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1、(10)申请公布号 CN 103000508 A (43)申请公布日 2013.03.27 CN 103000508 A *CN103000508A* (21)申请号 201110265005.3 (22)申请日 2011.09.08 H01L 21/306(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (71)申请人 昊诚光电 （太仓） 有限公司 地址 215400 江苏省苏州市太仓市经济开发 区常胜北路 168 号 (72)发明人 赵春庆 蒋剑波 莫毓东 陆佳佳 (74)专利代理机构 苏州创元专利商标事务所有 限公司 32103 代理人 孙仿卫 赵艳 (54) 发明名称 一种多。
2、晶硅湿刻机的抽风盖板 (57) 摘要 本发明公开了一种多晶硅湿刻机的抽风盖 板， 在抽风盖板纵向方向的中部位置开设基准抽 风孔， 在基准抽风孔的两侧设置与之平行的径向 尺寸逐渐增大的多排抽风孔， 抽风孔在横向方向 上至少排布为三列， 这样抽风量较大且抽风较均 匀， 增进了多晶硅太阳能电池片的电性能的稳定 性。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 1/1 页 2 1. 一种多晶硅湿刻机的抽风盖板， 其特征在于 ： 沿所述抽风盖板纵向方向的中部开设 一。
3、排贯穿自身的正面、 背面的基准抽风孔， 平行于所述基准抽风孔在所述抽风盖板上开设 多排抽风孔， 所述抽风孔密集、 均匀得排布在所述抽风盖板本体上， 所述抽风孔在所述抽风 盖板的横向方向上至少排布有三列， 每列所述抽风孔相互平行。 2. 根据权利要求 1 所述的多晶硅湿刻机的抽风盖板， 其特征在于 ： 所述抽风孔为圆形 或多边形。 3. 根据权利要求 1 或 2 所述的多晶硅湿刻机的抽风盖板， 其特征在于 ： 所述抽风孔的 径向尺寸由所述基准抽风孔向两侧逐排增大， 每排所述抽风孔的径向尺寸相同。 权 利 要 求 书 CN 103000508 A 2 1/2 页 3 一种多晶硅湿刻机的抽风盖板 0。
4、001 技术领域 0002 本发明涉及一种多晶硅湿刻机的抽风盖板。 背景技术 0003 多晶硅太阳能电池片的湿刻生产一般采用多晶硅湿刻机， 多晶硅湿刻机内具有药 液池， 药液池的上方设置有抽风盖板， 湿刻机一般可允许 5 道上料， 即 5 片多晶硅片同时在 药液上漂过， 硅片只有下表面及侧面接触到药液， 上表面由于是扩散面， 扩散后产生方块电 阻， 故药液不漫过上表面， 这种湿刻技术俗称水上漂技术， 硅片与药液反应时会释放出气体 与酸气， 气体与酸气经抽风盖板被抽风装置吸走， 现有的多晶硅湿刻机的抽风盖板， 一般在 本体纵向方向上开设 6-8 个贯穿自身的径向尺寸相同的抽风孔， 不但不能够及时。
5、抽走气体 与酸气， 而且抽风不均匀， 导致酸气与硅片上表面接触增大了方块电阻， 影响了电池片的电 性能， 而且每道硅片的方块电阻上升值不一样， 彼此之间相差较大， 不符合标准范围， 影响 了电池片的转换效率。 发明内容 0004 本发明的目的是提供可及时、 均匀得吸走气体和酸气， 进而增进多晶硅太阳能电 池片的电性能的多晶硅湿刻机的抽风盖板。 0005 为达到上述目的， 本发明采用的技术方案是 ： 一种多晶硅湿刻机的抽风盖板， 沿所 述抽风盖板纵向方向的中部开设一排贯穿自身的正面、 背面的基准抽风孔， 平行于所述基 准抽风孔在所述抽风盖板上开设多排抽风孔， 所述抽风孔密集、 均匀得排布在所述抽。
6、风盖 板本体上， 所述抽风孔在所述抽风盖板的横向方向上至少排布有三列， 每列所述抽风孔相 互平行。 0006 优选地， 所述抽风孔为圆形或多边形。 0007 优选地， 所述抽风孔的径向尺寸由所述基准抽风孔向两侧逐排增大， 每排所述抽 风孔的径向尺寸相同。 0008 由于上述技术方案的运用， 本发明与现有技术相比具有下列优点 ： 开设贯穿抽风 盖板的正面、 背面的抽风孔， 在纵向方向上， 以抽风盖板中部的基准抽风孔为基准设置多排 平行的抽风孔， 抽风孔自基准抽风孔起越向外则径向尺寸越大， 在横向方向上确保至少设 置有三列抽风孔， 抽风孔均匀密集得排布在抽风盖板上， 抽风孔的数量较多， 可在单位时。
7、间 内吸走较多的气体及酸气， 且越远离基准抽风口， 抽风口的径向尺寸就越大， 在吸力逐渐减 弱的情况下， 这确保了抽风的均匀， 湿刻后的多晶硅太阳能电池片的电性能更好。 0009 附图说明 附图 1 为本发明的结构示意图。 说 明 书 CN 103000508 A 3 2/2 页 4 具体实施方式 0010 下面结合附图来进一步阐述本发明的结构。 0011 参见图 1 所示， 在本实施例中， 沿抽风盖板 2 的中部位置开设一排贯穿自身的正 面、 背面的圆形基准抽风孔 1， 于基准抽风孔 1 的两侧沿抽风盖板 2 的纵向方向开设多排平 行于基准抽风孔 1 的一排圆形抽风孔如 3， 每排抽风孔如 。
8、3 的抽风孔的径向尺寸相同， 在横 向方向上， 圆形抽风孔至少排布为三列， 每列抽风孔互相平行， 这种排布方式确保了抽风孔 在抽风盖板 2 上均匀、 密集得排布， 使抽风盖板 2 上排布的抽风孔较多， 单位时间内被吸走 的气体与酸气的量较多， 大大降低了整个药液池区域的酸气量， 降低了方块电阻的上升值， 减小了酸气对多晶硅太阳能电池片的电性能的影响。 0012 在图 1 中， 基准抽风孔 1 的径向尺寸是所有抽风孔中最小的， 同时， 抽风装置也布 置在该处， 使得该处的抽吸力最大， 由基准抽风孔1向两侧设置的每排抽风孔如3的径向尺 寸逐排增大， 同时， 距离基准抽风孔 1 越远的位置， 抽吸力越弱， 所以抽气孔径向尺寸的变 大有效提高了其抽气量， 这种结构使得各排抽气孔的抽气量趋于均匀， 使各道硅片的方块 电阻上升值均匀， 提高了产品电性能的稳定性， 提高了产品的合格率。 说 明 书 CN 103000508 A 4 1/1 页 5 图 1 说 明 书 附 图 CN 103000508 A 5 。