滚轮式压印系统.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103149794 A (43)申请公布日 2013.06.12 CN 103149794 A *CN103149794A* (21)申请号 201210210756.X (22)申请日 2012.06.20 100144906 2011.12.06 TW 13/484,561 2012.05.31 US G03F 7/00(2006.01) (71)申请人 私立中原大学 地址 中国台湾桃园县中坜市 (72)发明人 李有璋 吴祚享 陈柏廷 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 代理人 王雪静 魏晓波 (54) 发明名称 滚轮式压印系统 (5。

2、7) 摘要 一种滚轮式压印系统， 包含滚轮模块、 传动模 块、 固定模块、 固化模块、 及电子控制模块， 以利用 滚轮的施压使得软性模具上的图案可以顺利地转 印至基板上。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 9 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书7页 附图9页 (10)申请公布号 CN 103149794 A CN 103149794 A *CN103149794A* 1/1 页 2 1. 一种滚轮式压印系统， 适用于转印一软性模仁的一图案至一基板， 其特征在于， 包 括 ： 一滚轮模块， 包。

3、含一滚轮 ； 一传动模块， 包含可移动的一承载平台， 且该承载平台上安置有该基板 ； 一履带模块， 承载该软性模仁使其位于该基板与该滚轮之间， 该软性模仁上的一图案 层面向该基板， 且该图案位于该图案层上 ； 以及 一电子控制模块， 连接该滚轮模块与该传动模块， 用以控制该滚轮呈现一第一方向移 动并且使该承载平台呈现一第二方向移动至一压印位置， 其中该电子控制模块控制该滚轮 对该软性模仁施加压力， 以将该图案层的该图案转印至该基板上。 2. 如权利要求 1 所述的滚轮式压印系统， 其特征在于 ： 该滚轮模块包含一滚轮自转马 达且该滚轮自转马达连接该滚轮用以使该滚轮具有一转速。 3. 如权利要求。

4、 2 所述的滚轮式压印系统， 其特征在于 ： 该转速可与该承载平台的移动 速度相互搭配以顺利将该图案层转印至该基板。 4. 如权利要求 1 所述的滚轮式压印系统， 其特征在于 ： 该滚轮模块更包含一滚轮升降 机构用以带动该滚轮呈现该第一方向的移动。 5. 如权利要求 1 所述的滚轮式压印系统， 其特征在于 ： 该滚轮模块到达一定位点之后 该承载平台才开始进行移动， 或是该滚轮模块与该承载平台于压印前到达定位。 6. 如权利要求 1 所述的滚轮式压印系统， 其特征在于 ： 该软性模仁可经该履带模块承 载而渐进式贴附至该滚轮表面上、 或渐进式覆盖于该基板上再开始进行滚轮压印的制程。 7. 如权利要。

5、求 1 所述的滚轮式压印系统， 其特征在于 ： 该履带模块包含一齿轮马达组、 一履带吸条组及一支架组。 8. 如权利要求 1 所述的滚轮式压印系统， 其特征在于 ： 该传动模块更包含一线性移动 装置用以与该传动马达相互搭配以使该承载平台进行移动， 其中该线性移动装置可为螺 杆、 滑轨、 导杆或是轨道。 9. 如权利要求 1 所述的滚轮式压印系统， 其特征在于 ： 更包含一固定模块具有多数个 导气孔或导气通道并连接一真空源以将该基板固定于该固定模块上。 10. 如权利要求 1 所述的滚轮式压印系统， 其特征在于 ： 该滚轮式压印系统可包含一固 化模块邻近于该传动模块， 用以藉由该固化模块的一灯罩。

6、将该固化模块的光线引导至该滚 轮与该软性模仁的一接触位置， 其中该固化模块包含一紫外光源。 权 利 要 求 书 CN 103149794 A 2 1/7 页 3 滚轮式压印系统 技术领域 0001 本发明是有关一种压印装置， 特别是有关一种运用软性模具将图形复制在基板上 的滚轮式压印系统。 背景技术 0002 现今电子化产品不断强调迷你、 轻薄短小与高效能兼具的主要特性， 代表利用半 导体工业开发出来的核心组件也必须朝着迷你、 轻薄短小与高效能兼具的方向持续发展。 目前半导体工业主要发展瓶颈在于线宽尺寸， 当线宽尺寸距离越小， 核心组件的尺寸也可 以随之缩小 ； 而在效能方面， 由于线宽尺寸距。

7、离缩短， 使能量传递的速度越快、 功率损耗缩 小， 效能也可以随之提高。 0003 传统半导体工业制作核心组件的方法为光学微影 （Photo Lithography） ， 而在 光学方面由于受聚焦深度的成像物理限制， 即使在曲率极小的平面上制作结构图形也很 困难， 所以对于缩小线宽尺寸的瓶颈仍然难以克服。目前能达到纳米尺寸的微影技术 （Lithography）有步进重复式微影 （Step and Repeat Lithography） 、 电子束微影技术 （E-beam Lithography） 、 离子束微影技术 （Ion-beam Lithography） 、 及纳米压印微影技术 （Nan。

8、oimprint Lithography） 等等。其中纳米压印微影技术不受光学绕射极限的限制且具 有分辨率高、 速度快、 以及成本低廉等特色， 因此应用领域相当广泛。 发明内容 0004 鉴于上述的发明背景中， 为了符合产业利益的需求以及达到上述的目的， 本发明 提出一种滚轮式压印系统， 适用于转印一图案至一基板， 其包括滚轮模块、 传动模块、 固定 模块、 固化模块、 及电子控制模块。滚轮模块包含一滚轮 ； 传动模块包含可移动的一承载平 台， 且承载平台上安置有该基板。软性模仁位于基板与滚轮之间， 其包含一图案层面对基 板， 该图案位于该图案层上。 电子控制模块连接滚轮模块与传动模块， 用以。

9、控制滚轮呈现一 第一方向移动并且使承载平台呈现一第二方向移动至一压印位置 ； 其中电子控制模块控制 滚轮对软性模仁施加压力， 以将图案层转印至基板上。本发明的滚轮模块更包含一滚轮自 转马达且前述的滚轮自转马达连接前述的滚轮用以使前述的滚轮具有一转速。 0005 前述的转速可与前述的承载平台的移动速度相互搭配以顺利将前述的图案转印 至前述的基板。 0006 本发明的滚轮模块更包含一升降机构用以带动前述的滚轮呈现一第一方向的移 动， 该升降机构可为一气缸。 0007 当本发明的滚轮模块到达一定位点之后前述的承载平台才开始进行移动， 或是该 滚轮模块与该承载平台于压印前到定位。 0008 本发明的软。

10、性模仁可预先贴附或是渐进式贴附至前述的滚轮表面上再开始进行 滚轮压印的制程。 0009 本发明的软性模仁可预先覆盖或是渐进式覆盖于前述的基板上再进行滚轮压印 说 明 书 CN 103149794 A 3 2/7 页 4 的制程， 其中渐进式覆盖是在该软性模仁进入滚轮前才将该模仁部分覆盖在该基板上。 0010 本发明的传动模块具有一传动马达以移动前述承载平台 ； 传动模块更包含一线性 移动装置用以与前述的传动马达相互搭配以使承载平台进行移动， 其中该线性移动装置可 为螺杆、 滑轨、 导杆或是轨道。 0011 本发明的固定模块包含多数个导气孔或导气通道并连接一真空源或是真空产生 器以将基板固定于固。

11、定模块上， 其中该真空源可为抽气马达。 0012 本发明的滚轮式压印系统更包含一固化模块且前述的固化模块邻近前述的传动 模块， 用以藉由前述的固化模块的灯罩将固化模块的光线引导至前述的滚轮与前述的软性 模仁的接触位置。 0013 于本发明另一实施例中， 滚轮式压印系统适用于转印软性模仁的图案至一基板， 其包括滚轮模块、 传动模块、 固定模块、 固化模块、 及电子控制模块。滚轮模块包含一滚轮 ； 传动模块包含可移动的一承载平台， 且承载平台上安置有该基板。 一履带模块， 承载该软性 模仁使其位于该基板与该滚轮之间， 该软性模仁上的一图案层面向该基板， 且该图案位于 该图案层上。电子控制模块连接滚。

12、轮模块与传动模块， 用以控制滚轮呈现一第一方向移动 并且使承载平台呈现一第二方向移动至一压印位置 ； 其中电子控制模块控制滚轮对软性模 仁施加压力， 以将图案层转印至基板上。本发明的滚轮模块更包含一滚轮自转马达且前述 的滚轮自转马达连接前述的滚轮用以使前述的滚轮具有一转速。 0014 于本发明一实施例中， 履带模块包含齿轮马达组、 履带吸条组及支架组。 附图说明 0015 图 1 为本发明的模块示意图。 0016 图 2 为本发明的滚轮模块的示意图。 0017 图 3 为本发明的传动模块的示意图。 0018 图 4 为本发明的固定模块的示意图。 0019 图 5A 及图 5B 为本发明的基板转。

13、印时的示意图。 0020 图 6A 为本发明的滚轮式压印系统的前视示意图。 0021 图 6B 为本发明的滚轮式压印系统的侧视示意图。 0022 图 7A 为本发明的滚轮式压印系统进行基板转印时的侧视示意图。 0023 图 7B 为本发明的基板转印时的示意图。 0024 图 8A 为本发明的滚轮式压印系统进行光照固化时的灯罩设置角度示意图一， 显 示与法线夹角为 20。 0025 图 8B 为本发明的滚轮式压印系统进行光照固化时的灯罩设置角度示意图二， 显 示与法线夹角为 30。 0026 图 8C 为本发明的滚轮式压印系统进行光照固化时的灯罩设置角度示意图三， 显 示与法线夹角为 45。 0。

14、027 图 9A 为本发明另一实施例的滚轮式压印系统的前视示意图。 0028 图 9B 为本发明另一实施例的模块示意图。 0029 主要组件符号说明 0030 100 滚轮式压印系统 说 明 书 CN 103149794 A 4 3/7 页 5 0031 200 滚轮模块 0032 205 滚轮平台 0033 210 滚轮自转马达 0034 215 滚轮自转马达配重块 0035 220 滚轮固定座 0036 225 滚轮 0037 230 气缸平台 0038 235 滚轮升降气缸 0039 240 导杆 0040 245 螺旋测微器 0041 250 缓冲器 0042 300 传动模块 004。

15、3 305 传动马达 0044 310 螺杆 0045 315 滑轨 0046 320 承载平台 0047 400 固定模块 0048 420 抽气马达 0049 410 导气孔 0050 500 电子控制模块 0051 600 固化模块 0052 610 灯罩 0053 710 基板 0054 720 压印材料 0055 730 软性模仁 0056 735 支撑结构 0057 740 图案层 0058 750 界面层 0059 800 履带模块 0060 810a 马达 0061 810b 齿轮 0062 820a 履带 0063 820b 真空吸条 0064 830 主支架 0065 84。

16、0a 脚架 0066 840b 脚架 具体实施方式 0067 参照图 1 所示， 此为本发明的滚轮式压印系统的模块示意图。本发明的滚轮式压 说 明 书 CN 103149794 A 5 4/7 页 6 印系统 100 包含滚轮模块 200、 传动模块 300、 固定模块 400、 电子控制模块 500、 及固化模块 600。传动模块 300 与固定模块 400 及电子控制模块 500 电性连接或透过连动机构连接， 用 以带动固定模块 400 在滚轮式压印系统内移动并藉由电子控制模块 500 控制固定模块 400 的位置， 其中欲进行转印制程的基板则固定于固定模块 400 上。滚轮模块 200 。

17、连接于电子 控制模块 500， 用以利用电子控制模块 500 调整滚轮模块 200 的滚轮的位置以对固定模块 400 上的基板垂直施压。固化模块 600 位于滚轮式压印系统内并邻近于传动模块 300， 用以 藉由传动模块 300 将固定模块 400 及其上的基板传递至固化模块 600 内进行固化的制程。 固化模块600可以独立于滚轮模块200， 也可以与滚轮模块200相互整合以减化制成。 若选 择整合于滚轮模块 200 中， 固化位置可以选择压印后作面固化， 也可以选择透过透明的滚 轮折射方式作线性固化。 0068 滚轮模块 200 主要结构包含滚轮自转机构与滚轮升降机构所组成。滚轮模块 20。

18、0 的机械动作分为两部份， 分别为滚轮升降运动及滚轮自转运动。 当滚轮压印制程启动时， 滚 轮升降机构会带动滚轮移动至压印位置 ； 当滚轮压印制程完成时， 滚轮升降机构会带动滚 轮移动至原点位置 ； 而在压印制程中， 滚轮自转马达会带动滚轮开始自转。 0069 滚轮的压印位置可以使用下列各方式来控制 ： 0070 （1） 利用量测系统控制移动长度以达到压印位置， 例如 ： 数字式螺旋测微器、 光学 尺等 ； 0071 （2） 利用马达电控系统控制移动长度以达到压印位置， 例如 ： 步进马达、 伺服马达 等 ； 或是 0072 （3） 利用定压力系统控制压印位置， 例如使用油压缸搭配油压控制器或。

19、控制马达 （例如使用步进马达、 伺服马达等） 输出电流以达到定压力输出目的。 0073 滚轮升降机构依照压印位置控制方式不同可以选择不同驱动源， 例如 ： 气压缸、 油 压缸、 步进马达、 伺服马达等， 辅助升降机构也依照不同驱动源做不同搭配， 例如 ： 导杆、 螺 杆、 线性滑轨、 齿轮等。 另外也可以利用油压式缓冲器适时提供一个与升降机构出力相反的 缓冲作用力， 减少各零件因冲击力过大而增加损耗与磨损。 0074 参照图 2 所示， 此为滚轮模块的示意图。滚轮模块 200 包含滚轮平台 205、 滚轮自 转马达210、 滚轮自转马达配重块215、 滚轮固定座220、 滚轮225、 气缸平台。

20、230、 滚轮升降气 缸 235（或滚轮升降油压缸） 、 导杆 240、 螺旋测微器 245、 及缓冲器 250， 其中滚轮升降运动 主要由气缸平台 230、 导杆 240、 螺旋测微器 245、 及缓冲器 250 所组成， 而滚轮自转机构主 要由滚轮自转马达 210 所组成。滚轮 225 透过滚轮固定座 220 固定于滚轮平台 205 且连接 滚轮自转马达 210， 其中滚轮可为一透明的滚轮且滚轮的材质可为玻璃或是石英， 或是不透 明的材质。如果滚轮 225 采用不透明的材质， 可以在压印完成之后才进行固化的程序。滚 轮平台 205 则与滚轮升降气缸 235（或滚轮升降油压缸） 相互连接以藉。

21、由滚轮升降气缸 235 （或滚轮升降油压缸） 带动滚轮平台 205 上的滚轮 225 沿着导杆 240 以垂直方向进行移动， 其中滚轮升降气缸 235（或滚轮升降油压缸） 装设于气缸平台 230 上且滚轮升降气缸 235 （或滚轮升降油压缸） 连接一气压源 （未显示于图中） 。滚轮升降气缸 235（或滚轮升降油压 缸） 所连接的气压源可以为一空压机且空压机所提供的气压透过过滤减压阀 （未显示于图 中） 进行杂质的过滤并同时调节输出压力， 藉以控制滚轮升降气缸 235 （或滚轮升降油压缸） 的输出压力， 进而变更滚轮压印压力设定值。随着产品设计的不同， 滚轮升降气缸 235 也可 说 明 书 C。

22、N 103149794 A 6 5/7 页 7 透过气压电磁阀或油压电磁阀的 ON/OFF 开关控制滚轮 225 达到上升、 下降的目的， 但是并 不限制本发明的范围。滚轮自转马达马达配重块 215 与滚轮自转马达 210 分别位于滚轮平 台 205 的左、 右两边相对位置， 确保滚轮平台 205 重量平均， 避免滚轮平台 205 上升、 下降过 程中， 因重量不平均产生动作不顺畅的缺陷。螺旋测微器 245 位于滚轮平台 205 的斜对角 相对位置。 利用螺旋测微器定位与基准面的相对位置， 便可以确认滚轮平台高度， 避免滚轮 平台发生倾斜的缺陷。缓冲器 250 用以提供一个与滚轮平台 205 。

23、移动方向相反的缓冲作用 力， 确保滚轮平台 205 上各零件下降至定位时动作顺畅并减少各零件因冲击力过大而增加 损耗与磨损。 滚轮自转马达210连接至电子控制模块500， 利用电子控制模块500控制滚轮 225 的转速以确保基板经由传动模块 300 所带动的移动速度与滚轮 225 在基板上的切线速 度相同， 避免基板与软性模仁之间发生滑动的现象。 0075 当滚轮压印制程启动时， 滚轮升降机构 （例如滚轮升降气缸 235 或滚轮升降油压 缸） 会带动滚轮225移动至压印位置。 当压印制程开始， 滚轮自转马达210会带动滚轮225 开始运转。当滚轮压印制程完成， 滚轮升降机构会带动滚轮 225 。

24、移动至原点位置。然而， 所 有的部件可以一起动作到指定的位置， 如各自的定位点。 0076 参照图3所示， 此为本发明的传动模块的示意图。 传动模块300包含传动马达305、 螺杆 310、 滑轨 315、 及承载平台 320， 其中传动马达 305 连接螺杆 310 且螺杆 310 连接承载 平台 320， 用以利用传动马达 305 带动螺杆 310 并利用螺杆 310 带动承载平台 320 进行移 动。传动马达 305 更与电子控制模块 500 相连接用以利用电子控制模块 500 控制传动马达 305 的速度。承载平台 320 用来装设固定模块 400。螺杆 310， 主要是一线性移动装置。

25、， 可为 一滚珠螺杆且利用联轴器 325 与传动马达 305 做同步运转以带动承载平台 320 进行水平方 向移动， 其中承载平台的移动方向垂直于滚轮的移动方向。螺杆 310， 在本发明中亦可以用 滑轨， 导杆， 轨道等各种凹凸结构进行线性往复式运动。滑轨 315 可为一滑轨， 例如线性滑 轨， 用以避免承载平台 320 在行进中产生翻转的缺陷并辅助螺杆 310 作直线运动及平衡负 载， 其中随着产品需求的不同， 滑轨的数量可采用多根滑轨但并不限制本发明的范围。 传动 模块 300 更包含承载平台原点定位传感器及承载平台终点定位传感器 （未显示于图中） ， 用 以侦测承载平台的位置且此两传感器。

26、均与电子控制模块 500 相互连接。电子控制模块 500 可控制传动马达305带动螺杆310使承载平台320能藉由滑轨315的辅助作直线前进动作。 直到承载平台320触发承载平台320终点定位传感器并将此触发讯号传递至电子控制模块 500 后， 电子控制模块 500 控制传动马达 305 转换运转方向。承载平台 320 仍藉由滑轨 315 的辅助作直线后退动作， 直到承载平台触发承载平台原点定位传感器并将此触发讯号传递 至电子控制模块 500 后， 电子控制模块 500 将停止传动模块的运转。 0077 固定模块 400， 可以使用真空吸引方式、 凹槽固定方式、 档块固定方式， 或是针 （pi。

27、n） 固定方式达到固定基板的目的。若使用真空吸引方式， 请参照图 4 所示， 此为固定模 块的示意图。固定模块 400 包含多数个导气孔 410 或导气通道 （图未示） 且连接一真空源， 例如抽气马达 （未显示于图中） ， 用以藉由抽气马达透过导气孔 410 进行抽气而在固定模块 400 的表面形成一吸引力， 此吸引力将会使欲进行压印制程的基板固定于固定模块 400 上， 其中抽气马达可为一真空帮浦。固定模块 400 可透过固定组件固定于传动模块 300 的承载 平台 320 上， 因此固定模块可随承载平台 320 进行移动。 0078 参照图 5A 及图 5B 所示， 此为本发明的基板转印时。

28、的示意图。本发明固定于固定 说 明 书 CN 103149794 A 7 6/7 页 8 模块 400 上的基板 710 包含一压印材料 720， 利用包含一图案层 740 的软性模仁 730 将图 案层 740 上凹凸结构构成的图案转印至压印材料 720， 其受固定模块 400 安置于该承载平 台 320 时， 软性模仁 730 的图案层 740 是面向基板 710。压印材料 720 位于基板 710 与软 性模仁之间且随着产品的需求， 压印材料 720 与基板 710 之间更包含一接口层 750 用来增 加基板与压印材料之间的附着力， 其中接口层的材质可为一六甲基二硅氮烷 （Hexamet。

29、hyl Disilazane ； HDMS） 。软性模仁 730 的材质可为聚二甲基硅氧烷 （Polydimethylsiloxane ； PDMS） 。压印材料 720 可以预先涂布在基板 710 上， 经过滚轮 225 压印的制程后将软性模仁 730上的图案复制到压印材料720上。 随着产品需求的不同， 压印材料也可预先涂布在软性 模仁 730 上并填满软性模仁 730 的图案层， 之后直接将压印材料 720 经由滚轮 225 压印的 制程覆盖到基板 710 上以完成图案转印的目的。随着制程需求的不同， 软性模仁 730 可以 预先贴附或是渐进式贴附在压印材料720上再进行滚轮225压印的。

30、制程或是可先将软性模 仁 730 贴附或是渐进式贴附在滚轮 225 表面上后再进行滚轮压印的制程。 0079 参照图 6A 及图 6B 所示， 此为本发明的滚轮式压印系统的前视示意图及侧视示意 图。首先将固定模块 600 放置在承载平台 320。待基板 710 放置在固定模块 600 上后启动 抽气马达 420 以将基板 710 固定在固定模块 600 上。接下来利用电子控制模块 500 控制滚 轮 225 下降至压印位置并开始进行自转同时传动模块 300 上的传动马达 305 开始作动， 以 藉由螺杆 310 将旋转运动转换为直线运动， 带动承载平台 320 进行移动， 直到承载平台 320。

31、 触发承载平台终点定位传感器后停止承载平台 320 的移动， 其中滚轮 225 的移动方向为一 第一方向、 承载平台320的移动方向为一第二方向、 及滚轮225的移动方向垂直于承载平台 320 的移动方向， 其中第一方向可为垂直方向而第二方向可为水平方向。另外， 滚轮 225 可 以与承载平台一起移动到起始位置。承载平台 320 带动基板 710 移动的过程中滚轮 225 将 与软性模仁 730 接触并藉由电子控制模块 500 控制传动马达 305 与滚轮自转马达 210 的转 速， 以达到同步移动的效果并完成压印的制程， 其中软性模仁 730 位于滚轮 225 与基板 710 之间且滚轮可同。

32、时对软性模仁 730 及基板 710 施予一压力以顺利将软性模仁 730 上的图案 层 740 转移至基板 710。 0080 另外， 软性模仁 730 可以用渐进式贴附的方式， 在开始进行滚压的制程的时候才 贴附在滚轮 225 的表面。或者是， 软性模仁 730 可采用渐进式覆盖的方式， 在进入滚轮 225 前才覆盖在基板 710 上， 如图 7A 与图 7B 所示。在图 7A 中， 有一支撑结构 735 让软性模仁 730 在进入滚轮 225 之前才与基板 710 贴附。详细结构可以参阅图 7B。这种方式可以避免 气泡进入到软性模仁 730 与基板 710 之间。 0081 在本发明的一较。

33、佳实施例中， 所使用的固化模块 600 是整合到滚轮模块 200 并选 择线固化制程方式来达到固化目的。当进行压印制程时， 固化模块 600 包含一光源及一灯 罩 610 用以利用灯罩限制光源的散射现象并将光源通过滚轮 225， 例如石英滚轮， 的折射而 聚焦到滚轮 225 与软性模仁 730 的接触位置以在压印的同时进行材料固化的制程， 其中固 化模块 600 的光源可为一紫外光源且其欲固化的对象为进行压印后的压印材料 720。当承 载平台 320 触发承载平台终点定位传感器后， 滚轮 225 停止自转并上升至滚轮 225 的原点 位置且在滚轮 225 回到原点位置后传动模块 300 的传动。

34、马达 305 开始进行复归的动作， 藉 由螺杆 310 将旋转运动转换成直线运动带动承载平台 320 移动， 直到承载平台 320 触发承 载平台原点定位传感器后传动马达 305 才停止运作停止。当承载平台 320 触发承载平台原 说 明 书 CN 103149794 A 8 7/7 页 9 点定位传感器后， 电子控制模块 500 将关闭抽气马达 420 使基板 710 得以由固定模块 400 上取出。 0082 光源与灯罩可以控制出光角度， 请参阅图 8A、 图 8B 与图 8C。当光源的出光角度不 同的时候， 由于滚轮 225 的截面是圆形， 光线经过滚轮 225 的折射的结果也不相同， 。

35、固化的 效率也会有所差异。 在图8C中， 紫外光照射的面积较大， 而在图8A中， 会有聚焦的效果。 本 发明紫外光源的固化模块 600， 以光学仿真软件 LightTool 进行灯具屏蔽模拟， 针对紫外光 照度及照射范围做详尽的分析， 然后再实际制作屏蔽 610 加装于模块灯具上， 仿真结果显 示光线照射与法线夹角越大， 其照射聚焦中心线离压印接触线越远， 则聚焦能量递减， 聚焦 面积与夹角成反比， 由以上结果再进行屏蔽角度与光线通过滚轮折射的关系模拟。仿真结 果显示， 屏蔽 610 以 70反射通过滚轮 225 聚焦在滚轮 225 与芯片压印接触线上的效果为 最佳， 光照范围控制在滚轮压印晶。

36、圆的接触线之后且平均照度皆有达到要求。 0083 有关软性模仁可渐进式贴附至该滚轮表面上、 或渐进式覆盖于该基板上而进行滚 轮压印的实现方式， 举例来说， 可透过一履带模块承载软性模仁而实现。 0084 请参考图 9A 与图 9B， 于另一实施例中滚轮式压印系统 100 包含滚轮模块 200、 传 动模块 300、 固定模块 400、 电子控制模块 500、 固化模块 600 及履带模块 800。其中大多数 模块功能与结构与前述实施例相仿， 此处不再赘述。 履带模块800是用以承载软性模仁730 使其可传送至基板 710 与滚轮 225 之间， 并视需要可使软性模仁 730 可渐进式贴附至该滚。

37、 轮 225 表面上、 或渐进式覆盖于该基板 710 上而进行滚轮压印。 0085 履带模块 800 由齿轮马达组、 履带吸条组及支架组所构成。齿轮马达组由至少一 马达810a、 与马达810a及/或履带吸条组连动的一或多个齿轮810b， 及连接对应齿轮810b 的轴承 （图未示） 。 履带吸条组由安装于前述齿轮810b上的二平行履带820a， 及安装在二履 带 820a 之间的多个真空吸条 820b。支架组由二平行设置主支架 830、 以及支撑主支架 830 的多个脚架840a/840b。 齿轮马达组的马达810a、 齿轮810b与轴承、 履带吸条组的履带820a 等均是直接或间接安装于支架。

38、组的主支架 830 上。马达 810a 可受电子控制模块 500 的控 制而运转， 以带动齿轮 810b ； 履带 820a 上的真空吸条 820b 具有气孔或通道， 可串连抽气马 达 420 而将软性模仁 730 吸附固定真空吸条 820b 上。依照不同的设计需求， 软性模仁 730 被履带模块 800 传送到基板 710 与滚轮 225 之间时， 可渐进式贴附至该滚轮 225 表面上、 或 渐进式覆盖于该基板 710 上 ； 只要软性模仁 730 上的图案层 740 面向基板 710， 即能使其图 案经滚轮压印而转印到基板 710 上。 0086 显然地， 依照上面实施例中的描述， 本发明。

39、可能有许多的修正与差异。 因此需要在 其附加的权利要求项的范围内加以理解， 除了上述详细的描述外， 本发明还可以广泛地在 其它的实施例中施行。上述仅为本发明的较佳实施例而已， 并非用以限定本发明的申请专 利范围 ； 凡其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰， 均应包含在申请 专利范围内。 说 明 书 CN 103149794 A 9 1/9 页 10 图 1 说 明 书 附 图 CN 103149794 A 10 2/9 页 11 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 103149794 A 11 3/9 页 12 图 4 图 5A 说 明 书 附 图 CN 103149794 A 12 4/9 页 13 图 5B 图 6A 说 明 书 附 图 CN 103149794 A 13 5/9 页 14 图 6B 说 明 书 附 图 CN 103149794 A 14 6/9 页 15 图 7A 说 明 书 附 图 CN 103149794 A 15 7/9 页 16 图 7B 图 8A 图 8B图 8C 说 明 书 附 图 CN 103149794 A 16 8/9 页 17 图 9A 说 明 书 附 图 CN 103149794 A 17 9/9 页 18 图 9B 说 明 书 附 图 CN 103149794 A 18 。