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1、(10)申请公布号 CN 103170986 A (43)申请公布日 2013.06.26 CN 103170986 A *CN103170986A* (21)申请号 201210440971.9 (22)申请日 2012.11.07 2011-280376 2011.12.21 JP B25J 18/00(2006.01) B25J 9/06(2006.01) (71)申请人 株式会社安川电机 地址 日本福冈县 (72)发明人 野口忠隆 小原勇树 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 代理人 党晓林 王小东 (54) 发明名称 机器人的臂结构和机器人 (57) 摘。
2、要 本发明提供机器人的臂结构以及机器人。所 述机器人安装在保持处于减压状态的真空室中， 所述臂结构包括第一臂、 第二臂和构造成保持工 件的末端执行器。所述第一臂设置有布置在该第 一臂的内部中的预定驱动系统， 并且所述第一臂 的内部保持处于大气压状态。所述第二臂中不具 有驱动系统。在所述第一臂和所述第二臂的连接 部附近设置间壁， 以使该第一臂内所保持的大气 压状态与所述减压状态隔离。在所述间壁中设置 气密端子， 以使大气侧和真空侧在气密状态下相 互电连接。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 6 页 附图 4 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)。
3、发明专利申请 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 (10)申请公布号 CN 103170986 A CN 103170986 A *CN103170986A* 1/1 页 2 1. 一种机器人的臂结构， 所述机器人安装在保持处于减压状态的真空室中并且被构造 成传送工件， 所述臂结构包括 ： 第一臂， 所述第一臂具有以可旋转的方式连接到所述机器人的臂基部的基端部， 所述 第一臂包括布置在该第一臂的内部的预定的驱动系统， 所述第一臂的内部保持处于大气压 状态 ； 第二臂， 所述第二臂具有以可旋转的方式连接到所述第一臂的末端部的基端部， 所述 第二臂中不包括驱动系统 ； 末端执行器， 所述末端执行。
4、器通过可移动基部以可旋转的方式连接到所述第二臂的末 端部， 并且被构造成保持所述工件 ； 间壁， 所述间壁设置在所述第一臂和所述第二臂的连接部附近， 以使该第一臂内所保 持的大气压状态与所述减压状态隔离 ； 以及 气密端子， 所述气密端子设置在所述间壁中， 以使大气侧和真空侧在气密状态下相互 电连接。 2. 根据权利要求 1 所述的臂结构， 其中， 所述第一臂包括减速器， 所述减速器具有用于 驱动所述第二臂的中空驱动轴， 所述间壁设置在所述减速器的所述中空驱动轴的中空区域 中或者设置在所述第二臂附近的与该中空区域连通的封闭空间中， 并且在所述第一臂中延 伸的缆线经由所述中空区域连接到所述气密端。
5、子。 3. 根据权利要求 1 所述的臂结构， 其中， 所述末端执行器包括传感器， 所述传感器具有 经由所述第二臂连接到所述气密端子的缆线。 4. 根据权利要求 2 所述的臂结构， 其中， 所述末端执行器包括传感器， 所述传感器具有 经由所述第二臂连接到所述气密端子的缆线。 5. 根据权利要求 2 或 4 所述的臂结构， 该臂结构还包括 ： 中间连杆， 所述中间连杆设置成能绕与所述减速器的所述中空驱动轴同轴的轴线旋 转 ； 第一连杆， 所述第一连杆与所述第一臂、 所述中间连杆和所述臂基部协作而组成第一 平行连杆机构 ； 以及 第二连杆， 所述第二连杆与所述第二臂、 所述中间连杆和所述可移动基部协。
6、作而组成 第二平行连杆机构。 6. 根据权利要求 5 所述的臂结构， 其中， 所述第一臂形成得厚于所述第二臂、 所述第一 连杆和所述第二连杆。 7. 根据权利要求 2 或 4 所述的臂结构， 该臂结构还包括 ： 保护管， 所述保护管固定到所述减速器的所述中空驱动轴的内壁， 所述保护管延伸穿 过布置在所述减速器内的与所述中空驱动轴处于同轴关系的中空输入轴的中空区域， 而不 与该中空输入轴接触。 8. 一种包括权利要求 1 至 4 中的任一项所述的臂结构的机器人。 9. 根据权利要求 8 所述的机器人， 其中， 所述臂基部包括摆动单元， 所述摆动单元被构 造成绕沿竖直方向延伸的摆动轴线摆动。 权 。
7、利 要 求 书 CN 103170986 A 2 1/6 页 3 机器人的臂结构和机器人 技术领域 0001 本文所公开的实施方式涉及机器人的臂结构和机器人。 背景技术 0002 通常， 已知一种机器人， 借助该机器人将扁平工件 （诸如用于液晶显示器的玻璃基 板或半导体片） 装载到堆料机和从该堆料机上卸载。机器人被安装在保持减压状态的室 （下 文中称为 “真空室” ） 内。 0003 已提出一种基板处理装置， 其中用于确定由机器人传送的基板的状态的传感器安 装在真空室中 （见， 例如， 日本专利特开 2011-210814 号公报） 。 0004 在上述基板处理装置中， 在装载和卸载基板的所有。
8、点处安装用于确定基板的状态 的传感器。 0005 然而， 在传统基板处理装置中， 必须提供多个传感器。 出于降低装置制造成本的考 虑， 还有改进的余地。 发明内容 0006 鉴于上述， 本文所公开的实施方式提供一种能够降低装置制造成本的机器人臂结 构和机器人。 0007 根据实施方式的一方面， 提供一种机器人的臂结构， 所述机器人安装在保持处于 减压状态下的真空室中并且构造成传送工件， 所述臂结构包括 ： 第一臂， 所述第一臂具有以 可旋转的方式连接到所述机器人的臂基部的基端部， 所述第一臂包括布置在该第一臂的内 部的预定的驱动系统， 所述第一臂的内部保持处于大气压状态 ； 第二臂， 所述第二。
9、臂具有以 可旋转的方式连接到所述第一臂的末端部的基端部， 所述第二臂中不包括驱动系统 ； 末端 执行器， 所述末端执行器通过可移动基部以可旋转的方式连接到所述第二臂的末端部， 并 且构造成保持所述工件 ； 间壁， 所述间壁设置在所述第一臂和所述第二臂的连接部附近， 以 使该第一臂内所保持的大气压状态与所述减压状态隔离 ； 以及气密端子， 所述气密端子设 置在所述间壁中， 以使大气侧和真空侧在气密状态下相互电连接。 0008 通过本文所公开的实施方式的一个方面， 可以降低装置制造成本。 附图说明 0009 图 1 是示出根据本实施方式的机器人的示意性立体图 ； 0010 图 2 是示出安装在真空。
10、室内的机器人的示意性侧视图 ； 0011 图 3A 是示出缆线的状态的第一示意图 ； 0012 图 3B 是示出缆线的状态的第二示意图 ； 0013 图 4 是用于说明气密端子的示意性侧视图 ； 0014 图 5 是示出根据变型例的气密端子的示意性侧视图。 说 明 书 CN 103170986 A 3 2/6 页 4 具体实施方式 0015 现在将参照附图描述本文所公开的机器人臂结构和机器人的一个实施方式。 机器 人臂结构和机器人不限于下面所述的实施方式。 0016 首先， 将参照图 1 描述根据本实施方式的机器人的构造。图 1 是示出根据本实施 方式的机器人的示意性立体图。 0017 如图 。
11、1 所示， 机器人 1 是水平多关节型机器人， 该机器人包括两个可延伸臂单元， 这两个可延伸臂单元能沿水平方向延伸和缩回。更具体地， 机器人 1 包括主体单元 10 和臂 单元 20。 0018 主体单元 10 是设置在臂单元 20 下面的单元。主体单元 10 包括管状壳体 11 和布 置在该壳体 11 内的升降装置。主体单元 10 利用升降装置沿竖直方向上下移动臂单元 20。 0019 升降装置构造成包括例如马达、 滚珠丝杠和滚珠螺母。升降装置通过将马达的旋 转运动转换成线性运动来沿竖直方向上下移动升降凸缘单元 15。因此， 固定在升降凸缘单 元 15 上的臂单元 20 被上下移动。 002。
12、0 在壳体11的上部中形成有凸缘部12。 通过将凸缘部12固定到真空室而将机器人 1 安装在真空室中。关于这一点， 稍后将参照图 2 进行描述。 0021 臂单元 20 是通过升降凸缘单元 15 连接到主体单元 10 的单元。更具体地， 臂单元 20 包括臂基部 21、 第一臂 22、 第二臂 23、 可移动基部 24 和辅助臂 25。 0022 根据本实施方式的机器人 1 是双臂机器人， 该双臂机器人包括两组可延伸臂单 元， 每组均具有第一臂 22、 第二臂 23、 可移动基部 24 和辅助臂 25。 0023 然而， 本公开内容不限于上述。机器人 1 可以是包括一个可延伸臂单元的单臂机 器。
13、人或者包括三个或更多个可延伸臂单元的机器人。 0024 臂基部 21 相对于升降凸缘单元 15 以可旋转的方式被支撑。臂基部 21 包括由马 达和减速器构成的摆动装置。臂基部 21 由摆动装置摆动。 0025 更具体地， 摆动装置构造成使得马达的旋转经由传动带被输入到减速器， 该减速 器的输出轴固定到主体单元10。 因此臂基部21利用减速器的输出轴作为摆动轴线， 绕其自 身的轴线水平地旋转。 0026 臂基部 21 包括保持在大气压下的盒状储藏室。马达、 减速器和传动带被存储在该 储藏室内。因此， 即使机器人 1 如稍后所述用在真空室内， 也可以防止诸如油脂等的润滑剂 变干并且可以防止真空室的。
14、内部被污垢污染。 0027 第一臂 22 的基端部借助待稍后描述的第一减速器以可旋转的方式连接到臂基部 21 的上部。第一臂 22 包括保持在大气压下的盒状储藏室。第二臂 23 的基端部借助稍后描 述的第二减速器以可旋转的方式连接到第一臂 22 的末端上部。不同于臂基部 21， 第二臂 23 整个地暴露于真空环境。 0028 可移动基部 24 以可旋转的方式连接到第二臂 23 的末端部。可移动基部 24 在其 上端处设置有用于保持薄的扁平工件的末端执行器 24a。可移动基部 24 响应于第一臂 22 和第二臂 23 的旋转运动而线性移动。在以下描述中， 将薄的扁平工件仅称为基板。所述基 板可以。
15、是用于液晶显示器的玻璃基板或半导体片。 0029 在传统情况下， 当传送基板时， 基板的存在与否由设置在真空室内的传感器来确 定。在传统情况下， 必须在真空室内供装载和卸载基板的所有点处设置传感器。因此装置 说 明 书 CN 103170986 A 4 3/6 页 5 变得昂贵。 0030 在第二臂 23 回到传感器布置位置的状态下确定基板的存在与否。在图 1 所示的 双臂机器人的情况下， 一对末端执行器 24a 可以处于竖直重叠状态。 0031 为此， 当确定基板存在与否时， 常规的机器人不能确定基板是放置在上末端执行 器 24a 上还是下末端执行器 24a 上。 0032 在根据本实施方式。
16、的机器人 1 中， 在每个末端执行器 24a 中布置有用于检测基板 的存在与否的传感器S。 在根据本实施方式的机器人1中， 因此可以降低装置制造成本并且 可以精确确定基板放置在哪个末端执行器 24a 上。 0033 在根据本实施方式的机器人1中， 传感器S能在基板被放置在每个末端执行器24a 上的一瞬间检测基板的存在与否。因此， 可以防止基板由于未对准而在不稳定状态下传送 时掉落。 0034 机器人 1 借助于布置在第一臂 22 和第二臂 23 内的缆线 60（参见图 3A） 向传感器 S 供应电流。稍后将参照图 3A 和图 3B 描述关于缆线 60 的布置的细节。 0035 机器人 1 通过。
17、同步操作第一臂 22 和第二臂 23 而线性移动末端执行器 24a。更具 体地， 机器人 1 通过使用单个马达而使第一减速器和第二减速器旋转， 从而同步操作第一 臂 22 和第二臂 23。 0036 机器人1旋转第一臂22和第二臂23， 使得第二臂23相对于第一臂22的旋转量为 第一臂 22 相对于臂基部 21 的旋转量的两倍大。 0037 例如， 机器人 1 以如下方式旋转第一臂 22 和第二臂 23， 即， 如果第一臂 22 相对于 臂基部 21 旋转 度， 则第二臂 23 相对于第一臂 22 旋转 2 度。结果， 机器人 1 能线性移 动末端执行器 24a。 0038 考虑到防止真空室内。
18、部污染， 驱动装置 （诸如第一减速器、 第二减速器、 马达和传 动带） 被布置在保持处于大气压下的第一臂 22 内。 0039 辅助臂 25 是连杆机构， 该连杆机构与第一臂 22 和第二臂 23 的旋转运动联动地限 制可移动基部 24 的旋转， 使得末端执行器 24a 在其运动期间始终朝向预定方向。 0040 更具体地， 辅助臂 25 包括第一连杆 25a、 中间连杆 25b 和第二连杆 25c。 0041 第一连杆25a的基端部以可旋转的方式连接到臂基部21。 第一连杆25a的末端部 以可旋转的方式连接到中间连杆 25b 的末端部。中间连杆 25b 的基端部以与使第一臂 22 和第二臂 2。
19、3 互连的连接轴线同轴的关系枢转。中间连杆 25b 的末端部以可旋转的方式连 接到第一连杆 25a 的末端部。 0042 第二连杆 25c 的基端部以可旋转的方式连接到中间连杆 25b。第二连杆 25c 的末 端部以可旋转的方式连接到可移动基部 24 的基端部。可移动基部 24 的末端部以可旋转的 方式连接到第二臂 23 的末端部。可移动基部 24 的基端部以可旋转的方式连接到第二连杆 25c。 0043 第一连杆 25a、 臂基部 21、 第一臂 22 和中间连杆 25b 构成第一平行连杆机构。换 言之， 当第一臂 22 绕其基端部旋转时， 第一连杆 25a 旋转并保持与第一臂 22 平行。。
20、当在平 面图中观看时， 中间连杆 25b 与这样的假想连线平行地旋转， 该连线使臂基部 21 和第一臂 22 的连接轴线与臂基部 21 和第一连杆 25a 的连接轴线互连。 0044 第二连杆 25c、 第二臂 23、 可移动基部 24 和中间连杆 25b 构成第二平行连杆机构。 说 明 书 CN 103170986 A 5 4/6 页 6 换言之， 当第二臂 23 绕其基端部旋转时， 第二连杆 25c 和可移动基部 24 旋转并分别保持与 第二臂 23 和中间连杆 25b 平行。 0045 在第一平行连杆机构的作用下， 中间连杆 25b 旋转并保持与前述连线平行。为此， 第二平行连杆机构的可。
21、移动基部 24 旋转并保持与前述连线平行。结果， 安装到可移动基部 24 的上部的末端执行器 24a 线性移动并保持与前述连线平行。 0046 在机器人1中， 通过辅助臂25， 可提高臂单元的总体刚度。 因此可以降低在末端执 行器 24a 操作期间所产生的振动。在末端执行器 24a 操作期间所产生的振动可引起污垢的 产生， 因而降低振动可抑制污垢的产生。 0047 根据本实施方式的机器人 1 包括两组可延伸臂单元， 每组均包括第一臂 22、 第二 臂 23、 可移动基部 24 和辅助臂 25。因此， 机器人 1 能同时执行两个任务， 例如， 利用其中一 个可延伸臂单元从预定传送位置取出基板的任。
22、务， 和利用另一个可延伸臂单元将新的基板 运送到传送位置的任务。 0048 接着， 将参照图2描述安装在真空室内的机器人1。 图2是示出安装在真空室内的 机器人 1 的示意性侧视图。 0049 如图 2 所示， 为机器人 1 的主体单元 10 设置的凸缘部 12 借助密封件固定到在真 空室 30 的底部中形成的开口部 31 的外周缘。因此， 真空室 30 被气密密封并且该真空室 30 的内部由减压装置 （诸如真空泵等） 保持在减压状态。主体单元 10 的壳体 11 从真空室 30 的底部突出并且位于由支撑该真空室 30 的支撑部 35 限定的空间内。 0050 机器人 1 在真空室 30 内执。
23、行基板传送任务。例如， 机器人 1 利用第一臂 22 和第 二臂 23 而线性移动末端执行器 24a， 从而从借助闸阀 （未示出） 与真空室 30 连接的另一真 空室取出基板。 0051 随后， 机器人 1 使末端执行器 24a 返回， 接着使臂基部 21 绕摆动轴线 O 水平旋转， 从而致使臂单元 20 直接面对作为基板的传送目的地的另一真空室。接着， 机器人 1 利用第 一臂22和第二臂23线性移动末端执行器24a， 从而将基板运送到作为基板的传送目的地的 另一真空室中。 0052 真空室 30 形成为与机器人 1 的形状符合。例如， 如图 2 所示， 在真空室 30 的底面 部中形成凹部。
24、。机器人的多个部分 （诸如臂基部 21 和升降凸缘单元 15） 布置在该凹部中。 通过以该方式形成与机器人 1 的形状符合的真空室 30， 可以减小真空室 30 的内容积， 从而 可以容易地将真空室 30 保持在减压状态。 0053 接着， 将参照图 3A 和图 3B 描述传感器 S 的信号线和电源线 （下文中仅称为 “缆 线” ） 的布置的细节。图 3A 和图 3B 是示出缆线 60 的状态的示意性侧视图。 0054 首先， 参看图 3A， 缆线 60 连接到设置在末端执行器 24a 中的传感器 S。缆线 60 穿 过可移动基部 24 与第二臂 23 的末端部相连接的连接部而布置在第二臂 2。
25、3 内。 0055 缆线 60 逐线连接到气密端子 50， 该气密端子 50 设置在第一臂 22 和第二臂 23 相 互连接之处的连接部中。 0056 气密端子 50 是设置在间壁 56 中的连接器， 该间壁 56 位于保持在减压状态的第二 臂 23 和保持在大气压下的第一臂 22 之间。气密端子 50 构造成使第一臂 22 和第二臂 23 彼此隔离并且在两种不同大气压之间电连接缆线60。 因此， 即使第二减速器52的中空驱动 轴旋转， 也可以保持第二臂 23 和第二减速器 52 的内部之间的气密性。稍后将参照图 4 描 说 明 书 CN 103170986 A 6 5/6 页 7 述气密端子。
26、 50 的细节。 0057 连接到气密端子 50 的缆线 60 穿过第二减速器 52 的中空驱动轴的中空区域延伸 到第一臂 22 中。于是， 缆线 60 穿过第一臂 22 的基端部的旋转轴中心 （未示出） 延伸到臂基 部 21。 0058 现在， 参照图 3B 描述第二减速器 52 的中空驱动轴的中空区域的细节。 0059 如图 3B 所示， 管状保护管 57 的上端部固定到第二减速器 52 的输出轴 52b。保护 管57通过第二减速器52的输出轴52b连接到第二臂23， 使得该保护管57能相对于第一臂 22 旋转。 0060 保护管 57 由设置在第二减速器 52 的中部内侧处的油封 58 。
27、以可旋转的方式支撑。 第二减速器 52 包括由减速齿轮 （未示出） 以可旋转的方式相互连接的输入轴 52a 和输出轴 52b。 0061 保护管 57 不与带轮 55 的中空驱动轴的内壁和输入轴 52a 的内壁接触。带轮 55 的中空驱动轴以可旋转的方式连接到第二减速器 52 的输入轴 52a。 0062 因此， 保护管57延伸而以不接触方式穿过第二减速器52的输入轴52a。 连接到气 密端子 50 的缆线 60 穿过第二减速器 52 的输出轴 52b 的中空区域和保护管 57 的中空区域 延伸到第一臂 22 中。 0063 在根据本实施方式的机器人1中， 缆线60布置成穿过第二减速器52的输。
28、出轴52b 的中空区域和保护管 57， 并且该保护管 57 与第二臂 23 一起旋转。 0064 因此， 根据本实施方式的机器人 1 能防止缆线 60 与高速旋转的第二减速器 52 的 输入轴 52a 和带轮 55 摩擦接触。缆线 60 安全地布置而不会被缠住。 0065 返回去参看图 3A， 马达 53 设置在第一臂 22 内。第一减速器 51 布置在第一臂 22 的基端部中。第二减速器 52 布置在第一臂 22 的末端部中。传动带 54a 和 54b 分别设置在 第一减速器 51 和马达 53 之间以及第二减速器 52 和马达 53 之间。 0066 用于将马达 53 的驱动动力传送到第一。
29、减速器 51 的输入轴的传动带 54a 和用于将 马达 53 的驱动动力传送到第二减速器 52 的输入轴的传动带 54b 绕马达 53 的输出轴缠绕， 由此马达 53 的驱动动力被传送到第一减速器 51 和第二减速器 52。 0067 如上所述， 驱动装置 （诸如第一减速器 51、 第二减速器 52、 马达 53 以及传动带 54a 和 54b） 布置在处于大气压下的第一臂 22 内。另外， 机器人 1 用在真空室 30 内。 0068 为此， 第一臂 22 需要保持气密， 以便将真空室 30 的内部维持在减压状态。因此第 一臂 22 形成得厚于第二臂 23 和辅助臂 25。 0069 因为第。
30、一臂 22 形成得厚于第二臂 23 和辅助臂 25 并且保持高度气密， 因此即使当 机器人 1 被用在真空室 30 内时， 也可以防止油脂之类的润滑剂变干。而且， 机器人 1 能防 止第二臂 23 的内部和真空室 30 的内部被布置在第一臂 22 内的驱动装置产生的污垢污染。 0070 在上述机器人 1 中， 缆线 60 未布置在辅助臂 25 中而是布置在第一臂 22 和第二臂 23 中。这使得不需要将缆线 60 布置在暴露于减压环境的辅助臂 25 内的狭窄空间中。另 外， 机器人 1 能抑制气体从辅助臂 25 和缆线 60 排出。 0071 在第二臂 23 的基端部的上表面上设置盖 23a。。
31、通过移除盖 23a， 使用者能执行关 于气密端子 50 和缆线 60 的维护工作。 0072 接着， 将参照图 4 描述气密端子 50 的细节。图 4 是用于说明气密端子 50 的示意 说 明 书 CN 103170986 A 7 6/6 页 8 性侧视图。 0073 如图4所示， 气密端子50设置在保持处于减压状态的空间 （下文中称为 “真空侧” ） 和保持处于大气压的空间 （下文中称为 “大气侧” ） 之间。气密端子 50 以高度气密方式布置 在间壁 56 的孔中。在下列描述中， 气密端子 50 的上侧将被称为真空侧 101 并且气密端子 50 的下侧将被称为大气侧 102。 0074 例。
32、如， 如图 4 所示， 气密端子 50 由螺栓借助密封剂固定到间壁 56。为了尽量提高 气密性， 可以在间壁 56 和气密端子 50 之间插设 O 形环 （未示出） 。 0075 气密端子 50 包括布置在真空侧 101 和大气侧 102 处的插脚 50a 和 50b。相应的插 脚 50a 和 50b 与传感器 S 的信号线和电源线对应。相应的插脚 50a 和 50b 在真空侧 101 和 大气侧 102 之间相互电连接。当本文所公开的气密端子 50 是三插脚类型时， 插脚的数量取 决于缆线 60 中所包括的线数量。 0076 在设置在缆线 60 的末端处的缆线端 60a 中形成凹部。可通过朝。
33、向气密端子 50 的 插脚 50b 推动缆线端 60a（沿由图 4 中的箭头所示的方向） 而将插脚 50b 装配到所述凹部。 0077 通过将气密端子50设置在暴露于减压环境的第二臂23和保持在大气压的第一臂 22 之间的间壁 56 中， 可以保持第二臂 23 的内部和第二减速器 52 的内部之间的气密性。 0078 虽然气密端子 50 被设置在第二臂 23 和第二减速器 52 的连接部内的区域中， 但是 本公开内容不限于此。气密端子 50 可以设置在能保持第二臂 23 的内部和第二减速器 52 的内部之间的气密性的任何位置。例如， 如图 5 所示， 气密端子 50 可设置在第二减速器 52 。
34、的中空驱动轴的中空区域中。 0079 在根据本实施方式的机器人中， 如上所述， 气密端子设置在形成于第一臂和第二 臂的连接部中的间壁中。缆线布置成穿过第二减速器的中空驱动轴的中空区域。在根据本 实施方式的机器人中， 防止缆线与高速旋转的第二减速器的输入轴摩擦接触。缆线被安全 地布置而不会被缠住。 0080 在本实施方式中， 用于检测基板的存在与否的传感器被设置在末端执行器中。这 使得可降低装置制造成本并且可在基板被放置在末端执行器上的一瞬间确定基板的存在 与否。 0081 本领域技术人员可容易地得出其它效果和其它变型例。为此， 本公开内容的宽泛 方面不限于所示和所述的具体公开内容和代表性实施方式。因此， 本公开内容能以许多不 同的形式来改进， 而不会脱离由所附权利要求和其等同要求所限定的精神和范围。 说 明 书 CN 103170986 A 8 1/4 页 9 图 1 说 明 书 附 图 CN 103170986 A 9 2/4 页 10 图 2 图 3A 说 明 书 附 图 CN 103170986 A 10 3/4 页 11 图 3B 说 明 书 附 图 CN 103170986 A 11 4/4 页 12 图 4 图 5 说 明 书 附 图 CN 103170986 A 12 。