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一种真空微电子压力传感器,包括:硅微场致发射阴极锥尖阵列、真空微腔、绝缘层、阳极弹性膜、阳极绝缘保护膜、引出电极、过载保护环、金刚石膜和绝缘衬底,其特征在于,在所述阳极弹性膜朝向真空微腔一面的中部,有连成一体的阳极活塞膜及其支撑柱,且支撑柱与过载保护环相对。本发明根据功能拆分的思想,采用了具有双层膜结构的压力传感器,与常规的真空微电子压力传感器相比,本发明的真空微电子压力传感器的灵敏度较之常规的真。