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1、(10)申请公布号 CN 102953118 A (43)申请公布日 2013.03.06 CN 102953118 A *CN102953118A* (21)申请号 201210450582.4 (22)申请日 2012.11.12 C30B 25/02(2006.01) C30B 29/02(2006.01) C01B 31/04(2006.01) (71)申请人 北京大学 地址 100871 北京市海淀区颐和园路 5 号北 京大学化学与分子工程学院 (72)发明人 刘忠范 剡剀 吴迪 彭海琳 (74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限 公司 11245 代理人 关畅 (54) 发明名。
2、称 一种单晶石墨烯 pn 结及其制备方法 (57) 摘要 本发明公开了一种调制掺杂石墨烯 pn 结及 其制备方法。 所述调制掺杂石墨烯pn结是按照包 括下述步骤的方法制备得到的 : 1) 对铜箔基底进 行退火处理 ; 2) 在铜箔表面以甲烷为碳源生长亚 单层本征石墨烯孤立 ; 3) 使用惰性气体清理生长 体系 ; 4) 以乙腈蒸汽为含氮碳源, 在本征石墨烯 孤岛边界生长氮掺杂石墨烯 ; 5) 重复步骤 2)-4) 的操作至少 0 次, 得到单级或多级石墨烯 pn 结 ; 6) 快速降温终止生长过程 ; 7) 以 PMMA 为媒介将 调制掺杂生长得到的石墨烯 pn 结转移到任意目 标基底上。本发。
3、明通过在石墨烯生长过程中对碳 源进行调节, 得到高质量的调制掺杂单晶石墨烯 pn 结。该产品具有很高迁移率, 高效的光电转化 效率, 其转移特性曲线有双 Dirac 点, 可用于逻辑 器件如反相器和倍频器等。 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 5 页 附图 7 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 2 页 说明书 5 页 附图 7 页 1/2 页 2 1. 一种制备调制掺杂单晶石墨烯 pn 结的方法, 包括下述步骤 : 1) 将铜箔置于反应器中并在还原性气氛下进行退火 ; 2) 在 980-1020温度下向所述反应器中通入碳源气体与还原性。
4、气体的混合气体, 在 步骤 1) 退火后的铜箔表面生长亚单层的本征石墨烯孤岛 ; 3) 向所述反应器中通入惰性气体与还原性气体的混合气体, 以除去步骤 2) 中通入的 碳源气体 ; 同时将体系温度降低至 900-960 ; 4) 维持体系温度在 900-960, 向所述反应器中通入含氮碳源与还原性气体的混合气 体, 在步骤 2) 所述本征石墨烯孤岛的间隙中, 以已有的孤岛边缘为起点生长氮掺杂的石墨 烯 ; 5) 重复所述步骤 2)-4) 的操作至少 0 次, 得到单级或多级的石墨烯 pn 结 ; 6) 降低体系温度至室温使得生长不再进行, 得到沉积在铜箔表面的调制掺杂单晶石墨 烯 pn 结。 。
5、2. 根据权利要求 1 所述的方法, 其特征在于 : 步骤 1) 中所述铜箔的厚度为 20m-100m, 使用前经质量浓度 5的盐酸及去离子水对表面进行常温清洗 ; 所述退火的温度为 980-1040, 退火时间为 20min-60min ; 所述还原性气氛为氢气气 氛, 流量为 2sccm-20sccm, 体系的压强为 1Pa-50Pa。 3.根据权利要求1或2所述的方法, 其特征在于 : 步骤2)中所述碳源气体为甲烷气体、 乙烯或苯, 所述甲烷气体的纯度不低于 99.999, 所述甲烷气体的流量为 1sccm-5sccm ; 所 述还原性气体为氢气, 其流量为 2-20sccm ; 体系的。
6、压强为 10Pa-20Pa ; 所述生长的时间为 10s-30s ; 所述本征石墨烯孤岛的尺寸在 2m-20m 之间。 4. 根据权利要求 1-3 中任一项所述的方法, 其特征在于 : 步骤 3) 中所述惰性气体为氩 气, 其流量为 50sccm-200sccm ; 所述还原性气体为氢气, 其流量为 2-20sccm ; 通入惰性气体 与还原性气体的混合气体的时间为 1-3min。 5. 根据权利要求 1-4 中任一项所述的方法, 其特征在于 : 步骤 4) 中所述含氮碳源为乙 腈蒸汽或吡啶蒸汽, 体系中所述乙腈蒸汽或吡啶蒸汽的分压为 1-5Pa ; 所述还原性气体为 氢气, 其流量为 2-2。
7、0sccm ; 所述生长的时间小于 30s, 生长得到的是孤立的调制掺杂石墨烯孤岛 ; 所述生长时间大于 3min, 生长得到的是连续的调制掺杂石墨烯薄膜 ; 所述生长时间在 30s-3min 之间, 生长得到的是准连续的调制掺杂石墨烯薄膜。 6. 根据权利要求 1-5 中任一项所述的方法, 其特征在于 : 所述方法还包括将步骤 6) 得 到的沉积在铜箔表面的调制掺杂石墨烯 pn 结使用聚甲基丙烯酸甲酯转移到任意目标基底 表面的步骤。 7. 根据权利要求 6 所述的方法, 其特征在于 : 所述步骤具体如下 : 将质量分数为 2 -5的聚甲基丙烯酸甲酯的乳酸乙酯溶液悬涂于调制掺杂石墨烯 pn 结。
8、表面, 制得聚甲 基丙烯酸甲酯薄膜, 所述悬涂速率为 1000rpm-4000rpm, 悬涂时间为 30s-60s ; 随后在 170 下进行60s以上的烘烤 ; 使用浓度不低于1M的三氯化铁酸性溶液或过硫酸盐溶液作为铜箔 的刻蚀剂对铜进行刻蚀, 刻蚀时间为 5min-30min, 得到由聚甲基丙烯酸甲酯支撑的调制掺 杂石墨烯 pn 结薄膜 ; 将该薄膜置于目标基底上晾干并使用丙酮去除聚甲基丙烯酸甲酯后 即可得到转移后的调制掺杂石墨烯 pn 结薄膜。 权 利 要 求 书 CN 102953118 A 2 2/2 页 3 8. 权利要求 1-7 中任一项所述的方法制备得到的调制掺杂单晶石墨烯 p。
9、n 结。 9. 权利要求 8 所述的调制掺杂单晶石墨烯 pn 结在制备光电检测器件中的应用。 10. 权利要求 8 所述的调制掺杂单晶石墨烯 pn 结在制备逻辑器件中的应用。 权 利 要 求 书 CN 102953118 A 3 1/5 页 4 一种单晶石墨烯 pn 结及其制备方法 技术领域 0001 本发明涉及一种单晶石墨烯 pn 结及其制备方法。 背景技术 0002 石墨烯是一种由单层碳原子按照六方对称的蜂巢结构排布成的二维薄膜材料。 由 于石墨烯在电学、 光学、 热学以及力学等方面具有优异的性质, 自其被发现以来就引起物 理、 化学、 生物、 材料等各领域的广泛关注, 同时也受到工业界的。
10、广泛关注。 对于电子传输而 言, 石墨烯的电子迁移率比传统的硅材料高两个数量级以上, 而且对称的能带结构导致其 具有匹配的电子和空穴迁移率, 因而石墨烯被视为硅基电子学的有力竞争者。 光学方面, 石 墨烯在从可见光至远红外范围内保持良好的透光性, 吸光率仅为 0.23, 结合其优异的导 电性及柔韧性, 石墨烯有望取代 ITO 等材料成为下一代的透明导电材料。 0003 与硅基电子学类似, 石墨烯在电子学以及光电子学领域的应用离不开有效地掺杂 以及 pn 结的构筑, 即根据需要将不同区域的石墨烯费米能级调节到合适的位置, 继而实现 特定的电子运算性能以及光电转换性能。由于石墨烯仅有一层碳原子构成。
11、, 碳原子之间的 共价键强度很大, 传统的诸如离子注入等用于硅材料掺杂的方法不再适用。目前制备石墨 烯单晶 pn 结的方法往往基于机械剥离得到的微米尺度石墨烯, 不利于规模的扩大 ; 此外, 实现掺杂的方法一般也都局限在对外界环境的控制上, 通过制备结构复杂的顶栅或使用稳 定性较差的表面吸附来实现石墨烯的局域掺杂及 pn 结的构筑。 发明内容 0004 本发明的目的是提供一种调制掺杂单晶石墨烯 pn 结及其制备方法。 0005 本发明所提供的调制掺杂单晶石墨烯 pn 结是按照包括下述步骤的方法制备得到 的 : 0006 1) 将铜箔置于反应器中并在还原性气氛下进行退火, 还原铜箔表面残留的氧化。
12、物 并扩大铜晶畴尺寸 ; 0007 2) 在 980-1020温度下向所述反应器中通入一定时间的碳源气体与还原性气体 的混合气体, 在铜箔表面生长得到亚单层的本征石墨烯孤岛 ; 0008 3) 向所述反应器中通入一定时间的惰性气体与还原性气体的混合气体, 对前一步 的生长气氛 ( 即碳源气体 ) 进行清理, 同时将体系温度降低至 900-960 ; 0009 4) 维持体系温度在 900-960, 向所述反应器中通入一定时间的含氮碳源与还原 性气体的混合气体, 在步骤 2) 所述本征石墨烯孤岛的间隙中, 以已有的孤岛边缘为起点生 长氮掺杂的石墨烯 ; 0010 5) 根据需要重复上述步骤 2)。
13、-4) 的操作, 得到单级或多级的石墨烯 pn 结 ; 0011 6) 迅速降低体系温度至室温使得生长不再进行, 得到沉积在铜箔表面的调制掺杂 单晶石墨烯 pn 结。 0012 其中, 步骤 1) 中所述铜箔为商业化产品, 铜箔纯度在 99以上, 厚度可为 说 明 书 CN 102953118 A 4 2/5 页 5 20m-100m, 使用前需经质量浓度5的稀盐酸及去离子水对表面进行常温清洗。 所述退 火在 980-1040之间进行, 退火时间为 20min-60min。退火后铜的晶畴可达数百微米。所 用还原性气氛为氢气气氛, 流量为 2sccm-20sccm, 体系压强在 1Pa-50Pa。
14、 之间。所述反应器 可采用带有磁力控制装置的套管, 通过将套管置于管式炉中实现加热。 0013 步骤 2) 中所述碳源气体可为甲烷气体、 乙烯或苯等。所用甲烷纯度不低于 99.999, 甲烷的流量为 1sccm-5sccm。所述还原性气体为氢气, 其流量为 2-20sccm。生长 时间为 10s-30s, 体系压强为 10Pa-20Pa。得到的本征石墨烯孤岛尺寸强烈受到生长条件影 响, 在 2m-20m 之间 ( 由于孤岛不规则, 可以看成是平均直径 )。 0014 步骤 3) 所用的惰性气体为氩气, 流量为 50sccm-200sccm ; 所用的还原性气体为氢 气, 流量为 2-20scc。
15、m, 该步骤处理时间为 1-3min。 0015 步骤 4) 中所述含氮碳源可为乙腈蒸汽或吡啶蒸汽。以乙腈为例, 采用分析纯以上 纯度商用作为生长氮掺杂石墨烯的含氮碳源, 使用针阀对气流进行调节, 体系中乙腈的分 压为 1-5Pa。所用的还原性气体为氢气, 流量为 2-20sccm。当生长时间小于 30s 时得到的 是孤立的调制掺杂石墨烯 pn 结孤岛, 大于 3min 后可得到连续的调制掺杂石墨烯 pn 结薄 膜, 当生长时间在 30s-3min 之间, 得到的是准连续的薄膜, 即有些地方连起来了, 有些地方 还有缝隙。 0016 步骤 6) 中使用磁力套管将样品从高温区拖至室温区域, 迅速。
16、终止生长的继续进 行。 0017 所述方法还包括将步骤6)得到的沉积在铜箔表面的调制掺杂石墨烯pn结使用聚 甲基丙烯酸甲酯 (PMMA) 转移到特定的基底表面。 0018 所使用的转移媒介 PMMA 溶液由分子量为 996K 的商用 PMMA 固体颗粒溶于化学纯 以上纯度的乳酸乙酯溶液中制得, 质量分数为2-5; 使用悬涂的方式在得到的调制掺杂 石墨烯 - 铜箔样品表面制得 PMMA 薄膜, 悬涂速率为 1000rpm-4000rpm, 时间为 30s-60s, 随 后在 120-170下进行 60s 以上的烘烤 ; 使用浓度不低于 1M 的三氯化铁酸性溶液或过硫酸 盐溶液作为铜的刻蚀剂对样品。
17、中的铜进行刻蚀, 刻蚀时间为 5min-30min, 得到由 PMMA 支撑 的调制掺杂石墨烯 pn 结薄膜 ; 将该薄膜置于目标基底上晾干并使用丙酮去除 PMMA 后即可 得到转移后的调制掺杂石墨烯pn结薄膜, 目标基底可以是二氧化硅-硅基底、 玻璃、 塑料或 云母等。 0019 本发明的再一个目的是提供所述调制掺杂单晶石墨烯 pn 结的应用。 0020 本发明所提供的调制掺杂单晶石墨烯 pn 结的应用包括在制备光电检测器件 ( 见 图 10、 12), 逻辑器件如反相器和倍频器等中的应用。 0021 该方法通过在石墨烯生长过程中对碳源进行调节, 制备出调制掺杂的石墨烯样 品, 得到高质量的。
18、单晶石墨烯 pn 结。该方法得到的样品面积只与铜箔大小有关, 可推广至 大规模生产。本发明制备的调制掺杂石墨烯 pn 结具有很高迁移率, 高效的光电转化效率, 其转移特性曲线有双 Dirac 点, 可用于逻辑器件如反相器和倍频器等。 附图说明 0022 图 1 为本发明生长调制掺杂单晶石墨烯 pn 结所用的反应装置结构示意图 ; 0023 图 2 为本发明生长调制掺杂单晶石墨烯 pn 结的过程示意图 ; 说 明 书 CN 102953118 A 5 3/5 页 6 0024 图 3 为转移到二氧化硅 - 氧化硅基底表面的调制掺杂单晶石墨烯 pn 结薄膜样品 的扫描电子显微镜照片 ; 0025 。
19、图 4 为转移到二氧化硅 - 氧化硅基底表面的调制掺杂单晶石墨烯 pn 结孤岛样品 的扫描电子显微镜照片 ; 0026 图 5 为三次调制掺杂得到的多级石墨烯 pn 结的电子显微镜照片 ; 0027 图 6 为转移到 4 英寸硅片上的调制掺杂单晶石墨烯 pn 结的照片 ; 0028 图 7 为石墨烯场效应晶体管的结构示意图 ; 0029 图 8 为实施例 1 中本征石墨烯、 掺杂石墨烯以及跨过石墨烯 pn 结的电阻测量的输 出曲线 ; 0030 图 9 为实施例 1 中测定的本征石墨烯、 掺杂石墨烯以及石墨烯 pn 结的转移特性曲 线 ; 0031 图 10 为实施例 1 中测定的单晶石墨烯 。
20、pn 结在光照与暗场下的输出曲线 ; 0032 图 11 为实施例 1 中测定的单晶石墨烯 pn 结处的光电流在栅压调控下的曲线 ; 0033 图 12 为七个 pn 结并联的光电器件的扫描电子显微镜照片 ; 0034 图 13 为 pn 结并联器件的光电响应曲线 ; 0035 图 14 为调制掺杂单晶石墨烯 pn 结孤岛的透射电镜照片及其选区电子衍射图。 具体实施方式 0036 下面通过具体实施例对本发明进行说明, 但本发明并不局限于此。 0037 下述实施例中所述实验方法, 如无特殊说明, 均为常规方法 ; 所述试剂和材料, 如 无特殊说明, 均可从商业途径获得。 0038 本发明所提供的。
21、大规模生长单晶石墨烯 pn 结的方法所采用的装置示意图如图 1 所示。 0039 本发明所提供的大规模生长单晶石墨烯pn结的过程示意图如图2所示, 其中编号 1是铜箔基底, 编号2是亚单层的本征石墨烯孤岛, 编号3是氮掺杂石墨烯, 编号4是烘干后 的 PMMA 薄膜, 编号 5 是覆有 300nm 氧化硅层的硅基底 ; 其中步骤 A 为通入碳源气体生长本 征石墨烯, 步骤B为通入惰性气体清理气氛及通入乙腈蒸汽生长氮掺杂石墨烯, 步骤C为在 样品表面悬涂 PMMA 溶液, 步骤 D 为使用刻蚀剂刻蚀铜基底, 步骤 E 为将 PMMA 支撑的调制掺 杂石墨烯贴附在目标基底上, 步骤 F 为使用丙酮。
22、去除 PMMA。 0040 实施例 1、 单次调制制备单级单晶石墨烯 pn 结 0041 1) 使用质量分数 5的稀盐酸和去离子水依次清洗铜箔 (Alfa Aesar 公司生 产, 纯度 99.8, 厚度 25m), 将铜箔置于带有磁力控制装置的套管中, 再将套管置于管 式炉中, 在流量为 5sccm 的氢气气氛下将炉体温度升至 1020, 体系压强约为 10Pa, 保持 30min ; 0042 2)将炉体温度降至1000, 保持氢气流量不变, 通入流量为5sccm的甲烷气体, 保 持 30s, 体系压强约为 20Pa, 完成本征石墨烯孤岛的生长, 其尺寸为为 2-20m ; 0043 3)。
23、 保持氢气流量不变, 关闭甲烷气体, 通入流量为 200sccm 的氩气气体, 保持 3min, 在通入氩气的同时将炉体温度降低至 960 ; 0044 4) 保持炉体温度稳定在 960, 保持氢气流量不变, 关闭氩气气体, 打开控制乙腈 说 明 书 CN 102953118 A 6 4/5 页 7 蒸汽的针阀, 保持乙腈分压为 5Pa, 生长时间 3min, 完成氮掺杂石墨烯的生长, 此时得到连 续的调制掺杂石墨烯 pn 结薄膜样品, 若生长时间为 30s, 将得到调制掺杂石墨烯 pn 结孤岛 样品 ; 0045 5) 使用磁体将装载铜箔的套管从高温区拖出, 将样品温度迅速降至室温, 同时关。
24、 闭乙腈蒸汽, 结束样品生长 ; 0046 6) 取出生长完毕的铜箔样品, 在样品表面以 2000rpm 的转速悬涂质量分数 4的 PMMA乳酸乙酯溶液, 悬涂时间1min ; 在热台上以170摄氏度将样品烤干 ; 使用90W的空气等 离子体对样品反面进行 10min 的刻蚀处理 ; 0047 7) 使用浓度为 1M 的三氯化铁溶液在室温下刻蚀铜箔基底, 刻蚀时间 30min, 得到 由 PMMA 薄膜支撑的石墨烯样品 ; 依次用质量分数 20的稀盐酸和去离子水清洗样品后将 样品贴附在覆有300nm氧化硅的硅基底表面, 将薄膜在500W的红外灯下烘干后使用丙酮去 除 PMMA 薄膜。图 3 为。
25、在覆有 300nm 氧化硅的硅基底上的调制掺杂石墨烯 pn 结薄膜的扫描 电子显微镜照片, 图 4 为调制掺杂石墨烯 pn 结孤岛样品的扫描电子显微镜照片。其中浅色 区域为本征石墨烯, 深色区域为氮掺杂石墨烯。 0048 单晶石墨烯 pn 结的光电性质 : 0049 1、 单晶石墨烯 pn 结的电阻。将石墨烯 pn 结转移至 SiO2/Si 衬底上, 利用传统的 电子束曝光技术制备出场效应晶体管 ( 其结构示意图见图 7), 其扫描电子显微镜照片如图 8 插图所示, 本征 (i) 和掺杂区域 (n) 用不同颜色标出。分别用四端法测量本征石墨烯 (CD 段 )、 掺杂石墨烯 (AB 段 ) 和跨。
26、过石墨烯 pn 结 (BC 段 ) 的电阻, 结果表明, 跨过石墨烯 pn 结 的电阻和本征区域的电阻相近, 说明电子跨过单晶石墨烯 pn 结输运时, 没有额外的散射位 点, 这与单晶结没有晶格位错导致的缺陷相吻合, 也是单晶石墨烯 pn 结的优势所在。 0050 2、 转移特性曲线。本征和掺杂石墨烯的转移特性曲线分别有一个 Dirac 点, 而石 墨烯 pn 结的转移特性曲线有两个 Dirac 点, 分别对应本征区域和掺杂区域, 如图 9 所示。 从转移特性曲线的拟合可以分别得到本征和掺杂区域的迁移率。 本征区域的迁移率大约为 3000-4000cm2/Vs( 空穴 ) 和 2000-250。
27、0cm2/Vs( 电子 ) ; 掺杂区域的迁移率则会低一些, 为 2000-2500cm2/Vs( 空穴 ) 和 800-1000cm2/Vs( 电子 )。掺杂区域的迁移率比已有的 报道高 1-2 个数量级 ( 参考文献 : Jin, Z., Yao, J., Kittrell, C.&Tour, J.M.Large-Scale Growth and Characterizations of Nitrogen-Doped Monolayer Graphene Sheets.ACS Nano 5, 4112-4117(2011).)。 0051 3、 光电转换。单晶石墨烯 pn 结的高迁移率和低。
28、的散射位点为高效的光电转换提 供了基础。石墨烯的光电转换器件为含有单个石墨烯 pn 结的场效应晶体管 ( 其结构示意 图见图 7), 用 632.8nm 的聚焦激光 ( 光斑大约 1 微米 ) 作为激发光源。如图 10 所示, 当把 激光聚焦在 pn 结上时, 输出曲线与暗场相比出现了明显的偏移, 可以看出, 在源漏之间的 偏压为零时即有光电流产生。对器件的光电流进行空间扫描, 可以发现 pn 结处的光电流明 显强于石墨烯与金属结处的光电流 ( 见图 10 插图 )。从图 11 可以看出, 光电流随着栅压的 改变出现两次反号, 这与石墨烯的光热电机理相符合。单晶石墨烯 pn 结的光热电效率可以。
29、 与石墨烯 / 金属结的光伏效率相比拟, 有望在高频光电检测领域中得到应用。值得一提的 是, 我们制备出大面积的 pn 结便于制备集成器件。如图 12 所示为 7 个 pn 结并联的器件, 当激光同时照射 pn 结 2、 3 和 4 时, 其光电流可以有加和的效应 ( 见图 13)。这为大规模制 说 明 书 CN 102953118 A 7 5/5 页 8 备的石墨烯 pn 结指明了很好的应用前景。 0052 透射电子显微镜及其选区电子衍射图证明了该方法制备的石墨烯 pn 结为单晶 pn 结。为了便于找到 pn 结的位置, 我们选用调制掺杂石墨烯 pn 结孤岛样品来做透射电镜表 征, 图 14。
30、 为该样品的透射电子显微镜照片, 孤岛的中心为本征石墨烯, 边缘约 2m 的区域 为掺杂石墨烯 ( 如图 4 所示 )。选取 pn 结孤岛中的掺杂 ( 区域 1 和 6) 和本征区域 (2-5) 分别进行电子衍射成像, 可以看出, 6 个区域的衍射斑点均为六方对称的图案, 而且衍射斑 的取向都在 10左右, 说明孤岛中本征和掺杂石墨烯的晶格取向一致, 石墨烯 pn 结为单晶 结。连续的调制掺杂石墨烯 pn 节样品, 在透射电镜下很难定位到本征和掺杂区域, 不易进 行表征, 但由于连续样品是在孤岛样品的基础上延长生长时间得到的, 其结构是一致的, 连 续的调制掺杂石墨烯 pn 结也是单晶结。 0。
31、053 实施例 2、 三次调制制备多级石墨烯 pn 结 0054 1) 步骤同实施例 1 步骤 1) ; 0055 2) 将炉体温度调至 980, 保持氢气流量不变, 通入流量为 5sccm 的甲烷气体, 保 持 10s, 体系压强约为 20Pa, 完成本征石墨烯的生长, 其尺寸为 2-5m ; 0056 3) 保持炉体温度及氢气流量不变, 关闭甲烷气体, 通入流量为 200sccm 的氩气气 体, 保持 3min, 在通入氩气的同时将炉体温度降低至 900 ; 0057 4) 将炉体温度稳定在 900, 保持氢气流量不变, 关闭氩气气体, 打开控制乙腈蒸 汽的针阀, 保持乙腈分压为 5Pa,。
32、 生长时间 10s, 完成氮掺杂石墨烯的生长 ; 0058 5) 重复步骤 (2)-(4) 两次, 随后继续保持乙腈蒸汽打开 2min, 得到连续的调制掺 杂石墨烯薄膜 ; 0059 6) 步骤同实施例 1 步骤 (5) ; 0060 7) 步骤同实施例 1 步骤 (6) ; 0061 8) 使用浓度为 1M 的三氯化铁溶液在室温下刻蚀铜箔基底, 刻蚀时间 30min, 得到 由 PMMA 薄膜支撑的石墨烯样品 ; 依次用质量分数 20的稀盐酸和去离子水清洗样品后将 样品贴附在覆有300nm氧化硅的硅基底表面, 将薄膜在500W的红外灯下烘干后使用丙酮去 除 PMMA 薄膜。图 5 为在覆有 。
33、300nm 氧化硅的硅基底上的调制掺杂石墨烯的扫描电子显微 镜照片, 其中浅色区域为本征石墨烯区域, 深色区域对应氮掺杂石墨烯区域。 0062 这种多级掺杂的结构对于石墨烯的纳电子学具有重要意义, 特别是当调制宽度缩 短至纳米量级时, 将会出现许多有趣的电子干涉现象。 说 明 书 CN 102953118 A 8 1/7 页 9 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 102953118 A 9 2/7 页 10 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 102953118 A 10 3/7 页 11 图 5 图 6 图 7 说 明 书 附 图 CN 102953118 A 11 4/7 页 12 图 8 图 9 说 明 书 附 图 CN 102953118 A 12 5/7 页 13 图 10 图 11 说 明 书 附 图 CN 102953118 A 13 6/7 页 14 图 12 图 13 说 明 书 附 图 CN 102953118 A 14 7/7 页 15 图 14 说 明 书 附 图 CN 102953118 A 15 。