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1、(10)申请公布号 CN 104119894 A (43)申请公布日 2014.10.29 CN 104119894 A (21)申请号 201310149446.6 (22)申请日 2013.04.26 C09K 11/71(2006.01) H01L 33/50(2010.01) H01L 33/00(2010.01) (71)申请人 海洋王照明科技股份有限公司 地址 518000 广东省深圳市南山区南海大道 海王大厦 A 座 22 层 申请人 深圳市海洋王照明技术有限公司 深圳市海洋王照明工程有限公司 (72)发明人 周明杰 陈吉星 王平 张振华 (74)专利代理机构 广州三环专利代理有。
2、限公司 44202 代理人 郝传鑫 熊永强 (54) 发明名称 钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜、 制备方法及 其应用 (57) 摘要 一 种 钛 掺 杂 碱 土 硼 磷 酸 盐 发 光 薄 膜， 其 化 学 式 为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi 4+, 其 中， 0.1x0.4， 0.01y0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x 是基质， 钛元素是激活元素， Me为Mg、 Ca、 Sr或Ba。 该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的电致发光光谱 （EL） 中， 在 410nm 波长区都有很强的发光峰， 能够 应用于薄膜电致发光显示器中。本发明还提供该 钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方。
3、法及其应 用。 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 7 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 (10)申请公布号 CN 104119894 A CN 104119894 A 1/2 页 2 1. 一种钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 其特征在于， 其化学式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+,其中， 0.1x0.4， 0.01y0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 2. 根据权利要求 1 所述的钛掺杂碱土硼磷酸盐。
4、发光薄膜， 其特征在于， 所述钛掺杂碱 土硼磷酸盐发光薄膜的厚度为 80nm 300nm。 3. 一种钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法， 其特征在于， 包括以下步骤 ： 将 衬 底 装 入 化 学 气 相 沉 积 设 备 的 反 应 室 中， 并 将 反 应 室 的 真 空 度 设 置 为 1.010-2Pa 1.010-3Pa ； 调节衬底的温度为250650， 转速为50转/分钟1000转/分钟， 采用氩气气流 的载体， 根据 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+各元素的化学计量比将双环戊二烯碱土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛通入反应室内 ； 及 通入氧气， 进行化学气相。
5、沉积得到化学式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+的钛掺杂碱土硼磷 酸盐发光薄膜， 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是 激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 4. 根据权利要求 3 所述的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法， 其特征在于， 所 述双环戊二烯碱土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛摩尔比为1 ：（0.10.4） ：（0.70.9） ： （0.01 0.06） 。 5. 根据权利要求 3 所述的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法， 其特征在于， 所 述氩气气流量为 5 15sc。
6、cm， 所述氧气气流量为 10 200sccm。 6. 根据权利要求 3 所述的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法， 其特征在于， 将 所述衬底装入所述反应室后将所述衬底在 600 800下热处理 10 分钟 30 分钟。 7. 一种薄膜电致发光器件， 该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、 阳极层、 发 光层以及阴极层， 其特征在于， 所述发光层的材料为钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 该钛 掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的化学式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+, 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， 。
7、Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 8. 根据权利要求 7 所述的薄膜电致发光器件， 其特征在于， 所述发光层的厚度为 80nm 300nm。 9. 一种薄膜电致发光器件的制备方法， 其特征在于， 包括以下步骤 ： 提供具有阳极的衬底 ； 在所述阳极上形成发光层， 所述发光层的薄膜为钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 该 钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的化学式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+, 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba ； 在所述发光层上形成阴极。
8、。 10. 根据权利要求 9 所述的薄膜电致发光器件的制备方法， 其特征在于， 所述发光层的 制备包括以下步骤 ： 将所述衬底装入化学气相沉积设备的反应室， 并将反应室的真空度设置为 1.010-2Pa 1.010-3Pa ； 调节衬底的温度为 250 650， 转速为 50 转 / 分钟 1000 转 / 分钟， 采用氩气气 流作为载体， 根据Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+各元素的化学计量比将双环戊二烯碱土金属源、 硼 权 利 要 求 书 CN 104119894 A 2 2/2 页 3 烷、 磷烷和四异丙醇钛通入反应室内， 其中， 氩气气流量为 5 15sccm， 然后通入。
9、氧气， 氧气气流量为 10 200sccm ； 沉积薄膜在所述阳极上形成发光层。 权 利 要 求 书 CN 104119894 A 3 1/7 页 4 钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜、 制备方法及其应用 【技术领域】 0001 本发明涉及一种钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜、 其制备方法、 薄膜电致发光器件 及其制备方法。 【背景技术】 0002 薄膜电致发光显示器 (TFELD) 由于其主动发光、 全固体化、 耐冲击、 反应快、 视角 大、 适用温度宽、 工序简单等优点， 已引起了广泛的关注， 且发展迅速。目前， 研究彩色及至 全色TFELD， 开发多波段发光的薄膜， 是该课题的发展方向。 但是， 可。
10、应用于薄膜电致发光显 示器的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 仍未见报道。 【发明内容】 0003 基于此， 有必要提供一种可应用于薄膜电致发光器件的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光 薄膜、 其制备方法该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜电致发光器件及其制备方法。 0004 一种钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 其化学式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+, 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 0005 钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的厚度为 80nm 300nm。 0006 一种钛掺。
11、杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法， 包括以下步骤 ： 0007 将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中， 并将反应室的真空度设置为 1.010-2Pa 1.010-3Pa ； 0008 调节衬底的温度为 250 650， 转速为 50 转 / 分钟 1000 转 / 分钟， 采用氩 气气流的载体， 根据Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+各元素的化学计量比将双环戊二烯碱土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛通入反应室内， 及 0009 然后通入氧气， 进行化学气相沉积得到钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜其化学 式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 。
12、其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 0010 双环戊二烯碱土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛摩尔比为 1 ：（0.1 0.4） ： （0.7 0.9） ：（0.01 0.06） ; 0011 氩气气流量为 5 15sccm， 氧气气流量为 10 200sccm。 0012 一种薄膜电致发光器件， 该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、 阳极层、 发光 层以及阴极层， 所述发光层的材料为钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 该钛掺杂碱土硼磷酸 盐发光薄膜的化学式为 Me(PO4。
13、)x(BO3)1-x： yTi4+, 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 0013 一种薄膜电致发光器件的制备方法， 包括以下步骤 ： 0014 提供具有阳极的衬底 ； 0015 在所述阳极上形成发光层， 所述发光层的材料为钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 说 明 书 CN 104119894 A 4 2/7 页 5 该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的化学式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+, 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4。
14、)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba ； 0016 在所述发光层上形成阴极。 0017 在优选的实施例中， 所述发光层的制备包括以下步骤 ： 0018 将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中， 并将反应室的真空度设置为 1.010-2Pa 1.010-3Pa ； 0019 调节衬底的温度为 250 650， 转速为 50 转 / 分钟 1000 转 / 分钟， 采用氩 气气流的载体， 根据Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+各元素的化学计量比将双环戊二烯碱土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛通入反应室内， 其中， 氩气气流量为 5 。
15、15sccm， 及 0020 然后通入氧气， 流量为 10 200sccm ； 进行化学气相沉积得到发光层化学 式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 0021 上述钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜 （Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+） 的电致发光光谱 （EL） 中， 在 410nm 波长区都有很强的发光峰， 能够应用于薄膜电致发光显示器中。 【附图说明】 0022 图 1 为一实施。
16、方式的薄膜电致发光器件的结构示意图 ； 0023 图 2 为实施例 1 制备的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的电致发光谱图 ； 0024 图 3 为实施例 1 制备的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的拉曼光谱 ； 0025 图 4 为实施例 1 制备的薄膜电致发光器件的电压与电流和亮度关系图。 【具体实施方式】 0026 下面结合附图和具体实施例对钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜、 其制备方法和薄膜 电致发光器件及其制备方法作进一步阐明。 0027 一实施方式的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 其化学式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+, 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， M。
17、e(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 0028 优选的， 钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的厚度为 80nm 300nm， x 为 0.3， y 为 0.03。 0029 该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜中 Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素。 该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的电致发光光谱 （EL） 中， 在 410nm 波长区都有很强的发光 峰， 能够应用于薄膜电致发光显示器中。 0030 上述钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的制备方法， 包括以下步骤 ： 0031 步骤 S11、 将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中，。
18、 并将反应室的真空度设置为 1.010-2Pa 1.010-3Pa。 0032 在本实施方式中， 衬底为铟锡氧化物玻璃 （ITO） ， 可以理解， 在其他实施例中， 也可 以为掺氟氧化锡玻璃 （FTO） 、 掺铝的氧化锌 （AZO） 或掺铟的氧化锌 （IZO） ； 衬底先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入反应室 ； 0033 优选的， 反应室的真空度为 4.010-3Pa。 说 明 书 CN 104119894 A 5 3/7 页 6 0034 步骤 S12、 将衬底在 600 800下热处理 10 分钟 30 分钟。 0035 步骤 S13、 。
19、调节衬底的温度为 250 650， 转速为 50 转 / 分钟 1000 转 / 分 钟， 采用氩气气流的载体， 根据Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+各元素的化学计量比将双环戊二烯碱 土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛通入反应室内 ； 0036 在优选的实施例中， 双环戊二烯碱土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛摩尔比为 1 ： （0.1 0.4） ：（0.7 0.9） ：（0.01 0.06） 。 0037 在优选实施例中， 衬底的温度优选为500， 衬底的转速优选为300转/分钟， 氩气 气流量为 5 15sccm ； 0038 更优选实施例中， 氩气气流量为 10sccm。
20、 ； 0039 步骤 S14、 然后通入氧气， 进行化学气相沉积得到钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜其 化学式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+, 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x 是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 0040 在优选的实施例中， 氧气气流量为 10 200sccm， x 为 0.3， y 为 0.03。 0041 更优选实施例中， 氧气气流量为 120sccm。 0042 步骤 S15、 沉积完毕后停止通入双环戊二烯碱土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛 及氦气， 继续通入。
21、氧气使钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的温度降至 80 150。 0043 本实施方式中， 优选的， 使钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的温度降至 100。 0044 可以理解， 步骤 S12 和步骤 S15 可以省略。 0045 请参阅图 1， 一实施方式的薄膜电致发光器件 100， 该薄膜电致发光器件 100 包括 依次层叠的衬底 1、 阳极 2、 发光层 3 以及阴极 4。 0046 衬底1为玻璃衬底。 阳极2为形成于玻璃衬底上的氧化铟锡 （ITO） 。 发光层3的材 料为钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜， 该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的化学式为 Me(PO4) x(BO3)1-x： yTi 4+, 其中。
22、， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO 4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是 激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。阴极 4 的材质为银 （Ag） 。 0047 上述薄膜电致发光器件的制备方法， 包括以下步骤 ： 0048 步骤 S21、 提供具有阳极 2 的衬底 1。 0049 本实施方式中， 衬底1为玻璃衬底， 阳极2为形成于玻璃衬底上的氧化铟锡 （ITO） 。 可以理解， 在其他实施例中， 也可以为掺氟氧化锡玻璃 （FTO） 、 掺铝的氧化锌 （AZO） 或掺铟 的氧化锌 （IZO） ； 具有阳极 2 的衬底 1 先后用丙酮、 无水乙醇和去离子。
23、水超声清洗并用对其 进行氧等离子处理。 0050 步骤 S22、 在阳极 2 上形成发光层 3， 发光层 3 的材料为钛掺杂碱土硼磷酸盐 发光薄膜， 该钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的化学式为 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+, 其中， 0.1 x 0.4， 0.01 y 0.06， Me(PO4)x(BO3)1-x是基质， 钛元素是激活元素， Me 为 Mg、 Ca、 Sr 或 Ba。 0051 本实施方式中， 发光层 3 由以下步骤制得 ： 0052 首先， 将衬底装入化学气相沉积设备的反应室中， 并将反应室的真空度设置为 1.010-2Pa 1.010-3Pa， 0053 再则。
24、、 将衬底在 600 800下热处理 10 分钟 30 分钟。也可以无需此步骤。 0054 其次， 调节衬底的温度为 250 650， 转速为 50 转 / 分钟 1000 转 / 分钟， 采 说 明 书 CN 104119894 A 6 4/7 页 7 用氩气气流的载体， 根据 Me(PO4)x(BO3)1-x： yTi4+各元素的化学计量比将双环戊二烯碱土金 属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛通入反应室内 ； 0055 在优选的实施例中， 双环戊二烯碱土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛摩尔比为 1 ： （0.1 0.4） ：（0.7 0.9） ：（0.01 0.06） ; 0056 在优选。
25、实施例中， 衬底的温度优选为500， 衬底的转速优选为300转/分钟， 氩气 气流量为 5 15sccm ； 0057 更优选实施例中， 氩气气流量为 10sccm ； 0058 然后通入氧气， 进行化学气相沉积薄膜在所述阳极上形成发光层。 0059 优选实施例中， 氧气的流量优选为 10 200sccm; 0060 更优选实施例中， 氧气气流量为 120sccm。 0061 最后、 沉积完毕后停止通入双环戊二烯碱土金属源、 硼烷、 磷烷和四异丙醇钛及氦 气， 继续通入氧气使钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的温度降至 80 150。 0062 本实施方式中， 优选的， 使钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的。
26、温度降至 100。可以 无需此步骤。 0063 步骤 S23、 在发光层 3 上形成阴极 4。 0064 本实施方式中， 阴极 4 的材料为银 （Ag） ， 由蒸镀形成。 0065 下面为具体实施例。 0066 实施例 1 0067 衬底为 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干 净， 氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至 4.010-3Pa ； 然 后把衬底进行 700热处理 20 分钟， 然后温度降为 500。打开旋转电机， 调节衬底托的转 速为 300 转 / 分， 通入有机源双环戊二烯镁 (Mg(C5H5)2)、 硼烷 。
27、（BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异丙醇 钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为1 ： 0.3 ： 0.7 ： 0.03， 载气气体为氩气， 氩气气流量为10sccm。 通入氧气， 氧气气流量为 120sccm， 开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至 150nm， 关闭有机源 和载气， 继续通氧气， 温度降到100以下， 取出样品Mg(PO4)0.3(BO3)0.7： 0.03Ti4+。最后在发 光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0068 本 实 施 例 中 得 到 的 钛 掺 杂 碱 土 硼 磷 酸 盐 发 光 薄 膜 的 化 学 通 式 为 Mg(PO4)0.3(BO3)0.7。
28、： 0.03Ti4+， 其中 Mg(PO4)0.3(BO3)0.7是基质， 钛元素是激活元素。 0069 请参阅图2， 图2所示为实施例1得到的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的电致发光 谱 （EL） 。由图 2 可以看出， 实施例 1 得到的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的电致发光谱曲 线在 410nm 波长区都有很强的发光峰能够应用于薄膜电致发光显示器中。 0070 请参阅图 3， 图 3 为实施例 1 制备的钛掺杂碱土硼磷酸盐发光薄膜的拉曼光谱， 图 中的拉曼峰所示为碱土硼磷酸盐特征峰， 没有出现掺杂元素以及其它杂质的峰， 说明掺杂 元素与基质材料形成了良好的键合。 0071 请参阅图 4， 图 。
29、4 为实施例 1 制备的薄膜电致发光器件的电压与电流和亮度关系 图， 曲线 1 是电压电流密度， 可看出器件从 5.5V 开始发光， 曲线 2 是电压亮度， 最大亮 度为 89cd/m2， 表明器件具有良好的发光特性。 0072 实施例 2 0073 衬底为 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干 说 明 书 CN 104119894 A 7 5/7 页 8 净， 氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至 1.010-3Pa ； 然 后把衬底进行 700热处理 10 分钟， 然后温度降为 250。打开旋转电机， 调节衬底托的转 速为。
30、 50 转 / 分， 通入机源双环戊二烯镁 (Mg(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异丙醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为1 ： 0.2 ： 0.8 ： 0.06， 载气气体为氩气， 氩气气流量为10sccm。 通 入氧气， 氧气气流量为 10sccm， 开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至 80nm， 关闭有机源和载 气， 继续通氧气， 温度降到100以下， 取出样品Mg(PO4)0.2(BO3)0.8： 0.06Ti4+。最后在发光薄 膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0074 实施例 3 0075 衬底为 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超。
31、声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干 净， 氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至 1.010-2Pa ； 然 后把衬底进行 700热处理 30 分钟， 然后温度降为 650。打开旋转电机， 调节衬底托的 转速为 1000 转 / 分， 通入有机源双环戊二烯镁 (Mg(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异 丙醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.1 ： 0.9 ： 0.01， 载气气体为氩气， 氩气气流量为 10sccm。通入氧气， 氧气气流量为 200sccm， 开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至 300nm， 关 闭有。
32、机源和载气， 继续通氧气， 温度降到 100以下， 取出样品 Mg(PO4)0.1(BO3)0.9： 0.01Ti4+。 最后在发光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0076 实施例 4 ： 衬底为 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用 蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的真空度抽至 4.010-3Pa ； 然后把衬底进行 700热处理 20 分钟， 然后温度降为 500。打开旋转电机， 调节衬底托的转速为 300 转 / 分， 通入有机源双环戊二烯钙 (Ca(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异丙。
33、醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.3 ： 0.7 ： 0.03， 载气气体为氩气， 氩气 气流量为 10sccm。通入氧气， 氧气气流量为 120sccm， 开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积至 150nm， 关闭有机源和载气， 继续通氧气， 温度降到 100以下， 取出样品 Ca(PO4)0.3(BO3)0.7： 0.03Ti4+最后在发光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0077 实施例 5 ： 衬底为南玻公司购买的 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入设备反应室。 用机械泵和分子泵把腔体的真 空度抽。
34、至1.010-3Pa ； 然后把衬底进行700热处理10分钟， 然后温度降为250。 打开旋 转电机， 调节衬底托的转速为50转/分， 通入机源双环戊二烯钙(Ca(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷 烷 （PH3） 和四异丙醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.2 ： 0.8 ： 0.06， 载气气体为氩气， 氩 气气流量为 10sccm。通入氧气， 氧气气流量为 10sccm， 开始薄膜的沉积。薄膜的厚度沉积 至80nm， 关闭有机源和载气， 继续通氧气， 温度降到100以下， 取出样品Ca(PO4)0.2(BO3)0.8： 0.06Ti4+。最后在发光薄膜上面。
35、蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0078 实施例 6 ： 衬底为南玻公司购买的 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的 真空度抽至 1.010-2Pa ； 然后把衬底进行 700热处理 30 分钟， 然后温度降为 650。打 开旋转电机， 调节衬底托的转速为 1000 转 / 分， 通入有机源双环戊二烯钙 (Ca(C5H5)2)、 硼 烷 （BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异丙醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.1 ： 0.9 ： 0.01， 载气 气体为氩气， 氩气气流。
36、量为 10sccm。通入氧气， 氧气气流量为 200sccm， 开始薄膜的沉积。 薄膜的厚度沉积至 300nm， 关闭有机源和载气， 继续通氧气， 温度降到 100以下， 取出样品 说 明 书 CN 104119894 A 8 6/7 页 9 Ca(PO4)0.1(BO3)0.9： 0.01Ti4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0079 实施例 7 ： 衬底为南玻公司购买的 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的 真空度抽至 4.010-3Pa ； 然后把衬底进行 700热处理。
37、 20 分钟， 然后温度降为 500。打 开旋转电机， 调节衬底托的转速为 300 转 / 分， 通入有机源双环戊二烯锶 (Sr(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异丙醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.3 ： 0.7 ： 0.03， 载气气 体为氩气， 氩气气流量为 10sccm。通入氧气， 氧气气流量为 120sccm， 开始薄膜的沉积。薄 膜的厚度沉积至 150nm， 关闭有机源和载气， 继续通氧气， 温度降到 100以下， 取出样品 Sr(PO4)0.3(BO3)0.7： 0.03Ti4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。
38、。 0080 实施例 8 ： 衬底为南玻公司购买的 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的 真空度抽至 1.010-3Pa ； 然后把衬底进行 700热处理 10 分钟， 然后温度降为 250。打 开旋转电机， 调节衬底托的转速为 50 转 / 分， 通入有机源双环戊二烯锶 (Sr(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异丙醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.2 ： 0.8 ： 0.06， 载气气 体为氩气， 氩气气流量为 10sccm。通入氧气， 。
39、氧气气流量为 10sccm， 开始薄膜的沉积。薄 膜的厚度沉积至 80nm， 关闭有机源和载气， 继续通氧气， 温度降到 100以下， 取出样品 Sr(PO4)0.2(BO3)0.8： 0.06Ti4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0081 实施例 9 ： 衬底为南玻公司购买的 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的 真空度抽至 1.010-2Pa ； 然后把衬底进行 700热处理 30 分钟， 然后温度降为 650。打 开旋转电机， 调节衬底托的转速为 1000 转 / 分，。
40、 通入机源双环戊二烯锶 (Sr(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异丙醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.1 ： 0.9 ： 0.01， 载气气 体为氩气， 氩气气流量为 10sccm。通入氧气， 氧气气流量为 200sccm， 开始薄膜的沉积。薄 膜的厚度沉积至 300nm， 关闭有机源和载气， 继续通氧气， 温度降到 100以下， 取出样品 Sr(PO4)0.1(BO3)0.9： 0.01Ti4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0082 实施例 10 ： 衬底为南玻公司购买的 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声。
41、清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的 真空度抽至 4.010-3Pa ； 然后把衬底进行 700热处理 20 分钟， 然后温度降为 500。打 开旋转电机， 调节衬底托的转速为 300 转 / 分， 通入机源双环戊二烯钡 (Ba(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异丙醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.3 ： 0.7 ： 0.03， 载气气 体为氩气， 氩气气流量为 10sccm。通入氧气， 氧气气流量为 120sccm， 开始薄膜的沉积。薄 膜的厚度沉积至 150nm， 关闭有机源和载。
42、气， 继续通氧气， 温度降到 100以下， 取出样品 Ba(PO4)0.3(BO3)0.7： 0.03Ti4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0083 实施例 11 ： 衬底为南玻公司购买的 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入设备反应室。 用机械泵和分子泵把腔体的真 空度抽至1.010-3Pa ； 然后把衬底进行700热处理10分钟， 然后温度降为250。 打开旋 转电机， 调节衬底托的转速为50转/分， 通入机源双环戊二烯钡(Ba(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷 烷 （PH3） 和四异丙醇钛 （T。
43、iOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.2 ： 0.8 ： 0.06， 载气气体为氩气， 氩气气流量为10sccm。 通入氧气， 氧气气流量为10sccm， 开始薄膜的沉积。 薄膜的厚度沉积 说 明 书 CN 104119894 A 9 7/7 页 10 至80nm， 关闭有机源和载气， 继续通氧气， 温度降到100以下， 取出样品Ba(PO4)0.2(BO3)0.8： 0.06Ti4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0084 实施例 12 ： 衬底为南玻公司购买的 ITO 玻璃， 先后用甲苯、 丙酮和乙醇超声清洗 5 分钟， 然后用蒸馏水冲洗干净， 氮气风干后送入。
44、设备反应室。用机械泵和分子泵把腔体的 真空度抽至 1.010-2Pa ； 然后把衬底进行 700热处理 30 分钟， 然后温度降为 650。打 开旋转电机， 调节衬底托的转速为 1000 转 / 分， 通入机源双环戊二烯钡 (Ba(C5H5)2)、 硼烷 （BH3） 、 磷烷 （PH3） 和四异丙醇钛 （TiOCH(CH3)24） 的摩尔比为 1 ： 0.1 ： 0.9 ： 0.01， 载气气 体为氩气， 氩气气流量为 10sccm。通入氧气， 氧气气流量为 200sccm， 开始薄膜的沉积。薄 膜的厚度沉积至 300nm， 关闭有机源和载气， 继续通氧气， 温度降到 100以下， 取出样品 。
45、Ba(PO4)0.1(BO3)0.9： 0.01Ti4+。最后在发光薄膜上面蒸镀一层 Ag， 作为阴极。 0085 以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式， 其描述较为具体和详细， 但并 不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是， 对于本领域的普通技术人员 来说， 在不脱离本发明构思的前提下， 还可以做出若干变形和改进， 这些都属于本发明的保 护范围。因此， 本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。 说 明 书 CN 104119894 A 10 1/2 页 11 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 104119894 A 11 2/2 页 12 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 104119894 A 12 。