方法，其特征在于，由所述第一声光偏转器接收的激光束是通过分束器传输的多个激光束中的一个激光束，所述方法进一步包括在通过所述第一声光偏转器使所述一个激光束衍射的同时，通过附加的声光偏转器使其他多个激光束沿着所述第一轴衍射。9如权利要求1所述的方法，其特征在于，由所述第一声光偏转器接收的激光束是通过波束切换装置传输的多个激光束中的一个激光束，所述方法进一步包括在通过所述第一声光偏转器使所述一个激光束衍射之后，通过附加的声光偏转器使其权利要求书CN104105994A2/4页3他多个激光束。
6、逐一沿着所述第一轴衍射。10一种系统，包括第一声光偏转器，所述第一声光偏转器被配置成接收激光束，并且被配置成使所接收的激光束沿着第一轴衍射；以及第二声光偏转器，所述第二声光偏转器耦合至所述第一声光偏转器，其中所述第二声光偏转器被配置成接收经衍射的激光束，并且使所接收的经衍射的激光束沿着第二轴衍射。11如权利要求10所述的系统，其特征在于所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器相隔垂直距离；所述第一声光偏转器沿着所述第一轴取向；以及所述第二声光偏转器沿着第二轴取向，所述第二轴垂直于所述第一轴。12如权利要求11所述的系统，其特征在于，通过所述第二声光偏转器衍射的激光束通过放大光学装置折射，以在基板。
7、上产生通孔或暴露光致抗蚀剂材料以用于激光直接成像来制造电路。13如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述激光束由一个或多个脉冲构成，所述系统进一步包括第三声光偏转器，所述第三声光偏转器耦合至所述第二声光偏转器并且沿着与第一轴垂直的第二轴取向，其中所述第三声光偏转器与所述第一声光偏转器相隔垂直距离，其中所述第一声光偏转器接收激光束的脉冲并且使所接收的激光束的脉冲沿着第一轴衍射；以及第三声光偏转器被配置成接收经衍射的激光束的脉冲；以及所述第三声光偏转器被配置成使所接收的经衍射的激光束的脉冲沿着所述第二轴衍射，所述第二轴与所述第一轴垂直。14如权利要求13所述的系统，其特征在于，与在不操作所述第三。
8、声光偏转器的情况下操作第二声光偏转器相比，当第二和第三声光偏转器两者都操作时，落到基板上用于产生通孔的激光束的空间范围更大。15如权利要求10所述的系统，其特征在于，调节第一和第二声光偏转器的电输入来改变第一和第二声光偏转器中的声波频率以控制使激光束偏转的衍射角度，同时避免使用任何机械移动部件来偏转激光束。16如权利要求10所述的系统，其特征在于，激光调谐器产生激光束，并且通过所述激光调谐器产生的激光束通过孔眼掩模传输，并且所传输的激光束被反射镜反射以落到所述第一声光偏转器上，并且其中基板定位在平面表面上，且通过所述第二声光偏转器的经衍射的激光束在所述基板上钻孔。17如权利要求10所述的系统，。
9、其特征在于，所述系统进一步包括附加的声光偏转器；以及分束器，其中通过所述第一声光偏转器接收的激光束为通过分束器传输的多个激光束中的一个激光束，并且其中在通过所述第一声光偏转器使所述一个激光束衍射的同时，通过附加的声光偏转器使其他多个激光束沿着所述第一轴衍射。权利要求书CN104105994A3/4页418如权利要求10所述的系统，所述系统进一步包括附加的声光偏转器；以及波束切换装置，其中通过所述第一声光偏转器接收的激光束为通过所述波束切换装置传输的多个激光束中的一个激光束，并且其中在通过所述第一声光偏转器使所述一个激光束衍射之后，通过附加的声光偏转器使其他多个激光束逐一沿着所述第一轴衍射。19。
10、一种用于在基板上钻孔的系统，所述系统包括激光调谐器，所述激光调谐器配置成产生激光束；孔眼掩模，所述孔眼掩模耦合所述激光调谐器，其中所述孔眼掩模被配置成传输所述激光束；第一声光偏转器，所述第一声光偏转器被配置成接收激光束，并且被配置成使所接收的激光束沿着第一轴衍射；以及第二声光偏转器，所述第二声光偏转器耦合至所述第一声光偏转器，其中所述第二声光偏转器被配置成接收经衍射的激光束，并且使所接收的经衍射的激光束沿着第二轴衍射；以及平面表面，所述平面表面具有定位在平面表面上的基板，其中通过所述第二声光偏转器产生的经衍射的激光束在所述基板上钻孔。20如权利要求19所述的系统，其特征在于所述第一声光偏转器和。
11、所述第二声光偏转器相隔垂直距离；所述第一声光偏转器沿着所述第一轴取向；以及所述第二声光偏转器沿着第二轴取向，所述第二轴垂直于所述第一轴。21如权利要求20所述的系统，其特征在于，通过所述第二声光偏转器衍射的激光束通过放大光学装置折射，以在基板上产生通孔或暴露光致抗蚀剂材料以用于激光直接成像来制造电路。22如权利要求20所述的系统，其特征在于，所述激光束由一个或多个脉冲构成，所述系统进一步包括第三声光偏转器，所述第三声光偏转器耦合至所述第二声光偏转器并且沿着与第一轴垂直的第二轴取向，其中所述第三声光偏转器与所述第一声光偏转器相隔垂直距离，并且其中所述第一声光偏转器接收激光束的脉冲并且使所接收的激。
12、光束的脉冲沿着第一轴衍射；以及第三声光偏转器被配置成接收经衍射的激光束的脉冲；以及所述第三声光偏转器被配置成使所接收的经衍射的激光束的脉冲沿着所述第二轴衍射，所述第二轴与所述第一轴垂直。23如权利要求22所述的系统，其特征在于，与在不操作所述第三声光偏转器的情况下操作第二声光偏转器相比，当第二和第三声光偏转器两者都操作时，落到基板上用于产生通孔的激光束的空间范围更大。24如权利要求19所述的系统，其特征在于，调节第一和第二声光偏转器的电输入来改变第一和第二声光偏转器中的声波频率以控制使激光束偏转的衍射角度，同时避免使用任何机械移动部件来偏转激光束。权利要求书CN104105994A4/4页52。
13、5如权利要求19所述的系统，其特征在于，所述激光调谐器产生激光束，并且通过所述激光调谐器产生的激光束通过孔眼掩模传输，并且所传输的激光束被反射镜反射以落到所述第一声光偏转器上，并且其中通过所述第二声光偏转器的经衍射的激光束在所述基板上钻孔。26如权利要求19所述的系统，其特征在于，所述系统进一步包括附加的声光偏转器；以及分束器，其中通过所述第一声光偏转器接收的激光束为通过分束器传输的多个激光束中的一个激光束，并且其中在通过所述第一声光偏转器使所述一个激光束衍射的同时，通过附加的声光偏转器使其他多个激光束沿着所述第一轴衍射。27如权利要求19所述的系统，其特征在于，所述系统进一步包括附加的声光偏。
14、转器；以及波束切换装置，其中通过所述第一声光偏转器接收的激光束为通过所述波束切换装置传输的多个激光束中的一个激光束，并且其中在通过所述第一声光偏转器使所述一个激光束衍射之后，通过附加的声光偏转器使其他多个激光束逐一沿着所述第一轴衍射。权利要求书CN104105994A1/5页6用于激光束扫描的声光偏转器的配置0001背景00021领域0003本公开涉及一种用于激光束扫描的声光偏转器的配置的方法和系统。2技术背景0004基于检流计的光学扫描器用于定位光束以用于工业、科学、成像和激光应用的广泛范围。基于检流计的扫描器可被称为“振镜GALVOS”。振镜系统可由检流计、一个或多个反射镜、和伺服电路构成。
15、，伺服电路用于驱动振镜系统并且控制一个或多个反射镜的定位。0005基于振镜的系统可用于激光束扫描和用于诸如集成电路设计之类的应用中激光钻孔。在集成电路设计中，通孔是绝缘氧化层中的允许不同层之间导电连接的小开口。基于振镜的激光钻孔在电子行业中是很平常的，从而允许为一定范围的产品制造高密度的电路。在基于振镜的激光钻孔中，通过基于振镜的系统中的反射镜的机械运动控制激光束，以在绝缘介电层或一些其他材料上钻通孔。0006可通过增加振镜频率和通过其他机制来提高钻孔的生产率。鉴于对振镜系统中的反射镜机械运动的速度的限制，振镜频率难以增加。反射镜的机械运动还使得难以提高激光束的定位的精确度。因此，振镜系统可能。
16、相对慢并且振镜系统的精确度可能是有限的。0007声光偏转器还可用于空间地控制激光束。在声光偏转器的操作中，在声波频率被改变以使激光束偏转至不同的角位置的同时，驱动声光偏转器的功率可保持恒定水平。在声光偏转器中，激光束的检测角度和角位置的变化与声波频率成线性比例。如果声波频率更高，则衍射角越大。0008附图简述0009现参照附图，在附图通篇中相同的附图标记表示对应的部件0010图1示出了根据某些实施例的显示声光偏转器如何产生可调节的衍射光束的框图；0011图2示出了根据某些实施例的第一示例性激光钻孔系统，其中激光束通过两个声光偏转器衍射；0012图3示出了根据某些实施例的在第一示例性激光钻孔系统。
17、中的两个声光偏转器的示例性配置；0013图4示出了根据某些实施例的第二示例性激光钻孔系统，其中激光束首先通过第一声光偏转器衍射并且然后通过多个声光偏转器中的一个衍射；0014图5示出了根据某些实施例的在第二示例性激光钻孔系统中的声光偏转器的示例性配置；0015图6示出了根据某些实施例的第三示例性激光钻孔系统，其中激光束通过两个声光偏转器衍射并且然后通过放大光学单元传输；0016图7示出了根据某些实施例的在第三示例性激光钻孔系统中的两个声光偏转器说明书CN104105994A2/5页7和放大光学单元的示例性配置；0017图8示出了根据某些实施例的第四示例性激光钻孔系统，其中激光束通过分束器或波束。
18、切换装置传输并且然后通过多个声光偏转器衍射；以及0018图9示出了根据某些实施例的显示某些操作的流程图。具体实施方式0019在以下描述中，参照形成本说明书一部分并且示出数个实施例的附图。应理解，可利用其它实施例，且可作出结构和操作改变。0020在某些实施例中，在钻孔系统中配置多个声光偏转器。激光束通过多个声光偏转器衍射。多个声光偏转器的配置允许经衍射的激光束的空间定位的范围的增加超过单个声光偏转器所允许的增加。此外，与振镜系统相比，这种基于声光的激光钻孔系统具有更大的钻孔生产量和精确度。在某些实施例中，声光偏转器可配置用于激光扫描和除钻孔之外的其他应用。0021图1示出了根据某些实施例的显示声。
19、光偏转器102如何产生可调节的衍射光束的框图100。激光束104入射在声光偏转器102上，其中激光束104被称为入射激光束。基于施加至声光偏转器102的电输入106，入射激光束104在声光偏转器中经受衍射并且产生经衍射的激光束108。经衍射的激光束108和入射激光束104之间的角经由图1中的附图标记110示出并且被称为衍射角。0022可通过改变声光偏转器102中的声波频率、通过包括在电输入106中的射频驱动器来控制衍射角110。如果声波频率越高，则衍射角越大。然而，如果使用单个声光偏转器102，则衍射角可改变的范围相对小。因此，在声光偏转器102的示例性实施例中，当经衍射的光束被用于在基板上钻。
20、孔和其他应用时，由入射光束104产生的经衍射的光束108可呈现有限的空间范围经由附图标记112表示的。0023此外，单个声光偏转器102使入射激光束104沿着单一维度偏转。例如，如果通过彼此垂直的X轴表示水平方向和Y轴表示垂直方向来表示基板的二维表面，则在示例性实施例中，当以某一位置或取向放置时声光偏转器102可在空间上将经衍射的光束定位在垂直方向中。0024因此，图1示出了某些实施例，其中声光偏转器102呈现经衍射的激光束的一维空间定位的有限范围。可以注意到，在声光偏转器102中，入射激光束和声波传播方向之间的角应当接近于布拉格BRAGG角以便为第一阶经衍射的光束提供最大效率。0025图2示。
21、出了根据某些实施例的第一示例性激光钻孔系统200，其中激光束被两个声光偏转器202、204衍射。0026除两个声光偏转器202、204之外，第一示例性激光钻孔系统200由激光谐振器206、孔眼掩模208、反射镜210、扫描透镜212和XY工作台214构成，在其上钻有通孔的基板216被放置在XY工作台214上。0027激光谐振器206根据钻孔的需求产生某些形状的激光束218。孔眼掩模208限定一个或多个孔眼以基于正在使用的孔眼使由激光谐振器206产生的激光束218成形为预定的形状。反射镜210光学地反射由于孔眼掩模208的应用而产生的成形的激光束220。被反射镜210反射之后的激光束220经受通。
22、过两个声光偏转器202、204的连续衍射，并且然说明书CN104105994A3/5页8后完全穿过扫描透镜212以在定位在XY工作台214上的基板216上钻孔。0028图3示出了根据某些实施例的在第一示例性激光钻孔系统200中的两个声光偏转器202、204的示例性配置300。图3所示的示例性配置300是图2所示的第一示例性激光钻孔系统200的一部分。0029可从图3看出，声光偏转器202以其中声光偏转器202与声光偏转器204垂直地隔开距离302的配置定位。如果XY工作台214的水平表面由X轴304和Y轴306二维地表示，则声光偏转器204沿着一个轴取向而声光偏转器204沿另一轴取向。例如，在。
23、某些实施例中，声光偏转器202可沿着Y轴306取向，并且声光偏转器204可沿着X轴304取向。0030在某些实施例中，通过以如图3所示的配置定位和取向两个声光偏转器202、204，可使激光束308经受在二维平面中的偏转。沿着Y轴306取向的声光偏转器202使激光束308沿着Y轴306偏转，并且然后声光偏转器204进一步使通过声光偏转器202偏转的激光束沿着X轴304偏转。因此，激光束可投射到二维表面上以用于钻孔和其他应用。0031图4示出了根据某些实施例的第二示例性激光钻孔系统400，其中激光束首先通过第一声光偏转器402衍射并且然后通过多个声光偏转器403、404、405中的一个衍射。003。
24、2除四个声光偏转器402、403、404、405之外，第二示例性激光钻孔系统400由激光谐振器406、孔眼掩模408、反射镜410、扫描透镜412和XY工作台414构成，在其上钻通孔的基板416被放置在XY工作台414上。0033激光谐振器406根据钻孔的需求产生某些形状的激光束418。孔眼掩模408限定一个或多个孔眼以基于正在使用的孔眼使由激光谐振器406产生的激光束418成形为预定的形状。反射镜410光学地反射由于孔眼掩模408的应用而产生的成形的激光束420。激光束420通过反射镜410反射并且经受首先通过声光偏转器402并然后通过三个声光偏转器403、404、405中的一个的连续偏转，。
25、并且然后完全穿过扫描透镜412以在定位在XY工作台414上的基板416上钻通孔。0034图5示出了根据某些实施例的在第二示例性激光钻孔系统400中的声光偏转器402、403、404、405的示例性配置500。图5所示的示例性配置500是图4所示的第二示例性激光钻孔系统400的一部分。0035可从图5可以看出，三个声光偏转器403、404、405定位在声光偏转器402之下，其中三个声光偏转器403、404、405与声光偏转器402垂直地隔开距离502，距离502可以为零或多个厘米。如果XY工作台414的水平表面由X轴504和Y轴506二维地表示，则声光偏转器402沿着一个轴取向而声光偏转器403。
26、、404、405沿另一轴取向。例如，在某些实施例中，声光偏转器402可沿着Y轴506取向，并且声光偏转器403、404、405可沿着X轴504取向。虽然X轴504和Y轴506彼此垂直，但在替代的实施例中，声光偏转器402可相对于声光偏转器403、404、405成与九十度不同的角度取向。0036在某些实施例，通过以如图5所示的配置定位和取向声光偏转器402、403、404、405，可使激光束508经受在二维平面中的偏转。沿着Y轴506取向的声光偏转器402使激光束508沿着Y轴506折射并且经折射的激光束可然后落到三个声光偏转器403、404、405中的一个上。例如，对于施加至声光偏转器402的。
27、三个不同电输入106，激光束508可被不同地衍射，并且三个经衍射的激光束经由附图标记510、512、514示出。可以注意到，经衍射的激光束510、512、514都被取向成沿着Y轴506下降。在图5所示的示例性实施例中，经说明书CN104105994A4/5页9衍射的激光束510落到声光偏转器403上，经衍射的激光束512落到声光偏转器404上，以及经衍射的激光束514落到声光偏转器405上。经衍射的激光束510、512、514然后通过经衍射的激光束510、512、514所入射到其上的声光偏转器衍射。例如，经衍射的激光束510通过声光偏转器403沿着X轴衍射。0037由于如图5所示定位和取向的三。
28、个声光偏转器403、404、405一起能够使从声光偏转器402出射的激光束与单个声光偏转器相比衍射更大的角度，因此，与其中来自于声光偏转器204的激光束的空间范围相对较小的图2和3所示的实施例相比，多个声光偏转器403、404、405的布置使得从多个声光偏转器403、404、405出来的激光束具有更大的空间范围。0038因此，图4和5示出了某些实施例，其中激光束可能不仅投射到二维表面上以用于钻孔，而且通过使用多个声光偏转器以使激光束沿着轴中的一个偏转，经投射的激光束可覆盖更大的空间范围。0039图6示出了根据某些实施例的第三示例性激光钻孔系统600，其中激光束通过两个声光偏转器602、604衍。
29、射并且然后通过放大光学单元618传输。0040除两个声光偏转器602、604和扫描透镜618之外，第三示例性激光钻孔系统600由激光谐振器606、孔眼掩模608、反射镜610、扫描透镜612和XY工作台614构成，在其上钻通孔的基板616被放置在XY工作台614上。0041激光谐振器606根据钻孔的需求产生某些形状的激光束618。孔眼掩模608限定一个或多个孔眼以基于正在使用的孔眼使由激光谐振器606产生的激光束618成形为预定的形状。反射镜610光学地反射由于孔眼掩模608的应用而产生的成形的激光束620。通过反射镜610反射的激光束620经受通过两个声光偏转器602、604的连续衍射，并且。
30、然后完全穿过放大光学单元618然后穿过扫描透镜612以在定位在XY工作台614上的基板616上钻孔。0042图7示出了根据某些实施例的在第三示例性激光钻孔系统600中的两个声光偏转器602、604和放大光学单元618的示例性配置700。图7所示的示例性配置700是图6所示的第三示例性激光钻孔系统600的一部分。0043可从图7看出，两个声光偏转器602、604被定位成彼此垂直地隔开零或多个厘米，并且彼此垂直地取向。例如，在图7中，声光偏转器602可沿着Y轴706取向，并且声光偏转器604可沿着X轴704取向。在替代的实施例中，声光偏转器602、604不垂直但可形成在80和100度之间的角。00。
31、44在某些实施例，通过以如图7所示的配置定位和取向两个声光偏转器602、204，可使激光束710经受在二维平面中的偏转。因此，激光束可投射到用于钻孔的二维表面上。然而，为了增加激光束可投射到二维平面上的空间面积，设置在声光偏转器604之下的放大光学单元618使从声光偏转器604出射的激光束折射，其中通过放大光学单元618的折射通过光学机制产生。在放大光学单元618中不发生通过电输入控制的衍射。放大光学单元618可以是使激光束折射并且增加激光束被允许落入的面积。0045在图7所示的配置700中，提供至声光偏转器的电输入使激光束710被连续两次衍射，并且然后放大光学单元618使激光束折射以使激光束。
32、落到扫描透镜612上并然后到用于钻孔的基板616上。与其中不使用放大光学单元618的实施例相比，放大光学单元618说明书CN104105994A5/5页10通过光学折射使激光束投射到更大的面积上。0046图8示出了根据某些实施例的第四示例性激光钻孔系统800，其中激光束通过分束器801传输并且然后通过多个声光偏转器802、803、804、805衍射。在某些替代实施例中，分束器801可由波束切换装置代替。0047除多个声光偏转器802、803、804、805和分束器或波束切换装置801之外，第四示例性激光钻孔系统800由激光谐振器806、孔眼掩模808、反射镜810、扫描透镜812和XY工作台8。
33、14构成，在其上钻通孔的基板816被放置在XY工作台814上。0048激光谐振器806根据钻孔的需求产生某些形状的激光束818。孔眼掩模808限定一个或多个孔眼以基于正在使用的孔眼使由激光谐振器806产生的激光束818成形为预定的形状。反射镜810光学地反射由于孔眼掩模808的应用而产生的成形的激光束820。0049通过反射镜810反射的激光束820被传输并且被分束器806分成多个激光束822、824、826。多个激光束822、824、826基本上同时即，在大致相同的时间产生。在其中使用波束切换装置代替分束器806的某些实施例中，波束切换装置806在连续的时刻处产生激光束822、824、826。
34、。换句话说，分束器使光束沿着空间维度分离，然而波束切换装置使光束沿着时间维度分离。0050多个激光束822、824、826的每一个然后通过一个声光偏转器衍射。例如，激光束822通过声光偏转器802衍射，激光束824通过声光偏转器803衍射，以及激光束826通过声光偏转器804衍射。通过声光偏转器802、803、804产生的三个经衍射的激光束然后沿着声光偏转器805的长轴偏转。0051声光偏转器805使三个激光束沿着另一轴偏转以跟踪XY工作台814的运动。XY工作台随着跟踪声光偏转器805连续移动以消除在声光偏转器域之间的工作台步长时间。XY工作台814还可以步进模式移动，但是在这种情况下产出时。
35、间可能更长。0052因此，图8示出了某些实施例，其中激光束被分束器或波束切换装置分成多个激光束，并且多个激光束通过多个声光偏转器衍射，并且在穿过扫描透镜之后用于在定位在XY工作台814上的基板816上钻孔。0053图9示出了根据某些实施例的显示某些操作的流程图900。第一声光偏转器202接收激光束。第一声光偏转器202使所接收的激光束沿着第一轴306衍射。第二声光偏转器204接收经衍射的激光束。第二声光偏转器使所接收的经衍射的激光束沿着第二轴304衍射。0054因此，图19示出了某些实施例，其中以某些位置和取向放置的多个声光偏转器使激光束衍射并且用于在基板上钻孔、激光扫描、或其他应用。在某些实。
36、施例中，使用分束器或波束切换装置来增加用于钻孔的激光束的数量。在某些实施例中，放大光学装置用于使用于钻孔的激光束的空间范围增加超过多个声光偏转器所提供的空间范围。在某些实施例中，调节声光偏转器的电输入来改变声光偏转器的声波频率以控制使激光束偏转的衍射的角度，同时避免使用任何机械移动部件来偏转激光束。0055在图19中所示或所提及的部件被描述为执行具体类型的操作。在替代的实施例中，结构部件可被不同地构造并且具有比附图中所示或所提及的更少、更多或不同的功能。0056因此，实施例的上述描述被呈现用于说明和描述的目的。它们不旨在穷举或将本发明限制为所公开的精确形式。根据上述示教，许多修改和变化是可能的。说明书CN104105994A101/8页11图1图2说明书附图CN104105994A112/8页12图3说明书附图CN104105994A123/8页13图4说明书附图CN104105994A134/8页14图5说明书附图CN104105994A145/8页15图6说明书附图CN104105994A156/8页16图7说明书附图CN104105994A167/8页17图8说明书附图CN104105994A178/8页18图9说明书附图CN104105994A18。