《一种扫描标准具结构及其制作方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《一种扫描标准具结构及其制作方法.pdf（8页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 102955246 A (43)申请公布日 2013.03.06 CN 102955246 A *CN102955246A* (21)申请号 201110246205.4 (22)申请日 2011.08.25 G02B 26/00(2006.01) (71)申请人 福州高意通讯有限公司 地址 350001 福建省福州市晋安区福兴大道 39 号 (72)发明人 吴砺 贺坤 魏豪明 刘国宏 (74)专利代理机构 福建炼海律师事务所 35215 代理人 许育辉 (54) 发明名称 一种扫描标准具结构及其制作方法 (57) 摘要 本发明公开了一种扫描标准具结构及其制作 方法，。
2、 其结构包括标准具、 基座和驱动元件， 所述 标准具由镀有高反膜的相互平行的平面镜构成 ； 所述基座为弹簧片微距离平移机械结构 ； 所述标 准具通过光学材料块粘结于基座上。其主要制作 方法为采用热胶胶合弹簧片微距离平移机械结构 的缝隙， 使其暂时失去弹性功能， 接着粘结光学材 料块并抛光成平片， 再光胶或深化光胶标准具到 光学材料块上， 最后通过加热方式去掉热胶。 通过 采用弹簧片微距离平移机械结构作为扫描标准具 活动镜片基座， 由于其在形变过程中两端面平行 度变化可以忽略不计， 因此在扫描过程中， 标准具 两平行平面之间的平行度变化可以忽略不计。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 。
3、说明书 3 页 附图 3 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 3 页 1/1 页 2 1. 一种扫描标准具结构， 包括标准具、 基座和驱动元件， 其特征在于 ： 所述标准具由镀 有高反膜的相互平行的平面镜构成 ； 所述基座为弹簧片微距离平移机械结构 ； 所述标准具 通过光学材料块粘结于基座上。 2. 如权利要求 1 所述的一种扫描标准具结构， 其特征在于 ： 所述驱动元件为压电陶瓷。 3. 如权利要求 1 所述的一种扫描标准具结构， 其特征在于 ： 所述弹簧片微距离平移机 械结构为线切割成的对称弹簧片活动块。 4. 如权利要。
4、求 1 所述的一种扫描标准具结构， 其特征在于 ： 所述弹簧片微距离平移机 械结构包括两弹簧片和两平行平片 ； 所述两平行平片之间用所述两弹簧片连接。 5. 如权利要求 3 所述的一种扫描标准具结构， 其特征在于 ： 所述驱动元件粘结于基座 另一面， 并由一机械块加固。 6. 如权利要求 4 所述的一种扫描标准具结构， 其特征在于 ： 所述驱动元件粘结于基座 侧面。 7. 如权利要求 1 所述的一种扫描标准具结构， 其特征在于 ： 所述光学材料块为玻璃块。 8. 一种扫描标准具结构的制作方法， 包括如下步骤 ： 第一步， 制作弹簧片微距离平移 机械结构 ； 第二步， 用热胶将弹簧片微距离平移机。
5、械结构内的缝隙粘住， 并在其端面粘结光 学材料块 ； 第三步， 将粘结好的光学材料块抛光成平片 ； 第四步， 将标准具光胶或深化光胶 至光学材料块上 ； 第五步， 去掉热胶 ； 第六步， 将驱动元件粘结于弹簧片微距离平移机械结 构上， 并用一机械块将其固定， 通过螺丝锁合机械块与弹簧片微距离平移机械结构。 9. 如权利要求 8 所述的一种扫描标准具结构的制作方法， 其特征在于 ： 第一步所述方 法为通过线切割方式制作对称弹簧片活动块 ； 或者粘结两弹簧片与两平行平片， 两平行平 片之间由两弹簧片连接。 10. 如权利要求 8 所述的一种扫描标准具结构的制作方法， 其特征在于 ： 第五步所述方 。
6、法为通过加热方式去掉热胶。 权 利 要 求 书 CN 102955246 A 2 1/3 页 3 一种扫描标准具结构及其制作方法 技术领域 0001 本发明涉及光学领域， 尤其涉及扫描标准具领域。 背景技术 0002 在现有技术中， 基本的扫描标准具结构如图 1 所示， 为两镀有高反膜的平面镜 101,102 构成标准具， 将其中一个平面镜 102 粘结至一压电陶瓷 103 上， 当给压电陶瓷 103 上施加一锯齿波扫描电压时， 压电陶瓷 103 的长度会周期性的伸缩， 这样会周期性的改变 构成标准具的两个平面镜 101,102 之间的间隔， 形成扫描标准具。对于某些高精度实验， 要 求在扫描。
7、压电陶瓷 103 的过程中两平面镜 101,102 的平行度不应变化太大， 而对于一般的 压电陶瓷， 往往很难达到这一要求。 发明内容 0003 为克服上述问题， 本发明提出一种扫描标准具结构及其制作方法， 该标准具在扫 描过程中， 两平行平面之间的平行度变化可以忽略不计。 0004 为达到上述目的， 本发明所提出的技术方案为 ： 一种扫描标准具结构， 包括标准 具、 基座和驱动元件， 其特征在于 ： 所述标准具由镀有高反膜的相互平行的平面镜构成 ； 所 述基座为弹簧片微距离平移机械结构 ； 所述标准具通过光学材料块粘结于基座上。 0005 进一步的， 所述驱动元件为压电陶瓷。 0006 进一。
8、步的， 所述弹簧片微距离平移机械结构为线切割成的对称弹簧片活动块 ； 所 述驱动元件粘结于基座另一面， 并由一机械块加固。 0007 进一步的， 所述弹簧片微距离平移机械结构包括两弹簧片和两平行平片 ； 所述两 平行平片之间用所述两弹簧片连接 ； 所述驱动元件粘结于基座侧面。 0008 优选的 ， 所述光学材料块为玻璃块。 0009 本发明提出的另一技术方案为 ： 一种扫描标准具结构的制作方法， 包括如下步骤 ： 第一步， 制作弹簧片微距离平移机械结构 ； 第二步， 用热胶将弹簧片微距离平移机械结构内 的缝隙粘住， 并在其端面粘结光学材料块 ； 第三步， 将粘结好的光学材料块抛光成平片 ； 第。
9、 四步， 将标准具光胶或深化光胶至光学材料块上 ； 第五步， 去掉热胶 ； 第六步， 将驱动元件 粘结于弹簧片微距离平移机械结构上， 并用一机械块将其固定， 通过螺丝锁合机械块与弹 簧片微距离平移机械结构。 0010 进一步的， 第一步所述方法为通过线切割方式制作对称弹簧片活动块 ； 或者粘结 两弹簧片与两平行平片， 两平行平片之间由两弹簧片连接。 0011 进一步的， 第五步所述方法为通过加热方式去掉热胶。 0012 本发明的有益效果 ： 本发明的一种扫描标准具结构及其制作方法， 采用弹簧片微 距离平移机械结构作为扫描标准具活动镜片基座， 由于其在形变过程中两端面平行度变化 可以忽略不计， 。
10、因此在扫描过程中， 标准具两平行平面之间的平行度变化可以忽略不计。 说 明 书 CN 102955246 A 3 2/3 页 4 附图说明 0013 图 1 为现有技术的扫描标准具基本结构示意图 ； 图 2 为本发明实施例一使用的弹簧片微距离平移机械结构剖面示意图 ； 图 3- 图 5 为本发明实施例一扫描标准具的制作过程示意图 ； 图 6 为本发明实施例二使用的弹簧片微距离平移机械结构及其原理示意图 ； 图 7 为本发明实施例二结构示意图。 0014 标号说明 ： 101,102 平面镜 ； 103 压电陶瓷 ； 201 弹簧片微距离平移机械结构 ； 202 光学材料块 ； 203 活动平面。
11、镜 ； 204 平面镜 ； 205 驱动元件 ； 206 机械块 ； 207 螺丝 ； 301 弹簧 片 ； 302 平行平片 ； 303 光学材料块 ； 304 活动平面镜 ； 305 平面镜 ； 306 驱动元件。 具体实施方式 0015 下面结合附图和具体实施方式， 对本发明做进一步说明。 0016 实施例一， 如图 2-5 所示， 本发明的一种扫描标准具结构， 包括标准具、 基座和驱 动元件 205， 其中标准具由镀有高反膜的相互平行的平面镜 204 与活动平面镜 203 构成 ； 基 座为弹簧片微距离平移机械结构 201， 由线切割方式制成的对称弹簧片活动块， 其在形变过 程中两端面。
12、平行度变化可以忽略不计， 具体结构如图2所示 ； 标准具通过光学材料块202粘 结于基座上， 如图 3 所示， 光学材料块 202 粘结于弹簧片微距离平移机械结构 201 上， 标准 具的平面镜 204 与活动平面镜 203 光胶或深化光胶于光学材料块 202 上， 如图 4 所示， 该光 学材料块 202 优选的可以采用玻璃块， 驱动元件 205 优选的可以采用压电陶瓷 （PZT） ， 设置 于弹簧片微距离平移机械结构 201 的另一面， 与标准具相对的一面， 如图 5 所示， 并由一机 械块 206 将其固定好， 再由螺丝 207 将机械块 206 与弹簧片微距离平移机械结构 201 锁合。
13、。 当给压电陶瓷施加扫描电压时， 压电陶瓷的长度会周期性的伸缩， 从而推动弹簧片微距离 平移机械结构201产生形变， 从而改变标准具两平面镜203,204之间的距离， 由于弹簧片微 距离平移机械结构 201 在形变过程中两端面平行度变化可以忽略不计， 由此标准具在扫描 过程中其两平面镜 203,204 之间的平行度也可忽略不计。 0017 其具体的制作方法包括如下步骤 ： 第一步， 制作弹簧片微距离平移机械结构 201 ； 第二步， 用热胶将弹簧片微距离平移机械结构 201 内的缝隙粘住， 使其暂时失去弹性功能， 并在其端面粘结光学材料块202 ； 第三步， 将粘结好的光学材料块202抛光成平。
14、片 ； 第四步， 将标准具相互平行的平面镜 204 和活动平面镜 203 光胶或深化光胶至光学材料块 202 上 ； 第五步， 通过加热方式去掉热胶 ； 第六步， 将驱动元件 205 粘结于弹簧片微距离平移机械结 构 201 上， 并用一机械块 206 将其固定， 通过螺丝 207 锁合机械块 206 与弹簧片微距离平移 机械结构 201。其中第一步制作弹簧片微距离平移机械结构 201 的方法为通过线切割方式 制作对称弹簧片活动块。驱动元件 205 优选的采用 PZT。 0018 实施例二， 本实施例中的弹簧片微距离平移机械结构采用更简单可靠的结构， 如 图 6 所示， 包括两弹簧片 301 。
15、和两平行平片 302 ； 两平行平片 302 之间用所述两弹簧片 301 连接。如图 7 所示， 其一平行平片 302 上粘结有光学料块 303， 标准具相互平行的平面镜 305 与活动平面镜 304 通过光胶或深化光胶于光学材料块 303 上， 驱动元件 306 设置于弹 簧片微距离平移机械结构的侧面， 推动其中一弹簧片 301， 给其施加如图 6 中所示的外力， 使其产生如图中形变， 形变后两平行平片 302 之间的平行度不会改变或者其变化可以忽略 说 明 书 CN 102955246 A 4 3/3 页 5 不计。由此可以改变标准具中相互平行的两平面镜 304,305 之间的距离， 而且两平面镜 304,305 之间的平行度不受影响。其制作过程参考实施例一。 0019 尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本发明， 但所属领域的技术人员应该明 白， 在不脱离所附权利要求书所限定的本发明的精神和范围内， 在形式上和细节上对本发 明做出的各种变化， 均为本发明的保护范围。 说 明 书 CN 102955246 A 5 1/3 页 6 图 1 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 102955246 A 6 2/3 页 7 图 4 图 5 图 6 说 明 书 附 图 CN 102955246 A 7 3/3 页 8 图 7 说 明 书 附 图 CN 102955246 A 8 。