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1、(10)申请公布号 CN 102376310 A (43)申请公布日 2012.03.14 CN 102376310 A *CN102376310A* (21)申请号 201010261127.0 (22)申请日 2010.08.13 G11B 5/127(2006.01) G11B 5/187(2006.01) (71)申请人 新科实业有限公司 地址 中国香港新界沙田香港科学园科技大 道东六号新科中心 (72)发明人 刘伟强 李国伟 藤田恭敏 王全保 肖向彬 王龙平 (74)专利代理机构 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人 郝传鑫 (54) 发明名称 用于形成磁头的磁条以及制造磁头。
2、的方法 (57) 摘要 本发明公开了一种用于形成磁头的磁条, 磁 条包括一列磁头形成部, 每一磁头形成部包括将 从磁条上切割出来的磁头以及邻近磁头的中间区 域, 每一中间区域包括设置其上的第一导向触点 ; 每一磁头包括 : 磁头主体 ; 设置于磁头主体上的 磁写头和磁读头 ; 设置于磁头主体上的第二导向 触点 ; 两个电研磨导向件, 设置于所述磁头主体 上并分别电连接第一导向触点与第二导向触点 ; 一列连接触点, 设置于磁头主体上并电连接磁读 头及磁写头 ; 以及接地触点, 接地触点设置于磁 头主体上并电连接第一导向触点及第二导向触 点。本发明还公开了制造磁头的方法。 (51)Int.Cl. 。
3、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 2 页 说明书 5 页 附图 4 页 CN 102376317 A1/2 页 2 1. 一种用于形成磁头的磁条, 包括一列磁头形成部, 每一所述磁头形成部包括将从磁 条上切割出来的磁头以及邻近所述磁头的中间区域 ; 所述磁条的特征在于 : 每一所述中间区域包括设置其上的第一导向触点 ; 每一所述磁头包括 : 磁头主体 ; 设置于所述磁头主体上的磁写头 ; 设置于所述磁头主体上的磁读头 ; 设置于所述磁头主体上的第二导向触点 ; 两个电研磨导向件, 所述电研磨导向件设置于所述磁头主体上并分别电连接所述第一 导向触点与所述第二。
4、导向触点 ; 一列连接触点, 所述连接触点设置于所述磁头主体上并电连接所述磁读头及所述磁写 头 ; 以及 接地触点, 所述接地触点设置于所述磁头主体上并电连接所述第一导向触点及所述第 二导向触点。 2. 如权利要求 1 所述的磁条, 其特征在于, 所述第二导向触点与所述连接触点设置在 不同列上。 3. 如权利要求 2 所述的磁条, 其特征在于, 所述接地触点和所述第二导向触点设置在 与所述连接触点不同的列上。 4. 如权利要求 2 所述的磁条, 其特征在于, 所述接地触点与所述连接触点设置在同一 列上。 5. 如权利要求 2 所述的磁条, 其特征在于, 所述第一导向触点位于所述连接触点所在 列。
5、及所述第二导向触点所在列上。 6. 如权利要求 1 所述的磁条, 其特征在于, 所述接地触点设置在所述第一导向触点与 所述第二导向触点之间。 7. 如权利要求 6 所述的磁条, 其特征在于, 所述第一导向触点与所述接地触点之间的 电连接距离等于所述接地触点与所述第二导向触点之间的电连接距离。 8. 如权利要求 1 所述的磁条, 其特征在于, 两个所述电研磨导向件设置在与水平线相 垂直的列上。 9. 一种制造磁头的方法, 其特征在于, 所述方法包括 : 提供一个磁条, 所述磁条包括一列磁头形成部, 每一所述磁头形成部包括磁头主体及 邻近所述磁头主体的中间区域 ; 在每一所述磁头主体上形成磁读头 。
6、; 在每一所述磁头主体上形成第一电研磨导向件 ; 在每一所述磁头主体上形成磁写头 ; 在每一所述磁头主体上形成第二电研磨导向件 ; 在每一所述中间区域形成第一导向触点, 在每一所述磁头主体上形成第二导向触点、 接地触点以及一列连接触点, 分别电连接包括所述第一电研磨导向件和所述第二电研磨导 向件的两个电研磨导向件至所述第一导向触点与所述第二导向触点, 电连接所述连接触点 至所述磁读头与所述磁写头, 以及电连接所述接地触点至所述第一导向触点与所述第二导 权 利 要 求 书 CN 102376310 A CN 102376317 A2/2 页 3 向触点 ; 在两个所述电研磨导向件的导向下研磨所述。
7、磁条 ; 从所述磁条切割下所述磁头主体而得到磁头。 10. 如权利要求 9 所述的制造磁头的方法, 其特征在于, 所述第二导向触点与所述连接 触点设置在不同列上。 11. 如权利要求 10 所述的制造磁头的方法, 其特征在于, 所述接地触点和所述第二导 向触点设置在与所述连接触点不同的列上。 12. 如权利要求 10 所述的制造磁头的方法, 其特征在于, 所述接地触点与所述连接触 点设置在同一列上。 13. 如权利要求 10 所述的制造磁头的方法, 其特征在于, 所述第一导向触点位于所述 连接触点所在列及所述第二导向触点所在列上。 14. 如权利要求 9 所述的制造磁头的方法, 其特征在于, 。
8、所述接地触点设置在所述第一 导向触点与所述第二导向触点之间。 15. 如权利要求 14 所述的制造磁头的方法, 其特征在于, 所述第一导向触点与所述接 地触点之间的电连接距离等于所述接地触点与所述第二导向触点之间的电连接距离。 16. 如权利要求 10 所述的制造磁头的方法, 其特征在于, 两个所述电研磨导向件设置 在与水平线相垂直的列上。 权 利 要 求 书 CN 102376310 A CN 102376317 A1/5 页 4 用于形成磁头的磁条以及制造磁头的方法 技术领域 0001 本发明涉及一种信息记录磁盘驱动单元, 尤其涉及一种用于形成磁头的磁条以及 磁头的制造方法。 背景技术 0。
9、002 垂直磁记录是一种具有良好前景的记录技术, 用于将磁数据记录在磁盘上, 其磁 矩垂直于磁盘的平面。 纵向磁记录至垂直磁记录的发展进程将推进未来磁盘上的数据密度 不断增加。 0003 采用垂直记录方法的磁头包括产生磁通量的薄膜线圈以及磁极层, 该磁极层从空 气承载面的后部延伸而得并且将薄膜线圈产生的磁通量发射至记录介质。该磁极层包括, 比如, 轨道宽度定义部分, 该轨道宽度定义部分包括一个定义记录介质的记录磁迹宽度的 宽度(统一的宽度)。 所述的在磁极层的轨道宽度定义部分的高度, 即是作为衡量磁头记录 性能的重要因素的颈部高度, 该颈部高度是从轨道宽度定义部分的前端 ( 显露于空气承载 面。
10、上的一端)至其尾端(远离空气承载面得一端)。 在磁头的垂直记录方法中, 当电流流经 薄膜线圈该且用于记录的磁通量已产生, 该磁通量从磁极层中轨道宽度定义部分的尖端发 射出, 因而产生一个记录的磁场(垂直磁场), 该垂直磁场磁化记录介质。 于是, 信息被磁性 记录在记录介质上。 近来, 混合型磁头不但具有记录信息到记录介质的功能, 而且具有从记 录介质上读信息的功能。 0004 在磁头的制造过程中, 磁头结构体被切割成多列磁头母体, 从而获得若干个磁头 磁条。之后, 将磁头磁条的一端面 ( 磁头结构体的切割面 ) 抛光以使得抛光后的读磁头部 分和写磁头部分达到预定的尺寸, 具体地, 读磁头的部分。
11、的 MR 高度达到预定的尺寸, 以及 写磁头部分的颈部高度达到预定的尺寸, 从而形成空气承载面。 而后, 其空气承载面成型后 的磁头磁条被切割成磁头体, 从而得到若干个磁头。 0005 为了保证复合型薄膜磁头的运行性能, 有必要在研磨工序中保证执行读信息性能 的 MR 高度和写信息性能的颈部高度具有高精度。控制研磨工序通常是通过设置于磁头磁 条上多个位置的电研磨向导 (ELGs) 来实现的。传统情况下, 金属层式的 ELG 设置于两个磁 头之间, 近来的改进技术将 ELG 设置于磁头上。在一些例子中, 磁头可包括一个或者多个 ELG。ELG 的电阻随着其在研磨工序中材料的削减而变化, 因而用于。
12、监控磁头制造过程中的 研磨工序。研磨 ELG 引起其电阻值的增加。通过控制设置在磁条上的 ELG 以及调整施加于 磁条上沿着磁条的长度方向上不同位置上的电压, 研磨工序得到控制。当 ELG 电阻值达到 阈值时, 研磨工序终结。 0006 为了安装在磁头上的元件 ( 磁读头、 磁写头以及一个或者多个 ELG) 与外界相连, 若干个连接触点设置于磁头上并将它们与元件相连接。 一些连接触点和磁头元件为支撑磁 头运行之用 ( 例如, 连接触点与测试触点 )。然而, 一些连接触点和磁头元件只用于磁头驱 动器的制造过程中(例如, 一个或者多个ELG的连接触点)。 磁头上的空间对于放置多个连 接触点而言显得。
13、很有限。多个连接触点及复杂的电连接线路形成于磁头上, 因而容易造成 说 明 书 CN 102376310 A CN 102376317 A2/5 页 5 一个触点与其相邻触点之间形成短路, 从而危害磁头的运行。 0007 因此, 急需提供一种改进的用于形成磁头的磁条以及制作磁头的方法, 该磁条提 供了一种新的连接触点布局而改进磁头的性能, 以克服上述缺陷。 发明内容 0008 本发明的目的在于提供一种形成磁头的磁条, 该磁条包括一列磁头形成部, 每一 所述磁头形成部包括邻近磁头的具有第一导向触点的中间区域, 所述第一导向触点与磁头 上的 ELG 相连, 从而充分利用了磁条上两个磁头之间的区域,。
14、 以及研磨工序中的连接可灵 活化。 0009 本发明的另一目的在于提供一种磁头的制造方法, 该磁头从磁条中切割而得, 该 磁条包括一列磁头形成部, 每一所述磁头形成部包括邻近磁头的具有第一导向触点的中间 区域, 所述第一导向触点与磁头上的 ELG 相连, 从而充分利用了磁条上两个磁头之间的区 域, 以及研磨工序中的连接可灵活化。 0010 为了达到上述目的, 本发明提供了一种用于形成磁头的磁条, 所述磁条包括一列 磁头形成部, 每一所述磁头形成部包括将从磁条上切割出来的磁头以及邻近所述磁头的中 间区域 ; 每一所述中间区域包括设置其上的第一导向触点 ; 每一所述磁头包括 : 磁头主体 ; 设置。
15、于所述磁头主体上的磁写头 ; 设置于所述磁头主体上的磁读头 ; 设置于所述磁头主体 上的第二导向触点 ; 两个电研磨导向件, 所述电研磨导向件设置于所述磁头主体上并分别 电连接所述第一导向触点与所述第二导向触点 ; 一列连接触点, 所述连接触点设置于所述 磁头主体上并电连接所述磁读头及所述磁写头 ; 以及接地触点, 所述接地触点设置于所述 磁头主体上并电连接所述第一导向触点及所述第二导向触点。 0011 在本发明一个实施例中, 所述第二导向触点与所述连接触点设置在不同的列上。 0012 在本发明的另一个实施例中, 所述接地触点和所述第二导向触点设置在与所述连 接触点不同列上。 0013 在本发。
16、明的另一个实施例中, 所述接地触点与所述连接触点设置在同一列上。 0014 在本发明的另一个实施例中, 所述第一导向触点位于所述连接触点所在列及所述 第二导向触点所在列上。 0015 在本发明的又一个实施例中, 所述接地触点设置在所述第一导向触点与所述第二 导向触点之间。 0016 在本发明的又一个实施例中, 所述第一导向触点与所述接地触点之间的电连接距 离等于所述接地触点与所述第二导向触点之间的电连接距离。 0017 在本发明的又一个实施例中, 两个所述电研磨导向件设置在与水平线相垂直的列 上。 0018 本发明还提供一种制造磁头的方法, 所述方法包括 : 提供一个磁条, 所述磁条包括 一列。
17、磁头形成部, 每一所述磁头形成部包括磁头主体及邻近所述磁头主体的中间区域 ; 在 每一所述磁头主体上形成磁读头 ; 在每一所述磁头主体上形成第一电研磨导向件 ; 在每一 所述磁头主体上形成磁写头 ; 在每一所述磁头主体上形成第二电研磨导向件 ; 在每一所述 中间区域形成第一导向触点, 在每一所述磁头主体上形成第二导向触点、 接地触点以及一 列连接触点, 分别电连接包括所述第一电研磨导向件和所述第二电研磨导向件的两个电研 说 明 书 CN 102376310 A CN 102376317 A3/5 页 6 磨导向件至所述第一导向触点与所述第二导向触点, 电连接所述连接触点至所述磁读头与 所述磁写。
18、头, 以及电连接所述接地触点至所述第一导向触点与所述第二导向触点 ; 在两个 所述电研磨导向件的导向下研磨所述磁条 ; 从所述磁条切割下所述磁头主体而得到磁头。 0019 与现有技术相比, 本发明的用于形成磁头的磁条包括一列磁头形成部, 每一所述 磁头形成部包括邻近磁头的具有第一导向触点的中间区域, 所述第一导向触点与磁头上的 ELG 相连, 从而充分利用了磁条上两个磁头之间的区域, 以及研磨工序中的连接可灵活化。 0020 通过以下的描述并结合附图, 本发明的技术内容、 构造特征、 所达目的及效果将变 得更加清晰, 这些附图用于解释本发明的实施例。 附图说明 0021 图 1 是本发明第一实。
19、施例中磁条的示意图。 0022 图 2 是图 1 所示磁条的局部示意图。 0023 图 3 是本发明第一实施例中磁条的磁头形成部的示意图。 0024 图 4 是图 3 所示的磁头 A 方向的示意图。 0025 图 5 是本发明第二实施例中磁条的磁头形成部的示意图。 0026 图 6 是本发明第三实施例中磁条的磁头形成部的示意图。 0027 图 7 是本发明实施例中磁头制造方法的流程图。 具体实施方式 0028 以下将结合附图描述本发明的各个实施例, 其中, 各个附图中相同的标记表示相 同的元件。如上所述, 本发明提供了一种形成磁头的磁条, 该磁条包括一列磁头形成部, 每 一所述磁头形成部包括邻。
20、近磁头的具有第一导向触点的中间区域, 所述第一导向触点与磁 头上的 ELG 相连, 从而充分利用了磁条上两个磁头之间的区域, 以及研磨工序中的连接可 灵活化。 0029 图 1 展示了本发明第一实施例中的磁条。业内熟知, 从晶片上切割出来的磁条用 于形成磁头。磁条 1 包括多个设置成一列的磁头形成部 11。每一所述磁头形成部 11 包括 将从磁条 1 切割出来的磁头 111, 以及邻近磁头 111 的中间区域 112。每一个中间区域 112 包括一个设置其上的第一导向触点1111。 依照第一实施例, 所述第一导向触点1111设置于 所述磁头 111 和与其邻近的磁头 111 之间。进一步说, 。
21、在每两个相邻的磁头 111 之间设置 有一个与其中一个磁头 111 相对应的所述第一导向触点 1111。所述第一导向触点 1111 与 设置于磁头 111 上的电研磨导向件 (ELG) 电连接, 所述第一导向触点 1111 仅用于磁头的制 造过程, 例如, 研磨工序。 0030 参考图 1-4, 磁头 111 包括具有尾随面 1112 的磁头主体。所述尾随面 1112 安装有 极尖 1113, 所述极尖 1113 设置于所述尾随面 1112 的中间。用于实现磁头 111 的写信息和 读信息功能的磁写头 1114 和磁读头 1115 设置于极尖 1113 上, 所述磁写头 1114 和磁读头 1。
22、115 近似地设置于所述尾随面 1112 的中心线位置。若干个磁性层或非磁性层沉积而形成 所述极尖 1113, 所述磁写头1114 和所述磁读头 1115 设置于所述极尖 1113 的不同层中。所 述磁头111包括设置于磁头主体上的第一电研磨导向件1116a和第二电研磨导向件1116b。 具体地, 参考图 3-4, 如 A 方向所示的垂直于所述尾随面 1112 的面是空气承载面 (ABS)。所 说 明 书 CN 102376310 A CN 102376317 A4/5 页 7 述第一电研磨导向件 1116a 和所述第二电研磨导向件 1116b 设置于所述 ABS 上, 且所述第 一电研磨导向。
23、件 1116a 和所述第二电研磨导向件 1116b 设置成一列并垂直于水平线。在晶 片的制造工序中, 所述磁写头 1114 和所述第一电研磨导向件 1116a 设置成一线, 并且两者 在同一个工序中制造而得 ; 所述磁读头 1115 和所述第二电研磨导向件 1116b 设置成一线, 并且两者也在同一个工序中制造而得。因此, 所述第一电研磨导向件 1116a 和所述第二电 研磨导向件 1116b 作为向导而使研磨工序得到更加精确的控制, 进而制造出具有高精确度 的磁写头 1114 和磁读头 1115. 0031 参考图 2-4, 一列连接触点 1117 形成于所述尾随面 1112 上, 且所述连。
24、接触点 1117 电连接所述磁写头 1114 和所述磁读头 1115。所述第一导向触点 1111 设置于邻近所述磁 头111的位置上并电连接所述第二电研磨导向件1116b。 第二导向触点1118设置于所述尾 随面 1112 上并电连接所述第一电研磨导向件 1116a。接地触点 1119 也设置于所述尾随面 1112 上且其电连接所述第一导向触点 1111 和所述第二导向触点 1118。在本实施例中, 所 述接地触点1119和所述第二导向触点1118设置成一列并且该列不同于所述连接触点1117 所在列。所述第一导向触点 1111 呈长条形且位于所述连接触点 1117 所在列及所述第二导 向触点 。
25、1118 所在列上。此外, 所述接地触点 1119 设置在所述第一导向触点 1111 和所述第 二导向触点 1118 之间。所述第一导向触点 1111 与所述接地触点 1119 之间的电连接距离 等于所述接地触点 1119 与所述第二导向触点 1118 之间的电连接距离, 因而便于磁头 111 的制造。所述第二导向触点 1118、 所述第一导向触点 1111 以及所属接地触点 1119 的电连 接触点设置成一列, 从而实现研磨工序中更好的电连接性能以及连接的灵活性。 0032 参考图 1-4, 在研磨工序中, 测试电压施加于第一导向触点 1111 与第二导向触点 1118 上, 所述第一导向触。
26、点 1111 与所述第二导向触点 1118 分别电连接所述第二电研磨导 向件1116b及第一电研磨导向件1116a。 同时研磨所述磁写头1114和所述第一电研磨导向 件 1116a, 以及同时研磨所述磁读头 1115 和所述第二电研磨导向件 1116b。研磨工序是通 过测试所述第一电研磨导向件1116a和所述第二电研磨导向件1116b的电阻值而得到控制 的。当所述电阻值达到阀值, 研磨工序终止。所述第一导向触点 1111 设置于所述中间区域 112 上, 因而能够充分利用所述磁条 1 上两个磁头 111 之间的区域, 实现研磨工序中电连接 的灵活性, 从而降低研磨工序中电连接的难度。 0033。
27、 图 5 是本发明第二实施例中磁条的磁头形成部的示意图。本发明第二实施例中磁 头 211 的结构与图 3 所示的第一实施例中磁头 111 的结构相似, 除了第一导向触点 2111 的 形状。参考图 5, 在第二实施例中, 所述磁头 211 包括尾随面 2112, 所述尾随面 2112 上形成 有一列连接触点 2117、 第二导向触点 2118 以及接地触点 2119。所述第一导向触点 2111 仅 设置在所述第二导向触点 2118 与所述接地触点 2119 所在列。 0034 图 6 是本发明第三实施例中磁条的磁头形成部的示意图。本发明第三实施例中磁 头 311 的结构与图 3 所示的第一实施。
28、例中磁头 111 的结构相似除了接地触点 3119 的位置。 参考图6, 接地触点3119设置在与连接触点3117同一列上, 且接地触点3119可设置在连接 触点 3117 一列上的任意位置, 视具体的电连接情况而定。可选地, 连接触点 3117 中的一个 可设置在与第二导向触点 3118 同一列上, 且该列与除此之外的其它连接触点 3117 所在列 不同。第一导向触点 3111 呈长条形, 且位于所述连接触点 3117 所在列及所述第二导向触 点 3118 所在列上, 因此在研磨工序中, 所述第一导向触点 3111、 所述第二导向触点 3118 以 说 明 书 CN 102376310 A 。
29、CN 102376317 A5/5 页 8 及所述接地触点 3119 之间的电连接可更加灵活。 0035 基于本发明的实施例, 需要注意的是两个导向触点和两个电研磨导向件之间相对 应的电连接可更换。 0036 图 7 是本发明优选实施例中制造磁头的方法的流程图, 所述方法以下述顺序执 行 : 提供一个磁条, 所述磁条包括一列磁头形成部, 每一所述磁头形成部包括磁头主体及邻 近所述磁头主体的中间区域 ( 步骤 801) ; 在每一所述磁头主体上形成磁读头 ( 步骤 802) ; 在每一所述磁头主体上形成第一电研磨导向件 ( 步骤 803) ; 在每一所述磁头主体上形成 磁写头 ( 步骤 804)。
30、 ; 在每一所述磁头主体上形成第二电研磨导向件 ( 步骤 805) ; 在每一所 述中间区域形成第一导向触点, 在每一所述磁头主体上形成第二导向触点、 接地触点以及 一列连接触点, 分别电连接包括所述第一电研磨导向件和所述第二电研磨导向件的两个电 研磨导向件至所述第一导向触点与所述第二导向触点, 电连接所述连接触点至所述磁读头 与所述磁写头, 以及电连接所述接地触点至所述第一导向触点与所述第二导向触点 ( 步骤 806) ; 在两个所述电研磨导向件的导向下研磨所述磁条 ( 步骤 807) ; 从所述磁条切割下所 述磁头主体而得到磁头 ( 步骤 808)。 0037 优选地, 在步骤808之后,。
31、 本发明的磁头制造方法还包括去除设置于ABS上的两个 电连接导向件。 0038 本发明方法中的上述步骤可按照合理的顺序来执行, 也可按照任意其它顺序来执 行, 视具体的制造方法而定。所述从磁条中形成磁头的制造方法可应用于上述实施例。 0039 以上结合最佳实施例对本发明进行了描述, 但本发明并不局限于以上揭示的实施 例, 而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、 等效组合。 说 明 书 CN 102376310 A CN 102376317 A1/4 页 9 图 1 说 明 书 附 图 CN 102376310 A CN 102376317 A2/4 页 10 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 102376310 A CN 102376317 A3/4 页 11 图 4 图 5 图 6 说 明 书 附 图 CN 102376310 A CN 102376317 A4/4 页 12 图 7 说 明 书 附 图 CN 102376310 A 。