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1、(10)申请公布号 CN 103041943 A (43)申请公布日 2013.04.17 CN 103041943 A *CN103041943A* (21)申请号 201310008969.9 (22)申请日 2013.01.10 B05B 15/02(2006.01) B05C 5/02(2006.01) B05C 11/00(2006.01) (71)申请人 深圳市华星光电技术有限公司 地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大 道 9-2 号 (72)发明人 张岳妍 黄文德 朱厚毅 (74)专利代理机构 深圳市顺天达专利商标代理 有限公司 44217 代理人 蔡晓红 林俭良 (5。
2、4) 发明名称 喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布 机 (57) 摘要 本发明公开一种喷嘴清洁装置和具有该喷 嘴清洁装置的涂布机， 用于清洁一涂布机喷嘴 （101） ， 该喷嘴清洁装置包括清洁器 （402） 、 抽真 空管道 （403）与真空泵 （404） ， 该清洁器 （402） 具有一形状与该涂布机喷嘴 （101）相吻合的凹 孔 （4021） ， 供该涂布机喷嘴 （101） 容纳于该凹孔 （4021） 中， 该凹孔 （4021） 的内壁开设有多个通孔 （4022） ； 该抽真空管道 （403） 的一端与该多个通孔 （4022） 连接， 该抽真空管道 （403） 的另一端接入 该真空泵 。
3、（404） 。通过本发明提供的喷嘴清洁装 置可方便地去除残留的光刻胶以清洁喷嘴， 有效 地提高产品的成品率以及生产效率， 且无需使用 昂贵的纳米材料， 成本低廉。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 2 页 1/1 页 2 1. 一种喷嘴清洁装置， 用于清洁一涂布机喷嘴 （101） ， 其特征在于， 该喷嘴清洁装置包 括清洁器 （402） 、 抽真空管道 （403） 与真空泵 （404） ， 该清洁器 （402） 具有一形状与该涂布机 喷嘴 （101） 相。
4、吻合的凹孔 （4021） ， 供该涂布机喷嘴 （101） 容纳于该凹孔 （4021） 中， 该凹孔 （4021） 的内壁开设有多个通孔 （4022） ； 该抽真空管道 （403） 的一端与该多个通孔 （4022） 连 接， 该抽真空管道 （403） 的另一端接入该真空泵 （404） 。 2. 根据权利要求 1 所述的喷嘴清洁装置， 其特征在于， 所述通孔 （4022） 开设在该凹孔 （4021） 内壁的底部。 3. 根据权利要求 2 所述的喷嘴清洁装置， 其特征在于， 所述通孔 （4022） 还开设在该凹 孔 （4021） 内壁的两侧。 4. 根据权利要求 1 所述的喷嘴清洁装置， 其特征在于。
5、， 所述清洁器 （402） 为橡胶材质。 5. 一种涂布机， 其特征在于， 包括 ： 涂液输出装置 （10） ， 填充有涂液， 所述涂液输出装置包括一喷嘴 （101） ， 通过所述涂布 机喷嘴 （101） 将所述涂液喷出 ； 传动装置， 连接至该清洁装置 （40） 的底部， 以控制所述清洁装置 （40） 的运动， 且提供 传动力使该清洁装置 （40） 作升降运动 ； 喷嘴清洁装置 （40） ， 该喷嘴清洁装置包括清洁器 （402） 、 抽真空管道 （403） 与真空泵 （404） ， 该清洁器 （402） 具有一形状与该涂布机喷嘴 （101） 相吻合的凹孔 （4021） ， 供该涂布 机喷嘴 。
6、（101） 容纳于该凹孔 （4021） 中， 该凹孔 （4021） 的内壁开设有多个通孔 （4022） ； 该抽 真空管道 （403） 的一端与该多个通孔 （4022） 连接， 该抽真空管道 （403） 的另一端接入该真 空泵 （404） 。 6. 根据权利要求 5 所述的涂布机， 其特征在于， 所述清洁装置 （40） 包含一底座 （401） ， 该传动装置与该底座 （401） 连接， 以支撑所述清洁装置 （40） 。 7. 根据权利要求 5 所述的涂布机， 其特征在于， 所述清洁器 （402） 的长度与该涂布机喷 嘴 （101） 的长度一致。 8. 根据权利要求 5 所述的涂布机， 其特征在。
7、于， 所述通孔 （4022） 开设在该凹孔 （4021） 内壁的底部。 9. 根据权利要求 8 所述的涂布机， 其特征在于， 所述凹孔 （4021） 底部的通孔 （4022） 与 该涂布机喷嘴内管道 （1012） 相互错开。 10. 根据权利要求 8 所述的涂布机， 其特征在于， 所述通孔 （4022）还开设在该凹孔 （4021） 内壁的两侧。 权 利 要 求 书 CN 103041943 A 2 1/3 页 3 喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机 技术领域 0001 本发明涉及光学工艺流程中的涂布机， 尤其涉及一种用于涂布机的喷嘴清洁装置 和具有该喷嘴清洁装置的涂布机。 背景技术 00。
8、02 显示器制作流程中使用的光刻胶涂布机台普遍存在凝胶的问题。即光阻涂布完 成后， 常会有部分凝固的光刻残胶残留在喷嘴的尖端和周围。当下一次使用喷嘴进行涂布 时， 这些残留的光刻胶会对喷出胶液的通道造成阻碍， 可能导致后续加工的产品质量受到 影响。 因此， 现有技术中一般在进行每片玻璃板的光刻胶涂布之前， 通常会使用橡胶制成的 清洁器来擦拭喷嘴尖端的残留光刻胶。然而由于橡胶自身存在较大的弹性， 在擦拭喷嘴时 往往无法与喷嘴紧密贴合， 因此较难有效清洁喷嘴尖端。 此外， 大多数橡胶材料的吸水性很 差， 以橡胶擦拭喷嘴时， 很难将擦拭下来的光刻胶吸附带走， 反而令这些擦拭下来的光刻胶 仍然残留附着。
9、在喷嘴尖端， 导致喷嘴变得更脏。 0003 针对以上问题， 目前常用的另一种解决方案是在喷嘴内部和喷嘴的周围涂布特定 纳米材料制成的薄膜， 增加喷嘴尖端的润滑度， 防止光阻材料滞留并堆积在喷嘴附近， 进而 保持喷嘴的清洁。但这种方式需要使用昂贵的纳米材料， 成本较高。 发明内容 0004 本发明的目的在于， 针对现有技术中橡胶清洁器不能完全清洁涂布机喷嘴的缺 陷， 提出了一种利用抽真空吸走喷嘴尖端及其周围残胶的喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁 装置的涂布机。 0005 本发明提供的一种喷嘴清洁装置， 该喷嘴清洁装置包括清洁器、 抽真空管道与真 空泵， 该清洁器具有一形状与该涂布机喷嘴相吻合的凹孔，。
10、 供该涂布机喷嘴容纳于该凹孔 中， 该凹孔的内壁开设有多个通孔 ； 该抽真空管道的一端与该多个通孔连接， 该抽真空管道 的另一端接入该真空泵。 0006 上述的喷嘴清洁装置中所述通孔开设在该凹孔内壁的底部。 0007 上述的喷嘴清洁装置中所述通孔还开设在该凹孔内壁的两侧。 0008 上述的喷嘴清洁装置中所述清洁器为橡胶材质。 0009 一种涂布机包括 ： 0010 涂液输出装置， 填充有涂液， 所述涂液输出装置包括一喷嘴， 通过所述涂布机喷嘴 将所述涂液喷出 ； 0011 传动装置， 连接至该清洁装置的底部， 以控制所述清洁装置的运动， 且提供传动力 使该清洁装置作升降运动 ； 0012 喷嘴。
11、清洁装置， 该喷嘴清洁装置包括清洁器、 抽真空管道与真空泵， 该清洁器具有 一形状与该涂布机喷嘴相吻合的凹孔， 供该涂布机喷嘴容纳于该凹孔中， 该凹孔的内壁开 设有多个通孔 ； 该抽真空管道的一端与该多个通孔连接， 该抽真空管道的另一端接入该真 说 明 书 CN 103041943 A 3 2/3 页 4 空泵。 0013 上述的涂布机中所述清洁装置包含一底座， 该传动装置与该底座连接， 以支撑所 述清洁装置。 0014 上述的涂布机中所述清洁器的长度与该涂布机喷嘴的长度一致。 0015 上述的涂布机中所述通孔开设在该凹孔内壁的底部。 0016 上述的涂布机中所述凹孔底部的通孔与该涂布机喷嘴内。
12、管道相互错开。 0017 上述的涂布机中所述通孔还开设在该凹孔内壁的两侧。 0018 实施本发明喷嘴清洁装置和具有该喷嘴清洁装置的涂布机的有益效果在于 ： 采用 在橡胶清洁器上增加多个通孔， 将通孔与真空泵通过抽真空管道连接， 利用抽真空的方式 将喷嘴尖端及其周围的残胶吸入抽真空管道， 从而对该涂布机的喷嘴进行清洁。通过本发 明提供的喷嘴清洁装置可方便地去除残留的光刻胶以清洁喷嘴， 有效地提高产品的成品率 以及生产效率， 且无需使用昂贵的纳米材料， 成本低廉。 附图说明 0019 下面将结合附图及实施例对本发明一种喷嘴清洁装置和具有喷嘴清洁装置的涂 布机作进一步说明， 附图中 ： 0020 图。
13、 1 为本发明提供的具有喷嘴清洁装置的涂布机的较佳实施例示意图 ； 0021 图 2 为本发明提供的喷嘴清洁装置的较佳实施例的正面示意图 ； 0022 图 3 为本发明提供的喷嘴清洁装置的较佳实施例的侧面示意图。 具体实施方式 0023 本发明提供一种喷嘴清洁装置及具有该喷嘴清洁装置的涂布机， 供彻底清洁涂布 机喷嘴的凝胶以减少产品质量问题的发生， 提升产品成品率。本发明的涂布机喷嘴清洁装 置， 较佳应用于清洁薄膜晶体管液晶显示器 （TFT-LCD） 工艺流程前段流程中的光刻胶涂布 机台 ； 在不同实施例中， 也可应用于如半导体或其它类似的高精密工艺流程， 或是其它需要 排除凝胶形成的工艺流程。
14、。 0024 参考图 1 是本发明提供的具有喷嘴清洁装置的涂布机的较佳实施例提供的一种 涂布机。 该涂布机包括涂液输出装置10、 传动装置 （图1的传动装置被遮蔽而未示） 、 清洁装 置 40、 一对导轨 50。涂液输出装置 10 包括喷嘴 101， 通过喷嘴 101 将填充的涂液输送而出 来。 传动装置可为现有的自动控制马达、 半自动控制马达、 步进马达等可输出动力以驱动清 洁装置上升的装置。涂液输出装置 10 与一对导轨 50 连接， 可以通过在导轨 50 上滑动而进 行前后往返移动。清洁装置 40 设于涂液输出装置 10 运动原点的下方， 并对准涂液输出装 置 10 的喷嘴 101。清洁。
15、装置 40 包括一底座 401、 清洁器 402、 抽真空管道 403（图 1 的抽真 空管道被遮蔽而未示） 以及真空泵 404。底座 401 与传动装置 20 相连， 由传动装置 20 提供 动力。当涂液输出装置 10 的喷嘴 101 回到原点时， 传动装置 20 提供的传动力使清洁装置 40 上升至与喷嘴 101 互相贴合， 即喷嘴 101 的尖端与清洁装置 40 的清洁器 402 抵接。清洁 装置 40 的清洁器 402 通过抽真空管道 403 与真空泵 404 连接， 形成一个抽真空回路。 0025 参考图 2 至图 3。图 2 至图 3 所示为本发明的喷嘴清洁装置的较佳实施例示意图。。
16、 图 2 为该清洁装置的正面示意图， 图 3 为该清洁装置的侧视示意图。其中， 将该涂布机的喷 说 明 书 CN 103041943 A 4 3/3 页 5 嘴101绘视为可透视元件， 然而其实际结构不限于此。 该图中真空泵404被遮蔽未示出。 在 此实施方式中， 该涂布机的涂液输出装置 10 的喷嘴 101 具有喷嘴面 1011， 其内部具有内管 道 1012。该清洁装置 40 包括一清洁器 402、 底座 401、 抽真空管道 403 以及真空泵 404。 0026 如图 2 至图 3 所示的较佳实施例所示， 该清洁器 402 固定安装于底座 401 之上， 两 者之间的连接可通过螺纹旋合。
17、连接， 也可为胶粘接或者铰接。底座 401 可由塑料或金属制 成。该清洁器 402 与该涂布机喷嘴 101 的长度一致， 即与玻璃基板的短边长度一致， 当清洁 器 402 对喷嘴 101 进行清洁时， 不需要再行走玻璃基板短边长度的距离， 减少了清洁时间。 该清洁器402具有一凹孔4021， 该凹孔4021的形状与喷嘴101的喷嘴面1011形状吻合， 该 涂布机喷嘴 101 容纳于该凹孔 4021 内， 两者之间互相紧密贴合。在该凹孔 4021 的内壁底 部开设一排通孔 4022， 还可在该凹孔 4021 的内壁两侧和底部同时开设一排通孔 4022。该 通孔 4022 的较佳形状为圆形或方形，。
18、 也可以其他任意形状， 还可以是不同形状的通孔任意 排列组合。底部的通孔 4022 与该喷嘴 101 中的内管道 1012 相互错开， 即当喷嘴 101 与清 洁器 402 贴合时， 底部通孔 4022 与内管道 1012 不会相互对准或连通， 这样可以防止抽真空 时将该喷嘴 101 的内管道 1012 中的涂液一起吸入抽真空管道中， 造成涂液的浪费。每一个 通孔 4022 均有一个对应的抽真空管道 403 与之密闭连接， 该抽真空管道 403 的另一端连接 真空泵 404。当进行清洁时， 打开真空泵的控制阀门， 通过抽真空管道 403 吸出该凹孔 402 中容纳的喷嘴 101 的尖端及其周围。
19、的凝固的涂液。在此较佳实施例中， 该涂液为光刻胶， 也 可以为密封胶等涂液 ； 所述清洁器 40 可以为橡胶材质， 也可由塑料、 其他石化材料所制成 ； 所述抽真空管道 403 可以为不锈钢材质。 0027 参考图 1 至图 3， 涂布机的涂液输出装置 10 的喷嘴 101 运动到原点时， 传动装置 20 提供传动力， 推动与其连接的清洁装置 40 作上升运动。该清洁装置 40 的清洁器 402 上 升至该清洁器 402 的凹坑 4021 与喷嘴 101 的喷嘴面 1011 完全贴合。真空泵 404 打开控制 阀门， 通过抽真空管道 403 对凹坑 4021 与喷嘴面 1011 贴合形成的密闭空间进行抽真空操 作。由于抽真空形成的强大吸引力， 将喷嘴 101 尖端及周围的涂液吸入抽真空管道 403 内， 对喷嘴 101 进行有效的清洁。通过气压作用将抽真空管道 403 内的涂液残胶排送至涂布机 台 100 的外部。 0028 应当理解的是， 对本领域普通技术人员来说， 可以根据上述说明加以改进或变换， 而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。 说 明 书 CN 103041943 A 5 1/2 页 6 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 103041943 A 6 2/2 页 7 图 3 说 明 书 附 图 CN 103041943 A 7 。