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本发明公开了深冷空分装置高纯氧生产系统,它包括主塔、高纯氧塔A(1)和高纯氧塔B(2),高纯氧塔A(1)顶部设置有冷凝器A(3),冷凝器A(3)的冷凝液体通过管道连接高纯氧塔B(2),高纯氧塔B(2)的上部设有冷凝器B(4),高纯氧塔B(2)的下部设有蒸发器(5),冷凝器B(4)的出口通过管道连接上塔的氮气管道,蒸发器(5)外侧的储液部通过管道连接液氧计量罐(6);还公布了高纯氧的制备工艺。本发明。