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1、(10)申请公布号 CN 103365036 A (43)申请公布日 2013.10.23 CN 103365036 A *CN103365036A* (21)申请号 201310090620.4 (22)申请日 2013.03.20 2012-070870 2012.03.27 JP G03B 15/05(2006.01) G03B 17/12(2006.01) G03B 17/17(2006.01) (71)申请人 索尼公司 地址 日本东京 (72)发明人 越村章 国岛和仁 野本航也 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 代理人 李静 王素贞 (54) 发明。
2、名称 照明装置、 成像装置、 部件安装装置、 及制造 基板的方法 (57) 摘要 本发明公开了一种照明装置、 成像装置、 部件 安装装置、 及制造基板的方法。 所述照明装置包括 光源部、 照射部和选择部。光源部包括光源， 光源 被构造为发射具有第一波长的第一波长光， 以便 用于成像装置对目标成像。照射部被构造为将来 自光源的第一波长光转换为具有不同于第一波长 的第二波长的第二波长光， 并将第二波长光照射 到目标。选择部被构造为选择第二波长光作为进 入成像装置的光， 使得利用被照射到目标的第二 波长光来捕获目标的图像。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 14。
3、 页 附图 11 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书14页 附图11页 (10)申请公布号 CN 103365036 A CN 103365036 A *CN103365036A* 1/2 页 2 1. 一种照明装置， 包括 ： 光源部， 包括光源， 所述光源被构造为发射具有第一波长的第一波长光， 以便用于成像 装置对目标成像 ； 照射部， 被构造为将来自所述光源的所述第一波长光转换为具有不同于所述第一波长 的第二波长的第二波长光， 并将所述第二波长光照射到所述目标 ； 以及 选择部， 被构造为选择所述第二波长光作为进入所述成像装置的光， 使。
4、得利用被照射 到所述目标的所述第二波长光来捕获所述目标的图像。 2. 根据权利要求 1 所述的照明装置， 其中， 所述照射部被构造为将所述第二波长光从所述目标的背侧照射到所述目标。 3. 根据权利要求 1 所述的照明装置， 其中， 所述照射部包括反射板， 所述反射板设置在所述目标的背侧上， 并且所述反射板被构 造为将所述第一波长光转换为所述第二波长光并将所述第二波长光反射到所述目标。 4. 根据权利要求 3 所述的照明装置， 其中， 所述光源部被构造为将所述第一波长光从所述目标的前侧发射到所述反射板。 5. 根据权利要求 3 所述的照明装置， 其中， 所述反射板包括反射表面， 所述反射表面设置。
5、为垂直于与所述目标相对的方向并被构 造为沿所述相对的方向将所述第二波长光反射到所述目标。 6. 根据权利要求 1 所述的照明装置， 其中， 所述光源部包括一其它光源， 所述其它光源被构造为将具有不同于所述第一波长和所 述第二波长的第三波长的第三波长光照射到所述目标， 所述照射部被构造为吸收来自所述其它光源的所述第三波长光， 并且 所述选择部被构造为选择所述第三波长光作为进入所述成像装置的光， 使得利用被照 射到所述目标的所述第三波长光来捕获所述目标的图像。 7. 根据权利要求 6 所述的照明装置， 其中， 所述光源部被构造为将所述第三波长光从所述目标的所述前侧照射到所述目标。 8. 根据权利要。
6、求 6 所述的照明装置， 其中， 所述其它光源设置为与所述光源平齐。 9. 根据权利要求 1 所述的照明装置， 其中， 所述选择部为膜形式的波长选择滤波器或滤波板。 10. 根据权利要求 5 所述的照明装置， 其中， 所述选择部为膜形式的波长选择滤波器， 所述波长选择滤波器形成于所述反射表面 中。 11. 根据权利要求 5 所述的照明装置， 其中， 所述选择部为滤波板， 所述滤波板设置在所述反射表面的前方。 12. 一种成像装置， 包括 ： 成像部， 被构造为捕获目标的图像 ； 光源部， 包括光源， 所述光源被构造为发射具有第一波长的第一波长光以用于成像 ； 照射部， 被构造为将来自所述光源的。
7、第一波长光转换成具有不同于所述第一波长的第 二波长的第二波长光， 并将所述第二波长光照射到所述目标 ； 以及 权 利 要 求 书 CN 103365036 A 2 2/2 页 3 选择部， 被构造为选择所述第二波长光作为进入所述成像部的光， 使得利用被照射到 所述目标的所述第二波长光来捕获所述目标的图像。 13. 一种部件安装装置， 包括 ： 支撑单元， 被构造为支撑基板 ； 保持部， 被构造为能够保持部件并将所保持的部件安装到由所述支撑单元支撑的所述 基板上 ； 成像部， 被构造为捕获由所述保持部保持的所述部件的图像 ； 光源部， 包括光源， 所述光源被构造为发射具有第一波长的第一波长光以用。
8、于成像 ； 照射部， 被构造为将来自所述光源的第一波长光转换为具有不同于所述第一波长的第 二波长的第二波长光， 并将所述第二波长光照射到所述部件 ； 以及 选择部， 被构造为选择所述第二波长光作为进入所述成像部的光， 使得利用被照射到 所述部件的所述第二波长光来捕获所述部件的图像。 14. 根据权利要求 13 所述的部件安装装置， 其中， 所述照射部在所述部件的背侧上设置于所述保持部， 并且所述照射部包括反射板， 所 述反射板被构造为将所述第一波长光转换成所述第二波长光， 并将所述第二波长光反射到 所述目标。 15. 一种制造基板的方法， 包括 ： 由支撑单元支撑基板 ； 由保持部保持所供应的。
9、部件 ； 发射具有第一波长的第一波长光， 以便用于成像部对由所述保持部保持的所述部件成 像 ； 将所发射的第一波长光转换成具有不同于所述第一波长的第二波长的第二波长光， 并 将所述第二波长光照射到所述部件 ； 选择所述第二波长光作为进入所述成像部的光， 从而利用被照射到所述部件的所述第 二波长光来捕获所述部件的图像 ； 以及 基于利用所述第二波长光捕获的所述部件的图像来执行部件识别， 并基于所述部件识 别的结果将由所述保持部保持的所述部件安装到由所述支撑单元支撑的所述基板上。 权 利 要 求 书 CN 103365036 A 3 1/14 页 4 照明装置、 成像装置、 部件安装装置、 及制造。
10、基板的方法 技术领域 0001 本公开涉及一种其可在例如电子部件安装在基板上的情况下使用的照明装置， 还 涉及成像装置、 部件安装装置、 以及制造基板的方法。 背景技术 0002 日本专利第 4221630 号 （以下称为专利文献 1） 描述了一种部件安装机， 其包括抽 吸电子部件和将所抽吸的电子部件安装在基板上的多个喷嘴。当喷嘴抽吸电子部件时， 部 件识别装置执行部件识别。专利文献 1 中描述的部件识别装置包括用于从部件的背侧照射 光的第一光源以及从部件的前侧照射光的第二光源。此外， 还提供从部件的侧表面侧的照 射光的第三光源。通过适当地使用这些光源来捕获电子部件的图像来进行部件识别。为了 。
11、实现高度精确的部件识别， 来自第一光源或者第二光源的光的波长被设定为不同于来自第 三光源的光的波长 （专利文献 1 的段落 0031-0035） 。 发明内容 0003 在如上面所描述的部件安装机等中， 希望以高准确度捕获所抽吸的电子部件的图 像。如果所捕获的电子部件图像不清楚， 则部件识别的精度低。 0004 鉴于上述情况， 希望提供照明装置、 成像装置、 部件安装装置和制造基板的方法， 其例如使得能够以高准确度捕获目标 （诸如电子部件） 的图像。 0005 根据本公开的实施例， 提供了一种照明装置， 该照明装置包括光源部、 照射部和选 择部。 0006 光源部包括光源， 光源被构造为发射具。
12、有第一波长的第一波长光， 以便用于成像 装置对目标成像。 0007 照射部被构造为将来自光源的第一波长光转换为具有不同于第一波长的第二波 长的第二波长光， 并将第二波长光照射到目标。 0008 选择部被构造为选择第二波长光作为进入成像装置的光， 使得利用被照射到目标 的第二波长光来捕获目标的图像。 0009 在该照明装置中， 第一波长光被转换成第二波长光， 并且第二波长光被照射到目 标。第二波长光被选择作为进入成像装置的光， 使得利用被照射到目标的第二波长光来捕 获目标的图像。 以此方式， 基于从光源射出的第一波长光， 通过波长转换产生用于成像的第 二波长光。 由此， 例如， 可通过将第二波长。
13、光作为照明光而以高准确度捕获诸如电子部件的 目标的图像。 0010 照射部可以被构造为将第二波长光从目标的背侧照射到目标。 0011 以此方式， 第二波长光可用作透射照明光。 由此， 可通过透射照明以高准确度来捕 获目标的图像。 0012 照射部可以包括反射板， 反射板设置在目标的背侧上， 并且反射板被构造为将第 一波长光转换为第二波长光并将第二波长光反射到目标。 说 明 书 CN 103365036 A 4 2/14 页 5 0013 以此方式， 反射板可以将第一波长光转换成第二波长光， 并将第二波长光反射到 目标。 0014 光源部可被构造为将从目标的前侧向反射板发射第一波长光。 0015。
14、 以此方式， 第一波长光可以从目标的前侧发射到反射板。 例如， 即使第一波长光的 一部照射到目标， 来自目标的反射光也不进入成像装置。 因此， 光源部的布置位置的选择范 围宽， 且可以实现照明装置的小型化等。 0016 反射板可包括反射表面， 反射表面设置成垂直于与目标相对的方向， 并且反射表 面被构造为沿所述相对的方向将第二波长光反射到目标。 0017 由此设置的反射面可以将第二波长光反射到目标。例如， 与反射表面相对于与目 标相对的方向倾斜地设置的情况相比， 其能够减少反射板的尺寸。 0018 光源部可包括一其它光源， 该其它光源被构造为将具有不同于第一波长和第二波 长的第三波长的第三波长。
15、光照射到目标。在这种情况下， 照射部可被构造为吸收来自该其 它光源的第三波长光。 此外， 选择部被构造为选择第三波长光作为进入成像装置的光， 使得 利用被照射到目标的第三波长光来捕获目标的图像。 0019 在该照明装置中， 第三波长光从所述其它光源照射到目标。照射部吸收第三波长 光。此外， 选择部选择第三波长光作为进入成像装置的光。因此， 在该照明装置中， 可利用 照射到目标的第三波长光以高准确度捕获目标的图像。 0020 光源部可被构造为将第三波长光从目标的前侧照射到目标。 0021 以此方式， 第三波长光可以被用作反射照明光。 由此， 可通过反射照明以高准确度 来捕获目标的图像。 0022。
16、 所述其蛇光源设置为与所述光源平齐。 0023 由此， 可以实现照明装置的小型化。 0024 根据本公开的另一个实施例， 提供了一种成像装置， 该成像装置包括成像部、 光源 部、 照射部和选择部。 0025 成像部被构造为捕获目标的图像。 0026 光源部包括光源， 光源被构造为发射具有第一波长的第一波长光以用于成像。 0027 照射部被构造为将来自光源的第一波长光转换成具有不同于第一波长的第二波 长的第二波长光， 并将第二波长光照射到目标。 0028 选择部被构造为选择第二波长光作为进入成像部的光， 使得利用被照射到目标的 第二波长光来捕获目标的图像。 0029 根据本公开的又一实施例， 提。
17、供了一种部件安装装置， 该部件安装装置包括支撑 单元、 保持部、 成像部、 光源部、 照射部和选择部。 0030 支撑单元被构造为支撑基板。 0031 保持部被构造为能够保持部件， 并将所保持的部件安装到由支撑单元支撑的基板 上。 0032 成像部被构造为捕获由保持部保持的部件的图像。 0033 该光源部包括光源， 光源被构造为发射具有第一波长的第一波长光以用于成像。 0034 照射部被构造为将来自光源的第一波长光转换为具有不同于第一波长的第二波 长的第二波长光， 并将第二波长光照射到部件。 说 明 书 CN 103365036 A 5 3/14 页 6 0035 选择部被构造为选择第二波长光。
18、作为进入成像部的光， 使得利用被照射到部件的 第二波长光来捕获部件的图像。 0036 照射部在部件的背侧上设置于保持部， 并且照射部可包括反射板， 反射板被构造 为将第一波长光转换成第二波长光并将第二波长光反射到目标。 0037 根据本公开的又一实施例， 提供了一种制造基板的方法， 该方法如下。 0038 由支撑单元支撑基板。 0039 由保持部保持所供应的部件。 0040 发射具有第一波长的第一波长光， 以便用于成像部对由保持部保持的部件成像。 0041 将所发射的第一波长光转换成具有不同于第一波长的第二波长的第二波长光， 并 将第二波长光照射到部件上。 0042 选择第二波长光作为进入成像。
19、部的光， 从而利用被照射到部件的第二波长光来捕 获部件的图像。 0043 基于利用第二波长光捕获的部件的图像来进行部件识别， 并基于部件识别的结果 将由保持部保持的部件安装到由支撑单元支撑的基板上。 0044 如上所述， 根据本公开的实施例， 例如， 其能够以高准确度捕获诸如电子部件的目 标的图像。 0045 参照本公开的如在附图中所示的最佳实施例的以下详细描述， 本公开的这些和其 它目的、 特征和优点将变得更加显而易见。 附图说明 0046 图 1 是示出根据本公开第一实施例的部件安装装置的示意性正视图 ； 0047 图 2 是示出在图 1 中的部件安装装置的平面图 ； 0048 图 3 是。
20、示出在图 1 中的部件安装装置的侧视图 ； 0049 图 4 是以放大状态示出根据本实施例的安装头单元、 成像单元、 照明单元的示意 图 ； 0050 图 5 是示意性地示出根据本实施例的照明单元的立体图 ； 0051 图 6 是根据本实施例的光源部的示意性平面图 ； 0052 图 7 是用于说明作为根据本实施例的照明装置的照明单元的操作的示意图 ； 0053 图 8 是示出例示为比较例的照明单元的示意图 ； 0054 图 9 是用于对根据本实施例的反射板与例示为比较例的反射板进行比较的示意 图 ； 0055 图 10 是用于说明包括根据第二实施例的部件安装装置的照明单元的操作的示意 图 ； 。
21、以及 0056 图 11 是示出包括根据第二实施例的照明单元的光源部的示意性平面图。 具体实施方式 0057 在下文中， 将参照附图描述本公开的实施例。 0058 第一实施例 0059 部件安装装置的构造 说 明 书 CN 103365036 A 6 4/14 页 7 0060 图 1 是示出根据本公开的第一实施例的部件安装装置 100 的示意性正视图。图 2 是示出在图 1 中的部件安装装置 100 的俯视图， 且图 3 是其侧视图。 0061 部件安装装置 100 包括框架 10、 安装头单元 150 和带供给器安装部 20。安装头单 元 150 保持电子部件 （未示出） 并将电子部件安装。
22、到作为安装目标的电路基板 W（以下简称 为基板） 。在带供给器安装部 20 中， 安装有带供给器 90。此外， 部件安装装置 100 包括保持 和传送基板 W 的传送单元 16（见图 2） 。 0062 框架 10 包括设置在底部处的基座 11、 和固定于基座 11 的多个支撑柱 12。该多个 支撑柱 12 的上部设置有例如在图中沿 X 轴的两个 X 梁 （X-beam） 13。 0063 例如， 在两个 X 梁 13 之间， 沿 Y 轴设置有 Y 梁 14。安装头单元 150 连接到 Y 梁 14。 X 梁 13 和 Y 梁 14 分别配备有 X 轴移动机构和 Y 轴移动机构 （图中未示出）。
23、 。这些移动机构 允许安装头单元 150 沿 X 轴和 Y 轴移动。虽在 X 轴移动机构和 Y 轴移动机构通常由滚珠丝 杠驱动机构构成， 但是也可以采用其它机构， 诸如皮带驱动机构。 0064 可设置多个安装头单元 150， 以便主要为了提高生产力。在这种情况下， 多个安装 头单元 150 在 X 轴方向和 Y 轴方向独立地被驱动。 0065 如图 2 所示， 带供给器安装部 20 设置在部件安装装置 100 的前侧 （图 2 中的下侧） 和后侧 （图 2 中的上侧） 上。附图中的 Y 轴方向是部件安装装置 100 的前后方向。 0066 在各个带供给器安装部 20 中， 沿 X 轴方向布置并。
24、安装有多个带供给器 90。例如， 在带供给器安装部 20 中可安装 40 至 70 个带供给器 90。在本实施例中， 可以安装总共 116 个带供给器 90（位于前侧上的 58 个和位于后侧上的 58 个） 。 0067 需注意， 虽然带供给器安装部 20 设置在部件安装装置 100 的前侧和后侧两者上， 但是带供给器安装部 20 可设置在前侧和后侧中的任一个上。 0068 带供给器 90 在 Y 轴方向上形成为长的。虽然在图中未详细示出， 但是带供给器 90 包括卷轴和容纳电子部件 （诸如电容器、 电阻器、 发光二极管 （LED） ） 的载带， 且集成电路 （IC） 封装被缠绕在卷轴上。此外。
25、， 带供给器 90 包括用于以逐步的方式供给载带的机构。对 于每个逐步供给， 电子部件被一个接一个供给。 0069 如图2所示， 供应窗口91形成于带供给器90的盒 （cassette） 的端部的上表面中。 通过供应窗口 91 来供应电子部件。布置有多个窗口 91 的区域 （当布置有多个带供给器 90 时， 该区域沿 X 轴方向形成） 用作电子部件的供应区域 S。 0070 需注意， 在带供给器 90 的载体带中， 容纳有大量相同类型的电子部件。在待安装 于带供给器安装部 20 中的带供给器 90 之中， 相同类型的电子部件可以被容纳在多个带供 给器 90 上。 0071 在部件安装装置 10。
26、0 的沿 Y 轴方向的中心部处， 设置有传送单元 16。传送单元 16 沿 X 轴方向传送基板 W。例如， 如图 2 所示， 传送单元 16 的在沿 X 轴方向的近乎中心处的区 域 （在该区域上， 基板 W 由传送单元 16 支撑） 用作安装区域 M。安装区域 M 是这样的区域， 即， 在该区域中， 通过接近该区域的安装头单元 150 来进行电子部件的安装。 0072 安装头单元 150 包括支撑件 30、 基轴 35、 和转台 （turret） 50。支撑件 30 连接到 Y 梁 14 的 Y 轴移动机构。基轴 35 用作由支撑件 30 支撑的主转动轴。转台 50 固定到基轴 35 的下端部。
27、。此外， 安装头单元 150 包括连接到转台 50 的外周部的多个喷嘴单元 70。例 如， 设置有 16 个喷嘴单元 70。喷嘴单元 70 的数量不受限制。 说 明 书 CN 103365036 A 7 5/14 页 8 0073 需注意， 在支撑件 30 可连接到 X 轴移动机构。在这种情况下， Y 轴移动机构沿 Y 轴 方向移动 X 轴移动机构和安装头单元 150。 0074 如上所述， 安装头单元 150 在 X 轴方向和 Y 轴方向可移动。喷嘴单元 70 在供应区 域 S 与安装区域 M 之间移动。此外， 喷嘴单元 70 在安装区域 M 内沿 X 轴方向和 Y 轴方向移 动， 以便执行。
28、安装区域 M 中的安装。 0075 当转动转台 50 时， 安装头单元 150 会在单个步骤中使多个喷嘴单元 70 分别连续 保持多个电子部件。此外， 被多个喷嘴单元 70 抽吸的多个电子部件连续地安装在一个基板 W 上。 0076 虽然传送单元 16 典型地是带式传送机， 但是本公开不限于此， 且也可以采用任何 输送单元， 例如辊型、 其中支撑基板 W 的支撑机构可滑动地移动的类型、 或者非接触型。传 送单元 16 包括传送带部 16a 和沿 X 轴方向放置的导轨 16b。由于提供了导轨 16b， 所以可 传送基板 W， 同时可校正所传送的基板 W 的在 Y 轴方向上的错位。 0077 升降。
29、机构 （未示出） 连接到传送带部 16a。在传送带部 16a 上设置基板 W。在该状 态下， 通过在安装区域M提升传送带部16a， 基板W可被保持， 同时被夹持在传送带部16a和 导轨 16b 之间。在这种情况下， 传送带部 16a 和导轨 16b 起到用于基板的保持单元的作用。 即， 保持部形成传送单元 16 的一部分。 0078 此外， 根据本实施例的部件安装装置 100 包括成像单元 300， 成像单元包括多个摄 像头。成像单元 300 包括用于对由喷嘴单元 70 抽吸的电子部件成像的第一摄像头 52 和第 二摄像头 53。第一摄像头 52 通过镜 （mirror， 反射镜） 54 从下。
30、面对抽吸的电子部件成像。 第二摄像头 53 从侧面对抽吸的电子部件成像。基于由第一摄像头 52 和第二摄像头 53 捕 获的图像， 执行部件识别。 0079 基于由第一摄像头52和第二摄像头53捕获的图像， 识别电子部件的抽吸状态。 例 如， 识别电子部件是否正常地由喷嘴单元 70 抽吸。此外， 识别由喷嘴单元 70 抽吸的电子元 器件的定向等。可替换地， 例如也可以识别抽吸的电子部件是否有缺陷。 0080 此外， 成像单元 300 包括用于检测被传送到安装区域 M 的基板 W 的准确位置的基 板摄像头 （未示出） 。基板摄像头从上方对基板 W 成像。根据所捕获的图像来识别设置于基 板 W 的。
31、对准标记。然后， 基于对准标记的位置， 来检测基板 W 的位置。在检测到基板 W 的精 确位置之后， 安装头单元 150 开始电子部件的安装操作。 0081 第一摄像头 52、 第二摄像头 53 和镜 54 由连接到 X 轴移动机构和 Y 轴移动机构的 支撑台 36 来支撑。因此， 第一摄像头 52、 第二摄像头 53 等可与安装头单元 150 一体地移 动。此外， 基板摄像头也连接到 X 轴移动机构和 Y 轴移动机构， 并可与安装头单元 150 一体 地移动。 0082 第一摄像头 52、 第二摄像头 53 和基板摄像头由例如电荷耦合器件 （CCD） 或互补金 属氧化物半导体 （CMOS） 。
32、构成。可以使用任何其它摄像头装置。此外， 在本实施例中， 作为 第一摄像头 52 和第二摄像头 53， 可使用捕获单色图像的摄像头。然而， 可以使用能够捕获 彩色图像的摄像头。 0083 在本实施例中， 为了使第一摄像头 52 对电子部件成像， 可以使用作为根据本实施 例的照明装置的照明单元。将在后面详细描述照明单元。需注意， 在本实施例中， 由喷嘴单 元 70 抽吸的电子部件对应于目标。此外， 第一摄像头 52 对应于成像装置。在整个部件安 说 明 书 CN 103365036 A 8 6/14 页 9 装装置 100 中， 第一摄像头 52 对应于成像部。 0084 图4是以放大状态示出根。
33、据本实施例的安装头单元150、 成像单元300和照明单元 的示意图。 0085 参考图 4， 如上所述， 安装头单元 150 包括支撑件 30、 由支撑件 30 支撑的基轴 35， 和设置于基轴 35 的下端部分的转台 50。在转台 50 的外周部分中， 支撑多个喷嘴单元 70。 在以基轴 35 为中心的圆周中以相等的间隔设置多个喷嘴单元 70。此外， 在图 4 中， 将部分 地省略喷嘴单元 70 的说明 （省略了定位在图中的前侧上的喷嘴单元 70） 。 0086 如图 4 所示， 支撑件 30 正交于竖直方向 （Z 轴方向） 地支撑基轴 35。支撑件 30 通 过轴承等可转动地支撑基轴 35。
34、 的上部。在支撑件 30 的下部侧上， 带轮 37 固定于基轴 35。 带轮 37 通过带 38 连接到带轮 39， 带轮 39 固定于电机的输出轴 （未示出） 。因此， 电机的转 动驱动驱动基轴 35。 0087 转台 50 以基轴 35 为转动的中心轴与基轴 35 一体地转动。转台 50 具有的形状使 得直径沿基轴 35 的方向朝向支撑件 30（向上） 的位置减小。即， 转台 50 具有通过将顶点 部分从基本上为圆锥形状中移除来获得的形状。因此， 转台 50 的外周表面 55 具有逐渐变 细的形状。 0088 多个喷嘴单元 70 沿外周表面 55 的平面方向被可转动地设置于转台 50 的外。
35、周部 分。因此， 喷嘴单元 70 被设置成每个都具有相对于基轴 35 倾斜的纵向方向 L。喷嘴单元 70 中的每个均以一角度设置， 使得位于其相对侧中的上端部 72 比末端部 78（该末端部保 持电子部件 95） 更接近基轴 35。 0089 在本实施例中， 喷嘴单元 70 对应保持部， 该保持部保持供应至供应区域 S 的多个 电子部件 95 并将所保持的电子部件 95 安装到由支撑单元支撑的基板 W 上。 0090 喷嘴单元 70 中的每个都包括喷嘴 71 和覆盖喷嘴 71 的外周的喷嘴保持件 （未示 出） 。喷嘴保持件通过轴承 （未示出） 在喷嘴保持件的两个端部处可转动地连接到转台 50。。
36、 0091 在喷嘴 71 的末端部 78 中， 形成有孔 （未示出） 。孔在末端部 78 中的尺寸被设定成 保持电子部件例如小于 1mm*1mm 的尺寸。也可以设置多个孔。 0092 在喷嘴 71 的上部上， 设置有螺旋弹簧 74。例如， 喷嘴驱动单元 （未示出） 的加压辊 克服螺旋弹簧74的偏置力向下推动喷嘴71的上端部72。 当喷嘴71在喷嘴保持件内移动和 下降时， 螺旋弹簧74收缩。 当由加压辊施加的压力被释放时， 喷嘴71会由于螺旋弹簧74的 回复力而上升。作为喷嘴驱动单元， 例如， 也可以使用如日本专利申请公开第 2005-150638 号中所示的公知机构。 0093 基轴 35 由。
37、支撑件 30 支撑， 使得多个喷嘴单元 70 的至少一个喷嘴单元 70 的长度 方向沿竖直方向 （Z 轴方向） 。在多个喷嘴单元 70 之中， 被设置成具有沿 Z 轴方向的长度方 向的一个喷嘴单元为被选择用于将电子部件安装在基板 W 上的喷嘴单元 70A。 0094 通过转台 50 的转动， 任何一个喷嘴单元 70A 都可以被选择。所选择的喷嘴单元 70A 接近带供给器 90 的供应窗口 91， 抽吸并保持电子部件， 移到安装区域 M， 然后下降。以 此方式， 电子部件被安装在基板 W 上。 0095 被设置为具有沿 Z 轴方向的长度方向 L 的喷嘴部 70A 的位置被称为喷嘴操作位 置。位于。
38、喷嘴操作位置处的喷嘴单元 70A 抽吸电子部件并将电子部件安装在安装区域 M 中 的基板上。 说 明 书 CN 103365036 A 9 7/14 页 10 0096 在基轴 35 的靠近转台 50 的位置处， 设置有用于转动多个喷嘴单元 70 的驱动齿轮 85。驱动齿轮 85 被设置为可相对于基轴 35 转动。转动驱动机构 （未示出） 驱动驱动齿轮 85 以独立于基轴 35 转动。 0097 多个喷嘴单元 70 中的每个都设置有与驱动齿轮 85 啮合的齿轮 79。齿轮 79 被固 定到喷嘴单元 70， 使得安装有齿轮 79 的喷嘴单元 70 的长度方向 L 沿轴向方向。当驱动齿 轮 85 。
39、转动时， 驱动齿轮 85 的转动力被传递到每个齿轮 79， 且使喷嘴单元 70 转动。例如， 当 校正所抽吸的电子部件 95 的定向时， 使喷嘴单元 70 转动。 0098 需注意， 被设置到喷嘴单元 70 的齿轮 79 可以在喷嘴单元 70 的长度方向 L 上被布 置为相互偏移。例如， 齿轮 79 以 Z 字形方式在纵向方向 L 上被布置为互相偏移。由此， 可 以增加喷嘴单元 70 的布置密度， 并且可以实现安装头单元 150 的小型化。 0099 如图 4 所示， 基轴 35 相对于竖直方向倾斜地被支撑， 且因此位于喷嘴操作位置处 的喷嘴单元 70A 处于在竖直方向上的最低位置处。位于相对。
40、于喷嘴操作位置的 180 度的位 置处的喷嘴单元 70 处于在竖直方向上的最高位置处。 0100 与喷嘴操作位置相对的位置被称为成像位置。此外， 位于成像位置处的喷嘴单元 70 被称为喷嘴单元 70B。位于成像位置处的喷嘴单元 70B 由第一摄像头 52 和第二摄像头 53 成像。 0101 在成像位置处， 喷嘴单元 70B 位于竖直方向上的高位置处， 并且因此其对于第一 摄像头52和第二摄像头53执行成像来说变得容易， 且可容易地检测到部件的保持状态等。 此外， 对喷嘴单元 70B 成像的第一摄像头 52 和第二摄像头 53 的安装等也变得容易。第一 摄像头 52 和第二摄像头 53 的安装。
41、位置的选择范围被扩大， 且通过适当地设置安装位置可 实现部件安装装置 100 的小型化。 0102 第一摄像头 52 从下面对位于成像位置处的由喷嘴单元 70B 抽吸的电子部件 95 成 像。在本实施例中， 如图 4 所示， 第一摄像头 52 被设置为在沿 Z 轴方向高于安装头单元 150 的位置处向下定向。在第一摄像头 52 的下方设置有镜 54。第一摄像头 52 的成像光轴 P 通 过镜 54 沿喷嘴单元 70B 的纵向方向引导至电子部件 95 的下部。基于沿成像光轴 P 进入第 一摄像头 52 的光， 产生电子部件 95 的图像。 0103 需注意， 在本实施例中， 由喷嘴单元 70B 。
42、抽吸的电子部件 95 的下侧是指电子部件 95的前侧。 即， 在沿喷嘴单元70B的长度方向的定向中， 喷嘴单元70B的相对侧变成所抽吸 的电子部件 95 的前侧。因此， 第一摄像头 52 捕获电子部件 95 的前侧的图像。在喷嘴单元 70B 的纵向方向上， 与前侧相对的一侧变成背侧。即， 在沿喷嘴单元 70B 的长度方向的定向 中， 定位有喷嘴单元 70B 的一侧变成所抽吸的电子部件 95 的背侧。 0104 第二摄像头 53 从侧面对位于成像位置处的由喷嘴单元 70B 所抽吸的电子部件 95 成像。在本实施例中， 如图 4 所示， 第二摄像头 53 被设置为面向电子部件 95 的侧表面。第 。
43、二摄像头 53 的成像光轴 Q 被使得直接对应于电子部件 95 的侧表面。侧表面光源 56 设置 在成像光轴 Q 上。利用来自侧表面光源 56 的光来捕获电子部件 95 的侧表面的图像。作为 侧表面光源 56， 例如可使用 LED。 0105 照明装置的构造 0106 将描述作为根据本实施例的照明装置的照明单元 400。图 5 是示意性地示出根据 本实施例的照明单元 400 的立体图。照明单元 400 主要用于对电子部件 95 成像的第一摄 说 明 书 CN 103365036 A 10 8/14 页 11 像头 52。需注意， 上述侧表面光源 56 可作为照明单元 400 的一部分来操作。 。
44、0107 照明单元400包括光源部402， 光源部包括光源401， 光源发射第一波长光L1， 以便 用于第一摄像头 52 来对电子部件 95 成像。图 6 是示出根据本实施例的光源部 402 的示意 平面图。 0108 光源部 402 包括支撑部 403、 形成于支撑部 403 中的开口 404、 和设置在开口 404 周围的多个光源 401。支撑部 403 是板状构件， 并具有圆形形状。作为支撑部 403， 可使用 形成有布线 （未示出） 的基板， 且材料、 种类等不受限制。此外， 支撑部 403 的形状并不限于 圆形， 并且可以任意地设计。此外， 也可以任意地选择开口 404 的形状、 尺。
45、寸等。 0109 作为根据本实施例的光源 401， 可使用发光二极管 （LED） 。多个光源 401 发射具有 约 940nm 的波长的近红外光来作为第一波长光 L1。需注意， 光源 401 的数量不受限制。此 外， 光源 401 不限于 LED。 0110 如图 4 等所示， 光源部 402 位于这样的位置， 即， 使得第一摄像头 52 的成像光轴 P 通过开口 404。此外， 光源部 402 位于这样的位置， 即， 使得来自光源 401 的第一波长光 L1 主要在基本上与成像光轴 P 相同的方向发射。在本实施例中， 支撑部 403 被设置为基本上 与成像光轴 P 正交。 0111 从光源 。
46、401 发射的第一波长光 L1 被镜 54 反射， 并发射到电子部件 95。即， 根据本 实施例的光源部 402 包括镜 54， 并将第一波长光 L1 从电子部件 95 的前侧发射到电子部件 95 和反射板 451， 这将在后面描述。 0112 此外， 照明单元 400 包括照射部 450， 该照射部具有来自光源 401 的第一波长的 第一波长光 L1 转换成具有不同于第一波长的第二波长的第二波长光 L2， 并将第二波长光 L2 照射到电子部件 95。在本实施例中， 照射部 450 将第二波长光 L2 从电子部件 95 的背 侧照射到电子部件 95。因此， 第二波长光 L2 用作透射照明光 （。
47、透过照明光， transmitted illumination light） 。 其结果是， 第一摄像头52通过透射照明而捕获电子部件95的图像。 0113 如图 5 所示， 根据本实施例的照射部 450 位于电子部件 95 的背侧上， 并包括反射 板 451， 反射板将第一波长光 L1 转换成第二波长光 L2 并将第二波长光 L2 反射到电子部件 95。通过反射板 451 将从电子部件 95 的前侧发射的第一波长光 L1 转换成第二波长光 L2， 且第二波长光 L2 被从背侧照射到电子部件 95。照射到电子部件 95 的第二波长光 L2 通过 镜 54 在第一摄像头的成像光轴 P 上行进。 。
48、0114 反射板451通常作为反射器被安装到喷嘴单元70。 然而， 本公开不限于该构造， 且 反射板 451 可以独立于喷嘴单元 70 而设置。 0115 根据本实施例的反射板 451 由含有由近红外光激发的红外线 （IR） 激发磷光体的 构件形成， 并可发射可见光。作为 IR 激发磷光体， 例如， 使用稀土氧硫化物磷光体或稀土氧 化物磷光体。除此之外， 还可以适当地使用公知的 IR 激发磷光体。例如， 通过将 IR 激发磷 光体的粉末混合到透明的树脂或玻璃中而获得的固态磷光体， 来用作反射板 451。 0116 在本实施例中， 具有约 940nm 的波长的第一波长光 L1 由反射板 451 。
49、被转换成作为 波长为约 525nm 的绿光的第二波长光 L2。该可见光 L2 从电子部件 95 的背侧照射。需注 意， 在转换之后待被照射的第二波长光L2的波长并不局限于此。 例如， 作为第二波长光L2， 可发射具有波长为约 480nm 的蓝色光或波长为约 660nm 的红光。通过适当地选择 IR 激发 磷光体， 可设置第二波长光 L2 的波长。 说 明 书 CN 103365036 A 11 9/14 页 12 0117 根据本实施例的照明单元 400 包括选择部， 该选择部选择作为进入第一摄像头 52 的光的第二波长光 L2， 从而使得利用照射到电子部件 95 的第二波长光 L2 来对电子部件 95 的图像成像。 0118 在本实施例中， 作为选择部， 使用波长选择滤波器 470（见图 7） 。在本实施例中。