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1、(10)申请公布号 CN 103417212 A (43)申请公布日 2013.12.04 CN 103417212 A *CN103417212A* (21)申请号 201210158327.2 (22)申请日 2012.05.21 A61B 5/053(2006.01) A61N 1/00(2006.01) (71)申请人 中华大学 地址 中国台湾新竹市 (72)发明人 林君明 (74)专利代理机构 隆天国际知识产权代理有限 公司 72003 代理人 张龙哺 冯志云 (54) 发明名称 生物探针组件 (57) 摘要 一种生物探针组件包含一挠性基板、 一探针 阵列， 以及一粘胶。 挠性基板具。
2、一表面。 探针阵列 包含多个探针。探针阵列设置于挠性基板的该表 面。各探针的凸出长度介于 100 微米至 300 微米 之间。粘胶设置于挠性基板的该表面。 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 7 页 附图 8 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 (10)申请公布号 CN 103417212 A CN 103417212 A *CN103417212A* 1/2 页 2 1. 一种生物探针组件， 包含 ： 一挠性基板， 具一表面 ； 一探针阵列， 包含多个探针， 该探针阵列设置于该挠性基板的该表面， 其中各该探针的。
3、 凸出长度介于 100 微米至 300 微米之间 ； 以及 一粘胶， 设置于该挠性基板的该表面。 2. 如权利要求 1 所述的生物探针组件， 更包含一电路， 相对于该表面形成于该挠性基 板上， 其中该探针阵列电性连接该电路。 3. 如权利要求 2 所述的生物探针组件， 其中该电路包含一天线。 4. 如权利要求 1 所述的生物探针组件， 其是以 RFID 协定、 ZIGBEE 协定或蓝牙协定进行 通信。 5. 如权利要求 1 所述的生物探针组件， 其中各该探针包含多个堆叠段。 6. 如权利要求 1 所述的生物探针组件， 其中各该探针包含具有高分子材料及银的混合 物， 或各该探针包含高分子导电胶。。
4、 7. 如权利要求 1 所述的生物探针组件， 更包含一双面胶带， 其中该双面胶带包含该粘 胶。 8. 如权利要求 1 所述的生物探针组件， 其中除该探针阵列所在位置外， 该粘胶覆盖该 表面。 9. 如权利要求 1 所述的生物探针组件， 其中该粘胶包含可剥离粘胶。 10. 如权利要求 1 所述的生物探针组件， 其中该生物探针组件通过该探针阵列， 测量一 穴位的阻抗或电位。 11. 一种生物探针组件， 包含 ： 一挠性基板， 具一表面 ； 一第一粘胶 ； 一探针阵列， 包含多个探针， 其中该第一粘胶将该探针阵列粘着于该挠性基板的该表 面， 且各该探针的凸出长度介于 100 微米至 300 微米之间。
5、 ； 以及 一第二粘胶， 设置于该挠性基板的该表面。 12. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 更包含一电路， 相对于该表面形成于该挠性 基板上， 其中该探针阵列电性连接该电路。 13. 如权利要求 12 所述的生物探针组件， 其中该电路包含一天线。 14. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 其是以 RFID 协定、 ZIGBEE 协定或蓝牙协定进 行通信。 15. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 其中各该探针包含多个堆叠段。 16. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 其中各该探针包含具有高分子材料及银的混 合物， 或各该探针包含高分子导电胶。 17. 如权利要求 1。
6、1 所述的生物探针组件， 其中该第一粘胶是导电的。 18. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 其中该第一粘胶包含可剥离粘胶。 19. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 更包含一导电胶带， 该导电胶带包含一导电 粘胶， 其中该探针阵列设置于该导电胶带上， 而该导电粘胶为该第一粘胶。 20. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 更包含一双面胶带， 其中该双面胶带包含该 权 利 要 求 书 CN 103417212 A 2 2/2 页 3 第二粘胶。 21. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 其中该第二粘胶包含可剥离粘胶。 22. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 其中除。
7、该探针阵列所在位置外， 该第二粘胶 覆盖该表面。 23. 如权利要求 11 所述的生物探针组件， 其中该生物探针组件通过该探针阵列， 测量 一穴位的阻抗或电位。 权 利 要 求 书 CN 103417212 A 3 1/7 页 4 生物探针组件 技术领域 0001 本发明关于一种探针装置， 特别关于一种生物探针装置。 背景技术 0002 在 1950 年代， Reinhard Voll 医生研究穴位 (Acupuncture Points)， 并发现人体 有近 2000 穴位在皮肤表面， 且该些穴位随一些称为经络 (Meridian) 的路径分布。穴位是 一种特殊的表面解剖位置 (Superf。
8、icial Anatomic Location)， 而在该些位置上的皮肤直 流电阻值， 低于周遭皮肤的电阻值。而 Reinhard Voll 医生又发现， 可通过测量穴位的阻抗 资料， 以测量出对应器官运作的正常与否。此外， 一些电性治疗方法也发现， 可将治疗的电 性信号 (therapy signals)， 以电极导入相关穴位， 以对相对应之器官进行治疗。 0003 美国专利第 4,981,146 号、 美国专利第 5,397,338 号、 美国专利第 5,626,617 号、 美国专利第 6,735,480 号、 美国专利公开号第 2005/0197555 号等， 均为关于利用穴位进行 治。
9、疗， 或进行监测人体健康情况的专利。传统上， 穴位的阻抗信号检测， 是以生物阻抗测量 仪及其金属探棒进行的。 每次进行测量时， 探棒只能测量一个穴位， 而且测量者或施以治疗 者， 需对穴位具有一定水准的专业知识与经验， 方可准确地进行测量或施以治疗信号， 故一 般经验不足的使用者， 无法自行在家利用此项科学发现。 0004 传统的生物阻抗测量仪， 使用者需用手将探棒按压皮肤上。 由于用手按压的力道， 难以在测量时均保持一致， 而可能导致电性接触不佳， 而使测量结果受到影响。此外， 过重 的按压也会让受测者或受治疗者， 产生不愉快的感觉。 发明内容 0005 有鉴于上述问题， 本发明提出新的生物。
10、探针组件。本发明一实施例的生物探针组 件， 包含一挠性基板、 一探针阵列， 以及一粘胶。挠性基板具一表面。探针阵列包含多个探 针。探针阵列设置于挠性基板的该表面。各探针的凸出长度， 介于 100 微米 (m) 至 300 微米之间。粘胶设置于挠性基板的该表面。 0006 本发明另一实施例的生物探针组件， 包含一挠性基板、 一第一粘胶、 一探针阵列， 以及一第二粘胶。挠性基板具一表面。探针阵列包含多个探针。第一粘胶将该些探针粘着 于挠性基板的该表面。各探针的凸出长度， 介于 100 微米至 300 微米之间。第二粘胶设置 于挠性基板的该表面。 附图说明 0007 图 1 为本发明一实施例的生物探。
11、针系统的示意图 ； 0008 图 2 为本发明一实施例的生物探针组件的上视图 ； 0009 图 3 为沿图 2 的断面线 1-1 的剖示图 ； 0010 图 4 为本发明一实施例的生物探针组件的探针阵列的示意图 ； 0011 图 5 为本发明一实施例的生物探针组件粘贴在手部的示意图 ； 说 明 书 CN 103417212 A 4 2/7 页 5 0012 图 6 为本发明另一实施例的可抽换式生物探针组件的上视图 ； 0013 图 7 为沿图 6 的断面线 2-2 的剖示图 ； 0014 图 8 为本发明一实施例的生物探针组件的制作流程中一挠性基板上的经图案后 的多晶硅层的示意图 ； 0015。
12、 图 9 为沿图 8 的断面线 3-3 的剖示图 ； 0016 图 10 为本发明一实施例的生物探针组件， 利用剥离工艺法， 经镀铬、 镍及金的制 作流程步骤后的上视示意图 ； 0017 图 11 为沿图 10 的断面线 4-4 的剖示图 ； 0018 图 12 为本发明一实施例的生物探针组件的截面示意图 ； 0019 图 13 为本发明一实施例的形成于导电胶带上的探针阵列的示意图 ； 以及 0020 图 14 为本发明一实施例的薄膜电容的截面图。 0021 其中， 附图标记说明如下 ： 0022 1 生物探针系统 0023 11 生物探针组件 0024 11 生物探针组件 0025 12 主。
13、机 0026 21 挠性基板 0027 22 粘胶 0028 23 电路 0029 24 导电柱 0030 25 接垫 0031 26 天线 0032 27 晶片 0033 28 薄膜电阻 0034 29 薄膜电容 0035 30 电源 0036 71 粘胶 0037 81 氧化硅层 0038 82 氧化硅层 0039 83 保护层 0040 84 非晶硅层 0041 85 通孔 0042 86 光阻层 0043 87 接垫 0044 88 光阻层 0045 111 接收器 0046 112 发送器 0047 113 处理器 0048 114 存储器 说 明 书 CN 103417212 A 。
14、5 3/7 页 6 0049 115 探针阵列 0050 121 发送器 0051 122 接收器 0052 123 控制器 0053 124 存储器 0054 125 监控装置 0055 131 导电胶带 0056 141 下电极 0057 142 介质层 0058 143 铬层 0059 144 镍层 0060 145 金层 0061 211 表面 0062 1131 A/D 转换器 0063 1132 D/A 转换器 0064 1133 电压放大器 0065 1151 探针 具体实施方式 0066 图 1 为本发明一实施例的生物探针系统 1 的示意图。图 2 为本发明一实施例的生 物探针。
15、组件 11 的上视图。图 3 为沿图 2 的断面线 1-1 的剖示图。参照图 1 至图 3 所示， 生 物探针系统 (bio probe system)1 可用于穴位电性测量及通过穴位进行治疗。生物探针系 统 1 包含一生物探针组件 11 及一主机 (host)12。生物探针组件 11 可包含至少一探针阵列 115， 各探针阵列 115 可抵触在一穴位上的皮肤， 以对该穴位进行测量或施加治疗信号。在 一些实施例中， 生物探针组件 11 可包含多个探针阵列 115。主机 12 可传送编码 (code) 至 生物探针组件 11， 使生物探针组件 11 可根据编码内容， 进行穴位电性测量 ( 例如 。
16、： 穴位阻 抗或电位 (electrical potential) 测量 )， 或产生施加适当的电性治疗信号。在一些实施 例中， 编码可包含穴位代码， 生物探针组件 11 可通过穴位代码， 判断编码归属于哪个穴位。 在一些实施例中， 编码可包含治疗信号的强度信息。 在一些实施例中， 编码可包含治疗信号 的频率。 此外， 生物探针组件11可将穴位测量值传送回主机12， 主机12可根据回传的穴位 测量值， 判断穴位对应的脏器的健康状态， 或者判断治疗后的效果。主机 12 也可根据穴位 测量值， 传送新的编码， 改变治疗信号的强度或频率。 0067 较佳地， 主机12与生物探针组件11间， 可以无线。
17、方式进行通信。 在一些实施例中， 主机 12 与生物探针组件 11 间， 是以 RFID(Radio FrequencyIDentification) 协定进行通 信。在一些实施例中， 主机 12 与生物探针组件 11 间， 可以用其他无线通信协定进行通信， 如 ZIGBEE 或是蓝牙技术。在一些实施例中， 主机 12 与生物探针组件 11 间也可进行有线通 信。 0068 参照图 1 所示， 主机 12 可包含一发送器 121 及一接收器 122。发送器 121 可调 变 (modulate) 编码或指令， 并传送调变后的编码或指令， 到至少一生物探针组件 11。发送 说 明 书 CN 10。
18、3417212 A 6 4/7 页 7 器 121 可进行信号调变， 如脉波宽度调变 (pulse width modulation ； PWM)、 脉波间隔调变 (pulse interval modulation ； PIM)， 或进行其他类似调变。 接收器122可接收来自生物探 针组件 11 的调变资料。接收器 122 可解调 (demodulate) 该调变资料。如接收器 122 可进 行振幅移键(amplitude shift keying ； ASK)解调变、 相移键控(phase shift keying ； PSK) 解调变， 或进行其他类似解调变。 0069 主机 12 可另。
19、包含一控制器 123 及一存储器 124。控制器 123 可控制发送器 121、 接收器122， 以及存储器124。 控制器123可提供编码或指令给发送器121， 以及可从接收器 122 接收资料。控制器 123 可将接收资料储存在存储器 124， 或将接收资料传送至监控装置 125。 0070 监控装置 125 可储存穴位测量值， 并判定穴位测量值是否落在一正常范围内。监 控装置125可提供编码给控制器123。 监控装置125可根据穴位测量值， 提供新的编码给控 制器123。 监控装置125可根据穴位测量值的变化趋势， 改变编码内用于产生治疗信号的信 息， 藉此让生物探针组件 11， 产生不。
20、同频率的治疗信号， 或不同强度的治疗信号。监控装置 125 可根据来自接收器 122 的接收资料， 判断接收资料是与何种穴位相关， 并比较资料内的 穴位测量值， 与对应穴位的正常范围值。监控装置 125 也可记录各生物探针组件 11 及其对 应测量的穴位等资料， 以供建档分析或输出列印成报表。 0071 生物探针组件 11 包含一接收器 111 与一发送器 112。接收器 111 可解调接收的调 变编码或指令。发送器 112 可调变欲传送的资料。发送器 112 可进行 ASK 调变、 PSK 调变 或进行其他类似调变。处理器 113 控制接收器 111、 发送器 112、 存储器 114， 以。
21、及探针阵列 115。处理器 113 可根据接收的编码或指令产生对应的治疗信号或刺激电流。存储器 114 可储存生物探针组件 11 操作程式， 及所需和产生的资料。例如 ： 存储器 114 可储存欲传送 资料、 可储存穴位测量值或探针阵列 115 对应穴位的资料等。 0072 再 参 照 图 1 所 示， 处 理 器 113 可 包 含 一 A/D 转 换 器 (analog-to-digital converter)1131、 一 D/A 转换器 (digital-to-analog converter)1132， 以及一电压放大器 1133。 D/A转换器1132用于产生穴位刺激电流， 电压。
22、放大器1133用于放大穴位接收刺激电 流后所产生的响应信号(response signals)， 而A/D转换器1131则将响应信号转换成数字 穴位测量值。 0073 参照图 2 与图 3 所示， 生物探针组件 11 包含一挠性基板 21、 至少一探针阵列 115， 以及一粘胶 22。挠性基板 21 包含一表面 211。各探针阵列 115 包含多个探针 1151， 至少 一探针阵列 115 设置于挠性基板 21 的表面 211 上， 其中各探针 1151 的凸出长度 L， 可介于 100 微米至 300 微米 (m) 之间。此外， 粘胶 22 设置于挠性基板 21 的表面 211 上， 粘胶 。
23、22 用于使生物探针组件 11， 可固定在皮肤上。 0074 挠性基板 21 包含高分子材料。在一些实施例中， 挠性基板 21 可包含聚对苯二甲 酸乙二酯 (Polyethylene Terephthalate ； PET) 或聚酰亚胺 (Polyimide ； PI) 等塑胶材料。 0075 探针 1151 可排成阵列。探针阵列 115 所占面积， 大体上可为 0.25 平方公分。探 针 1151 的凸出长度可小于 300 微米 (millimeter)， 较佳地介于 100 微米至 300 微米之间。 探针 1151 可不具尖端， 使其顶端只抵触在皮肤上而不插入皮肤。探针 1151 可以生。
24、物相容 的金属制作。探针 1151 可包含导电混合物。在一些实施例中， 探针 1151 可包含高分子材 料与银。 说 明 书 CN 103417212 A 7 5/7 页 8 0076 粘胶 22 可为绝缘粘胶。粘胶 22 可为用于粘着皮肤的任何粘胶。粘胶 22 可为医 疗用粘胶。粘胶 22 可包含可剥离粘胶 (removable adhesive)。在一些实施例中， 粘胶 22 是包含于一双面胶带上。 0077 在一些实施例中， 除探针阵列 115 所在的位置外， 粘胶 22 覆盖挠性基板 21 的整个 表面 211， 如图 4 所示。 0078 参照图2与图3所示， 在一些实施例中， 生物。
25、探针组件11更包含一电路23， 电路23 形成在挠性基板 21 的表面 211 上， 其中探针阵列 115 电性连接电路 23。在一些实施例中， 探针阵列 115 通过穿透挠性基板 21 的至少一导电柱 24 连接电路 23。在一些实施例中， 电 路 23 包含一接垫 (pad)25， 其中接垫 25 连接至少一导电柱 24。 0079 参照图1与图2所示， 生物探针组件11可包含一晶片27。 晶片27耦接电路23， 并 可包含接收器 111、 发送器 112、 处理器 113， 以及存储器 114。电路 23 可更包含一天线 26， 其中晶片 27 可耦接天线 26。 0080 在一些实施例。
26、中， 电路 23 可更包含至少一薄膜电阻 28。在一些实施例中， 薄膜电 阻 28 可为晶片 27 的外接电阻。 0081 在一些实施例中， 电路 23 可更包含一薄膜电容 29。在一些实施例中， 薄膜电容 29 可为晶片 27 的外接电容。 0082 在一些实施例中， 生物探针组件 11 可包含一电源 30， 电源 30 提供生物探针组件 11 操作时所需电力。在一些实施例中， 电源 30 包含电池。 0083 在一些实施例中， 生物探针组件11为RFID装置， 其可进一步包含一整流模块及一 钟波产生震荡模块。整流模块将微波信号转换成电能， 以提供生物探针组件 11 在被动模 式 (Pass。
27、ive Mode) 操作时， 所需的电能。钟波产生震荡模块， 可产生一钟波信号 (Clock)。 在一些实施例中， 整流模块可耦接薄膜电容 29。在一些实施例中， 钟波产生震荡模块， 可 包含薄膜电容 29 和薄膜电阻 28。在一些实施例中， 钟波产生震荡模块可为多谐波震荡器 (Multi-vibrator)。 0084 参照图 3 与图 5 所示， 生物探针组件 11 易弯曲， 且可经由图 3 及图 4 的粘胶 22， 贴附在人体皮肤表面， 加上探针阵列 115 的探针 1151， 有凸出一段适当的长度， 使得当生物 探针组件 11 贴附在皮肤上后， 探针 1151 可施加一致的压力， 并可。
28、确保不同时候测量时， 探 针 1151 皆与皮肤有良好及稳定的电性接触。因探针 1151 有适当凸出一段长度， 故可避免 受测者或受治疗者， 产生不愉快的感觉。此外， 多根排成阵列的探针 1151， 可让使用者无需 准确知道穴位的位置， 而可进行测量。 0085 图 6 为本发明另一实施例的生物探针组件 11 的上视图， 其中生物探针组件 11 包含电容 29。图 7 为沿图 6 的断面线 2-2 的剖示图。参照图 2、 图 3、 图 6 及图 7 所示， 生物 探针组件 11 类似图 2 与图 3 实施例所公开的生物探针组件 11， 不同处在于生物探针组件 11 的探针阵列 115 是可抽换。
29、 (replaceable)。为此， 在一些实施例中， 生物探针组件 11 更包含一粘胶 71， 粘胶 71 可将探针阵列 115 固定在挠性基板 21 上。在一些实施例中， 将 粘胶 71 加热后， 探针阵列 115 可被拆卸。在一些实施例中， 粘胶 71 为可导电 (conductive paste)， 通过导电粘胶 71， 探针阵列 115 可电性连接电路 23。在一些实施例中， 粘胶 71 包 含可剥离粘胶 (removable adhesive)。在一些实施例中， 粘胶 71 包含可剥离导电粘胶 (removable conductive adhesive)。在一些实施例中， 生物探。
30、针组件 11 包含一导电胶带 说 明 书 CN 103417212 A 8 6/7 页 9 (electrically conductive tape)， 导电胶带包含一第一导电粘胶及一第二导电粘胶， 其 中第一导电粘胶粘着于挠性基板 21 的表面 211， 第二导电粘胶为导电粘胶 71。 0086 以下例举说明生物探针组件的制作流程， 但本发明不限于以下的举例。 0087 参照图 8 与图 9 所示， 在挠性基板 21 的相对两表面上各形成一二氧化硅层 81 或 82。在一些实施例中， 二氧化硅层的厚度可为 1 至 10 微米。在一些实施例中， 二氧化硅层 可以蒸镀的方式形成。 0088 在。
31、二氧化硅层 82 上形成一保护层 83， 其中保护层 83 可保护二氧化硅层 82， 或具 有防湿的效用。在一些实施例中， 保护层 83 包含光阻。在一些实施例中， 保护层 83 包含正 极性光阻。在一些实施例中， 保护层 83 的厚度为 0.5 至 10 微米。 0089 在二氧化硅层 81 上， 可用蒸镀法形成含有 P( 或 N) 型参杂的非晶硅层 84。参杂的 非晶硅层 84 再施以激光进行退火， 使非晶硅层 84 转变成含有 P( 或 N) 型参杂的多晶硅层。 多晶硅层经图案化后， 形成薄膜电阻 28。在一些实施例中， 非晶硅层 84 是利用电子枪蒸镀 含有 P( 或 N) 型参杂 (。
32、P or N-Type Impurity) 及硅等粉末的混合物而形成。在一些实施 例中， 非晶硅层 84 的厚度为 1 至 25 微米。 0090 参照图 11 所示， 在挠性基板 21 上形成多个通孔 85。在一些实施例中， 多个通孔 85 可利用激光形成。 0091 然后， 依序蒸镀铬、 镍及无电电镀金等金属。特别地， 因为通孔 85 的直径较大， 而 挠性基板 21 也很薄， 所以通孔 85 可以填满铬、 镍及金等金属导体。而后利用黄光工艺， 利 用光阻保护， 去掉不用的金属导体。最后将光阻去掉， 即可得到贯穿孔区及电路 23。 0092 在另一些实施例中， 在挠性基板 21 上形成多个。
33、通孔 85 后， 可先在挠性基板的两 面， 分别形成一图案化光阻层 86 及 88( 如图 11)。在一些实施例中， 光阻层 86 及 88 包含 SU-8 光阻。然后， 蒸镀铬、 镍及无电电镀金。最后， 再以剥离工艺法 (Lift-off Process) 移 除不必要的铬、 镍及金层。最后再将光阻 86 及 88 去掉。 0093 参照图12所示， 以网印工艺在铬、 镍及金所构成的接垫87上， 直接形成探针1151。 在一些实施例中， 网印步骤可重复多次， 以形成具有多个堆叠段的探针1151。 在一些实施例 中， 网印步骤可重复多次， 以形成凸出长度介于100微米至300微米间的探针115。
34、1。 凸出长 度介于 100 微米至 300 微米间的探针 1151， 可以使探针 1151 与皮肤间， 产生较适宜的接触 压力， 藉此获得良好的电性接触效果。在一些实施例中， 探针 1151 可以高分子材料与银的 混合物 ( 或其他导电材料， 如导电高分子等 )， 网印形成。 0094 其次， 在探针 1151 所在的区域外， 施以固定生物探针组件的粘胶 22。在一些实施 例中， 粘胶22包含可剥离粘胶(removable adhesive)。 在一些实施例中， 粘胶22覆盖除探 针 1151 所在区域以外的所有区域。在一些实施例中， 一双面胶带粘贴保护层 83， 其中双面 胶带外露的粘胶层。
35、即为粘胶 22。在一些实施例中， 粘胶 22 为绝缘粘胶。 0095 接着， 在电路 23 的焊垫 (Bonding Pads) 上形成金属凸块 (Metal Bumps)( 如可用 网印导电胶的方法制作)， 然后以覆晶方式， 将晶片27固定在对应的焊垫上(如可用热摩擦 挤压法 (Thermal Compression) 固定 )， 并填充底胶 (Underfill)， 以便将晶片加强固定在 基板上而不容易脱落。最后， 在挠性基板 21 上焊接电池的基座， 放上电池， 即完成生物探针 组件。 0096 在另一些实施例中， 探针阵列 115 为可移除及抽换式， 而相关的制作方法例示如 说 明 书。
36、 CN 103417212 A 9 7/7 页 10 下。 0097 参照图 13 所示， 在导电胶带 131 上以网印方式， 形成多组探针阵列 115。在一些 实施例中， 网印步骤可重复多次， 以形成凸出长度介于 100 微米至 300 微米间的探针 1151。 在一些实施例中， 探针 1151 是以高分子材料与银的混合物 ( 或导电高分子 ) 网印形成。在 一些实施例中， 导电胶带 131 可为导电银膜胶带 (Conductive Silver Tape)， 或导电网纱 (Conductive Mesh)。在一些实施例中， 导电胶带 131 可为铜箔胶带或铝箔胶带。在一些实 施中， 导电胶。
37、带 131 的基材包含铜、 铝或绝缘材料。 0098 然后， 再将导电胶带 131 裁切开。如此， 在图 11 实施例的光阻层 86 移除后， 探针 阵列 115 可通过导电胶带 131 直接贴在接垫 87。最后， 再完成粘胶 22、 晶片 27、 电池的基座 及电池的设置。由于使用导电胶带 131 的缘故， 探针阵列 115 变成可抽换。因此， 如果探针 阵列 115 有污损， 就可进行抽换， 故而可增加生物探针组件使用次数， 降低成本。 0099 图 14 为本发明一实施例的薄膜电容 29 的截面图。如图 14 所示， 薄膜电容 29 可 包含一下电极 141、 一上电极 145， 及一介。
38、质层 142。下电极 141 可包含 P( 或 N) 型参杂的多 晶硅。上电极包含铬层 143、 镍层 144 及金层 145。介质层 142 可包含二氧化硅或其他绝缘 材料。 0100 本发明的技术内容及技术特点， 已公开如上， 然而熟悉本项技术的人士， 仍可能基 于本发明的教示及揭示， 而作种种不背离本发明精神的替换及修饰。 因此， 本发明的保护范 围， 应不限于实施例所公开的内容， 而应包括各种不背离本发明的替换及修饰， 并为以下的 申请的权利要求保护范围所涵盖。 说 明 书 CN 103417212 A 10 1/8 页 11 图 1 说 明 书 附 图 CN 103417212 A 。
39、11 2/8 页 12 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 103417212 A 12 3/8 页 13 图 4 图 5 说 明 书 附 图 CN 103417212 A 13 4/8 页 14 图 6 图 7 说 明 书 附 图 CN 103417212 A 14 5/8 页 15 图 8 图 9 说 明 书 附 图 CN 103417212 A 15 6/8 页 16 图 10 图 11 说 明 书 附 图 CN 103417212 A 16 7/8 页 17 图 12 图 13 说 明 书 附 图 CN 103417212 A 17 8/8 页 18 图 14 说 明 书 附 图 CN 103417212 A 18 。