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1、(10)申请公布号 CN 104204775 A (43)申请公布日 2014.12.10 CN 104204775 A (21)申请号 201380018304.4 (22)申请日 2013.04.01 2012-086533 2012.04.05 JP G01N 21/17(2006.01) (71)申请人 佳能株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 太田健史 (74)专利代理机构 中国国际贸易促进委员会专 利商标事务所 11038 代理人 宿小猛 (54) 发明名称 光学相干层析成像设备以及光学相干层析成 像方法 (57) 摘要 光学相干层析成像设备包括光源单元, 发射 包括从具有不同。
2、的中心波长和部分重叠的输出光 谱范围的扫频光源发射的光, 光具有各自的输出 光谱范围并且在时间上相互分离, 分割单元, 连接 到所述光源单元并且将对所述光源单元发射的光 进行分割, 波长选择单元, 连接到所述分割单元并 且从输出光谱范围重叠的范围中选择具有预定波 长的光, 时间检测单元, 连接到波长选择单元并且 检测扫频光源以预定波长振荡的时间, 以及波数 检测单元, 连接到所述分割单元并且检测来自扫 频光源的光具有相同波数的时间。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2014.09.30 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2013/060567 2013.0。
3、4.01 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2013/151173 EN 2013.10.10 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 14 页 附图 7 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书14页 附图7页 (10)申请公布号 CN 104204775 A CN 104204775 A 1/2 页 2 1. 一种光学相干层析成像设备, 包括 : 光源单元, 包括多个扫频光源, 每个扫频光源发射具有周期变化的振荡波长的光 ; 干涉光学系统, 将从光源单元发射的光分成基准光和用于照射分析物的照射光, 并且 使得来自分析物的反射光与。
4、基准光相互干涉, 从而生成干涉光 ; 光检测单元, 检测所述干涉光 ; 以及 处理单元, 基于通过所述光检测单元检测的所述干涉光的强度获得所述分析物的层析 图像, 其中, 从所述光源单元发射的光包括从具有不同的中心波长和部分重叠的输出光谱范 围的扫频光源发射的光, 所述光具有各自的输出光谱范围并且在时间上相互分离, 以及 其中, 所述光学相干层析成像设备进一步包括 : 分割单元, 连接到所述光源单元, 并且对所述光源单元发射的光进行分割 ; 波长选择单元, 连接到所述分割单元, 并且从所述输出光谱范围重叠的范围中选择具 有预定波长的光 ; 时间检测单元, 连接到波长选择单元, 并且检测扫频光源。
5、以所述预定波长振荡的时间 ; 以及 波数检测单元, 连接到所述分割单元, 并且检测从扫频光源发射的光具有相同波数的 时间。 2. 根据权利要求 1 所述的光学相干层析成像设备, 其中, 所述波长选择单元是波长选 择滤波器。 3. 根据权利要求 2 所述的光学相干层析成像设备, 其中, 所述波长选择滤波器是标准 具滤波器 4. 根据权利要求 1 所述的光学相干层析成像设备, 其中, 所述时间检测单元包括连接 到所述波长选择单元和所述处理单元的光学检测器。 5. 根据权利要求 1 所述的光学相干层析成像设备, 其中, 所述波数检测单元包括干涉 仪和所述处理单元。 6.根据权利要求5所述的光学相干层。
6、析成像设备, 其中, 所述干涉仪是Michelson干涉 仪、 Fizeau 干涉仪或者 Mach-Zehnder 干涉仪中的一种。 7. 根据权利要求 6 所述的光学相干层析成像设备, 其中, 所述干涉仪是波数时钟干涉 仪。 8. 根据权利要求 7 所述的光学相干层析成像设备, 其中, 所述波数时钟干涉仪包括脉 冲发生器。 9. 根据权利要求 1 所述的光学相干层析成像设备, 其中, 通过所述波数检测单元检测 的时间是从所述扫频光源发射的并且具有接近于所述预定波长的波长的光具有相同波数 的时间。 10. 根据权利要求 1 所述的光学相干层析成像设备, 其中, 所述光源单元包括组合从所 述扫频。
7、光源发射的光的组合器。 11. 根据权利要求 1 所述的光学相干层析成像设备, 其中, 所述波数检测单元基于扫频 光源以所述预定波长振荡的并且由所述时间检测单元检测的时间检测对应于相同波数的 时间, 并且所述处理单元通过在对应于所述相同波数的时间连接干涉信号来执行处理, 所 权 利 要 求 书 CN 104204775 A 2 2/2 页 3 述干涉信号是由所述光检测单元基于具有各自的输出光谱范围的光而获得的。 12. 一种光学相干层析成像设备, 包括 : 光源单元, 包括多个扫频光源, 每个扫频光源发射具有周期变化的振荡波长的光 ; 干涉光学系统, 将从光源单元发射的光分成基准光和用于照射分。
8、析物的照射光, 并且 使得来自分析物的反射光与基准光相互干涉, 从而生成干涉光 ; 光检测单元, 检测所述干涉光 ; 以及 处理单元, 基于通过所述光检测单元检测的所述干涉光的强度获得所述分析物的层析 图像, 其中, 从所述光源单元发射的光包括从扫频光源发射的、 具有不同的中心波长和部分 重叠的输出光谱范围的光, 所述光具有各自的输出光谱范围并且在时间上相互分离, 以及 其中, 所述光学相干层析成像设备进一步包括 : 分割单元, 连接到所述光源单元, 并且对所述光源单元发射的光进行分割 ; 波长选择滤波器, 连接到所述分割单元, 并且从所述输出光谱范围重叠的范围中选择 具有预定波长的光 ; 时。
9、间检测单元, 连接到波长选择滤波器, 并且检测扫频光源以所述预定波长振荡的时 间 ; 以及 波数检测单元, 包括 Mach-Zehnder 干涉仪, 连接到所述分割单元, 并且检测从扫频光 源发射的光具有相同波数的时间。 13. 一种光学相干层析成像方法, 该方法通过将从光源单元发射的光分成基准光和用 于照射分析物的照射光, 并且基于通过检测来自分析物的反射光与基准光的干涉光而获得 的干涉信号执行处理, 以获得分析物的层析图像, 所述光源单元包括多个扫频光源, 每个扫 频光源发射具有周期变化的振荡波长的光 ; 其中, 从所述光源单元发射的光包括从具有不同的中心波长和部分重叠的输出光谱范 围的扫。
10、频光源发射的光, 所述光具有各自的输出光谱范围并且在时间上相互分离, 以及 其中, 所述光学相干层析成像方法包括 : 从输出光谱范围重叠的范围中选择具有预定波长的光 ; 检测扫频光源以所述预定波长振荡的时间 ; 检测从扫频光源发射的并且具有接近于所述预定波长的波长的光具有相同波数的时 间 ; 以及 通过在光具有相同波数的时间连接干涉信号来执行所述处理, 所述干涉信号基于具有 各自的输出光谱范围的光被获得。 14. 根据权利要求 13 所述的光学相干层析成像方法, 其中, 通过使用除了光学系统之 外的干涉仪来检测光具有相同波数的时间, 所述光学系统连接到光源单元并且生成反射光 和基准光的干涉光。。
11、 15. 根据权利要求 14 所述的光学相干层析成像方法, 其中, 通过检测由干涉仪获得的 干涉信号变得等于 0 的时间来检测光具有相同波数的时间。 16. 根据权利要求 14 所述的光学相干层析成像方法, 其中, 在考虑了通过干涉仪获得 的干涉信号的导数值的符号的情况下检测光具有相同波数的时间。 权 利 要 求 书 CN 104204775 A 3 1/14 页 4 光学相干层析成像设备以及光学相干层析成像方法 技术领域 0001 本发明涉及使用具有不同的输出波长范围的多个光源的光学相干层析成像设备 以及光学相干层析成像方法。 背景技术 0002 傅立叶域光学相干层析成像 (FD-OCT) 。
12、设备是已知的, 其通过对光谱干涉信号进 行傅立叶变换来获取测量对象的层析信息的信号。在 FD-OCT 设备中, 从光源发射的光被 分成两个或更多个分量, 其中之一被用作基准光, 并且另一个被用作照射分析物的照射光 (illuminating light)。 0003 散射光或反射光从已被照射光照射的分析物返回, 并且基于返回光和基准光的光 谱干涉信号被获取。干涉信号被绘制在波数空间轴上, 并且根据基准光的光路长度和测量 光的光路长度之间的差沿波数空间轴振荡。因此, 通过对所获取的光谱干涉信号进行傅立 叶变换可获得根据光路长度差具有峰值的层析信息信号。 0004 近来, 包括扫频光源的扫频光源光。
13、学相干层析成像 (SS-OCT) 设备作为 FD-OCT 设 备的示例正在获得关注。 0005 通过使用输出具有随时间改变的波长的光的扫频光源, SS-OCT 设备获取在时间轴 上扩展的光谱干涉信号。因此, 可实现差分检测。另外, 可获得如下的光谱干涉信号, 其不 受在作为 FD-OCT 设备的另一示例的谱域光学相干层析成像 (OCT) 设备中所需要的线传感 器的元件的数量限制。 0006 光谱干涉信号的强度与基准光的强度和从测量对象返回的光的强度的乘积成比 例。因此, 即使当从测量对象返回的光由于其的吸收、 散射或透射而衰减时, 通过使得返回 光干涉高强度基准光, 仍可高灵敏度地获得层析信息。
14、信号。 0007 通过对光谱干涉信号进行傅立叶变换而获得的层析信息信号是具有与光路长度 差对应的频率的正弦波傅立叶变换信号和光谱形状的傅立叶变换的结果的卷积。因此, 深 度方向上的层析信息信号的分辨率 ( 单独显示各层的能力 ) 随着光谱范围增大而增大。 0008 光谱范围通常由光源中包括的增益介质的增益带宽决定。因此, 深度方向上的层 析信息的分辨率由增益带宽确定。 0009 需要具有宽的光谱范围的光源以获得在深度方向上具有高分辨率的层析信息信 号。 0010 因此, W.Y.Oh et al.in“Wide Tuning Range Wavelength-Swept Laser With 。
15、Two Semiconductor Optical Amplifiers“,IEEE Photonics Technology Letters,Vol.17,No.3,March 2005,pp.678-680( 下文被称为 “NPL1” ) 提出了组合从具有 不同的中心波长以及部分重叠的输出光谱范围的多个光源发射的光的光源单元。 NPL1公开 了一种系统, 该系统包括单个多面镜和两个半导体光学放大器, 并且该系统发射通过组合 从该两个半导体光学放大器发射的两种类型的光而获得的光。 0011 NPL1 中公开的光源单元仅仅组合从具有不同的中心波长以及部分重叠的输出光 说 明 书 CN 1042。
16、04775 A 4 2/14 页 5 谱范围的光源发射的光并且发射组合光。但是, NPL 1 中没有讨论发明人所关注的如何获 得具有小的噪声的层析图像或者如何基于多个光源处理干涉信号。 0012 引文列表 0013 非专利文献 0014 NPL 1 W.Y.Oh et al.,“Wide Tuning Range Wavelength-Swept Laser With Two Semiconductor Optical Amplifiers“,IEEE Photonics Technology Letters,Vol.17,No.3,March 2005,pp.678-680 发明内容 001。
17、5 本发明提供了一种光学相干层析成像设备, 通过该光学相干层析成像设备, 可降 低噪声并且可获得高清晰度图像。 0016 根据本发明的一个方面的光学相干层析成像设备包括光源单元, 该光源单元包括 多个扫频光源, 每个扫频光源发射具有周期变化的振荡波长的光 ; 干涉光学系统, 将从光源 单元发射的光分成基准光和用于照射分析物的照射光, 并且使得来自分析物的反射光与基 准光相互干涉从而生成干涉光 ; 光检测单元, 检测该干涉光 ; 以及处理单元, 基于通过光检 测单元检测的干涉光的强度获得分析物的层析图像。 从光源单元发射的光包括从具有不同 的中心波长以及部分重叠的输出光谱范围的扫频源发射的光, 。
18、光具有各自的输出光谱范围 并且在时间上相互分离。 光学相干层析成像设备进一步包括连接到光源单元并且分割从光 源单元发射的光的分割单元 ; 波长选择单元, 连接到分割单元并且从输出光谱范围重叠的 范围中选择具有预定波长的光 ; 时间检测单元, 连接到波长选择单元并且检测扫频光源以 该预定波长振荡的时间 ; 以及波数检测单元, 连接到分割单元并且检测从扫频光源发射的 光具有相同波数的时间。 0017 根据本发明的一个方面的光学相干层析成像设备包括光源单元, 该光源单元发射 包括从具有不同的中心波长以及部分重叠的输出光谱范围的扫频源发射的、 具有各自的输 出光谱范围并且在时间上相互分离的光的光。 0。
19、018 该光学相干层析成像设备还包括波长选择单元, 其从输出光谱范围重叠的范围中 选择具有预定波长的光 ; 时间检测单元, 其检测扫频光源以该预定波长振荡的时间 ; 以及 波数检测单元, 其检测从扫频光源发射的光具有相同波数的时间。 0019 由于波长选择单元和时间检测单元被提供, 因此可检测在光源的光谱范围重叠的 范围中预定光振荡的时间。另外, 从光源发射的光具有相同波数的时间可被波数检测单元 检测。 0020 因此, 通过光检测单元基于从扫频光源发射的各个输出光谱范围的光获得的干涉 信号可在从光源发射的光具有相同波数的时间连接到一起, 然后被处理单元处理。更具体 而言, 从光源发射的光具有。
20、相同波数的时间可被准确检测, 并且干涉光可在相同波数被准 确地连接。 0021 当通过上述处理获得分析物的层析图像时, 可降低噪声。 另外, 深度方向上的分辨 率可由于扫频范围的增大而增加, 并且图像的清晰度可相应地增加。 0022 参照附图阅读示例性实施例的以下描述, 本发明的其它特征将变得清晰。 说 明 书 CN 104204775 A 5 3/14 页 6 附图说明 0023 图 1A 和 1B 是示出根据本发明的实施例的光学相干层析成像设备的示意图。 0024 图 2 示出通过根据本发明的实施例的设备连接干涉信号的方法。 0025 图 3 是示出根据本发明的第一实施例的光学相干层析成像。
21、设备的示意图。 0026 图 4 是示出根据本发明的第二实施例的光学相干层析成像设备的示意图。 0027 图 5 是示出根据本发明的第三实施例的光学相干层析成像设备的示意图。 0028 图 6 示出数值计算中使用的正弦波的曲线图。 0029 图 7 示出通过数值计算获得的傅立叶变换之后的谱的曲线图。 具体实施方式 0030 本发明基于发明人所获得的对于如下这样的光学相干层析成像设备 (SS-OCT 设 备 ) 的发现, 该光学相干层析成像设备包括光源单元, 该光源单元输出通过组合从具有不 同的中心波长以及部分重叠的输出光谱范围的多个扫频光源发射的光而获得的光。 发明人 所获得的发现如下。 00。
22、31 即, 依赖于干涉信号连接到一起的方式获得不同的层析图像, 该干涉信号是通过 光检测单元基于从各个扫频光源发射的各个光谱范围的光而获得的。另外, 当基于各个 光谱范围的光的干涉信号在从光源发射的光具有相同波数的时间连接到一起、 然后被处理 时, 可降低噪声并且可获得高清晰度层析图像。 0032 这些发现是作为发明人进行的以下研究的结果而获得的。 0033 发明人在干涉信号在不同波数连接到一起的情况中进行关于层析图像的数值计 算。这将参照图 6 和 7 被描述。 0034 在该计算中, 考虑了理想的具有单个反射表面的反射镜。 在此情况中, 只要从各扫 频光源发射的光的强度不依赖于波长改变, 。
23、则对应的光谱干涉信号就是恒定正弦波。 0035 因此, 通过对作为恒定正弦波的光谱干涉信号进行快速傅立叶变换 (FFT) 而获得 的层析信号在某一单个点处具有峰值。 0036 另外, 从各个扫频光源发射的光的光谱干涉信号沿波数轴位于同一正弦波上。 0037 因此, 在不同波数连接信号意味着在正弦波的不同相位连接信号。 0038 为了实际对此进行计算, 在水平轴上定义了代表波数的 2000 个点, 并且假设在这 2000 个点处生成 100 个单位正弦波。 0039 信号被分成两个区域, 每个区域包括 1000 个点。相同频率的具有相移的正弦波被 应用于这两个区域之一。然后, 正弦波被连接到一起。
24、并且经受 FFT。 0040 图 6 示出了示出相移为 0、 110-1、 110-4、 110-8 和 110-12 的正弦波在波 数为 1000 的点处连接到一起的方式。图 6 的部分 (b) 示出了图 6 的部分 (a) 中的对应于 波数 980 到 1200 的区域被放大的曲线图。 0041 在图 6 的部分 (b) 中, 除了相移为 110-1 的情况中的波之外的波与相移为 0 的 正弦波重叠, 并且不能被观察到。 0042 图 7 示出了通过连接具有相移的正弦波而获得的正弦波的傅立叶变换的结果的 曲线图。 图7的部分(b)示出了图7的部分(a)中的某一光学延迟的区域被放大的曲线图。。
25、 0043 从图 7 的部分 (a) 清楚可见, 随着相移量增大, 噪声电平增加, 并且信噪比 (SNR) 说 明 书 CN 104204775 A 6 4/14 页 7 减小。另外, 从图 7 的部分 (b) 清楚可见, 随着相移量增大, 信号在峰值周围的区域中扩展 并且分辨率降低。 0044 因此, 在包括多个光源的 FD-OCT 设备中, 必须在同一波数轴上准确地获得基于各 个光源的光谱干涉信号, 并且可通过在相同波数将干涉信号连接到一起来降低层析图像的 噪声并且增大层析图像的清晰度。 0045 现在将参照附图描述本发明的实施例。 0046 图 1A 和 1B 是示出根据本发明的实施例的。
26、光学相干层析成像设备的示意图。 0047 图 1A 示出该设备的整体结构。此设备基本包括光源单元 110、 分割从光源单元发 射的光的分割单元 115、 干涉光学系统 150、 光检测单元 170、 处理单元 180、 波长选择单元 120、 时间检测单元 130 和波数检测单元 140。 0048 作为本发明的特征性单元之一的光源单元 110 包括具有不同的中心波长和部分 重叠的输出光谱范围的多个扫频光源 101 和 102, 并且发射包括具有各自的输出光谱范围 并且在时间上相互分离的光的光。必要时提供光学组合器 ( 例如, 光纤耦合器 )104。 0049 分割单元 115 分割从光源单元。
27、发射的光, 并且在此示例中包括光学耦合器 106 和 107, 光学耦合器 106 和 107 两者用作光学分割器。 0050 参照图 1A, 光学分割器 106 将通过光学组合器 104 的从光源单元发射的光 105 分 割成两个光, 该两个光之一被沿连接到干涉光学系统 150 的路径 D3引导。通过光学分割器 106 相互分离的该两个光的另一个被光学分割器 107 进一步分成两个光, 其中之一被沿连 接到波长选择单元 120 的路径 D1引导, 而另一个被沿连接到波数检测单元 140 的路径 D2引 导。 0051 干涉光学系统150将从光源单元110发射的光分成用于照射用作测量对象的分析。
28、 物 165 的照射光, 以及基准光, 并且使得来自分析物 165 的反射光与基准光相互干涉, 从而 生成干涉光。 0052 干涉光学系统150包括光学耦合器158, 其用作光学组合器和光学分割器。 光学耦 合器158通过诸如光纤的波导接收从光源单元110发射的光, 并且将光分成两个光, 其中之 一被使得照射分析物 165 并且另一个被引向基准镜 155。来自分析物 165 和基准镜 155 的 反射光被引导至光学耦合器 158( 干涉部分 ), 从而获得干涉光。 0053 这里, 在本说明书中, 通过照射分析物而获得的反射光是如下光, 其不仅包含来自 分析物的反射光而且还包含来自分析物的散射。
29、光。检流计反射镜 151 和 152 被提供以用该 光扫描分析物。 0054 图 1A 示出了干涉光学系统的示例。根据本发明的干涉光学系统可以是 OCT 设备 中常用的干涉光学系统。来自光源单元 110 的光也被第二光源分割器 107( 例如, 光学耦合 器 ) 分成两个光, 其中之一被引导至波长选择单元 120 并且另一个被引导至波数检测单元 140。 0055 作为本发明的特征性元件中的另一个的波长选择单元 120 具有如下功能 : 从扫频 光源 101 和 102 的输出光谱范围重叠的范围中选择具有预定波长的光。 0056 在图 1 所示的示例中, 标准具滤波器 (Fabry-Perot。
30、 标准具 )121 被用作波长选择 滤波器, 并且准直器透镜 122 和 123 被提供。作为替代, 波长选择单元 120 可包括例如由衍 射光栅或者棱镜和狭缝形成的滤波器。 说 明 书 CN 104204775 A 7 5/14 页 8 0057 时间检测单元 130 包括光学检测器, 并且检测由波长选择单元 120 选择的光。光 学检测器连接到处理单元 180, 该处理单元 180 包括计算机等, 并且通过处理单元 180 确定 检测到光的时间。 0058 作为本发明的特征性元件中的另一个的波数检测单元 140 可包括干涉仪。具体而 言, 波数检测单元 140 可包括例如 Michelso。
31、n 干涉仪、 Fizeau 干涉仪或者 Mach-Zehnder 干 涉仪, 并且这些干涉仪可被用作波数时钟干涉仪。附图标记 147 和 148 指示光纤耦合器, 并 且 142 和 143 指示准直器透镜。附图标记 145 指示差分光学检测器。光学检测器 145 连接 到处理单元 180, 并且通过该处理单元确定检测到光的时间。 0059 图 1B 示出了图 1A 中所示的光学分割单元 115 的变型。 0060 在图 1B 中, b1 和 b2 示出了如下示例, 其中通过使用两个光学耦合器 106 和 107, 从光源单元发射的光105被分割成D1(连接到波长选择单元120)、 D2(连接。
32、到波数检测单元 140) 和 D3( 连接到干涉光学系统 150)。另外, b3 和 b4 示出了使用光学波导耦合器 106 的 示例。如在 b4 中所示, 来自光源单元 105 的光不一定被分为三个光, 并且作为替代可被分 成为三个以上的光, 如 Dx指示地。 0061 现在将参照图 1A、 1B 和 2 详细描述根据本发明的实施例的特征性特征。 0062 光源单元 0063 光源单元包括多个扫频光源, 每个扫频光源发射具有周期性改变的振荡波长的 光。扫频光源具有不同的中心波长和部分重叠的输出光谱范围。光源单元发射包括具有各 自的输出光谱范围并且在时间上相互分离的光的光。图 1 中所示的光源。
33、单元通过光学组合 器 104 组合光并且输出该组合光。但是, 光源单元不局限于此, 只要来自扫频光源的光可被 发射以使得光在时间上相互分离即可。尽管图 1 中所示的设备中包含两个扫频光源, 但是 扫频光源的数量可被根据例如要获得的扫频范围或者用途被适当地选择。通常, 扫频光源 的数量被从 2 到 6 中选择。 0064 每个扫频光源可例如是如下光源, 该光源发射通过使用 Fabry-Perot 可调谐滤波 器或者谱滤波器 ( 诸如衍射光栅、 环形腔或者光纤布拉格光栅 ) 对从宽带宽增益介质发射 的光进行滤波而获得的光。作为替代, 每个扫频光源可以是发射通过移动多面镜或者狭缝 状镜来对被衍射光栅。
34、空间延伸的光进行滤波而获得的光的光源, 或者通过分散介质在时间 上扩展宽带光的光源。 0065 参照图 2, 部分 (a) 和 (c) 示出了从光源单元 110 发射的光关于时间的变化。图 2 的部分(b)示出了波长选择单元120从两个扫频光源的输出光谱范围重叠的范围中选择具 有预定波长光的方式。 0066 图 2 的部分 (d) 示出了已被选择的具有预定波长的光由时间检测单元 130 中包含 的光学检测器检测的方式以及确定光被检测到的时间。 0067 图 2 的部分 (e) 示出了通过波数检测单元 140 中包含的干涉仪获得干涉信号的方 式以及确定从扫频光源发射的光具有相同波数的时间。 00。
35、68 图 2 的部分 (f) 示出了基于从两个扫频光源发射的光通过光检测单元 170 检测的 两个干涉信号。 0069 图2的部分(g)示出了在从两个扫频光源发射的光具有相同波数的时间两干涉信 号被连接到一起的方式。 说 明 书 CN 104204775 A 8 6/14 页 9 0070 参照示出了从光源单元 110 发射的光关于时间的变化的图 2 的部分 (a)、 (b) 和 (c), 扫频光源 101 在时间间隔 208 中输出光谱范围 203 的光 201。扫频光源 102 在时间间 隔 209 中输出光谱范围 204 的光 202。 0071 OCT 干涉仪和干涉信号的产生 0072。
36、 分别从扫频光源 101 和 102( 图 1A) 发射的光 201 和 202( 图 2 的部分 (a) 由光 学组合器 104 组合。组合光被从光源单元发射并且被光学分割器 106 分成两个光, 其中之 一被引导至干涉光学系统 150。 0073 被引导至干涉光学系统 150 的光被用作光学组合器和光学分割器的光学耦合器 158 分成辐照基准镜 155 的基准光和照射分析物 165 的照射光。光学耦合器 158 使得来自 分析物 165 的反射光 ( 包括散射光 ) 和基准光相互干涉, 从而生成干涉光。光检测单元 170 检测干涉光并且获得光谱干涉信号 216 和 217( 图 2 的部分。
37、 (f)。光谱干涉信号 216 和 217( 图 2 的部分 (f) 经由 A/D 板输入被处理单元 180, 处理单元 180 包括个人计算机 (PC) 等。干涉光学系统 150 可包括包含分束器和反射镜的空间干涉仪或者包含光纤耦合器的光 纤干涉仪。 0074 输出预定波长的时间的检测 0075 从光源单元 110 发射的光被光学分割器 106 和 107 分割。通过光学分割器 107 相 互分离的光中的一个被引导至波长滤波器 121 和时间检测单元 130, 该波长滤波器 121 使 得预定波长的光 205( 图 2 的部分 (b) 通过, 从而获得光强度信号 210 和 211( 图 2。
38、 的部分 (d)。 0076 从光源单元发射的光的波长变得等于预定振荡波长 205 时的时间 206 和 207 基于 光强度信号 210 和 211( 图 2 的部分 (d) 被确定。 0077 预定波长 205 是扫频光源的光谱范围重叠的范围内的波长。 0078 波数时钟干涉信号的获取和对应于相同波数的时间的确定 0079 通过光学分割器 107 相互分离的光中的另一个 (D2) 被引导至波数时钟干涉仪, 该 波数时钟干涉仪被包含在波数检测单元 140 中并且被用于获取波数时钟干涉信号。波数时 钟干涉信号 212 和 213( 图 2 的部分 (e) 由光学检测器 145 获得, 该光学检。
39、测器 145 检测 通过波数时钟干涉仪 (147、 142、 143 和 148) 获得的干涉光。波数时钟干涉仪可以是例如 Michelson 干涉仪、 Fizeau 干涉仪或者 Mach-Zehnder 干涉仪。波数时钟干涉仪还可以是包 括分束器和反射镜的空间干涉仪或者包括光纤耦合器的光纤干涉仪。 0080 通过 Mach-Zehnder 干涉仪差分地检测到的波数时钟干涉信号 212 和 213( 图 2 的 部分 (e) 满足以下表达式 (1)。 0081 数学式 1 0082 I(k) Io(k)cos(k1) (1) 0083 这里, I(k)是波数时钟干涉信号212和213的强度, 。
40、Io(k)是从光源发射的光的强度, k 是从光源发射的光的波数, 并且 l 是波数时钟干涉仪的两个臂的光路长度之间的差。 0084 从表达式 (1) 清楚可见, 波数时钟干涉信号 212 和 213 根据干涉仪的两个臂的光 路长度之间的差 l 以一定波数间隔具有相同相位。 0085 因此, 波数时钟干涉信号 ( 图 2 的部分 (e) 经由 A/D 板被输入 PC 180 以基于从 光源单元发射的光的波长变得等于预定振荡波长的时间 210 和 211( 图 2 的部分 (d) 确定 说 明 书 CN 104204775 A 9 7/14 页 10 波数时钟干涉信号具有相同相位的时间。 0086。
41、 因此, 从不同光源 (101 和 102) 在不同时间 (208 和 209, 图 2 的部分 (c) 发射的 光具有相同波数的时间对于该光源中的每一个被确定。 0087 关于相位, 波数时钟干涉信号 212 和 213 第一次变为 0 的时间 214 和 215( 图 2 的 部分 (e) 可被检测。通过两个光源 101 和 102 分别在时间 214 和 215 振荡的光的波长接 近于通过波长滤波器121滤波的预定波长205。 这里, 接近预定波长205的波长包括精确等 于预定波长 205 的波长。 0088 因此, 从光源单元发射的光的强度 I 的影响可被消除。作为替代, 可检测波数时。
42、钟 干涉信号 212 和 213 达到最大值或最小值的时间。在此情况下, 即使当波数时钟干涉信号 212 和 213 的偏差值由于光纤耦合器的分支比的波长依赖性或者差分光学检测器 145 的差 分偏移而不为 0 时, 仍可检测波数时钟干涉信号 212 和 213 具有相同相位的时间。 0089 当检测波数时钟干涉信号变为 0 的时间或者波数时钟干涉信号达到最大值或最 小值的时间时, 可以以相位间隔 获得数据。因此, 与以间隔 2 获得数据的其他相位的 情况相比, 数据点的数量可加倍。 0090 光具有相同波数的时间可在考虑了所获取的干涉信号的导数值的符号的情况下 被确定。 0091 通过 OC。
43、T 干涉仪将干涉信号转换成具有规则波数间隔的信号 0092 基于波数时钟干涉信号 212 和 213( 图 2 的部分 (e) 的相位等于预定相位的时间 214 和 215 将光谱干涉信号转换成具有规则波数间隔的数据。 0093 通过将波数时钟干涉信号输入A/D板的外部时钟通道并且控制A/D板的数据获取 定时, 将光谱干涉信号转换成具有规则波数间隔的数据。 作为替代, 通过将波数时钟干涉信 号作为数据输入 A/D 板、 计算波数时钟干涉信号的相位等于预定相位的时间、 并且在计算 的时间对光谱干涉信号进行插值, 来将光谱干涉信号转换成具有规则波数间隔的数据。 0094 对应于相同波数的时间的确定。
44、 0095 如果光的振荡为使得对应于扫频光源的光谱范围重叠的范围中的预定波长的时 间 206 和 207( 图 2 的部分 (a) 的精度 ( 长度 ) 大于或者等于波数时钟干涉信号 212 和 213( 图 2 的部分 (e) 的周期的 1/2, 则存在波数时钟干涉信号 212 和 213 第一次变为 0 的 时间将偏移的可能性。当对应于预定波长的时间 206 和 207 的精度在波数时钟干涉信号 212 和 213 的周期的 1/2 到 1 的范围内时, 需要确定当波数时钟干涉信号 212 和 213 与 0 相 交时波数时钟干涉信号 212 和 213 的倾角是否相同。 0096 因此,。
45、 为了准确确定波数时钟干涉信号212和213第一次变为0的时间214和215, 对应于预定波长的时间 206 和 207 的精度可被设定为小于波数时钟干涉信号 212 和 213 的 周期的 1/2。 0097 为了增加光谱干涉信号被转换成的具有规则波数间隔的数据中包含的数据点的 数量, 需要增加在扫频光源执行单次波长扫频的同时波数时钟干涉信号 212 和 213 达到一 定相位的点数。 因此, 波数检测单元140中包含的干涉仪的两个臂的光路长度之间的差l 增大。 0098 但是, 当两个臂的光路长度之间的差 l 增大时, 波数时钟干涉信号 212 和 213 的 周期减小。 说 明 书 CN。
46、 104204775 A 10 8/14 页 11 0099 因此, 需要增大波长选择滤波器 121 的精度以使得对应于预定波长的时间 206 和 207 的精度小于波数时钟干涉信号 212 和 213 的周期的 1/2。 0100 在例如使用 Fabry-Perot 标准具的情况中, 需要标准具的端面具有高反射性和表 面平坦度。因此, 成本增加。 0101 因此, 为了降低所需要的波长滤波器 121 的精度, 通过进一步分割来自光源单元 的组合了来自扫频光源的光的光而获得的光可被引导至短 l 波数时钟干涉仪, 以便获得 干涉仪的两个臂的光路长度之间的差 l 小的波数时钟信号。短 l 波数时钟。
47、干涉信号通 过检测由短 l 波数时钟干涉仪获得的干涉光的光学检测器获得。 0102 短 l 波数时钟干涉信号被通过 A/D 板输入 PC 180, 并且短 l 波数时钟干涉信 号具有相同相位的时间基于从光源单元发射的光的波长变得等于预定振荡波长的时间被 确定。 0103 因此, 在不同时间从不同光源发射的光具有相同波数的时间 214 和 215( 图 2 的部 分 (e) 对于每个光源可以被准确地确定。 0104 通过 OCT 干涉仪获得的干涉信号的连接 0105 对于每个光源在不同的时间获得具有规则波数间隔的光谱干涉信号 216 和 217( 图 2 的部分 (f)。但是, 在不同时间从不同。
48、光源发射的光具有相同波数的时间 214 和 215 如上所述地被确定。 0106 因此, 基于各个扫频光源通过光学检测器检测的光谱干涉信号 216 和 217( 图 2 的 部分 (f) 通过 PC 180 在对应于相同波数的时间 214 和 215 连接到一起。因而, 通过在不 同时间发射的光获得的光谱干涉信号可在相同波数被连接到一起。 0107 通过傅立叶变换获取层析信息 0108 通过利用 PC 180 对光谱干涉信号 218( 图 2 的部分 (g) 进行傅立叶变换获得在 分析物被照射光辐照的方向上的层析信号, 该光谱干涉信号 218 是通过在相同波数将干涉 信号连接到一起而获得的。傅。
49、立叶变换可以是快速傅立叶变换。 0109 对应于相同波数的时间的精度可高于或者等于具有规则波数间隔的光谱干涉信 号的采样间隔的1/100。 当精度小于1/100时, 通过连接光谱干涉信号并且进行傅立叶变换 而获得的层析信号的噪声可增大, 并且层析信号的分辨率可降低。 0110 层析图像的获取 0111 通过移动干涉光学系统 150 中包括的检流计镜 151 和 152 来改变照射光的照射方 向。在每个照射方向, 通过处理单元 180 通过执行上述操作来获得层析信号。对应于各个 照射方向的层析信号被布置和经受重构以获得层析图像。 0112 现在将通过描述具体实施例来详细描述本发明。 0113 第一实施例 0114 图 3 是示出根据第一实施例的光学相。