掩模保持器.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103328215 A (43)申请公布日 2013.09.25 CN 103328215 A *CN103328215A* (21)申请号 201280005463.6 (22)申请日 2012.09.11 2011-267970 2011.12.07 JP B41F 15/36(2006.01) B41F 15/08(2006.01) H05K 3/34(2006.01) (71)申请人 松下电器产业株式会社 地址 日本大阪府 (72)发明人 大川浩二 末安佑介 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 卢亚静 (54) 发明名称 掩模保持器。

2、 (57) 摘要 提供了一种掩模保持器， 用于将掩模保持在 基板保持构件的上方， 掩模中形成有对应于电极 配置的图案孔， 所述掩模保持器用在用于将焊膏 印刷到基板上的电极上的丝网印刷机中。该掩模 保持器具有 ： 操作旋钮 (42)， 能够相对于用于支 撑从前方水平插入在印刷机中的掩模的左右边缘 的左右边缘支撑构件 (31) 在前后方向上进行移 动操作 ； 杆构件 (45)， 每个杆构件的端部连接到 对应的操作旋钮 (42) ； 后缘止挡器 (47)， 经由杆 构件 (45) 在前后方向上移动， 并通过由操作旋钮 (42) 操作的杆构件 (45) 相对于左右边缘支撑构 件 (31) 的固定操作与。

3、掩模 (15) 的后缘接触 ； 和 前缘止挡器(53)， 经由杆构件(45)在前后方向上 移动， 并通过由操作旋钮(42)操作的杆构件(45) 相对于左右边缘支撑构件 (31) 的固定操作与掩 模 (15) 的前缘接触。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2013.07.15 (86)PCT申请的申请数据 PCT/JP2012/005766 2012.09.11 (87)PCT申请的公布数据 WO2013/084388 JA 2013.06.13 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 8 页 附图 13 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专。

4、利申请 权利要求书1页 说明书8页 附图13页 (10)申请公布号 CN 103328215 A CN 103328215 A *CN103328215A* 1/1 页 2 1. 一种在丝网印刷机中用于使掩模保持与基板接触的掩模保持器， 包括 ： 左右边支撑部， 支撑从前方水平插入的掩模的左右两边 ； 操作构件， 能够相对于左右边支撑部在前后方向上进行移动操作 ； 杆构件， 设置成沿着左右边支撑部的侧部在前后方向上延伸， 使得该杆构件的前端连 结到操作构件 ； 后缘止挡器， 连结到杆构件的后端， 并通过操作构件相对于左右边支撑部在前后方向 上的移动操作而通过杆构件在前后方向上移动， 并通过由操。

5、作构件进行的将杆构件固定到 左右边支撑部的固定操作而固定到左右边支撑部， 并抵接于左右两边由左右边支撑部支撑 的掩模的后缘 ； 和 前缘止挡器， 抵接于左右两边由左右边支撑部支撑的掩模的前缘。 2. 如权利要求 1 的掩模保持器， 其中， 前缘止挡器能够在设置于左右边支撑部上以在 前后方向上延伸的轴构件上滑动， 并构造成 ： 在将掩模插入到左右边支撑部中以及从左右 边支撑部收回掩模时， 通过使前缘止挡器相对于轴构件摆动， 而能够缩回在前缘止挡器不 干涉掩模的位置。 权 利 要 求 书 CN 103328215 A 2 1/8 页 3 掩模保持器 技术领域 0001 本发明涉及一种掩模保持器， 。

6、用于在丝网印刷机中保持与基板接触的掩模， 该丝 网印刷机用于使刮板在掩模上滑动并将诸如焊料的膏剂印刷在基板上。 背景技术 0002 丝网印刷机是用于将诸如焊料的膏剂印刷在被保持在基板保持部中的基板上的 电极上的设备， 并被构造成使得形成有与基板的电极的布置一致的图案孔的掩模与基板接 触以使电极与图案孔垂直匹配， 然后使刮板在被供应有膏剂的掩模上滑动， 从而膏剂被刮 擦并通过掩模的图案孔转印到基板的电极。 0003 在这种丝网印刷机中， 掩模被形成在基板保持部上方的掩模保持器保持成水平姿 势。掩模保持器构造成具有 ： 左右边支撑部， 从操作者观察时， 用于支撑掩模的左右两边 ； 后缘止挡器， 设。

7、置在左右边支撑部的后部， 并抵接在左右两边由左右边支撑部支撑的掩模 的后缘上 ； 和前缘止挡器， 设置在左右边支撑部的前部， 并抵接在掩模的前缘上 ( 例如， 专 利文献 1)。 0004 由于必须根据作为丝网印刷目标的基板的种类等来改变掩模， 因此掩模保持器的 左右边支撑部构造成使得用于支撑掩模的左右两边的一对导轨形构件之间的距离可以根 据掩模的左右方向上的尺寸而改变， 并且前缘止挡器的前后方向上的位置也可以根据掩模 的尺寸而改变。此外， 一些掩模保持器可以使后缘止挡器的前后方向上的位置改变。 0005 现有技术文献 0006 专利文献 0007 专利文献 1 ： JP-A-2011-189。

8、670 发明内容 0008 本发明要解决的问题 0009 然而， 由于常规的掩模保持器构造成， 在改变后缘止挡器的位置时， 分别将后缘止 挡器和前缘止挡器拧入左右边支撑部中， 因此操作者必须移至丝网印刷机的背面并将后缘 止挡器从左右边支撑部中拆下并将其附接到左右边支撑部， 而且必须留出通常的作业位 置， 而且还可能掉落或丢失部件 ( 例如， 后缘止挡器本身或后缘止挡器的附接螺钉 )， 从而 存在掩模的安装作业不能容易进行的问题。 0010 因此， 本发明的目的是提供一种能够容易进行掩模的安装作业的掩模保持器。 0011 解决问题的手段 0012 本发明的掩模保持器是在丝网印刷机中用于使掩模保持。

9、与基板接触的掩模保持 器， 包括 ： 左右边支撑部， 支撑从前方水平插入的掩模的左右两边 ； 操作构件， 能够相对于 左右边支撑部在前后方向上进行移动操作 ； 杆构件， 其前端连结到操作构件， 该杆构件形成 为沿着左右边支撑部的侧部在前后方向上延伸 ； 后缘止挡器， 连结到杆构件的后端， 并通过 操作构件相对于左右边支撑部在前后方向上的移动操作而通过杆构件在前后方向上移动， 说 明 书 CN 103328215 A 3 2/8 页 4 并还通过由操作构件进行的将杆构件固定到左右边支撑部的固定操作而固定到左右边支 撑部， 并抵接于左右两边由左右边支撑部支撑的掩模的后缘 ； 和前缘止挡器， 抵接于。

10、左右两 边由左右边支撑部支撑的掩模的前缘。 0013 本发明的掩模保持器是上述的掩模保持器， 并且前缘止挡器能够在设置于左右边 支撑部上以在前后方向上延伸的轴构件上滑动， 并构造成 ： 在将掩模插入到左右边支撑部 中以及从左右边支撑部收回掩模时， 通过使前缘止挡器相对于轴构件摆动， 而能够缩回在 前缘止挡器不干涉掩模的位置。 0014 本发明的优点 0015 在本发明中， 后缘止挡器连结到杆构件的后端， 该杆构件由能够相对于左右边支 撑部在前后方向上进行移动操作的操作构件操作， 并且后缘止挡器在前后方向上的移动和 后缘止挡器到左右边支撑部的固定可以从掩模保持器的侧部 ( 进一步地， 掩模保持器。

11、的前 方 ) 进行， 从而操作者无需离开通常的作业位置而移至丝网印刷机的背面以改变后缘止挡 器的位置， 因此不会担心丢失部件 ( 例如， 后缘止挡器本身或后缘止挡器的附接螺钉 )， 从 而掩模的安装作业可以容易地进行。 0016 此外， 前缘止挡器能够在设置于左右边支撑部上以在前后方向上延伸的轴构件上 滑动， 并构造成 ： 在将掩模插入到左右边支撑部中以及从左右边支撑部收回掩模时， 通过使 前缘止挡器相对于轴构件摆动， 而能够缩回在前缘止挡器不干涉掩模的位置， 使得可以通 过前缘止挡器在轴构件上的滑动操作和前缘止挡器围绕轴构件的摆动操作而进行使前缘 止挡器抵接于掩模的前缘的作业。结果， 不会担。

12、心丢失部件 ( 例如， 前缘止挡器本身或前缘 止挡器的附接螺钉 )， 而且在该方面同样地， 掩模的安装作业可以容易地进行。 附图说明 0017 图 1 是本发明的一个实施例中的丝网印刷机的主要部分的透视图。 0018 图 2 是本发明的一个实施例中的丝网印刷机的侧视图。 0019 图 3 是本发明的一个实施例中的丝网印刷机所包括的掩模保持器和安装在该掩 模保持器中的掩模的平面图。 0020 图 4 是本发明的一个实施例中的丝网印刷机所包括的掩模保持器的透视图。 0021 图 5(a) 和 (b) 是本发明的一个实施例中的掩模保持器的局部放大透视图。 0022 图 6(a) 和 (b) 是本发明。

13、的一个实施例中的掩模保持器的局部放大透视图。 0023 图 7(a) 和 (b) 是本发明的一个实施例中的掩模保持器的局部放大正视图。 0024 图 8(a) 和 (b) 是示出用于将掩模安装在本发明的一个实施例中的掩模保持器中 的工序的视图。 0025 图 9(a) 和 (b) 是示出用于将掩模安装在本发明的一个实施例中的掩模保持器中 的工序的视图。 0026 图 10 是示出本发明的一个实施例中的丝网印刷机所执行的丝网印刷作业的工序 的流程图。 0027 图11(a)和(b)是示出本发明的一个实施例中的丝网印刷机所进行的丝网印刷作 业的执行工序的视图。 0028 图12(a)和(b)是示出。

14、本发明的一个实施例中的丝网印刷机所进行的丝网印刷作 说 明 书 CN 103328215 A 4 3/8 页 5 业的执行工序的视图。 0029 图13(a)和(b)是示出本发明的一个实施例中的丝网印刷机所进行的丝网印刷作 业的执行工序的视图。 具体实施方式 0030 下面参照附图描述本发明的实施例。在图 1 和 2 中， 丝网印刷机 1 是用于进行将 诸如焊料的膏剂 Pt 丝网印刷在设置于基板 2 上的许多电极 3 中的每个电极上的丝网印刷 作业的设备， 包括 ： 形成于基台 10 上的基板运入传送器 11、 基板保持单元 12 和基板运出传 送器 13 ； 形成在基板保持单元 12 上方的。

15、掩模保持器 14 ； 被掩模保持器 14 保持为水平姿势 的掩模 15 ； 形成在掩模 15 上方的刮板头 16 ； 形成在掩模 15 下方的照相机单元 17 ； 以及形 成到基台 10 中并执行对每一部分的致动控制的控制器 18。 0031 基板运入传送器 11 将从丝网印刷机 1 的外部注入的基板 2 运入 ( 图 1 所示的箭 头 A1)， 并将基板 2 传到基板保持单元 12。基板运出传送器 13 将从基板保持单元 12 接收 的基板 2 运送到丝网印刷机 1 的外部 ( 图 1 所示的箭头 A2)。即， 基板 2 以基板运入传送器 11、 基板保持单元 12 和基板运出传送器 13 。

16、的顺序被运送， 并且该基板 2 的移动方向被设定 为 X 轴方向 ( 从操作者 OP 观察的左右方向 )。此外， 在水平面中正交于该 X 轴方向的方向 被设定为 Y 轴方向 ( 从操作者 OP 观察的前后方向 )， 垂直方向被设定为 Z 轴方向。 0032 基板保持单元 12 包括 ： 单元基台 21， 能够通过由 XYZ 机器人构成的单元移动机构 12A在Z轴方向上运动以及在XY平面中运动(还包括旋转) ； 一对传送器22， 附接到单元基 台 21， 并在 X 轴方向上运送基板 2 并将基板 2 定位在预定的作业位置 ( 图 1 所示的位置 ) ； 下接收部升降汽缸23， 设置在单元基台21。

17、上 ； 下接收部24， 在下接收部升降汽缸23的作用 下上下移动， 并从下侧提升并支撑基板2， 使得由传送器22定位在作业位置的基板2的两端 向上与传送器 22 分离 ； 以及一对夹持构件 25， 形成为在 Y 轴方向上可打开且可闭合， 并通 过从 Y 轴方向夹捏 ( 夹持 ) 由下接收部 24 提升并支撑的基板 2 的两侧部来保持基板 2。 0033 在图3中， 掩模15包括 ： 掩模本体15a， 由具有许多图案孔15h的矩形金属板制成， 这些图案孔 15h 形成为与基板 2 上的电极 3 的布置一致 ； 网状膜构件 15b， 形成在掩模本体 15a 周围， 由树脂 ( 例如， 聚酯 ) 制。

18、成 ； 和具有矩形框架形状的掩模框架 15w， 用于支撑膜构 件 15b 的外周。 0034 在图3和4中， 掩模保持器14包括 ： 左右边支撑部31， 由一对L形横截面的左右导 轨形构件 30 制成， 该对左右导轨形构件 30 在 Y 轴方向上延伸并从下侧支撑掩模 15 的在 X 轴方向上相对的左右两边 ； 和一对前后引导构件 32， 在 X 轴方向上延伸， 并分别支撑能够在 X 轴方向上移动的左右导轨形构件 30。前后引导构件 32 通过一对左右梁构件 33 固定到基 台 10， 该对左右梁构件 33 在 Y 轴方向上延伸并形成为在 X 轴方向上相对。 0035 在图 3 和 4 中， 左。

19、右梁构件 33 分别设置有导轨形构件驱动汽缸 34。每个导轨形 构件驱动汽缸 34 的在 X 轴方向上延伸的活塞杆连结到导轨形构件 30， 并且， 当这两个导轨 形构件驱动汽缸 34 的活塞杆同步地前进和缩回时， 左右导轨形构件 30 沿着前后引导构件 32( 即， 在 X 轴方向上 ) 彼此在相反的方向上移动。 0036 如图 4 所示， 由操作者 OP 操作的距离调节操作部 35 连接到控制器 18， 该控制器 18 根据距离调节操作部 35 的操作量来控制左右导轨形构件驱动汽缸 34 的致动量。结果， 说 明 书 CN 103328215 A 5 4/8 页 6 操作者 OP 可以通过调。

20、节距离调节操作部 35 的操作量来调节左右导轨形构件 30 之间在 X 轴方向上的距离。 0037 如图 4 和图 5(a) 所示， 构成掩模保持器 14 的左右边支撑部 31 的每个导轨形构件 30 的垂直部 30a 的外侧表面的前方位置设置有沿前后方向延伸的操作用工作台 41。该操 作用工作台 41 设置有垂直 ( 在厚度方向上 ) 贯穿且具有在前后方向上延伸的细长孔形状 的移动凹槽 41a， 并且， 操作旋钮 42 位于操作用工作台 41 的上方， 并且， 在垂直方向上延伸 的连结棒 43 位于操作用工作台 41 的下方。 0038 在图 5(a) 中， 操作旋钮 42 具有向下延伸的外。

21、螺纹部 42a， 该外螺纹部 42a 从上侧 旋拧到连结棒 43 的上端的内螺纹部 43a 中。操作旋钮 42 的外螺纹部 42a 的外径小于移动 凹槽41a的凹槽宽度， 但是操作旋钮42的外径和连结棒43的外径变得大于移动凹槽41a的 凹槽宽度， 并且， 操作旋钮 42 围绕垂直轴线转动， 外螺纹部 42a 插入到连结棒 43 的内螺纹 部 43a 中， 从而， 操作用工作台 41 可以由操作旋钮 42 和连结棒 43 夹捏， 以使连结棒 43 固 定到操作用工作台 41。 0039 在图 5(a) 中， 杆构件 45 的前端通过连结块 44 附接到连结棒 43 的下端。杆构件 45 沿着导。

22、轨形构件 30 的外侧部在前后方向上延伸， 并由设置在导轨形构件 30 的外侧表面 上的多个杆构件支撑件 46 支撑， 并且构造成能够在前后方向 ( 杆构件 45 的轴方向 ) 上移 动。 0040 如图 4 和图 5(b) 所示， 导轨形构件 30 的垂直部 30a 的后端设置有在前后方向上 延伸的狭缝 30s。杆构件 45 的后端设置有延伸成在 X 轴方向上延伸通过狭缝 30s 的突出 片 45a， 并且块状的后缘止挡器 47 附接到该突出片 45a 的端部 ( 还参见图 4)。结果， 操作 者 OP 使操作旋钮 42 沿着移动凹槽 41a 前后移动， 从而后缘止挡器 47 可以通过连结块。

23、 44 和杆构件45在前后方向上移动， 而且， 可以通过执行通过使操作旋钮42围绕垂直轴线转动 而将连结棒 43 固定到操作用工作台 41 的固定操作 ( 由操作旋钮 42 进行的将杆构件 45 固 定到左右边支撑部31的固定操作)， 将后缘止挡器47在Y轴方向的任意位置固定到导轨形 构件 30。 0041 如图 6(a) 和 (b) 所示， 每个导轨形构件 30 的垂直部 30a 的内侧表面的前方位置 设置有一对前后突出部 51， 该对前后突出部 51 延伸成从垂直部 30a 的内侧表面水平突出， 并且， 在前后方向上延伸的轴构件 52 的前后端被支撑在该对突出部 51 中。 0042 具有。

24、垂直部 53a 和水平部 53b 且形成为基本上 L 形的前缘止挡器 53 附接到轴构 件 52， 轴构件 52 在前后方向上延伸通过垂直部 53a， 水平部 53b 从垂直部 53a 的下端悬伸 至掩模保持器 14 的内部 ( 朝着在 X 轴方向上相对的另一导轨形构件 30 的一侧 )。该前缘 止挡器 53 能够利用轴构件 52 作为旋转轴围绕 Y 轴摆动， 并且还能够沿着轴构件 52 在 Y 轴 方向上滑动。 0043 在图 6(a) 和 (b) 中， 能够绕着 Y 轴围绕摆动销 54 摆动的锁构件 55 附接到前缘止 挡器 53 的垂直部 53a， 并且， 沿着轴构件 52 的离散位置设。

25、置有多个锁定凹槽 52a， 这些锁定 凹槽 52a 形成为围绕轴构件 52 的表面。锁构件 55 能够在锁定位置 ( 图 6(a) 与非锁定位 置 ( 图 6(b) 之间摆动， 在锁定位置， 锁构件 55 的上端的锁定部 55a 有选择地锁定在轴构 件 52 上的多个锁定凹槽 52a 中的一个中， 以调整前缘止挡器 53 相对于轴构件 52 在 Y 轴方 向上的滑动运动， 在非锁定位置， 锁定部 55a 从锁定凹槽 52a 解锁以允许前缘止挡器 53 相 说 明 书 CN 103328215 A 6 5/8 页 7 对于轴构件 52 在 Y 轴方向上的滑动运动。拉簧 56 桥接在锁构件 55 。

26、与前缘止挡器 53 的水 平部 53b 之间， 并且拉簧 56 的推动力 ( 张力 ) 总是促使锁构件 55 处于锁定位置， 但是操作 者 OP 向下按压设置在锁构件 55 上的控制杆片 55b( 图 6(b) 所示的箭头 B)， 从而锁构件 55 可以逆着拉簧 56 的推动力围绕摆动销 54 摆动以定位在锁定部 55a 与锁定凹槽 52a 解锁的 非锁定位置。 0044 前缘止挡器 53 能够围绕轴构件 52 在缩回位置 ( 图 7(a) 与可抵接位置 ( 因此， 前缘止挡器 53 可以抵接于左右边被左右边支撑部 31 支撑的掩模 15 的前端 )( 图 7(b) 之 间摆动， 在缩回位置，。

27、 水平部53b定位成向上超过轴构件52， 并且在将掩模15插入到左右边 支撑部 31 中和从左右边支撑部 31 收回掩模 15 时前缘止挡器 53 不干涉掩模 15， 在可抵接 位置， 水平部53b定位成向下超过轴构件52， 并且在将掩模15插入到左右边支撑部31中和 从左右边支撑部 31 收回掩模 15 时前缘止挡器 53 干涉掩模 15。 0045 当掩模 15 被保持在这样构造的掩模保持器 14 中时， 操作者 OP 首先执行距离调节 操作部35的操作， 并将左右边支撑部31(左右导轨形构件30)之间的距离调节成与掩模15 在左右方向上的尺寸匹配 ( 图 8(a) 所示的箭头 C)， 并。

28、分别使左右前缘止挡器 53 围绕轴构 件 52 摆动以使前缘止挡器 53 定位在缩回位置 ( 图 8(a) 所示的箭头 D1)。然后， 使左右操 作旋钮 42 在前后方向上移动 ( 图 8(b) 所示的箭头 E1)， 并使左右后缘止挡器 47 定位在最 后面的位置(突出片45a的后端抵接于狭缝30s的后端的位置)， 随后， 从掩模保持器14的 前方插入掩模15(图8(b)所示的箭头F1)， 使得掩模15的左右两边缘的下表面由左右导轨 形构件 30 的水平部 30b 从底部支撑。 0046 因此， 当掩模 15 的后缘抵接于左右后缘止挡器 47 时， 左右前缘止挡器 53 从轴构 件 52 解锁。

29、， 随后， 左右前缘止挡器 53 分别沿着轴构件 52 在前后方向上滑动 ( 图 9(a) 所示 的箭头 G)， 并定位在与掩模 15 在前后方向上的尺寸相适合的位置， 并且前缘止挡器 53 由 锁构件 55 锁定在轴构件 52 中， 随后， 左右前缘止挡器 53 分别围绕轴构件 52 摆动以定位在 可抵接位置 ( 图 9(a) 所示的箭头 D2)。然后， 通过同时向前拉拽左右操作旋钮 42( 图 9(b) 所示的箭头 E2)， 使整个掩模 15 向前移动 ( 图 9(b) 所示的箭头 F2)， 从而掩模 15 的前缘从 后方抵接在左右前缘止挡器 53 上， 随后， 转动左右操作旋钮 42 以。

30、执行左右杆构件 45 的固 定操作。因此， 掩模 15 由掩模保持器 14 保持， 完成了掩模 15 安装在掩模保持器 14 中。 0047 在图 1 和 2 中， 刮板头 16 包括 ： 板状的基台构件 61， 形成为在被保持在掩模保持 器 14 中的掩模 15 的上方区域中能够在 Y 轴方向上移动 ； 两个刮板升降汽缸 62， 附接到基 台构件 61 并使活塞杆 62a 突出到基台构件 61 的下侧 ； 刮板保持器 63， 附接到每个刮板升 降汽缸 62 的活塞杆 62a 的下端， 并在 X 轴方向上延伸 ； 以及两个刮板 64， 刮板 64 的上端被 保持在每个刮板保持器 63 中， 刮。

31、板 64 由向斜下方延伸的薄板构件制成。 0048 在图 1 和 2 中， 照相机单元 17 包括视野向下指向的向下成像照相机 17a 和视野向 上指向的向上成像照相机 17b。照相机单元 17 在包括致动器 ( 未示出 ) 等的照相机单元移 动机构 17M 的作用下沿水平面内的方向在掩模 15 的下方区域中移动。 0049 控制器 18 执行对包括致动器 ( 包括下接收部升降汽缸 23) 等的基板保持机构 12B( 图 2) 的致动控制， 从而执行基板保持单元 12 的传送器 22 将基板 2 定位在运送和作 业位置的定位动作、 下接收部 24 对定位在作业位置的基板 2 的下接收动作、 以。

32、及一对夹持 构件 25 的夹持动作， 并且， 控制器 18 执行对上述的单元移动机构 12A 的致动控制， 从而执 说 明 书 CN 103328215 A 7 6/8 页 8 行保持基板 2 的基板保持单元 12 在垂直方向和水平面内的方向上的移动动作。此外， 控制 器 18 执行基板运入传送器 11 运入基板 2 的运入动作和基板运出传送器 13 运出基板 2 的 运出动作。 0050 在图 2 中， 控制器 18 执行对包括致动器 ( 未示出 ) 等的刮板头移动机构 16M 的致 动控制， 从而执行刮板头 16( 基台构件 61) 在 Y 轴方向上的往复运动动作， 并且， 控制器 18 。

33、执行对与刮板 64 对应的刮板升降汽缸 62 的致动控制， 并使刮板保持器 63 上下移动， 从而 执行每个刮板 64 相对于基台构件 61 的上下动作。 0051 在图 2 中， 控制器 18 执行对照相机单元移动机构 17M 的致动控制， 从而执行照相 机单元17在水平面内的移动动作。 向下成像照相机17a的成像动作和向上成像照相机17b 的成像动作分别由控制器18控制， 并且由向下成像照相机17a的成像动作获得的图像数据 和由向上成像照相机 17b 的成像动作获得的图像数据被分别送至控制器 18， 并且在控制器 18 的图像识别部 18a 中执行图像识别处理。 0052 当这样构造的丝网。

34、印刷机 1 进行丝网印刷作业时， 控制器 18 在检测到基板 2 从上 游工序侧的其它装置送来之后首先致动基板运入传送器 11 和基板保持单元 12 的传送器 22， 并将基板 2 送入丝网印刷机 1 中 ( 图 11(a)， 图 10 所示的步骤 ST1)， 随后执行基板保持 机构 12B 的致动控制并保持基板 2( 图 11(b)， 图 10 所示的步骤 ST2)。具体地， 通过这样做 来保持基板 2 ： 在闭合方向上驱动一对夹持构件 25 并夹捏基板 2 的两端 ( 图 11(b) 所示的 箭头 J1)， 同时由下接收部升降汽缸 23 上推下接收部 24 并将基板 2 提升为从传送器 2。

35、2 浮 动的状态 ( 图 11(b) 所示的箭头 H1)。 0053 在基板 2 被保持之后， 控制器 18 执行对照相机单元移动机构 17M 的致动控制， 并 且， 在向下成像照相机 17a 定位在形成于基板 2 中的基板侧标记 2m( 图 1) 的正上方时， 向 下成像照相机17a 对该基板侧标记 2m 进行成像， 在向上成像照相机 17b 定位在形成于掩模 15 中的掩模侧标记 15m( 图 1 和 3) 的正下方时， 向上成像照相机 17b 对该掩模侧标记 15m 进行成像。这样， 基板 2 的位置由所获得的基板侧标记 2m 的图像数据掌握， 掩模 15 的位置 由所获得的掩模侧标记 。

36、15m 的图像数据掌握， 并且， 使基板保持单元 12 在水平面内的方向 上移动， 从而使基板 2 在水平面内的方向上与掩模 15 对准以使基板侧标记 2m 与掩模侧标 记 15m 垂直相对 ( 图 10 所示的步骤 ST3)。 0054 在完成基板 2 与掩模 15 之间的对准之后， 控制器 18 执行对单元移动机构 12A 的 致动控制， 并使基板保持单元 12 相对于基台 10 向上移动 ( 图 12(a) 所示的箭头 K1)， 保持 着基板 2 的一对夹持构件 25 从下侧相对地压在掩模 15 的下表面上， 从而使一对夹持构件 25 和基板 2 的各自的上表面与掩模 15 的下表面接触。

37、 ( 图 12(a)， 图 10 所示的步骤 ST4)。 因此， 基板 2 上的电极 3 与掩模 15 的图案孔 15h 相匹配。 0055 在基板 2 与掩模 15 接触之后， 控制器 18 在连接到控制器 18 的显示装置 DP( 图 2) 上显示用于提示操作者 OP 供应膏剂 Pt 的消息 ( 图 10 所示的步骤 ST5)。对于该显示， 操作 者OP在当前时刻在视觉上检查残留在掩模15上的膏剂Pt， 并基于膏剂Pt的量来判断是否 要供应 ( 补充 ) 膏剂 Pt。然后， 在判断要供应膏剂 Pt 的情况下， 通过单独准备的膏剂供应 注射器 ( 未示出 ) 将膏剂 Pt 供应在掩模 15 。

38、上。然后， 在判断膏剂 Pt 的供应完成或不需要 供应膏剂 Pt 的情况下， 操作者 OP 操作连接到控制器 18 的动作重启按钮 BT( 图 2)。 0056 在用于提示操作者 OP 供应膏剂 Pt 的消息显示在显示装置 DP 上之后， 控制器 18 说 明 书 CN 103328215 A 8 7/8 页 9 以有规律的间隔判断动作重启按钮 BT 是否被操作 ( 图 10 所示的步骤 ST6)， 并且， 在基于 动作重启按钮 BT 输出的信号检测到操作者 OP 操作了动作重启按钮 BT 的情况下， 执行刮板 64 的刮擦， 从而掩模 15 上的膏剂 Pt 被转印到基板 2( 图 10 所示。

39、的步骤 ST7)。 0057 具体地， 该刮擦这样来执行 ： 使两个刮板 64 中之一从刮板头 16 向下移动， 并在保 持抵接于掩模 15 的上表面上的状态下使基台构件 61 在 Y 轴方向上移动 ( 图 12(b) 所示的 箭头 M)。因此， 刮板 64 在掩模 15 上滑动， 从而掩模 15 上的膏剂 Pt 被刮板 64 刮擦并被推 到掩模 15 的图案孔 15h 中然后转印到基板 2 的电极 3。此外， 在刮板头 16 从前向后移动以 进行刮擦时， 控制器 18 使后侧的刮板 64 抵接掩模 15， 并且在刮板头 16 从后向前移动以进 行刮擦时， 控制器 18 使前侧的刮板 64 抵。

40、接掩模 15。 0058 在执行刮板刮擦并且膏剂Pt转印到基板2之后， 控制器18致动单元移动机构12A 并使基板保持单元 12 向下移动 ( 图 13(a) 所示的箭头 K2)， 从而基板 2 和一对夹持构件 25 与掩模 15 分离以执行离网 (snap-off)( 图 13(a)， 图 10 所示的步骤 ST8)。因此， 膏剂 Pt 留在基板 2 的电极 3 上， 从而膏剂 Pt 被印刷在基板 2 上。 0059 在离网完成之后， 控制器 18 使基板保持单元 12 对基板 2 的保持释放 ( 图 13(b)， 图 10 所示的步骤 ST9)。具体地， 控制器 18 致动基板保持机构 1。

41、2B， 并使一对夹持构件 25 打开 ( 图 13(b) 所示的箭头 J2)， 随后使下接收部 24 向下移动 ( 图 13(b) 所示的箭头 H2)， 并使基板 2 的两端下降到一对传送器 22 上， 从而对基板 2 的保持得以释放。 0060 在释放对基板2的保持之后， 控制器18致动单元移动机构12A， 并使基板保持单元 12 在水平面内移动并调节传送器 22 的方向， 随后， 致动传送器 22 和基板运出传送器 13， 并 将基板 2 运送到丝网印刷机 1 的外部 ( 图 10 所示的步骤 ST10)。 0061 在基板 2 被运出之后， 控制器 18 判断是否还有基板 2 要进行丝网。

42、印刷 ( 图 10 所 示的步骤 ST11)。结果， 当还有基板 2 要进行丝网印刷时， 通过返回步骤 ST1， 运入新的基板 2， 并且当没有基板 2 要进行丝网印刷时， 一系列的丝网印刷作业完成。 0062 在该实施例的丝网印刷机1中， 对基板2的丝网印刷通过上述的过程完成， 并且当 基板 2 的种类等改变且掩模 15 的尺寸改变时， 在前缘止挡器 53 在轴构件 52 上滑动且与掩 模 15 的前缘分离、 而且还相对于轴构件 52 摆动并定位在缩回位置的状态下， 将掩模 15 拉 到掩模保持器 14 的前方并将其收回， 随后以上述方式将新的掩模 15 安装在掩模保持器 14 中。 006。

43、3 如上所述， 该实施例中的掩模保持器 14 包括 ： 左右边支撑部 31， 用于支撑从前方 水平插入的掩模 15 的左右两边 ； 操作旋钮 42( 操作构件 )， 能够相对于左右边支撑部 31 在 前后方向上进行移动操作 ； 杆构件 45， 其前端连结到操作旋钮 42， 该杆构件 45 形成为沿着 左右边支撑部 31 的侧部在前后方向上延伸 ； 后缘止挡器 47， 连结到杆构件 45 的后端， 并通 过操作旋钮 42 相对于左右边支撑部 31 在前后方向上的移动操作而通过杆构件 45 在前后 方向上移动， 并且还通过由操作旋钮 42 进行的将杆构件 45 固定到左右边支撑部 31 的固定 操。

44、作而固定到左右边支撑部 31， 并抵接于左右两边由左右边支撑部 31 支撑的掩模 15 的后 缘 ； 和前缘止挡器 53， 抵接于左右两边由左右边支撑部 31 支撑的掩模 15 的前缘。 0064 在该实施例中的掩模保持器 14 中， 后缘止挡器 47 连结到杆构件 45 的后端， 该杆 构件 45 由能够相对于左右边支撑部 31 在前后方向上进行移动操作的操作旋钮 42 操作， 并 且后缘止挡器 47 在前后方向上移动和后缘止挡器 47 固定到左右边支撑部 31 可以从掩模 说 明 书 CN 103328215 A 9 8/8 页 10 保持器 14 的侧部 ( 进一步地， 掩模保持器 14。

45、 的前方 ) 进行。结果， 操作者 OP 无需离开通 常的作业位置 ( 丝网印刷机 1 的前方位置 ) 而移至丝网印刷机 1 的背面来改变后缘止挡器 47 的位置， 因此不会担心丢失部件 ( 例如， 后缘止挡器 47 本身或后缘止挡器 47 的附接螺 钉 )， 从而掩模 15 的安装作业可以容易地进行。 0065 此外， 在该实施例的掩模保持器14中， 前缘止挡器53能够在设置于左右边支撑部 31 上以在前后方向上延伸的轴构件 52 上滑动， 并构造成 ： 在将掩模 15 插入到左右边支撑 部 31 中以及从左右边支撑部 31 收回掩模 15 时， 通过使前缘止挡器相对于轴构件 52 摆动， 。

46、而能够缩回在前缘止挡器不干涉掩模 15 的位置， 使得可以通过前缘止挡器 53 在轴构件 52 上的滑动操作和前缘止挡器 53 围绕轴构件 52 的摆动操作， 来进行使前缘止挡器 53 抵接于 掩模 15 的前缘的作业。结果， 不会担心丢失部件 ( 例如， 前缘止挡器 53 本身或前缘止挡器 53 的附接螺钉 )， 而且在该方面同样地， 掩模 15 的安装作业可以容易地进行。 0066 这里， 上述示例中所示出的使后缘止挡器 47 固定到左右边支撑部 31 的构造和使 前缘止挡器 53 固定到左右边支撑部 31 的构造仅是一个示例， 也可以采用其它构造。例如， 在上述示例中， 前缘止挡器 53。

47、 构造成通过锁构件 55 和锁定凹槽 52a 的组合而被固定在 Y 轴方向的离散位置， 但是也可以不采取这样的构造， 而是前缘止挡器 53 可以构造成能够像 上述的后缘止挡器47那样在Y轴方向的任意位置固定到导轨形构件30。 在该情况下， 先使 后缘止挡器47定位在前后方向上， 并使掩模15的后缘抵接于该后缘止挡器47， 然后使定位 在可抵接位置的前缘止挡器 53 滑动并抵接于掩模 15 的前缘， 随后将前缘止挡器 53 固定到 左右边支撑部 31， 从而可以将掩模 15 安装在掩模保持器 14 中。 0067 本申请基于2011年12月7日提交的日本专利申请(专利申请No.2011-2679。

48、70)， 这里将该专利申请的内容引入作为参考。 0068 工业实用性 0069 提供了一种能够容易执行掩模的安装作业的掩模保持器。 0070 附图标记和符号说明 0071 1 丝网印刷机 0072 2 基板 0073 14 掩模保持器 0074 15 掩模 0075 31 左右边支撑部 0076 42 操作旋钮 ( 操作构件 ) 0077 45 杆构件 0078 47 后缘止挡器 0079 52 轴构件 0080 53 前缘止挡器 说 明 书 CN 103328215 A 10 1/13 页 11 图 1 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 11 2/13 页 12 图 2 说 。

49、明 书 附 图 CN 103328215 A 12 3/13 页 13 图 3 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 13 4/13 页 14 图 4 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 14 5/13 页 15 图 5 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 15 6/13 页 16 图 6 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 16 7/13 页 17 图 7 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 17 8/13 页 18 图 8 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 18 9/13 页 19 图 9 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 19 10/13 页 20 图 10 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 20 11/13 页 21 图 11 说 明 书 附 图 CN 103328215 A 21 12/13 页 22 图 12 说 明 书 附 图 。