压电马达、驱动装置、电子部件检查装置及输送装置.pdf

本发明涉及压电马达、驱动装置、电子部件检查装置及输送装置。在压电马达中，将由压电材料形成并在端部设置有凸部的振动体收纳于振动体壳体，将振动体的凸部连同振动体壳体朝对象物推压，通过使振动体振动而驱动对象物。使将振动体壳体朝基台的滑动部推压的前方侧压弹簧的端面与振动体壳体嵌合，以免振动体壳体因驱动时的反作用力而脱离。

权利要求书一种压电马达，其特征在于，
该压电马达通过使包含压电材料的振动体振动，并使突出设置于所述振动体的端面的凸部与对象物接触，来使所述对象物移动，
其中，
所述压电马达具备：
振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；
基台，在该基台设置有滑动部，且所述振动体壳体安装于所述基台，所述振动体壳体在所述滑动部滑动；
加压弹性体，该加压弹性体对从所述振动体壳体突出的所述凸部朝所述对象物的方向施力；以及
侧压弹性体，该侧压弹性体从与所述振动体壳体的滑动方向交叉的方向对所述振动体壳体朝所述基台的所述滑动部施力，
所述侧压弹性体的与所述振动体壳体接触的一侧的端面与所述振动体壳体嵌合。
根据权利要求1所述的压电马达，其特征在于，
所述基台具备侧压弹性体保持部，该侧压弹性体保持部支承所述侧压弹性体的不与所述振动体壳体接触的一侧的端面，
所述侧压弹性体的与所述侧压弹性体保持部接触的一侧的端面与所述侧压弹性体保持部嵌合。
根据权利要求2所述的压电马达，其特征在于，
所述加压弹性体相对于所述振动体壳体而设置于设置有所述滑动部的一侧、或设置于设置有所述侧压弹性体的一侧。
一种驱动装置，其特征在于，
该驱动装置具备权利要求3所述的压电马达。
一种印刷装置，其特征在于，
该印刷装置具备权利要求3所述的压电马达。
一种机械手，其特征在于，
该机械手具备权利要求3所述的压电马达。
一种机器人，其特征在于，
该机器人具备权利要求6所述的机械手。
一种电子部件检查装置，其特征在于，
该电子部件检查装置将所把持的电子部件安装于检查插座，并检查所述电子部件的电气特性，
其中，
使用权利要求3所述的压电马达来进行所述电子部件相对于所述检查插座的对位。
一种电子部件输送装置，其特征在于，
该电子部件输送装置用于输送所把持的电子部件，其中，
使用权利要求3所述的压电马达来进行所述电子部件的对位。
一种电子部件输送装置，其特征在于，
该电子部件输送装置具备：
把持装置，该把持装置把持电子部件；
移动装置，该移动装置使所述把持装置沿相互正交的第一轴和第二轴、以及与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴共计三个轴的轴向移动；以及
控制装置，该控制装置控制所述移动装置的动作，
其中，
所述把持装置内置有：第一压电马达，该第一压电马达使所述电子部件沿所述第一轴的轴向移动；第二压电马达，该第二压电马达使所述电子部件沿所述第二轴的轴向移动；以及第三压电马达，该第三压电马达使所述电子部件绕所述第三轴旋转，
所述第一压电马达至第三压电马达为权利要求3所述的压电马达。
一种电子部件检查装置，其特征在于，
该电子部件检查装置具备：
检查插座，电子部件安装于该检查插座，且该检查插座检查所述电子部件的电气特性；
把持装置，该把持装置把持所述电子部件；
移动装置，该移动装置使所述把持装置沿相互正交的第一轴和第二轴、以及与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴共计三个轴的轴向移动；
拍摄装置，从所述检查插座观察，所述拍摄装置设置在所述第一轴上或者所述第二轴上，且所述拍摄装置检测安装于所述检查插座的所述电子部件的姿势；
上游侧工作台，该上游侧工作台将所述电子部件从所述检查插座输送至与所述拍摄装置连结的所述第一轴或者所述第二轴上的规定位置；
下游侧工作台，该下游侧工作台从与自所述检查插座观察设置有所述拍摄装置的一侧相反侧的规定位置输送所述电子部件；以及
控制装置，该控制装置控制所述移动装置的动作，
其中，
所述控制装置具备：
第一控制部，该第一控制部使把持着所述上游侧工作台输送来的所述电子部件的所述把持装置移动至所述拍摄装置的上方；
第二控制部，该第二控制部通过使所述把持装置移动而将由所述拍摄装置确认姿势后的所述电子部件安装于所述检查插座；以及
第三控制部，该第三控制部通过使所述把持装置移动而将在所述检查插座对所述电气特性进行检查后的所述电子部件从所述检查插座载置于所述下游侧工作台，
所述把持装置内置有：第一压电马达，该第一压电马达根据由所述拍摄装置检测到的所述电子部件的姿势而使所述电子部件沿所述第一轴的轴向移动；第二压电马达，该第二压电马达根据由所述拍摄装置检测到的所述电子部件的姿势而使所述电子部件沿所述第二轴的轴向移动；以及第三压电马达，该第三压电马达根据由所述拍摄装置检测到的所述电子部件的姿势而使所述电子部件绕所述第三轴旋转，
所述第一压电马达至第三压电马达为权利要求3所述的压电马达。
一种电子部件检查装置，其特征在于，
该电子部件检查装置将所把持的电子部件安装于检查插座，并检查所述电子部件的电气特性，
其中，
所述电子部件检查装置具备压电马达，该压电马达进行所述电子部件相对于所述检查插座的对位，
所述压电马达具备：
振动体，该振动体包含压电材料而形成，并在端面突出设置有凸部；
振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；
基台，在该基台设置有滑动部，且所述振动体壳体安装于所述基台，所述振动体壳体在所述滑动部滑动；
加压弹性体，该加压弹性体对从所述振动体壳体突出的所述凸部朝对象物的方向施力；以及
侧压弹性体，该侧压弹性体从与所述振动体壳体的滑动方向交叉的方向对所述振动体壳体朝所述基台的所述滑动部施力，
所述侧压弹性体的与所述振动体壳体接触的一侧的端面与所述振动体壳体嵌合。
一种电子部件输送装置，其特征在于，
该电子部件输送装置用于输送所把持的电子部件，
其中，
该电子部件输送装置具备进行所述电子部件的对位的压电马达，
所述压电马达具备：
振动体，该振动体包含压电材料而形成，并在端面突出设置有凸部；
振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；
基台，在该基台设置有滑动部，且所述振动体壳体安装于所述基台，所述振动体壳体在所述滑动部滑动；
加压弹性体，该加压弹性体对从所述振动体壳体突出的所述凸部朝对象物的方向施力；以及
侧压弹性体，该侧压弹性体从与所述振动体壳体的滑动方向交叉的方向对所述振动体壳体朝所述基台的所述滑动部施力，
所述侧压弹性体的与所述振动体壳体接触的一侧的端面与所述振动体壳体嵌合。

说明书压电马达、驱动装置、电子部件检查装置及输送装置
技术领域
本发明涉及压电马达、驱动装置、电子部件检查装置、电子部件输送装置、印刷装置、机械手、以及机器人。
背景技术
公知有通过使由压电材料形成的部件（压电部件）振动来驱动对象物的压电马达。该压电马达具有以下特征：与利用电磁力使转子旋转的方式的电磁马达相比，该压电马达体型小、且能够获得较大的驱动力，进而能够以高分辨率来定位对象物。因此，例如作为照相机的驱动机构等各种装置的致动器被使用（专利文献1等）。
压电马达以如下的原理动作。首先，将压电部件形成为大致长方体形状，并在长度方向上的端面设置凸部。然后，通过对压电部件施加规定频率的电压，来同时产生压电部件伸缩的方式的振动、和压电部件弯曲的方式的振动。于是，压电部件的端面开始进行朝一个方向旋转的椭圆运动。因此，通过将设置于端面的凸部按压于对象物，能够利用在凸部与对象物之间发挥作用的摩擦力使对象物朝一定方向移动。
因此，压电马达需要在将设置于压电部件的端面的凸部按压于对象物的状态下使用。并且，需要保持压电部件，以免在驱动对象物时压电部件因凸部从对象物受到的反作用力而脱离。然而，必须允许压电部件的振动，以使凸部进行椭圆运动。因此，使用以下构造：将压电部件以使凸部突出的状态收纳于第一壳体，并将该第一壳体以能够滑动的状态收纳于第二壳体（例如，专利文献2）。在该构造中，利用第一壳体以允许压电部件的振动的状态保持压电部件，并且利用设置于第二壳体的弹簧从后侧对第一壳体朝对象物施力。此外，还使用弹簧从第一壳体的侧面将第一壳体的相反侧的侧面按压于第二壳体的内壁面。通过这样做，能够将压电部件的凸部连同第一壳体按压于对象物。并且，压电部件以允许振动的状态被保持在第一壳体内，此外，利用弹簧将第一壳体的侧面按压于第二壳体的内壁面，因此，即便驱动对象物，压电部件也不会因凸部受到的反作用力而移动。
专利文献1：日本特开2008－187768号公报
专利文献2：日本特开2009－33788号公报
但是，近年来，对于搭载了压电马达的装置的小型化以及性能提高的要求日益增高，与此相伴，对于压电马达，也要求实现进一步的小型化以及驱动精度的提高。
发明内容
本发明是为了解决现有技术所具有的上述课题的至少一部分而完成的，其目的在于提供能够使压电马达小型化、并使驱动精度提高的技术。
为了解决上述课题的至少一部分，本发明的压电马达采用了以下的结构。即，该压电马达的特征在于，
该压电马达通过使包含压电材料的振动体振动，并使突出设置于所述振动体的端面的凸部与对象物接触，来使所述对象物移动，其中，
该压电马达具备：
振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；
基台，在该基台设置有滑动部，且所述振动体壳体安装于所述基台，所述振动体壳体在所述滑动部滑动；
加压弹性体，该加压弹性体对从所述振动体壳体突出的所述凸部朝所述对象物的方向施力；以及
侧压弹性体，该侧压弹性体从与所述振动体壳体的滑动方向交叉的方向对所述振动体壳体朝所述基台的所述滑动部施力，
所述侧压弹性体的与所述振动体壳体接触的一侧的端面与所述振动体壳体嵌合。
在这样的本发明的压电马达中，通过在使振动体的凸部连同振动体壳体一起与对象物接触的状态下使振动体振动，能够使对象物移动。并且，由于利用侧压弹性体将振动体壳体按压于基台的滑动部，因此，在驱动对象物时，振动体不会因凸部从对象物受到的反作用力而脱离。这里，振动体壳体能够在相对于对象物接近或远离的方向上滑动。不仅如此，从与振动体壳体的滑动方向交叉的方向将振动体壳体按压于滑动部的侧压弹性体的与振动体壳体接触的一侧的端面与振动体壳体嵌合。
这样，侧压弹性体的端面不会相对于振动体壳体相对移动。因此，无需在侧压弹性体的端面与振动体壳体之间设置具有耐磨损性的部件、滚子等，因此能够使压电马达小型化。当然，由于振动体壳体相对于对象物滑动，因此，在侧压弹性体的端面与振动体壳体嵌合的构造中，侧压弹性体不仅将振动体壳体按压于基台的滑动部，还产生沿着阻碍振动体壳体的滑动的方向的力。该力在使将振动体的凸部按压于对象物的力变动的方向发挥作用，因此会使在凸部与对象物之间产生的摩擦力变动，结果成为使压电马达的驱动力变动的主要因素。但是，实际上，因侧压弹性体的端面在其与振动体壳体之间滑动而产生的摩擦力的变动、因设置于侧压弹性体与振动体壳体之间的滚子滚动时的摩擦力的变动所引起的影响更大，因而，通过形成为侧压弹性体的端面在其与振动体壳体之间不滑动的构造，反而能够减少将振动体的凸部按压于对象物的力的变动。并且，通过侧压弹性体的端面与振动体壳体嵌合，侧压弹性体对推压凸部的推压力赋予的变动是比因加压弹性体的制造偏差而引起的推压力的偏差小的值。根据以上的理由，通过采用侧压弹性体的端面与振动体壳体嵌合的构造，能够抑制将振动体的凸部按压于对象物的力的变动。结果，能够使压电马达的驱动力稳定，并且能够在每次通过振动体的振动使凸部进行椭圆运动时使对象物移动相同的距离。因此，根据本发明，能够使压电马达小型化、且能够提高驱动精度。
另外，加压弹性体或侧压弹性体只要能够对振动体壳体施力即可，能够使用螺旋弹簧、板簧等各种方式的弹簧。并且，例如在使用板簧作为侧压弹性体的情况下，侧压弹性体的表面中的、与振动体壳体接触而施力的部分成为侧压弹性体的端面。另一方面，通过使螺旋弹簧大幅变形而进行使用，从而能够以即便振动体壳体滑动、作用力也几乎不变的状态进行使用，因此能够作为加压弹性体或侧压弹性体而适当地进行使用。并且，侧压弹性体的端面只要以使得当振动体壳体滑动时该端面与该振动体壳体之间不滑动的方式嵌合即可。因而，作为侧压弹性体的端面与振动体壳体嵌合的方式，例如可以在振动体壳体设置凹部并使侧压弹性体的端面与该凹部嵌合，也可以从振动体壳体设置突起并使侧压弹性体的端面与该突起嵌合。此外，也可以从侧压弹性体的端面设置突起，并使该突起与设置于振动体壳体的凹部嵌合。
并且，在上述本发明的压电马达的基础上，还可以利用侧压弹性体保持部支承侧压弹性体的不与振动体壳体接触的一侧的端面，并使侧压弹性体的与侧压弹性体保持部接触的一侧的端面与侧压弹性体保持部嵌合。
这样，侧压弹性体的不与振动体壳体接触的一侧的端面也不会滑动。因此，能够避免因滑动导致摩擦力变动、将振动体的凸部按压于对象物的力变动的情况。结果，能够进一步提高压电马达的驱动精度。
并且，在上述本发明的压电马达基础上，还可以不将加压弹性体设置于振动体壳体的后侧（与面向对象物的一侧相反的一侧），而相对于振动体壳体将其设置于设置有滑动部的一侧、或设置于设置有侧压弹性体的一侧。
这样，与在振动体壳体的后侧设置加压弹性体的情况相比，能够缩短压电马达的长度。结果，能够使压电马达进一步小型化。
并且，可以使用上述本发明的压电马达构成驱动装置、印刷装置、机械手、以及机器人等。
本发明的压电马达的体型小、且能够实现高驱动精度。因而，若使用本发明的压电马达构成驱动装置、印刷装置、机械手以及机器人等，则能够获得小型且高性能的驱动装置、印刷装置、机械手以及机器人等。
并且，也可以使用本发明的压电马达构成如下的电子部件检查装置。即、该电子部件检查装置将所把持的电子部件安装于检查插座，并检查所述电子部件的电气特性，其中，使用上述本发明的任意压电马达进行电子部件相对于检查插座的对位。
如上所述，本发明的压电马达的体型小、且能够实现高驱动精度，因此能够实现能够高精度地对电子部件进行对位且小型的电子部件检查装置。
或者，还能够以如下方式实现本发明的电子部件检查装置。即、该电子部件检查装置的特征在于，
该电子部件检查装置将所把持的电子部件安装于检查插座，并检查所述电子部件的电气特性，其中，
所述电子部件检查装置具备压电马达，该压电马达进行所述电子部件相对于所述检查插座的对位，
所述压电马达具备：
振动体，该振动体包含压电材料而形成，并在端面突出设置有凸部；
振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；
基台，在该基台设置有滑动部，且所述振动体壳体安装于所述基台，所述振动体壳体在所述滑动部滑动；
加压弹性体，该加压弹性体对从所述振动体壳体突出的所述凸部朝对象物的方向施力；以及
侧压弹性体，该侧压弹性体从与所述振动体壳体的滑动方向交叉的方向对所述振动体壳体朝所述基台的所述滑动部施力，
所述侧压弹性体的与所述振动体壳体接触的一侧的端面与所述振动体壳体嵌合。
此外，能够以如下方式实现上述本发明的电子部件检查装置，即、该电子部件检查装置的特征在于，具备：
检查插座，电子部件安装于该检查插座，且该检查插座检查所述电子部件的电气特性；
把持装置，该把持装置把持所述电子部件；
移动装置，该移动装置使所述把持装置沿相互正交的第一轴和第二轴、以及与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴共计三个轴的轴向移动；
拍摄装置，从所述检查插座观察，所述拍摄装置设置在所述第一轴上或者所述第二轴上，针对安装于所述检查插座的所述电子部件，所述拍摄装置检测所述电子部件的在所述第一轴以及所述第二轴的方向上的位置以及绕所述第三轴的角度来作为所述电子部件的姿势；
上游侧工作台，该上游侧工作台将所述电子部件从所述检查插座输送至与所述拍摄装置连结的所述第一轴或者所述第二轴上的规定位置；
下游侧工作台，该下游侧工作台从与从所述检查插座观察设置有所述拍摄装置的一侧相反侧的规定位置输送所述电子部件；以及
控制装置，该控制装置控制所述移动装置的动作，其中，
所述控制装置具备：
第一控制部，该第一控制部使把持着所述上游侧工作台输送来的所述电子部件的所述把持装置移动至所述拍摄装置的上方；
第二控制部，该第二控制部通过使所述把持装置移动而将由所述拍摄装置确认姿势后的所述电子部件安装于所述检查插座；以及
第三控制部，该第三控制部通过使所述把持装置移动而将在所述检查插座对所述电气特性进行检查后的所述电子部件从所述检查插座载置于所述下游侧工作台，
所述把持装置内置有：第一压电马达，该第一压电马达根据由所述拍摄装置检测到的所述电子部件的姿势而使所述电子部件沿所述第一轴的轴向移动；第二压电马达，该第二压电马达根据由所述拍摄装置检测到的所述电子部件的姿势而使所述电子部件沿所述第二轴的轴向移动；以及第三压电马达，该第三压电马达根据由所述拍摄装置检测到的所述电子部件的姿势而使所述电子部件绕所述第三轴旋转，
所述第一压电马达至第三压电马达为技术方案1至3中任一项所述的压电马达。
具有这样的结构的电子部件检查装置能够在使用设置于把持装置的第一至第三压电马达调整电子部件的姿势后将电子部件安装于检查插座。这里，本发明的压电马达的体积小、且能够高精度地驱动对象物，因此特别适合作为设置于把持装置的第一至第三压电马达。
此外，还可以使用本发明的压电马达构成如下的电子部件输送装置。即、该电子部件输送装置用于输送所把持的电子部件，其中，使用上述的本发明的任一项的压电马达来进行所述电子部件的对位。
如上所述，本发明的压电马达的体积小、且能够实现高驱动精度，因此，能够实现高精度地对电子部件进行定位、且小型的电子部件输送装置。
或者，还能够以如下方式实现本发明的电子部件输送装置，即、该电子部件输送装置的特征在于，
该电子部件输送装置用于输送所把持的电子部件，其中，
该电子部件输送装置具备进行所述电子部件的对位的压电马达，
所述压电马达具备：
振动体，该振动体包含压电材料而形成，并在端面突出设置有凸部；
振动体壳体，该振动体壳体收纳所述振动体；
基台，在该基台设置有滑动部，且所述振动体壳体安装于所述基台，所述振动体壳体在所述滑动部滑动；
加压弹性体，该加压弹性体对从所述振动体壳体突出的所述凸部朝对象物的方向施力；以及
侧压弹性体，该侧压弹性体从与所述振动体壳体的滑动方向交叉的方向对所述振动体壳体朝所述基台的所述滑动部施力，
所述侧压弹性体的与所述振动体壳体接触的一侧的端面与所述振动体壳体嵌合。
此外，还能够以如下的方式实现上述本发明的电子部件输送装置，即、该电子部件输送装置的特征在于，
该电子部件输送装置具备：
把持装置，该把持装置把持电子部件；
移动装置，该移动装置使所述把持装置沿相互正交的第一轴和第二轴、以及与所述第一轴和所述第二轴正交的第三轴共计三个轴的轴向移动；以及
控制装置，该控制装置控制所述移动装置的动作，其中，
所述把持装置具有：第一压电马达，该第一压电马达使所述电子部件沿所述第一轴的轴向移动；第二压电马达，该第二压电马达使所述电子部件沿所述第二轴的轴向移动；以及第三压电马达，该第三压电马达使所述电子部件绕所述第三轴旋转，
所述第一压电马达至第三压电马达为技术方案1至3中任一项所述的压电马达。
附图说明
图1是示出本实施例的压电马达的大体结构的说明图。
图2是示出本实施例的主体部的构造的分解组装图。
图3是示出压电马达的动作原理的说明图。
图4是示出本实施例的压电马达的前方侧压弹簧以及后方侧压弹簧的安装构造的说明图。
图5是例示出安装前方侧压弹簧以及后方侧压弹簧的其它方式的说明图。
图6是示出由于压电马达10的主体部100沿X方向滑动而前方侧压弹簧挠曲的情况的说明图。
图7是在前方侧压弹簧以及后方侧压弹簧与第二侧壁体之间设置了滚子的参考例的压电马达的剖视图。
图8是例示出未在振动体壳体的侧面设置供前方侧压弹簧嵌合的凹部的情况的说明图。
图9是例示出未在前方壳体内设置供前方侧压弹簧嵌合的凹部的情况的说明图。
图10是例示出将前方侧压弹簧212s安装在前方壳体内的其它方式的说明图。
图11是在前方侧压弹簧的中心轴的位置处得到的压电马达的剖视图。
图12是示出第一变形例的压电马达的构造的剖视图。
图13是示出第二变形例的压电马达的构造的剖视图。
图14是示出第三变形例的压电马达的构造的剖视图。
图15是示出第四变形例的压电马达的构造的剖视图。
图16是例示出组装有本实施例的压电马达而构成的电子部件检查装置的立体图。
图17是内置于把持装置的微调机构的说明图。
图18是例示出组装有本实施例的压电马达的印刷装置的立体图。
图19是例示出组装有本实施例的压电马达的机械手的说明图。
图20是例示出具备机械手的机器人的说明图。
具体实施方式
以下，为了明确上述的本发明的内容，按如下的顺序对实施例进行说明。
A.装置结构：
B.压电马达的动作原理：
C.侧压弹簧的安装构造：
D.变形例：
E.应用例：
A.装置结构：
图1是示出本实施例的压电马达10的大体结构的说明图。在图1的（a）中示出了本实施例的压电马达10的整体图，在图1的（b）中示出了分解组装图。如图1的（a）所示，本实施例的压电马达10大体上由主体部100和基台部200构成。主体部100安装在基台部200内，并能够在该状态下沿一个方向滑动。另外，在本说明书中，将主体部100的滑动方向称为X方向。并且，如图中所示，将与X方向正交的方向分别称为Y方向、Z方向。
主体部100以及基台部200分别组合多个部件而构成。例如，基台部200是通过利用固定螺钉240将第一侧壁体210以及第二侧壁体220紧固在呈大致矩形形状的基板230的上表面的两侧而构成的（参照图1的（b））。当组装压电马达10时，使用固定螺钉240将第一侧壁体210以及第二侧壁体220从主体部100的上方安装于基板230。
并且，在第一侧壁体210形成有三个凹部：前方壳体212、中央壳体214、以及后方壳体216。进而，当将第一侧壁体210安装于基板230时，以将前方侧压弹簧212s收纳在前方壳体212、将后方侧压弹簧216s收纳在后方壳体216的状态进行安装。结果，主体部100成为被前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s按压于第二侧壁体220的状态。并且，在主体部100的侧面的、面向第二侧壁体220的一侧，安装有前侧滚子102r以及后侧滚子106r。此外，在主体部100的侧面设置有加压弹簧222s。该加压弹簧222s在前侧滚子102r的后侧位置沿X方向推压主体部100。另外，在本实施例中，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s与本发明的“侧压弹性体”对应，加压弹簧222s与本发明的“加压弹性体”对应。此外，基台部200与本发明的“基台”对应，构成基台部200的第一侧壁体210以及第二侧壁体220分别与本发明的“侧压弹性体保持部”以及“滑动部”对应。
并且，在主体部100的与设置了前侧滚子102r以及后侧滚子106r的一侧相反侧的侧面，朝Z方向（在附图上为上方）设置有推压滚子104r。在安装第一侧壁体210后的状态下，该推压滚子104r被收纳于第一侧壁体210的中央壳体214。并且，在主体部100的设置有推压滚子104r的部分的背面侧与基板230之间设置有推压弹簧232s。因此，形成为推压滚子104r相对于中央壳体214的内表面被朝Z方向（附图上的上方）推压的状态。
图2是示出本实施例的主体部100的构造的分解组装图。主体部100大体上形成为在振动体壳体120内收纳有振动部110的构造。振动部110由利用压电材料形成为长方体形状而成的振动体112、安装在振动体112的长度方向（X方向）的端面的陶瓷制的驱动凸部114、以及将振动体112的一个侧面分割成四部分而设置成的四块表面电极116等构成。另外，虽然在图2中未示出，但是，在与设置有四块表面电极116的一侧相反侧的侧面，设置有覆盖侧面几乎整面的背面电极，该背面电极接地。另外，在本实施例中，驱动凸部114与本发明的“凸部”对应。
振动部110以由树脂制的缓冲部件130从设置有表面电极116以及背面电极的两个侧面（在图2中，为Z方向的两个侧面）夹持的状态被收纳于振动体壳体120。此外，从表面电极116侧的缓冲部件130的上方放置压板140、碟形弹簧142、以及压盖144，并利用固定螺钉146将压盖144紧固于振动体壳体120。因此，虽然振动部110被碟形弹簧142的弹力推压，但通过树脂制的缓冲部件130剪切变形，该振动部110以振动体112能够振动的状态被收纳在振动体壳体120内。
B.压电马达的动作原理：
图3是示出压电马达10的动作原理的说明图。对于压电马达10，当以一定周期对振动部110的表面电极116施加电压时，振动部110的驱动凸部114进行椭圆运动，从而压电马达10动作。振动部110的驱动凸部114进行椭圆运动的理由如下。
首先，众所周知，振动体112具有当施加正电压时伸长的性质。因而，如图3的（a）所示，当反复进行在对四个表面电极116全部施加正电压后解除施加电压的操作时，振动体112反复进行在长度方向（X方向）伸缩的动作。将像这样振动体112在长度方向（X方向）反复伸缩的动作称为“伸缩振动”。并且，当改变施加正电压的频率时，当达到某个确定的频率时，伸缩量突然变大，产生一种共振现象。在伸缩振动中产生共振的频率（共振频率）由振动体112的物性、振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定。
并且，如图3的（b）或图3的（c）所示，以相互位于对角线的位置的两个表面电极116为一组（表面电极116a以及表面电极116d的组、或表面电极116b以及表面电极116c的组），以一定周期施加正电压。于是，振动体112的长度方向（X方向）的前端部（安装有驱动凸部114的部分）反复进行在图中朝右方向或左方向摆头的动作。例如，如图3的（b）所示，当以一定周期对表面电极116a以及表面电极116d的组施加正电压时，振动体112反复进行使前端部在图中朝右方向摆动的动作。并且，如图3的（c）所示，当以一定周期对表面电极116b以及表面电极116c的组施加正电压时，振动体112反复进行使前端部在图中朝左方向摆动的动作。将这样的振动体112的动作称为“弯曲振动”。对于这样的弯曲振动，也存在由振动体112的物性、振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定的共振频率。因而，当以该共振频率对相互位于对角线的位置的两个表面电极116施加正电压时，振动体112朝右方向或左方向（Y方向）大幅度摆头而进行振动。
这里，图3的（a）所示的伸缩振动的共振频率与图3的（b）或图3的（c）所示的弯曲振动的共振频率均由振动体112的物性、振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定。因而，若适当地选择振动体112的尺寸（宽度W、长度L、厚度T），则能够使共振频率一致。进而，当以共振频率对上述的振动体112施加如图3的（b）或图3的（c）所示的弯曲振动的方式的电压时，在产生图3的（b）或图3的（c）所示的弯曲振动的同时，也会由于共振而诱发图3的（a）的伸缩振动。结果，在以图3的（b）所示的方式施加了电压的情况下，振动体112的前端部分（安装有驱动凸部114的部分）沿图中顺时针方向开始进行椭圆运动。并且，在以图3的（c）所示的方式施加了电压的情况下，振动体112的前端部分沿图中的逆时针方向开始进行椭圆运动。
压电马达10利用这样的椭圆运动驱动对象物。即、在将振动体112的驱动凸部114按压于对象物的状态下产生椭圆运动。于是，驱动凸部114反复进行如下动作：在振动体112伸长时，在被按压于对象物的状态下从左向右（或从右向左）移动，然后，在振动体112收缩时，在从对象物离开的状态下返回至原来的位置。结果，对象物借助从驱动凸部114受到的摩擦力而朝一个方向被驱动。并且，对象物所受到的驱动力与在该对象物和驱动凸部114之间产生的摩擦力相等，因此，驱动力的大小由驱动凸部114与对象物之间的摩擦系数和将驱动凸部114按压于对象物的力决定。
根据以上说明的压电马达10的动作原理可知，压电马达10需要在将驱动凸部114按压于对象物的状态下使用。因此，在本实施例的压电马达10中形成为：具备驱动凸部114的主体部100能够相对于基台部200滑动，并利用设置在主体部100与基台部200之间的加压弹簧222s将从主体部100突出的驱动凸部114按压于对象物（参照图1）。
并且，当驱动对象物时，驱动凸部114从对象物受到反作用力。进而，该反作用力被传递至主体部100。如上所述，必须形成为主体部100能够相对于基台部200滑动，但是，当主体部100因在驱动时受到的反作用力而沿与滑动方向正交的方向脱离时，不能向对象物传递足够的驱动力。并且，当主体部100脱离时，驱动凸部114的移动量减少，因此对象物的驱动量变少。此外，主体部100的脱离量未必总是稳定，所以导致对象物的驱动量不稳定。因此，如图1所示，在本实施例的压电马达10中，从与主体部100的滑动方向正交的方向，利用前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s将主体部100按压于第二侧壁体220。这里，在本实施例的压电马达10中，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s以下述方式安装。
C.侧压弹簧的安装构造：
图4是通过示出本实施例的压电马达10的剖面来示出前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的安装构造的说明图。另外，在图4的（a）中示出了还安装有加压弹簧222s的情况。如图4的（a）所示，加压弹簧222s设置于主体部100（实际上是主体部100的振动体壳体120）与第二侧壁体220之间，并朝X方向（图中上方向）对主体部100施力。
并且，在主体部100（实际上是振动体壳体120）与第一侧壁体210之间，设置有前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s，主体部100被前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s朝第二侧壁体220推压。进而，在主体部100与第二侧壁体220之间设置有前侧滚子102r以及后侧滚子106r。因此，主体部100在被朝第二侧壁体220推压的状态下相对于第二侧壁体220顺畅地滑动。结果，振动体壳体120能够保持在Y方向被定位的状态而沿X方向滑动。
这里，前方侧压弹簧212s被收纳于第一侧壁体210的前方壳体212内，后方侧压弹簧216s被收纳于第一侧壁体210的后方壳体216内。但是，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s并不仅仅是被收纳于前方壳体212以及后方壳体216内，还以至少主体部100（确切地说是振动体壳体120）侧的端面相对于振动体壳体120不滑动的状态被收纳于前方壳体212以及后方壳体216内。并且，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的相反侧的端面（第一侧壁体210侧的端面）也以端面相对于第一侧壁体210不滑动的状态被收纳于前方壳体212以及后方壳体216内。
图4的（b）中示出在前方壳体212内收纳有前方侧压弹簧212s的部分的剖视放大图。如图4的（b）所示，在第一侧壁体210的前方壳体212的里侧的内壁面形成有圆形的凹部212t。凹部212t的内径与前方侧压弹簧212s的外径大小相同，前方侧压弹簧212s的端面嵌入凹部212t。并且，在振动体壳体120侧也同样形成有内径与前方侧压弹簧212s的外径大小相同的圆形的凹部122t，前方侧压弹簧212s的端面嵌入该凹部122t。并且，前方壳体212的大小形成为相对于前方侧压弹簧212s的外径而留有富余的大小，以便前方侧压弹簧212s能够在前方壳体212内移动。
此外，虽然省略了图示，对于后方侧压弹簧216s而言也同样在后方壳体216以及振动体壳体120形成有凹部，后方侧压弹簧216s的端面嵌入该凹部。进而，后方壳体216的大小形成为相对于后方侧压弹簧216s的外径留有富余的大小。
另外，在本实施例中，由于前方侧压弹簧212s的弹簧嵌入在形成于前方壳体212以及振动体壳体120的凹部212t、122t，因此前方侧压弹簧212s的端面在外径部分被安装。但是，只要能够安装前方侧压弹簧212s的端面即可，不限于如上的方法。例如，如图5所示，也可以从振动体壳体120突出设置具有与前方侧压弹簧212s的内径相当的外径的凸部122u，并将前方侧压弹簧212s的内径嵌入该凸部122u。并且，从前方壳体212的内壁面也突出设置具有与前方侧压弹簧212s的内径相当的外径的凸部212u，并将前方侧压弹簧212s的内径嵌入该凸部212u。
这里，如上所述，主体部100构成为由第二侧壁体220引导而能够沿X方向滑动。因而，当前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的端面以至少相对于振动体壳体120不滑动的方式安装时，当主体部100沿X方向滑动时，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s以挠曲的方式变形。并且，在第一侧壁体210侧也相同，当将前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的端面安装于第一侧壁体210时，当主体部100滑动时，不会出现前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的端面在第一侧壁体210侧的端面上滑动而前方侧压弹簧212s或后方侧压弹簧216s的位置偏移的情况。因此，在主体部100滑动的同时，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s以挠曲的方式变形。
图6中示出了在本实施例的压电马达10中，主体部100沿X方向滑动从而前方侧压弹簧212s挠曲的情况。图6的（a）示出主体部100尚未滑动因而前方侧压弹簧212s未发生挠曲的状态。当从该状态起主体部100朝正X方向（在图中为上方）滑动时，前方侧压弹簧212s的主体部100侧的端面以被拖拽的方式移动。结果，如图6的（b）所示，在前方侧压弹簧212s产生朝上翘曲的挠曲。并且，反之，当从图6的（a）所示的状态起主体部100朝负X方向（在图中为下方）滑动时，如图6的（c）所示，在前方侧压弹簧212s产生朝下翘曲的挠曲。并且，对于后方侧压弹簧216s也适用完全相同的情况。
这里，如使用图3在前面所述的那样，压电马达10的驱动力由驱动凸部114与对象物之间的摩擦系数、和将驱动凸部114朝对象物推压的力（加压弹簧222s的弹力）决定。并且，如图6的（b）或图6的（c）所示，当前方侧压弹簧212s（以及后方侧压弹簧216s）挠曲时，会对主体部100产生削弱、或者增强将驱动凸部114朝对象物推压的力的方向的反作用力。因而，在前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s产生的挠曲是使压电马达10的驱动力变动的主要因素。因此，为了排除上述的驱动力的变动因素以获得具有稳定的驱动力的压电马达10，考虑在前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s与第二侧壁体220之间设置滚子。
图7是在前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s与第二侧壁体220之间设置有滚子的参考例的压电马达90的剖视图。如图所示，在参考例的压电马达90中，在前方侧压弹簧212s与主体部100（确切地说是振动体壳体120）之间设置有前侧滚子912r，在后方侧压弹簧216s与主体部100（振动体壳体120）之间设置有后侧滚子916r。前侧滚子912r与前方侧压弹簧212s一起被收纳于第一侧壁体910的前方壳体912内，后侧滚子916r与后方侧压弹簧216s一起被收纳于第一侧壁体910的后方壳体916内。并且，前方侧压弹簧212s的两端面未被安装于前侧滚子912r以及第一侧壁体910，后方侧压弹簧216s的两端面也未被安装于后侧滚子916r以及第一侧壁体910。在其它方面，参考例的压电马达90与本实施例的压电马达10完全相同。
对图7所示的参考例的压电马达90与图4的本实施例的压电马达10进行比较则可知，在参考例的压电马达90中，追加了前侧滚子912r以及后侧滚子916r，因此第一侧壁体910增大相应的大小。因此，参考例的压电马达90比本实施例的压电马达10大型化。换言之，对于本实施例的压电马达10，通过采用前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s不经由前侧滚子912r、后侧滚子916r而直接推压主体部100（确切地说是振动体壳体120）的构造，压电马达10小型化。并且，若能够省略前侧滚子912r、后侧滚子916r，则构造变得简单，因此能够容易地制造压电马达10。
并且，在采用了前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s直接推压主体部100的构造的情况下，通过主体部100的滑动，在前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s产生挠曲。因此，乍一看认为压电马达10的驱动力容易变动。但是，通过形成为从参考例的压电马达90中省去前侧滚子912r以及后侧滚子916r，并且前方侧压弹簧212s（以及后方侧压弹簧216s）的至少与振动体壳体120接触的一侧的端面相对于振动体壳体120不滑动的构造，由于如下的理由，能够使压电马达10的驱动力以及驱动量稳定。此外，若形成为前方侧压弹簧212s（以及后方侧压弹簧216s）的与第一侧壁体210接触的一侧的端面也相对于第一侧壁体210不滑动的构造，则能够更可靠地发挥这样的效果。结果，在本实施例的压电马达10中，通过采用前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s与振动体壳体120以及第一侧壁体210直接抵接、且前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的端面不滑动的构造，不仅实现了压电马达10的小型化以及制造容易化，还实现了驱动力以及驱动量的稳定化。以下，对该理由详细地进行说明。
首先，作为主体部100沿X方向滑动的主要因素，例举在驱动对象物的过程中驱动凸部114磨损、或因被驱动的对象物移动而导致对象物的位置相对于压电马达10靠近或远离的情况。但是，由压电马达10驱动的对象物通常被从背面侧支承、或由引导部件等引导，因此，实际上对象物的位置不会大幅变动。并且，驱动凸部114的磨损只是微量的。因而，即便主体部100沿X方向滑动，其滑动量也很微小，因此，即便前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s挠曲而对驱动凸部114的推压力造成影响，该影响也很微弱。例如，因将驱动凸部114朝对象物推压的加压弹簧222s的制造偏差，弹簧常数存在±10％左右的偏差，因此驱动凸部114的推压力也存在相同程度（±10％左右）的偏差。但是，因前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s挠曲而产生的影响比因弹簧常数的偏差而产生的影响小一个数量级，最多也就是后者的几分之一左右。
并且，如上所述，主体部100滑动的主要因素是：当对象物被驱动而移动时，对象物的位置相对于压电马达10靠近或远离，因此主体部100按照以极小的振幅振动的方式滑动。当在以这样的方式滑动的部分使用滚子（前侧滚子912r、后侧滚子916r）时，滚子的外周面以及支承滚子的轴的局部反复处于静摩擦状态和动摩擦状态，从而滚动摩擦系数不定期地变化。此外，由于滚动摩擦系数变化时是在静摩擦系数与动摩擦系数之间变化，因此在变大时增大至两倍以上，在变小时减小至一半以下。此外，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s推压主体部100的力，是用于推压主体部100以免在驱动对象物时主体部100因驱动凸部114受到的反作用力而从第二侧壁体220离开的力。因此，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的弹力需要为施加于对象物的驱动力的两倍左右的大小，是相当大的力。结果，通过滚动摩擦系数不定期地变化，滚子（前侧滚子912r、后侧滚子916r）的局部的摩擦力不定期地且大幅变动，从而对驱动凸部114的推压力造成较大的影响。实际上，当在某些条件下进行估计时，因滚子的局部的摩擦力变动而产生的影响与因加压弹簧222s的弹簧常数的偏差而产生的影响为相同程度的大小。并且，此外，不可能以使剖面成为完全的正圆的方式制造滚子（前侧滚子912r、后侧滚子916r）或支承滚子的轴，因此由该情况引起的摩擦力的变动也重叠。
由于以上的理由，在如图7的参考例的压电马达90那样前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s经由前侧滚子912r、后侧滚子916r推压主体部100的构造中，在滚子（前侧滚子912r、后侧滚子916r）的局部摩擦力不定期地且大幅变动，从而使驱动凸部114的推压力变化。与此相对，如本实施例的压电马达10那样，即便前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s不经由滚子而直接推压主体部100，也几乎也不会出现前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s挠曲而对驱动凸部114的推压力造成影响的情况。而且，通过去掉滚子，反而能够使驱动凸部114的推压力稳定，结果，能够使压电马达10的驱动力稳定。
并且，在本实施例的压电马达10中，前方侧压弹簧212s（以及后方侧压弹簧216s）的与主体部100（确切地说是振动体壳体120）接触的一侧的端面相对于振动体壳体120不滑动。这是由于考虑到如下的情况而设计的。
图8是例示出在振动体壳体120的侧面未设置供前方侧压弹簧212s嵌入的凹部122t的情况的说明图。另外，在图8中，仅示出前方侧压弹簧212s，但是对后方侧压弹簧216s也适用完全相同的结构。当未在振动体壳体120的侧面设置凹部122t的情况下，前方侧压弹簧212s的端面被朝振动体壳体120的侧面推压。因此，当主体部100滑动时，前方侧压弹簧212s的端面被振动体壳体120拖拽，结果，例如图8的（a）所示，在前方侧压弹簧212s产生挠曲。但是，前方侧压弹簧212s的端面仅仅是被朝振动体壳体120的侧面推压，而且，在压电马达10的动作中，主体部100总是细微地移动。因此，被振动体壳体120拖拽的前方侧压弹簧212s的端面以某种节拍滑动而移动，如图8的（b）所示，会产生前方侧压弹簧212s的挠曲复原的情况。当产生这样的情况时，驱动凸部114的推压力不连续地变化，因而压电马达10的驱动力不连续地变化，故不优选。
并且，如图8的（c）所示，在组装有前方侧压弹簧212s的状态（主体部100未滑动的状态）下，存在前方侧压弹簧212s以挠曲的状态被组装的情况。进而，在压电马达10的动作中，主体部100总是细微地移动，因此，前方侧压弹簧212s的端面以某种节拍滑动而移动，如图8的（d）所示，会产生前方侧压弹簧212s的挠曲复原的情况。在这样的情况下，压电马达10的驱动力也不连续地变化，故不优选。
因此，在本实施例的压电马达10中，在振动体壳体120的侧面设置凹部122t，并将前方侧压弹簧212s的端面嵌入凹部122t。因此，即便主体部100滑动而前方侧压弹簧212s挠曲，也不会出现前方侧压弹簧212s的端面滑动而导致前方侧压弹簧212s的挠曲恢复原状的情况。并且，在组装前方侧压弹簧212s时，前方侧压弹簧212s的端面嵌入振动体壳体120的凹部122t，因此，不会出现前方侧压弹簧212s以挠曲的状态被组装的情况。因此，能够避免在压电马达10的动作中驱动力不连续地变化的情况。
以上，对前方侧压弹簧212s（以及后方侧压弹簧216s）的靠振动体壳体120侧的端面进行了说明。前方侧压弹簧212s（以及后方侧压弹簧216s）的靠第一侧壁体210侧的端面也几乎相同。即、当未在前方壳体212内形成凹部212t、前方侧压弹簧212s的端面处于能够在前方壳体212内滑动的状态的情况下，会发生在压电马达10的动作中驱动力突然地、不连续地变化的情况。对于后方侧压弹簧216s也同样，在后方侧压弹簧216s的端面处于能够在后方壳体216内滑动的状态的情况下，会发生在压电马达10的动作中驱动力突然地、不连续地变化的情况。以下，对该点进行补充说明。
图9是举例说明并未在前方壳体212内设置供前方侧压弹簧212s嵌入的凹部212t的情况的说明图。另外，在图9中仅示出前方侧压弹簧212s，但是对后方侧压弹簧216s也适用完全相同的情况。即便当未在前方壳体212内设置凹部212t的情况下，当主体部100滑动时，如图9的（a）所示，前方侧压弹簧212s也产生挠曲。但是，当在前方壳体212内前方侧压弹簧212s的端面仅仅被朝第一侧壁体210推压的情况下，会发生前方侧压弹簧212s的端面按某种节拍被从振动体壳体120侧拖拽从而在前方壳体212内滑动的情况。结果，如图9的（b）所示，会发生前方侧压弹簧212s的挠曲复原的情况。当产生这样的情况时，驱动凸部114的推压力不连续地变化，从而压电马达10的驱动力不连续地变化。
并且，如图9的（c）所示，在组装前方侧压弹簧212s时，会发生前方侧压弹簧212s在前方壳体212内未被安装在正确的位置从而前方侧压弹簧212s成为挠曲的状态的情况。进而，在压电马达10的动作中，前方侧压弹簧212s的端面以某种节拍在前方壳体212内滑动，从而如图9的（d）所示会发生前方侧压弹簧212s的挠曲复原的情况。在这样的情况下，压电马达10的驱动力也不连续地变化。
在本实施例的压电马达10中，考虑上述情况而如图4所示在第一侧壁体210的前方壳体212内也设置凹部212t，并将前方侧压弹簧212s的端面嵌入该凹部212t。并且，对于后方侧压弹簧216s也同样在后方壳体216内设置凹部216t，并将后方侧压弹簧216s的端面嵌入该凹部216t。
另外，只要形成为前方侧压弹簧212s、后方侧压弹簧216s的端面在前方壳体212内以及后方壳体216内不滑动的构造即可，并非必须在前方壳体212内、后方壳体216内设置凹部212t或凹部216t。例如，如图10所示，也可以将前方壳体212的至少里侧形成为与前方侧压弹簧212s的外径一致的大小，并利用前方壳体212的内壁面推压前方侧压弹簧212s的外侧。对于后方壳体216也同样，可以将后方壳体216的至少里侧形成为与后方侧压弹簧216s的外径一致的大小，并利用后方壳体216的内壁面推压后方侧压弹簧216s的外侧。这样，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的端面不会在前方壳体212内以及后方壳体216内滑动移动，因此能够避免在压电马达10的动作中驱动力突然地、不连续地变化的情况。
另外，在本实施例的压电马达10中，如上所述，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的端面也不在前方壳体212内以及后方壳体216内滑动。但是，与振动体壳体120侧的端面不同，在前方壳体212内以及后方壳体216内，为了容易制造压电马达10，也可以省略用于使端面不滑动的构造。这是由于如下的理由。
首先，当振动体壳体120滑动时，前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的靠振动体壳体120侧的端面直接从振动体壳体120受到力。与此相对，前方壳体212内以及后方壳体216内的端面只是经由前方侧压弹簧212s或后方侧压弹簧216s而间接地受到来自振动体壳体120的力。另一方面，在振动体壳体120侧的端面和前方壳体212内或后方壳体216内的端面，通过弹力推压端面的力均相同。因而，振动体壳体120侧的端面的滑动容易性较高。换言之，在压电马达10的动作中，前方侧压弹簧212s或后方侧压弹簧216s的端面在前方壳体212内或后方壳体216内滑动的情况较少。因此，也可以通过以不在前方壳体212内或后方壳体216内设置凹部212t、凹部216t（参照图4）、不设置凸部212u、凸部216u（参照图5）、或者不将前方壳体212、后方壳体216的里侧的部分形成地较窄的方式形成前方壳体212以及后方壳体216，从而进一步实现压电马达10的制造容易化。
并且，本实施例的压电马达10以前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s的端面相对于振动体壳体120不滑动的方式被安装，因此还能够获得如下的优点。图11是在前方侧压弹簧212s的中心轴的位置得到的压电马达10的剖视图。在图11的（a）中示出表示截面位置的俯视图，在图11的（b）中示出剖视图。如图11的（b）所示，前方侧压弹簧212s的靠振动体壳体120侧的端面嵌入在设置于振动体壳体120的侧面的凹部212t。并且，在振动体壳体120的相反侧的侧面安装有前侧滚子102r，前侧滚子102r嵌入在设置于第二侧壁体220的滚子槽102t。因此，振动体壳体120的一侧在凹部212t的部分处由前方侧压弹簧212s在Z方向（在图中为上下方向）定位，振动体壳体120的另一侧在滚子槽102t处经由前侧滚子102r在Z方向被定位。因此，还能够省略为了在Z方向对振动体壳体120进行定位而设置的推压滚子104r以及推压弹簧232s（参照图1）。进而，若省略推压滚子104r以及推压弹簧232s（参照图1），则压电马达10的构造变得更加简单，因此不仅能够使制造变得更容易，还能够使压电马达10进一步小型化。此外，对于用前侧滚子102r、推压滚子104r、后侧滚子106r这三个滚子对振动体壳体120进行定位的构造而言，考虑到滚子以及滚子所滚动的对象侧的面（滚动面）的加工误差，未必能够稳定地进行定位。其原因在于，振动体壳体120由前侧滚子102r与第二侧壁体220之间的接触点、后侧滚子106r与第二侧壁体220之间的接触点以及推压滚子104r与第二侧壁体220之间的接触点这三点完全地定位。进而，当在该状态下振动体壳体120沿X方向滑动时，前侧滚子102r、后侧滚子106r以及推压滚子104r在各自的第二侧壁体220的滚动面上滚动。当然，第二侧壁体220的滚动面也存在加工误差，因此，会产生某个滚子从滚动面浮起的情况。进而，当将浮起的滚子朝滚动面推压时，会导致振动体壳体120的姿势改变。与此相对，若能够省略推压滚子104r以及推压弹簧232s，则不会产生上述问题，能够对振动体壳体120稳定地进行定位。
并且，在本实施例的压电马达10中，沿X方向对主体部100施力的加压弹簧222s（参照图1或图4）设置在主体部100的侧方（相对于主体部100设置在Y方向）。主体部100多形成为在X方向较长，因此，由此能够抑制在X方向的长度，从而能够使压电马达10进一步小型化。
D.变形例：
上述的本实施例的压电马达10存在各种变形例。以下，对这些变形例简单地进行说明。另外，在以下的变形例中，以与上述的本实施例的压电马达10不同的部分为主进行说明，对与本实施例的压电马达10相同的结构标注相同的标号并省略说明。
图12是示出第一变形例的压电马达20的构造的剖视图。在图4所示的本实施例的压电马达10中，前侧滚子102r以及后侧滚子106r设置于振动体壳体120侧。与此相对，在图12所示的第一变形例的压电马达20中，前侧滚子102r以及后侧滚子106r设置于第二侧壁体220侧。这样，能够减轻主体部100的重量，因此能够使主体部100容易沿X方向滑动。
图13是示出第二变形例的压电马达30的构造的剖视图。在第二变形例的压电马达30中，从第二侧壁体320立起设置有引导柱320g，并利用该引导柱320g对主体部100的滑动进行引导。这样，能够进一步简化压电马达30的构造。
图14是示出第三变形例的压电马达40的构造的剖视图。在第三变形例的压电马达40中，加压弹簧418s相对于主体部100倾斜地设置。这样，能够利用一个加压弹簧418s将主体部100朝对象物推压，同时将主体部100朝第二侧壁体420推压。因此，如图14所示，加压弹簧418s能够兼作后方侧压弹簧216s，从而能够使压电马达40进一步小型化。当然，若使加压弹簧418s不仅兼作后方侧压弹簧216s，还兼作前方侧压弹簧212s，则还能够从图14所示状态进一步省略前方侧压弹簧212s，因此，能够使压电马达40进一步小型化。
图15是示出第四变形例的压电马达50的构造的剖视图。在第四变形例的压电马达40中，加压弹簧518s相对于主体部100而与前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s设置于同侧。并且，与此相伴，省略设置于本实施例的压电马达10的推压滚子104r、推压弹簧232s。这样，第二侧壁体520的结构变得简单，因此能够使压电马达50进一步小型化。并且，利用前方侧压弹簧212s以及后方侧压弹簧216s来限制主体部100的沿Z方向（在图15中为与纸面垂直的方向）的移动，因此，即便省略推压滚子104r以及推压弹簧232s也不会产生问题。
E.应用例：
上述本实施例的压电马达10或各种变形例的压电马达20、30、40、50体型小、且能够高精度地驱动对象物，因此能够作为以下的装置的驱动装置而适当地组装。
图16是例示出组装有本实施例的压电马达10而构成的电子部件检查装置600的立体图。图示的电子部件检查装置600大体上具备基台610、和立起设置于基台610的侧面的支承台630。在基台610的上表面设置有用于载置并输送作为检查对象的电子部件1的上游侧工作台612u、和用于载置并输送检查完毕的电子部件1的下游侧工作台612d。并且，在上游侧工作台612u与下游侧工作台612d之间设置有用于确认电子部件1的姿势的拍摄装置614、和为了检查电气特性而放置电子部件1的检查台616。另外，作为电子部件1的代表性的例子，例举“半导体”、“CLD、OLED等显示器件”、“水晶器件”、“各种传感器”、“喷墨头”、以及“各种MEMS器件”等。并且，本实施例的检查台616与本发明的“检查插座”对应。
并且，在支承台630以能够沿与基台610的上游侧工作台612u以及下游侧工作台612d平行的方向（Y方向）移动的方式设置有Y工作台632，从Y工作台632沿朝向基台610的方向（X方向）延伸设置有臂部634。并且，在臂部634的侧面以能够沿X方向移动的方式设置有X工作台636。进而，在X工作台636设置有摄像机638、和内置有能够沿上下方向（Z方向）移动的Z工作台的把持装置650。并且，在把持装置650的前端设置有把持电子部件1的把持部652。此外，在基台610的前面侧还设置有对电子部件检查装置600整体的动作进行控制的控制装置618。另外，在本实施例中，设置于支承台630的Y工作台632、臂部634、X工作台636、和把持装置650与本发明的“电子部件输送装置”对应。并且，在本实施例中，X工作台636、Y工作台632、以及内置于把持装置650的Z工作台与本发明的“移动装置”对应。此外，本实施例的控制装置618与本发明的“第一控制部”、“第二控制部”、“第三控制部”对应。
具有以上那样的结构的电子部件检查装置600以如下方式进行电子部件1的检查。首先，将作为检查对象的电子部件1载置于上游侧工作台612u，并移动至检查台616附近。其次，移动Y工作台632以及X工作台636而使把持装置650移动至载置于上游侧工作台612u的电子部件1的正上方的位置。此时，能够使用摄像机638确认电子部件1的位置。进而，当使用内置于把持装置650内的Z工作台使把持装置650下降而利用把持部652把持电子部件1后，使把持装置650保持原样地移动至拍摄装置614的上方，使用拍摄装置614确认电子部件1的姿势。接着，使用内置于把持装置650的微调机构调整电子部件1的姿势。进而，在使把持装置650移动至检查台616的上方后，移动内置于把持装置650的Z工作台来将电子部件1放置在检查台616上。使用把持装置650内的微调机构调整电子部件1的姿势，因此能够将电子部件1放置在检查台616上的正确位置。进而，在使用检查台616进行的对电子部件1的电气特性的检查结束后，再次、此次为从检查台616拿起电子部件1后，移动Y工作台632以及X工作台636来使把持装置650移动至下游侧工作台612d的上方，并将电子部件1放置于下游侧工作台612d。然后，移动下游侧工作台612d来将结束了检查的电子部件1输送至规定位置。
图17是内置于把持装置650的微调机构的说明图。如图所示，在把持装置650内设置有与把持部652连接的旋转轴654、和微调板656，旋转轴654以能够旋转的方式安装于该微调板656。并且，微调板656由未图示的引导机构引导、且能够沿X方向以及Y方向移动。
这里，如在图17标注斜线而示出的那样，朝向旋转轴654的端面而安装有旋转方向用的压电马达10θ，压电马达10θ的驱动凸部（省略图示）被按压于旋转轴654的端面。因此，通过使压电马达10θ动作，能够使旋转轴654（以及把持部652）在θ方向高精度地旋转任意的角度。并且，朝向微调板656设置有X方向用的压电马达10x和Y方向用的压电马达10y，且各自的驱动凸部（省略图示）被按压于微调板656的表面。因此，通过使压电马达10x动作，能够使微调板656（以及把持部652）在X方向高精度地移动任意的距离，同样，通过使压电马达10y动作，能够使微调板656（以及把持部652）在Y方向高精度地移动任意的距离。因而，图16的电子部件检查装置600能够通过使压电马达10θ、压电马达10x、压电马达10y动作而对由把持部652把持的电子部件1的姿势进行微调。另外，在本实施例中，压电马达10x、压电马达10y分别与本发明的“第一压电马达”、“第二压电马达”对应，压电马达10θ与本发明的“第三压电马达”对应。并且，由旋转轴654、微调板656、压电马达10θ、压电马达10x、以及压电马达10y构成的微调机构与本发明的“驱动装置”对应。
图18是例示出安装有本实施例的压电马达10的印刷装置700的立体图。图示的印刷装置700是在印刷介质2的表面喷射墨水来印刷图像的所谓喷墨印刷机。印刷装置700呈大致箱形的外观形状，并在前表面的大致中央设置有排纸托盘701、排出口702、以及多个操作按钮705。并且，在背面侧设置有供给托盘703。当将印刷介质2放置于供给托盘703并对操作按钮705进行操作时，印刷介质2被从供给托盘703吸入，并在印刷装置700的内部将图像印刷在印刷介质2的表面，然后从排出口702将该印刷介质2排出。
在印刷装置700的内部设置有在印刷介质2上沿主扫描方向往复移动的滑架720、和对滑架720的沿主扫描方向的移动进行引导的导轨710。并且，图示的滑架720由朝印刷介质2上喷射墨水的喷头722、和用于沿主扫描方向驱动滑架720的驱动部724等构成。在喷头722的底面侧（朝向印刷介质2的一侧）设置有多个喷嘴，从而能够从喷嘴朝印刷介质2喷射墨水。并且，在驱动部724搭载有压电马达10m、10s。压电马达10m的驱动凸部（省略图示）被按压于导轨710。因此，通过使压电马达10m动作，能够使滑架720沿主扫描方向移动。并且，压电马达10s的驱动凸部114被按压于喷头722。因此，通过使压电马达10s动作，能够使喷头722的底面侧接近印刷介质2或远离印刷介质2。并且，在使用所谓的卷筒纸作为印刷介质2的印刷装置700中，需要将印刷有图像后的卷筒纸切断的机构。在这样的情况下，若在滑架720安装刀具并使其沿主扫描方向移动，则能够切断卷筒纸。
图19是例示了组装有本实施例的压电马达10的机械手800的说明图。图示的机械手800从基台802立起设置有多根指部803，并经由腕部804而与臂810连接。这里，指部803的指根的部分能够在基台802内移动，并以将驱动凸部114按压于该指部803的指根的部分的状态安装有压电马达10f。因此，通过使压电马达10f动作，能够使指部803移动来把持对象物。并且，在腕部804的部分同样以将驱动凸部114按压于腕部804的端面的状态安装有压电马达10r。因此，通过使压电马达10r动作，能够使基台802整体旋转。
图20是例示出具备机械手800的机器人850的说明图。如图所示，机器人850具备多条臂810、和将这些臂810之间以能够弯曲的状态连接起来的关节部820。并且，机械手800连接在臂810的前端。进而，在关节部820内置有作为用于使关节部820弯曲的作为致动器的压电马达10j。因此，通过使压电马达10j动作，能够使各个关节部820弯曲任意的角度。
以上，对本发明的压电马达、安装有压电马达的各种装置进行了说明，但是本发明不限于上述的实施例、变形例、应用例，能够在不脱离其宗旨的范围内以各种方式实施。
标号说明：
10…压电马达；100…主体部；102r…前侧滚子；102t…滚子槽；104r…推压滚子；106r…后侧滚子；110…振动部；112…振动体；114…驱动凸部；116…表面电极；120…振动体壳体；122t…凹部；122u…凸部；130…缓冲部件；140…推压板；142…碟形弹簧；144…压盖；146…固定螺钉；200…基台部；210…第一侧壁体；212…前方壳体；212s…前方侧压弹簧；212t…凹部；212u…凸部；214…中央壳体；216…后方壳体；216s…后方侧压弹簧；216t…凹部；216u…凸部；220…第二侧壁体；222s…加压弹簧；230…基板；232s…推压弹簧；240…固定螺钉；320…第二侧壁体；320g…引导柱；418s…加压弹簧；420…第二侧壁体；518s…加压弹簧；520…第二侧壁体；600…电子部件检查装置；610…基台；612d…下游侧工作台；612u…上游侧工作台；614…拍摄装置；616…检查台；618…控制装置；630…支承台；634…臂部；638…摄像机；650…把持装置；652…把持部；654…旋转轴；656…微调板；700…印刷装置；701…排纸托盘；702…排出口；703…供给托盘；705…操作按钮；710…导轨；720…滑架；722…喷头；724…驱动部；800…机械手；802…基台；803…指部；804…腕部；810…臂；820…关节部；850…机器人。