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1、(10)申请公布号 CN 103374215 A (43)申请公布日 2013.10.30 CN 103374215 A *CN103374215A* (21)申请号 201210123835.7 (22)申请日 2012.04.25 C08L 69/00(2006.01) C08K 13/04(2006.01) C08K 7/06(2006.01) B29C 39/02(2006.01) B29C 41/08(2006.01) (71)申请人 深圳欧菲光科技股份有限公司 地址 518106 广东省深圳市宝安区公明镇松 白公路华发路段欧菲光科技园 (72)发明人 简海亮 刘涛 (74)专利代理。
2、机构 广州华进联合专利商标代理 有限公司 44224 代理人 邓云鹏 (54) 发明名称 晶圆环及其制造方法 (57) 摘要 一种晶圆环， 所述晶圆环的材料由质量百分 比为6081的聚碳酸酯、 18.538.5的 碳纤维以及 0.5 1.5的助剂构成 ； 本发明还 涉及一种晶圆环的制造方法， 包括以下步骤 ： 将 包含聚碳酸酯、 碳纤维以及助剂的原料搅拌均匀 ； 去除原料本身的水分 ； 熔化去除水分后的原料 ； 及将熔化后的原料注入模具中成型。上述晶圆环 的制造方法制造的晶圆环属于塑料制品， 成本较 传统不锈钢材质晶圆环低， 同时重量较传统不锈 钢材质晶圆环轻， 进行异地运输时极大程度节省 了。
3、运输成本。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 3 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书3页 (10)申请公布号 CN 103374215 A CN 103374215 A *CN103374215A* 1/1 页 2 1. 一种晶圆环， 其特征在于， 所述晶圆环的材料由质量百分比为 60 81的聚碳酸 酯、 18.5 38.5的碳纤维以及 0.5 1.5的助剂构成。 2. 一种晶圆环的制造方法， 其特征在于， 包括以下步骤 ： 将包含质量百分比为6081的聚碳酸酯、 18.538.5的碳纤维以及0.5 1.5的助剂的原料搅拌均。
4、匀 ； 去除所述原料中包含的水分 ； 熔化去除水分后的原料 ； 及 将熔化后的原料注入模具中成型， 得到晶圆环。 3. 根据权利要求 2 所述的晶圆环的制造方法， 其特征在于， 所述原料为质量百分比 70的聚碳酸酯、 质量百分比 29的碳纤维以及质量百分比 1的助剂。 4. 根据权利要求 2 所述的晶圆环的制造方法， 其特征在于， 所述助剂为稳定剂以及润 滑剂。 5. 根据权利要求 2 所述的晶圆环的制造方法， 其特征在于， 所述去除搅拌后原料的水 分的步骤为将搅拌后的原料在 100 125的温度下烘烤 2 3 小时。 6. 根据权利要求 2 所述的晶圆环的制造方法， 其特征在于， 所述熔化去。
5、除水分后的原 料的步骤为将去除水分后的原料在 295 320的温度下加热 28 32 秒。 7. 根据权利要求 2 所述的晶圆环的制造方法， 其特征在于， 所述将熔化后的原料注入 模具中成型的步骤为 ： 向模具内喷射原料， 喷射初始压力为85105Mpa， 时间19秒， 喷射末端压力为55 75Mpa， 时间 1 9 秒 ； 转保压， 时间 14 秒 ； 一段保压， 压力为 35 55Mpa， 时间 1 3 秒 ； 冷却， 通过 70以上温度的热冷却液冷却。 8. 根据权利要求 7 所述的晶圆环的制造方法， 其特征在于， 所述喷射初始压力为 95Mpa， 所述的喷射末端压力为 65Mpa。 9。
6、. 根据权利要求 7 所述的晶圆环的制造方法， 其特征在于， 所述一段保压的压力为 45Mpa。 权 利 要 求 书 CN 103374215 A 2 1/3 页 3 晶圆环及其制造方法 技术领域 0001 本发明涉及精密部件生产辅料， 特别是涉及一种晶圆环及其制造方法。 背景技术 0002 晶圆环是 ASM 组立机、 DISCO/ADT 切割机、 晶圆贴片机等精密机器通用的辅助物 料， 主要作为晶圆、 滤光片等精密部件生产过程中的摆放载体， 起运输、 存储和保护主产品 的作用。 0003 传统的晶圆环使用不锈钢材质， 但是不锈钢材质市售单价高， 大批量使用成本高 ； 并且不锈钢材质晶圆环重量。
7、大， 作为包装材料， 异地运输费用高。 发明内容 0004 基于此， 有必要针对传统不锈钢晶圆环重量大、 成本高的问题， 提供一种重量较 轻， 成本较低的晶圆环及其制造方法。 0005 一种晶圆环， 所述晶圆环的材料由质量百分比为 60 81的聚碳酸酯、 18.5 38.5的碳纤维以及 0.5 1.5的助剂构成。 0006 本发明还涉及一种晶圆环的制造方法， 包括以下步骤 ： 0007 将包含质量百分比为 60 81的聚碳酸酯、 18.5 38.5的碳纤维以及 0.5 1.5的助剂的原料搅拌均匀 ； 0008 去除所述原料中包含的水分 ； 0009 熔化去除水分后的原料 ； 及 0010 将熔。
8、化后的原料注入模具中成型， 得到晶圆环。 0011 在其中一个实施例中， 所述原料为质量百分比 70的聚碳酸酯、 质量百分比 29 的碳纤维以及质量百分比 1的助剂。 0012 在其中一个实施例中， 所述助剂为稳定剂以及润滑剂。 0013 在其中一个实施例中， 所述去除搅拌后原料的水分的步骤为将搅拌后的原料在 100 125的温度下烘烤 2 3 小时。 0014 在其中一个实施例中， 所述熔化去除水分后的原料的步骤为将去除水分后的原料 在 295 320的温度下加热 28 32 秒。 0015 在其中一个实施例中， 所述将熔化后的原料注入模具中成型的步骤为 ： 0016 向模具内喷射原料， 喷。
9、射初始压力为85105Mpa， 时间19秒， 喷射末端压力为 55 75Mpa， 时间 1 9 秒 ； 0017 转保压， 时间 14 秒 ； 0018 一段保压， 压力为 35 55Mpa， 时间 1 3 秒 ； 0019 冷却， 通过 70以上温度的热冷却液冷却。 0020 在其中一个实施例中， 所述喷射初始压力为 95Mpa， 所述的喷射末端压力为 65Mpa。 说 明 书 CN 103374215 A 3 2/3 页 4 0021 在其中一个实施例中， 所述一段保压的压力为 45Mpa。 0022 上述晶圆环的制造方法制造的晶圆环属于塑料制品， 成本较传统不锈钢材质晶圆 环低， 不锈钢。
10、制晶圆环随订货数量大小， 按市售单价 10 元以上， 本发明制造的晶圆环成本 价约 4 元 ； 0023 同时， 本发明的晶圆环重量较传统不锈钢材质晶圆环轻， 不锈钢制晶圆环单重 150g， 新型晶圆环单重50g， 以25pcs/盒包装， 每盒运输重量减少2.5kg， 进行异地运输时极 大程度节省了运输成本。 具体实施方式 0024 一实施方式的晶圆环， 所述晶圆环的材料由质量百分比为 60 81的聚碳酸 酯、 18.5 38.5的碳纤维以及 0.5 1.5的助剂构成。 0025 一实施方式的一种晶圆环的制造方法， 包括以下步骤 ： 0026 将包含质量百分比为 60 81的聚碳酸酯、 18.。
11、5 38.5的碳纤维以及 0.5 1.5的助剂的原料搅拌均匀 ； 0027 去除所述原料中包含的水分 ； 0028 熔化去除水分后的原料 ； 及 0029 将熔化后的原料注入模具中成型， 得到晶圆环。 0030 通过上述方法制造的晶圆环属于塑料制品， 成本较金属晶圆环低， 不锈钢制晶圆 环随订货数量大小， 按市售单价 10 元以上， 本发明制造的晶圆环成本价约 4 元 ； 0031 并且， 重量较传统不锈钢材质晶圆环轻， 不锈钢制晶圆环单重 150g， 新型晶圆环单 重 50g， 以 25pcs/ 盒包装， 每盒运输重量减少 2.5kg， 进行异地运输时极大程度节省运输成 本。 0032 此外。
12、， 保证了晶圆环较高的强度和硬度， 耐酸碱腐蚀性以及温抗形变能力强， 与不 锈钢环物理性能相近， 能至少承受强碱、 酸性超声波清洗 1H 和 70 30min 烘烤制程 ； 并且 在注塑时可以降低聚碳酸酯熔体的粘性， 使熔体的流动性明显提高， 提高了注塑的效率和 质量。同时拥有与金属相当的高防静电性能， 防静电性能 105/ 平方， 生产中不易产生 静电吸附粉尘， 符合无尘环境使用标准， 使晶圆环可以替代不锈钢晶圆环。 0033 在其中一个实施例中， 所述原料为质量比 70的聚碳酸酯、 质量比 29的碳纤维 以及质量比 1的助剂， 使晶圆环的强度、 硬度、 耐酸碱腐蚀性和温抗形变性等物理性能，。
13、 以 及防静电性能都达到一个较佳的状态， 使之在作为滤光片的包装载体、 切割载体等应用中， 可以替代不锈钢晶圆环， 达到更好的效果。 0034 在其中一个实施例中， 所述助剂为稳定剂以及润滑剂。 0035 在其中一个实施例中， 所述去除搅拌后原料的水分的步骤为将搅拌后的原料在 100 125的温度下烘烤 2 3 小时， 以充分去除水分。 0036 在其中一个实施例中， 所述熔化去除水分后的原料的步骤为将去除水分后的原料 在 295 320的温度下加热 28 32 秒， 以充分溶化原料。 0037 在其中一个实施例中， 所述将熔化后的原料注入模具中成型的步骤为 ： 0038 向模具内喷射原料， 。
14、喷射初始压力为85105Mpa， 时间19秒， 喷射末端压力为 55 75Mpa， 时间 1 9 秒 ； 说 明 书 CN 103374215 A 4 3/3 页 5 0039 转保压， 时间 14 秒 ； 0040 一段保压， 压力为 35 55Mpa， 时间 1 3 秒 ； 0041 冷却， 通过 70以上温度的热冷却液冷却。 0042 在其中一个实施例中， 所述喷射初始压力为 95Mpa， 所述的喷射末端压力为 65Mpa。 0043 在其中一个实施例中， 所述一段保压的压力为 45Mpa， 较佳的保证了晶圆环的质 量。 0044 实施例 1 0045 将质量比 60的聚碳酸酯、 38.。
15、5的碳纤维以及 1.5的稳定剂以及润滑剂搅 拌均匀 ； 在 100 125的温度下烘烤 2 3 小时， 以去除原料本身的水分 ； 将原料在 295320的温度下加热2832秒， 以熔化原料 ； 将熔化后的原料注入模具中成型 ： 向 模具内喷射原料， 喷射初始压力为85Mpa， 时间9秒， 喷射末端压力为75Mpa， 时间1秒 ； 转保 压， 时间 14 秒 ； 一段保压， 压力为 35Mpa， 时间 3 秒 ； 冷却， 通过 70以上温度的热冷却液冷 却。 0046 实施例 2 0047 将质量比 81的聚碳酸酯、 18.5的碳纤维以及 0.5的稳定剂以及润滑剂搅 拌均匀 ； 在 100 12。
16、5的温度下烘烤 2 3 小时， 以去除原料本身的水分 ； 将原料在 295320的温度下加热2832秒， 以熔化原料 ； 将熔化后的原料注入模具中成型 ： 向 模具内喷射原料， 喷射初始压力为 105Mpa， 时间 1 秒， 喷射末端压力为 55Mpa， 时间 9 秒 ； 转 保压， 时间 14 秒 ； 一段保压， 压力为 55Mpa， 时间 1 秒 ； 冷却， 通过 70以上温度的热冷却液 冷却。 0048 实施例 3 0049 将质量比 70的聚碳酸酯、 29的碳纤维以及 1的稳定剂以及润滑剂搅拌均 匀 ； 在 100 125的温度下烘烤 2 3 小时， 以去除原料本身的水分 ； 将原料在。
17、 295 320的温度下加热 28 32 秒， 以熔化原料 ； 将熔化后的原料注入模具中成型 ： 向模具内 喷射原料， 喷射初始压力为 95Mpa， 时间 5 秒， 喷射末端压力为 65Mpa， 时间 5 秒 ； 转保压， 时 间 14 秒 ； 一段保压， 压力为 45Mpa， 时间 2 秒 ； 冷却， 通过 70以上温度的热冷却液冷却。 0050 以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式， 其描述较为具体和详细， 但并 不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是， 对于本领域的普通技术人员 来说， 在不脱离本发明构思的前提下， 还可以做出若干变形和改进， 这些都属于本发明的保 护范围。因此， 本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。 说 明 书 CN 103374215 A 5 。