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1、(10)申请公布号 CN 103650126 A (43)申请公布日 2014.03.19 CN 103650126 A (21)申请号 201280016013.7 (22)申请日 2012.03.13 2011-102723 2011.05.02 JP H01L 21/68(2006.01) B65G 1/00(2006.01) B65G 1/04(2006.01) B65G 47/90(2006.01) B65G 49/06(2006.01) (71)申请人 村田机械株式会社 地址 日本京都府 (72)发明人 雁部政彦 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 代。
2、理人 舒艳君 田军锋 (54) 发明名称 方向调整装置以及方向调整方法 (57) 摘要 本发明提供方向调整装置以及方向调整方 法。具备方向调整装置的防尘自动立体仓库 (100) 具备在货物 ( 中间掩模 230) 朝外部装置 (曝光装置)的插入方向预先确定、 且载置有货物 的状态的载置台 ( 掩模盒 200) 朝外部装置的插 入方向预先确定的情况下使载置台旋转的旋转装 置 ( 掩模盒开启器 140) ； 不变更货物的方向地保 持货物的保持装置 ( 中间掩模输送装置 120) ； 及 控制旋转装置以及保持装置的控制器 (180)。进 而， 控制器使旋转装置在使货物从被保持于旋转 装置的载置台离开。
3、的状态下保持货物， 并使货物 已离开的状态下的载置台从初始位置旋转至目标 位置， 将货物载置于旋转至目标位置的载置台， 使 载置有货物的状态的载置台从目标位置旋转至初 始位置。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2013.09.27 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2012/001735 2012.03.13 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2012/150645 JA 2012.11.08 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 6 页 附图 9 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书6页。
4、 附图9页 (10)申请公布号 CN 103650126 A CN 103650126 A 1/2 页 2 1. 一种方向调整装置， 在货物朝外部装置的插入方向预先确定、 且载置有所述货物的状态的载置台朝外部装 置的插入方向预先确定的情况下， 所述方向调整装置调整所述货物与所述载置台之间的相 对方向， 所述方向调整装置的特征在于， 所述方向调整装置具备 ： 旋转装置， 该旋转装置使所述载置台旋转 ； 保持装置， 该保持装置不变更所述货物的方向地保持所述货物 ； 以及 控制器， 该控制器控制所述旋转装置以及所述保持装置， 以便将所述货物与所述载置 台之间的相对方向调整成预先确定的方向， 所述控制。
5、器使所述保持装置在使所述货物从被保持于所述旋转装置的所述载置台离 开的状态下保持所述货物， 所述控制器使所述旋转装置将所述货物已离开的状态下的所述载置台从初始位置旋 转至目标位置， 所述控制器使所述保持装置将所述货物载置于旋转至所述目标位置的所述载置台， 所述控制器使所述旋转装置将载置有所述货物的状态的所述载置台从所述目标位置 旋转至所述初始位置。 2. 根据权利要求 1 所述的方向调整装置， 其特征在于， 所述保持装置在保持有所述货物的状态下沿上下方向移动， 并在从所述载置台朝上方 离开规定距离的保持位置保持所述货物。 3. 根据权利要求 2 所述的方向调整装置， 其特征在于， 所述控制器在。
6、利用所述保持装置将所述货物从所述载置台离开之后、 且到达所述保 持位置之前， 使所述旋转装置开始进行所述载置台的从所述初始位置朝所述目标位置的旋 转。 4. 根据权利要求 1 3 中任一项所述的方向调整装置， 其特征在于， 所述方向调整装置还具备方向确认装置， 该方向确认装置确认所述货物与所述载置台 之间的相对方向， 所述控制器在使所述旋转装置将所述载置台旋转至所述初始位置之后， 使所述方向确 认装置确认所述货物与所述载置台之间的相对方向。 5. 一种方向调整方法， 该方向调整方法是在所述货物朝外部装置的插入方向预先确 定、 且载置有所述货物的状态的所述载置台朝外部装置的插入方向预先确定的情况。
7、下， 方 向调整装置调整货物与载置台之间的相对方向的方法， 所述方向调整装置具备 ： 旋转装置， 所述旋转装置使所述载置台旋转 ； 以及保持装置， 该保持装置不变更所述货物的方向地保 持所述货物， 所述方向调整方法的特征在于， 所述方向调整方法包括以下步骤 ： 所述保持装置在使所述货物从被保持于所述旋转装置的所述载置台离开的状态下保 持所述货物的步骤 ； 所述旋转装置将所述货物已离开的状态下的所述载置台从初始位置旋转至目标位置 权 利 要 求 书 CN 103650126 A 2 2/2 页 3 的步骤 ； 所述保持装置将所述货物载置于旋转至所述目标位置的所述载置台的步骤 ； 以及 所述旋转装。
8、置将载置有所述货物的状态的所述载置台从所述目标位置旋转至所述初 始位置的步骤。 权 利 要 求 书 CN 103650126 A 3 1/6 页 4 方向调整装置以及方向调整方法 技术领域 0001 本发明涉及用于调整货物和载置该货物的载置台之间的相对方向的方向调整装 置。 背景技术 0002 以往的曝光装置通过将描绘于中间掩模的电路图案转印于半导体元件来制造电 子部件。 此时， 为了防止污染， 中间掩模在被收纳于掩模盒 （pod） 的状态下插入于曝光装置。 并且， 中间掩模朝曝光装置的插入方向根据机型而不同。 更具体地说， 中间掩模朝曝光装置 的插入方向是预先确定的， 并且收纳有中间掩模的状。
9、态的掩模盒朝曝光装置的插入方向也 是预先确定的。 0003 因此， 在以往的中间掩模保管库等中， 设置有用于根据曝光装置的机型来调整掩 模盒内的中间掩模的方向的机构。 具体而言， 存在如下的中间掩模保管库， 该中间掩模保管 库设置有作为方向调整装置的如下的机构 ： 从掩模盒开启器 （pod opener） 内的掩模盒取出 中间掩模， 利用转台使中间掩模旋转规定的角度， 并将中间掩模再次收纳于掩模盒开启器 内的掩模盒。 0004 专利文献 1 ： 日本特开 2008 30914 号公报 0005 然而， 根据上述的机构， 产生了使中间掩模从掩模盒开启器移动至转台、 并在使中 间掩模旋转后再次使其。
10、从转台移动至掩模盒开启器的需要。结果， 有着在掩模盒开启器与 转台之间移载中间掩模的处理耗费大量时间的课题。 发明内容 0006 因此， 本发明就是鉴于上述课题而完成的， 其目的在于提供一种能够短时间且利 用较少的工序调整货物与载置该货物的载置台之间的相对方向的方向调整装置。 0007 本发明的一个实施方式所涉及的方向调整装置是如下的装置 ： 在货物朝外部装置 的插入方向预先确定、 且载置有上述货物的状态的载置台朝外部装置的插入方向预先确定 的情况下， 调整上述货物与上述载置台之间的相对方向。具体而言， 上述方向调整装置具 备 ： 旋转装置， 该旋转装置使上述载置台旋转 ； 保持装置， 该保持。
11、装置不变更上述货物的方 向地保持上述货物 ； 以及控制器， 该控制器控制上述旋转装置以及上述保持装置， 以便将上 述货物与上述载置台之间的相对方向调整成预先确定的方向。进而， 上述控制器使上述保 持装置在使上述货物从被保持于上述旋转装置的上述载置台离开的状态下保持上述货物， 上述控制器使上述旋转装置将上述货物已离开的状态下的上述载置台从初始位置旋转至 目标位置， 上述控制器使上述保持装置将上述货物载置于旋转至上述目标位置的上述载置 台， 上述控制器使上述旋转装置将载置有上述货物的状态的上述载置台从上述目标位置旋 转至上述初始位置。 0008 根据上述结构， 由于无需像以往那样将货物移载至其他场。
12、所， 因此能够削减移载 所需要的循环时间。 结果， 能够短时间且以较少的工序调整货物与载置台之间的相对方向。 说 明 书 CN 103650126 A 4 2/6 页 5 0009 并且， 也可以形成为 ： 上述保持装置在保持有上述货物的状态下沿上下方向移动， 并在从上述载置台朝上方离开规定距离的保持位置保持上述货物。由此， 当在使载置台旋 转之后再次载置货物时， 不需要进行定位等工序， 因此能够更短时间且以更少的工序进行 方向的调整。 0010 此外， 也可以形成为 ： 上述控制器在利用上述保持装置将上述货物从上述载置台 离开之后、 且到达上述保持位置之前， 使上述旋转装置开始进行上述载置台。
13、的从上述初始 位置朝上述目标位置的旋转。这样， 通过并行地进行使货物从载置台离开的工序和使载置 台旋转的工序， 能够更短时间且以更少的工序进行方向的调整。 0011 此外， 上述方向调整装置也可以还具备方向确认装置， 该方向确认装置确认上述 货物与上述载置台之间的相对方向。进而， 上述控制器也可以在使上述旋转装置将上述载 置台旋转至上述初始位置之后， 使上述方向确认装置确认上述货物与上述载置台之间的相 对方向。由此， 能够在确认货物与载置台之间的相对方向之后朝后续工序送出。 0012 本发明的一个实施方式所涉及的方向调整方法是在上述货物朝外部装置的插入 方向预先确定、 且载置有上述货物的状态的。
14、载置台朝外部装置的插入方向预先确定的情况 下， 方向调整装置调整货物与载置台之间的相对方向的方法， 上述方向调整装置具备 ： 旋转 装置， 上述旋转装置使上述载置台旋转 ； 以及保持装置， 该保持装置不变更上述货物的方向 地保持上述货物。 具体而言， 方向调整方法包括以下步骤 ： 上述保持装置在使上述货物从被 保持于上述旋转装置的上述载置台离开的状态下保持上述货物的步骤 ； 上述旋转装置将上 述货物已离开的状态下的上述载置台从初始位置旋转至目标位置的步骤 ； 上述保持装置将 上述货物载置于旋转至上述目标位置的上述载置台的步骤 ； 以及上述旋转装置将载置有上 述货物的状态的上述载置台从上述目标位。
15、置旋转至上述初始位置的步骤。 0013 根据本发明， 由于无需像以往那样将货物移载至其他场所， 因此能够短时间且以 较少的工序调整货物与载置台之间的相对方向。 附图说明 0014 图 1 是实施方式所涉及的防尘自动立体仓库 （clean stocker） 的主视图。 0015 图 2 是图 1 的 II II 线处的剖视图。 0016 图 3 是图 1 的 III III 线处的剖视图。 0017 图 4 是示出方向调整处理的流程图。 0018 图 5 是掩模盒开启器内部的侧视图， 且是示出 S11 的状态的图。 0019 图 6 是掩模盒开启器内部的侧视图， 且是示出 S12 的状态的图。 。
16、0020 图 7 是掩模盒开启器内部的俯视图， 且是示出 S13 的状态的图。 0021 图 8 是掩模盒开启器内部的侧视图， 且是示出 S14 的状态的图。 0022 图 9 是掩模盒开启器内部的俯视图， 且是示出 S15 的状态的图。 具体实施方式 0023 以下， 参照附图对本发明的实施方式进行说明。 0024 首先， 参照图 1 图 3 对包括本发明的实施方式所涉及的方向调整装置的防尘自 动立体仓库100的结构进行说明。 另外， 图1是实施方式所涉及的防尘自动立体仓库100的 说 明 书 CN 103650126 A 5 3/6 页 6 主视图。图 2 是图 1 的 II II 线处的。
17、剖视图。图 3 是图 1 的 III III 线处的剖视图。 0025 防尘自动立体仓库 100 设置于半导体车间或者液晶车间等的防尘室内， 并将半导 体或者液晶基板的曝光用的中间掩模 （货物） 和收纳中间掩模的掩模盒 （容器） 分开保管。并 且， 中间掩模朝曝光装置 （外部装置） 的插入方向是预先确定的， 并且载置有中间掩模的状 态下的掩模盒朝曝光装置的插入方向也是预先确定的。 0026 具体而言， 防尘自动立体仓库 100 主要具备 ： 旋转搁板 110 ； 中间掩模输送装置 120 ； 掩模盒输送装置 130 ； 掩模盒开启器 140 ； OHT（Overhead Hoist Trans。
18、fer， 高架升降 输送） 自动装载口 150 ； 手动装载口 160 ； 风机过滤单元 （FFU， 风机过滤单元） 170 ； 以及控制 器 180。并且， 旋转搁板 110 具备上下多层的多级， 从上方开始依次划分成中间掩模用旋转 搁板 111 和空掩模盒用旋转搁板 112。 0027 另外， 本发明的一个实施方式所涉及的方向调整装置例如由防尘自动立体仓库 100 的构成要素中的、 作为旋转装置发挥功能的掩模盒开启器 140（更具体而言是后述的载 置部 142） 和作为保持装置发挥功能的中间掩模输送装置 120 以及控制器 180 构成。各部 分的结构以及动作将在后面叙述。 0028 中间。
19、掩模用旋转搁板 111 是保管半导体或者液晶基板的曝光用的中间掩模的搁 板。空掩模盒用旋转搁板 112 是保管未收纳中间掩模的空的掩模盒 （以下记为 “空掩模盒” ） 的搁板。另外， 空掩模盒用旋转搁板 112 中的掩模盒的保管数量可以比中间掩模用旋转搁 板 111 中的中间掩模的保管数量少， 例如可以是 1/10 1/100 的程度。 0029 中间掩模用旋转搁板111以及空掩模盒用旋转搁板112也可以形成为分别作为一 体旋转， 各级无法独立旋转。或者， 为了能够更高速地进行收纳物的存取， 也可以将各搁板 进一步分割成上下多个块， 且每个块独立地旋转。 0030 中间掩模输送装置 120 设。
20、置在防尘自动立体仓库 100 内部的前面一方侧 （在图 1 中为面朝纸面观察时的左侧） 。该中间掩模输送装置 120 在中间掩模用旋转搁板 111 与掩 模盒开启器 140 之间输送中间掩模、 或者使中间掩模在掩模盒开启器 140 内的位置移动。 0031 更具体而言， 中间掩模输送装置 120 在两级的臂 121、 122 的前端设置有手 123， 且 具有在水平面内动作的三个关节124、 125、 126。 并且， 中间掩模输送装置120沿着升降引导 件 127 升降。即， 该中间掩模输送装置 120 在升降引导件 127 的范围内上下升降， 并使各关 节 124、 125、 126 独立。
21、地动作， 由此能够在两级的臂 121、 122 所能够到达的范围内沿任意的 方向输送中间掩模。 0032 掩模盒输送装置 130 设置在防尘自动立体仓库 100 内部的前面另一方侧 （在图 1 中为面朝纸面观察时的右侧） 。该掩模盒输送装置 130 在空掩模盒用旋转搁板 112 与掩模 盒开启器 140 之间输送空掩模盒、 或者在掩模盒开启器 140 与 OHT 自动装载口 150 之间以 及掩模盒开启器140与手动装载口160之间输送收纳有中间掩模的掩模盒 （以下记为 “中间 掩模装入掩模盒” ） 。 0033 更具体而言， 掩模盒输送装置 130 在两级的臂 131、 132 的前端设置有。
22、手 133， 且具 有在水平面内动作的三个关节 134、 135、 136。并且， 掩模盒输送装置 130 沿着升降引导件 137 升降。即， 该掩模盒输送装置 130 在升降引导件 137 的范围内上下升降， 并使各关节 134、 135、 136 独立地动作， 由此能够在两级的臂 131、 132 所能够到达的范围内沿任意的方 向输送掩模盒。 说 明 书 CN 103650126 A 6 4/6 页 7 0034 掩模盒开启器 140 配置在防尘自动立体仓库 100 内部的前面中央部、 即中间掩模 输送装置120以及掩模盒输送装置130之间， 用于将中间掩模收纳于空掩模盒、 从中间掩模 装。
23、入掩模盒取出中间掩模、 或者调整中间掩模与掩模盒的相对方向。处理的具体内容将在 后面叙述。 0035 OHT自动装载口150是设置于防尘自动立体仓库100的前面上部的天车用装载口， 是与未图示的天车之间进行中间掩模装入掩模盒的入库、 出库的接口。手动装载口 160 是 设置于防尘自动立体仓库 100 的前面下部的作业者用装载口， 是与作业者之间进行中间掩 模装入掩模盒的入库、 出库的接口。 0036 控制器180对防尘自动立体仓库100的各活动部进行控制。 例如， 使旋转搁板110 旋转至规定的位置、 或者对中间掩模输送装置 120 以及掩模盒输送装置 130 的动作进行控 制。详细情况将在后。
24、面叙述。另外， 控制器 180 可以是安装有程序从而执行规定的处理的 CPU（Central Processing Unit， 中间处理单元） ， 也可以是实现规定的功能的集成电路。 0037 其次， 对上述结构的防尘自动立体仓库 100 的基本动作进行说明。 0038 首先， 在对中间掩模装入掩模盒进行入库的情况下， 利用天车将中间掩模装入掩 模盒搬入 OHT 自动装载口 150、 或者作业者将中间掩模装入掩模盒搬入手动装载口 160。其 次， 所搬入的中间掩模装入掩模盒由掩模盒输送装置 130 移载至掩模盒开启器 140， 并被分 离成中间掩模和空掩模盒。进而， 中间掩模由中间掩模输送装置。
25、 120 收纳于中间掩模用旋 转搁板， 空掩模盒由掩模盒输送装置 130 收纳于空掩模盒用旋转搁板 112。 0039 另一方面， 在对中间掩模装入掩模盒进行出库的情况下， 应当出库的中间掩模由 中间掩模输送装置120从中间掩模用旋转搁板111移载至掩模盒开启器140， 空掩模盒由掩 模盒输送装置 130 从空掩模盒用旋转搁板 112 移载至掩模盒开启器 140。被搬入至掩模盒 开启器 140 的中间掩模被收纳于空掩模盒， 并由掩模盒输送装置 130 移载至 OHT 自动装载 口 150 或者手动装载口 160 而出库。 0040 其次， 参照图 4 图 9 对使用中间掩模输送装置 120、 。
26、掩模盒输送装置 130 以及掩 模盒开启器 140 调整中间掩模和掩模盒的相对方向的方向调整处理进行说明。图 4 是示出 方向调整处理的流程图。另外， 图 4 的各处理由控制器 180 控制。 0041 首先， 中间掩模装入掩模盒被载置于掩模盒开启器 140（S11） 。例如， 要出库的中 间掩模230由中间掩模输送装置120从中间掩模用旋转搁板111移载至掩模盒开启器140， 空的掩模盒 200 由掩模盒输送装置 130 从空掩模盒用旋转搁板 112 移载至掩模盒开启器 140， 在掩模盒开启器 140 内， 中间掩模 230 被收纳于掩模盒 200。 0042 参照图 5 对掩模盒开启器 。
27、140 以及掩模盒 200 的详细情况进行说明。另外， 图 5 是掩模盒开启器 140 内部的侧视图， 且是示出图 14 的 S11 的状态的图。 0043 首先， 掩模盒 200 由能够上下分离的罩 210 以及门 220 构成。进而， 掩模盒 200 利 用从门 220 的上表面突出的多个突起 221 支承中间掩模 230， 并利用罩 210 覆盖中间掩模 230， 由此将中间掩模 230 收纳于内部。 0044 掩模盒开启器 140 由对罩 210 进行卡止的卡止部 141 和载置门 220 的载置部 142 构成。另外， 载置部 142 作为在载置有门 220 的状态下上下升降的升降装。
28、置发挥功能， 并且 还作为在水平面内旋转的旋转装置发挥功能。 0045 在掩模盒开启器 140 的上表面设置有开口。进而， 卡止部 141 设置于开口的周缘 说 明 书 CN 103650126 A 7 5/6 页 8 部。并且， 载置部 142 设置在掩模盒开启器 140 的内部， 且设置在与设置于上表面的开口对 置的位置。当载置部 142 最大程度上升时， 掩模盒开启器 140 的上表面和载置部 142 的载 置面 （上表面） 位于同一平面上。进而， 掩模盒 200 被载置于最大程度上升后的状态的载置 部 142。由此， 掩模盒开启器 140 的开口由掩模盒 200 封闭。 0046 图 。
29、6 是掩模盒开启器 140 内部的侧视图， 且是示出图 4 的 S12 的状态的图。如图 6 所示， 当载置掩模盒 200 的状态的载置部 142 下降时， 门 220 与载置部 142 一起下降， 罩 210 卡止于卡止部 141， 罩 210 与门 220 分离。 0047 进而， 作为保持装置的中间掩模输送装置 120 在保持着中间掩模 230 的状态下沿 着升降引导件 127 升降， 由此将中间掩模 230 保持在从门 220 朝上方离开规定距离的保持 位置 （S12） 。此时， 中间掩模输送装置 120 不变更中间掩模 230 的方向地进行保持。 0048 图 7 是掩模盒开启器 1。
30、40 内部的俯视图， 且是示出图 4 的 S13 的状态的图。如图 7 所示， 作为旋转装置的载置部 142 使中间掩模 230 离开后的状态的门 220 从初始位置旋转 至目标位置 （S13） 。 从初始位置到目标位置的旋转角度并无特殊限定， 但例如使其逆时针旋 转 180。 0049 图 8 是掩模盒开启器 140 内部的侧视图， 且是示出图 4 的 S14 的状态的图。如图 8 所示， 中间掩模输送装置 120 沿着升降引导件 127 下降， 由此将中间掩模 230 载置于旋转 至目标位置后的门 220。此处， 中间掩模 230 由中间掩模输送装置 120 不变更方向地保持， 与此相对，。
31、 载置部 142 使门 220 旋转， 因此中间掩模 230 与门 220 之间的相对方向变化。 0050 图 9 是掩模盒开启器 140 内部的俯视图， 且是示出图 4 的 S15 的状态的图。载置 部 142 使载置有中间掩模 230 的状态的门 220 从目标位置旋转至初始位置 （S15） 。即， 在上 述例子中， 使其顺时针旋转180。 由此， 中间掩模230与门220一起旋转， 以便位于中间掩 模 230 的左下角的标记 231 移动至右上角 （以虚线框表示的位置） 。另外， 标记 231 能够利 用能够确定中间掩模 230 的方向的所有的标记， 例如可以是用于识别中间掩模 230 。
32、的条形 码等。 0051 根据上述的方法， 能够在掩模盒开启器 140 内调整中间掩模 230 和掩模盒 200 之 间的相对方向。即， 由于无需将中间掩模 230 以及掩模盒 200 从掩模盒开启器 140 取出并 移载至其他场所， 因此能够削减移载所需要的循环时间。 结果， 能够短时间且利用较少的工 序调整中间掩模 230 与掩模盒 200 之间的相对方向。 0052 另外， 在图 4 的 S12 以及 S13 中， 也可以在中间掩模输送装置 120 在保持有中间掩 模 230 的状态下上升至保持位置之后使载置部 142 开始旋转。然而， 从进一步缩短方向调 整处理的处理时间的观点出发， 。
33、控制器 180 也可以在利用中间掩模输送装置 120 使中间掩 模 230 从门 220 离开之后、 且到达保持位置之前， 使载置部 142 开始进行门 220 的从初始位 置朝目标位置的旋转。 0053 并且， 防尘自动立体仓库 100 也可以还具备确认中间掩模 230 和门 220 之间的相 对方向的方向确认装置 （省略图示） 。进而， 控制器 180 也可以在利用载置部 142 使门 220 旋转至初始位置之后使方向确认装置确认中间掩模 230 与门 220 之间的相对方向。 0054 更具体而言， 方向确认装置也可以具备从上方拍摄中间掩模 230 的照相机。进而， 可以在图 4 的 S。
34、15 之后利用中间掩模输送装置 120 将中间掩模 230 从掩模盒 200 取出并利 用照相机进行拍摄， 以确认标记 231 是否位于预先确定的规定位置。 说 明 书 CN 103650126 A 8 6/6 页 9 0055 另外， 在上述实施方式中对在防尘自动立体仓库 100 内调整中间掩模 230 和掩模 盒 200 之间的相对位置的例子进行了说明， 但是本发明并不限定于此。例如， 独立设置于防 尘自动立体仓库 100 的外部， 并调整中间掩模 230 和掩模盒 200 之间的相对方向的中间掩 模方向调整装置也包含于本发明。 0056 此外， 并不限于调整中间掩模230和掩模盒200之。
35、间的相对方向的装置， 调整所有 的货物以及该货物所被载置到的载置台之间的相对方向的方向调整装置均包含于本发明。 例如， 也可以是调整液晶面板与载置该液晶面板的托盘之间的相对方向的装置。 0057 以上参照附图对本发明的实施方式进行了说明， 本发明并不限定于图示的实施方 式。 针对图示的实施方式， 能够在与本发明相同的范围内、 或者在等同的范围内施加各种修 正、 变形。 0058 产业上的利用可能性 0059 本发明能够有利地利用与用于调整货物和载置该货物的载置台之间的相对方向 的方向调整装置。 0060 附图标记说明 ： 0061 100 ： 防尘自动立体仓库 ； 110 ： 旋转搁板 ； 1。
36、11 ： 中间掩模用旋转搁板 ； 112 ： 空掩 模盒用旋转搁板 ； 120 ： 中间掩模输送装置 ； 121、 122、 131、 132 ： 臂 ； 123、 133 ： 手 ； 124、 125、 126、 134、 135、 136 ： 关节 ； 127、 137 ： 升降引导件 ； 130 ： 掩模盒输送装置 ； 140 ： 掩模盒开启 器 ； 141 ： 卡止部 ； 142 ： 载置部 ； 150 ： OHT 自动装载口 ； 160 ： 手动装载口 ； 170 ： 风机过滤单 元 ； 180 ： 控制器 ； 200 ： 掩模盒 ； 210 ： 罩 ； 220 ： 门 ； 221 。
37、： 突起 ； 230 ： 中间掩模 ； 231 ： 标记。 说 明 书 CN 103650126 A 9 1/9 页 10 图 1 说 明 书 附 图 CN 103650126 A 10 2/9 页 11 图 2 说 明 书 附 图 CN 103650126 A 11 3/9 页 12 图 3 说 明 书 附 图 CN 103650126 A 12 4/9 页 13 图 4 说 明 书 附 图 CN 103650126 A 13 5/9 页 14 图 5 说 明 书 附 图 CN 103650126 A 14 6/9 页 15 图 6 说 明 书 附 图 CN 103650126 A 15 7/9 页 16 图 7 说 明 书 附 图 CN 103650126 A 16 8/9 页 17 图 8 说 明 书 附 图 CN 103650126 A 17 9/9 页 18 图 9 说 明 书 附 图 CN 103650126 A 18 。