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1、(10)申请公布号 CN 103017500 A (43)申请公布日 2013.04.03 CN 103017500 A *CN103017500A* (21)申请号 201210513366.X (22)申请日 2012.12.04 F26B 21/00(2006.01) H01L 51/56(2006.01) (71)申请人 彩虹 （佛山） 平板显示有限公司 地址 528300 广东省佛山市顺德区大良街道 五沙新悦路 13 号 (72)发明人 万阳 (74)专利代理机构 西安通大专利代理有限责任 公司 61200 代理人 朱海临 (54) 发明名称 一种盖板玻璃的清洗机干燥工艺 (57) 。
2、摘要 本发明公开了一种盖板玻璃的清洗机干燥工 艺， 其特征在于， 以盖板玻璃传送平面为基准面建 立 x-y-z 坐标系， 将风刀按照与 z 轴一定倾斜角 ； 与 x 轴有一定摆角大于安装在清洗机上， 其中， 风 刀出风口平行于 x-y 坐标面 ； 将风刀出风口与玻 璃基板的距离调整至 2-3mm， 干燥压缩空气压力 控制在7-9kgf/cm2。 当盖板玻璃通过风刀时， 能够 持续保持5000mm/min及以上的高速通过。 采用此 工艺运行的清洗机可有效的对盖板玻璃进行水洗 后的干燥， 增强干燥效果， 缩短制程时间， 减少制 程波动和不良的发生。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明。
3、书 2 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 2 页 1/1 页 2 1. 一种盖板玻璃的清洗机干燥工艺， 其特征在于， 包括以下步骤 ： （1） 以盖板玻璃传送平面为基准面建立 x-y 坐标面， 定义玻璃向前传送的方向为 x 轴， 传送平面内垂直于传送方向定义为 y 轴 ； 同时定义垂直 x-y 坐标面向上为 z 轴 ； （2） 将风刀按照与 z 轴倾斜角大于 30小于 40 ； 与 x 轴的摆角大于 45小于 70 安装在清洗机上， 其中， 风刀出风口平行于 x-y 坐标面 ； （3） 将风刀出风口与玻璃基板。
4、的距离调整至 2-3mm， 干燥压缩空气压力控制在 7-9kgf/ cm2； （4） 调整盖板玻璃通过风刀的速度在 3000mm/min 以上。 2. 如权利要求 1 所述的盖板玻璃的清洗机干燥工艺， 其特征在于， 所述的风刀倾斜角 为 37。 3. 如权利要求 1 所述的盖板玻璃的清洗机干燥工艺， 其特征在于， 所述的风刀摆角为 60。 权 利 要 求 书 CN 103017500 A 2 1/2 页 3 一种盖板玻璃的清洗机干燥工艺 技术领域 0001 本发明涉及一种 AMOLED（有源矩阵有机发光二极体面板） 盖板玻璃的清洗机干燥 方法。 背景技术 0002 传统液晶平板显示器 （TFT。
5、-LCD） 使用的封装贴合玻璃是 Co l orFilter 玻璃， 这 一点不同于 AMOLED 行业的盖板玻璃 （素玻璃） ， 因此 AMOLED 行业清洗干燥工艺不能完全依 照于传统的TFT-LCD干燥方法 ； 传统干燥速度仅为1500-2500mm/min， 达不到3000-6000mm/ min 的高速度要求。随着技术的进步， 一种高效率高产能的 AMOLED 盖板玻璃的清洗机干燥 工艺备受期待。 发明内容 0003 本发明的目的是提供一种有效增强干燥效果， 缩短工艺时间， 减少制程波动和不 良率的发生的 AMOLED 盖板玻璃清洗机干燥工艺。 0004 为达到以上目的， 本发明是采。
6、取如下技术方案予以实现的 ： 0005 一种盖板玻璃的清洗机干燥工艺， 其特征在于， 0006 （1） 以盖板玻璃传送平面为基准面建立 x-y 坐标面， 定义玻璃向前传送的方向为 x 轴， 传送平面内垂直于传送方向定义为 y 轴 ； 同时定义垂直 x-y 坐标面向上为 z 轴 ； 0007 （2） 将风刀按照与 z 轴倾斜角大于 30小于 40 ； 与 x 轴的摆角大于 45小于 70安装在清洗机上， 其中， 风刀出风口平行于 x-y 坐标面 ； 0008 （3）将风刀出风口与玻璃基板的距离调整至 2-3mm， 干燥压缩空气压力控制在 7-9kgf/cm2； 0009 （4） 调整盖板玻璃通过。
7、风刀的速度在 3000mm/min 以上。 0010 上述工艺中， 所述的风刀倾斜角为 37。所述的风刀摆角为 60。 0011 本发明的优点是， 采用独特的风刀 （Air Knife） 安装角度安装在清洗机上 ： 同时风 刀出风口平行于玻璃基板， 当盖板玻璃通过风刀时， 能够持续保持高于 3000mm/min 以上的 速度高速通过， 干燥效果显著， 无水滴水渍且盖板玻璃不会因干燥压缩空气的吹拂而剧烈 抖动。 附图说明 0012 图 1 为本发明工艺所涉及的 x-y-z 坐标系。 0013 图 2 为风刀在 z 方向的倾斜角。 0014 图 3 为风刀在 x 方向的摆角。 具体实施方式 ： 0。
8、015 如图 1 图 3 为本发明的一个具体实施例。 说 明 书 CN 103017500 A 3 2/2 页 4 0016 （1） 建立 x-y-z 坐标系 ： 以盖板玻璃传送平面为基准面建立 x-y 坐标面， 定义玻璃 向前传送的方向为 x 轴， 传送平面内垂直于传送方向定义为 y 轴。同时定义 z 轴为垂直 x-y 坐标面向上。 0017 （2） 风刀 AK 出风口平行于 x-y 平面 ； 与 z 轴呈 37夹角， 即倾斜角 37。在 x-y 平面， 风刀需与 x 轴夹角 60， 即摆角 60。 0018 （3） 风刀按照 （2） 的安装角度安装在清洗机上， 同时风刀 （Air Kni fe） 出风口距 离玻璃基板 2mm， 即 Gap=2mm。干燥压缩空气 （CDA） 压力控制在 79kgf/cm2。 0019 （4） 调整盖板玻璃通过风刀的速度为 5000mm/min。 说 明 书 CN 103017500 A 4 1/2 页 5 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 103017500 A 5 2/2 页 6 图 3 说 明 书 附 图 CN 103017500 A 6 。