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1、(10)申请公布号 CN 102819184 A (43)申请公布日 2012.12.12 CN 102819184 A *CN102819184A* (21)申请号 201210274128.8 (22)申请日 2004.12.02 200480044532.X 2004.12.02 G03F 1/66(2012.01) G03F 7/20(2006.01) (71)申请人 旭化成电子材料株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 栗山芳真 脇元一郎 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 代理人 丁香兰 (54) 发明名称 大型护罩的收纳方法 (57) 摘要 本发。
2、明提供一种大型护罩的收纳方法， 该方 法包括将面积在 1000cm2以上的大型护罩收纳在 由托盘和盖子构成的箱体中的过程， 所述大型护 罩包括框架、 粘合在该框架的上缘面上的护罩膜、 涂在该框架的下缘面的粘结材料、 以及用于保护 该粘结材料而粘附于该框架的下面的保护膜， 所 述收纳方法的特征在于， 所述大型护罩的保护膜 的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余 边， 并且， 利用胶带将该余边固定在所述托盘上， 由此将大型护罩收纳在箱体内。 (62)分案原申请数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 5 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请。
3、 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 5 页 1/1 页 2 1. 一种大型护罩的收纳方法， 该方法包括将面积在 1000cm2以上的大型护罩收纳在由 托盘和盖子构成的箱体中的过程， 所述大型护罩包括框架、 粘合在该框架的上缘面上的护 罩膜、 涂在该框架的下缘面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料而粘附在该框架的下面 的保护膜， 所述收纳方法的特征在于， 放置在所述箱体的托盘上的大型护罩的框架与盖在 所述托盘上的盖子之间设置至少 1mm 以上的间隔来收纳所述大型护罩， 所述大型护罩的保 护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边， 并且， 利用具有柔软性的胶带从上 方将该余边固定在所述。
4、托盘上， 由此将大型护罩收纳在所述箱体内。 2. 根据权利要求 1 所述的大型护罩的收纳方法， 其中， 所述保护膜的余边在沿着对向 的护罩框架的边的方向上具有 20mm 以上的长度， 在与沿着对向的护罩框架的边的方向垂 直的方向上具有 6mm 以上的宽度。 3. 一种大型护罩收纳结构体， 该结构体是在由托盘和盖子构成的箱体中收纳有面积在 1000cm2以上的大型护罩的结构体， 所述大型护罩包括框架、 粘合在该框架的上缘面上的护 罩膜、 涂在该框架的下缘面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料而粘附在该框架的下面 的保护膜， 在所述大型护罩收纳结构体中， 所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部分或全 部。
5、具有向外侧突出的余边， 并且， 利用胶带从上方将该余边固定在所述托盘上。 4. 根据权利要求 3 所述的大型护罩收纳结构体， 其中， 所述保护膜的余边在沿着对向 的护罩框架的边的方向上具有 20mm 以上的长度， 在与沿着对向的护罩框架的边的方向垂 直的方向上具有 6mm 以上的宽度。 5.根据权利要求3或4所述的大型护罩收纳结构体， 其中， 放置在所述箱体的托盘上的 大型护罩的框架和盖在所述托盘上的盖子之间具有至少 1mm 以上的间隔。 权 利 要 求 书 CN 102819184 A 2 1/7 页 3 大型护罩的收纳方法 0001 本申请是分案申请， 其原申请的国际申请号是 PCT/JP。
6、2004/017953， 国际申请日是 2004 年 12 月 2 日， 中国国家申请号为 200480044532.X， 进入中国的日期为 2007 年 6 月 1 日， 发明名称为 “大型护罩的收纳方法” 。 技术领域 0002 本发明涉及大型护罩 ( ) 的收纳方法及其收纳结构体， 所述收纳方法可 以将护罩膜的面积在 1000cm2以上的大型护罩以稳定的状态收纳在由托盘和盖子构成的箱 体中， 所述大型护罩用于防止在制造构成 LSI、 液晶显示器 (LCD) 的薄膜晶体管 (TFT) 和滤 色器 (CF) 等时的光刻工序中所使用的光掩模或标线片上附着异物。 背景技术 0003 在以往制造半。
7、导体电路图案等过程中， 正如在后述专利文献 1 中记载的那样， 通 常采用称为护罩的防尘措施来防止异物附着在光掩模或标线片上。护罩的结构如下 ： 在具 有与光掩模或标线片的形状相匹配的形状的数微米厚的框架的上缘面上铺展并粘合有厚 度为10m以下的硝化纤维素或纤维素衍生物或者含氟聚合物等透明高分子膜(以下称为 护罩膜 )， 并且， 在该框架的下缘面涂有粘结材料， 并在该粘结材料上以规定的粘合力粘附 有保护膜。 0004 上述粘结材料用于将护罩固着在光掩模或标线片上， 而且， 为了使该粘结材料的 粘合力能够保持到该粘结材料用于这一用途， 使用保护膜来保护该粘结材料的粘合面。在 将该护罩从制造者运送。
8、至使用者的过程中， 为了防止异物附着在护罩膜等上或者防止护罩 损伤， 通常将该护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中， 进而将该箱体装在防尘袋等中进 行运送。 0005 将作为本发明的对象的面积在 1000cm2以上的大型护罩收纳起来的由托盘和盖子 构成的箱体通常采用真空成型法成型， 并且， 过去通过在将大型护罩放置在托盘上后盖上 盖子来将大型护罩收纳在箱体中。 在制造上述箱体时， 要有计划地设计制造， 以使收纳在箱 体内的大型护罩的框架与盖子之间的间隔在 0mm 以上且小于 1mm， 在该间隔部分， 盖子压住 大型护罩， 从而防止了运输中等的振动导致大型护罩在箱体内移动而产生摩擦或灰尘。 000。
9、6 可是， 对于收纳面积在 1000cm2以上的护罩的大型箱体， 存在如下问题。即， 在大 型箱体中， 由于存在护罩和箱体的间隙问题， 或者存在箱体难以满足平整性的要求等问题， 导致大型护罩的四周与箱体的盖子之间的间隔不能准确地控制在0mm以上且小于1mm的范 围， 因此， 在维持满足现有设计思想的成型精度的条件下， 难以制造出大型箱体。 0007 因此， 在将大型护罩收纳在以现有设计思想制造的大型箱体中时， 在大型护罩与 盖子间的间隔为 0mm 以致盖子与大型护罩接触时， 盖子压住大型护罩的框架， 因而在运送 大型护罩时等， 在盖子和大型护罩的框架之间产生摩擦而出现灰尘， 从而产生异物附着在。
10、 大型护罩上的问题。 0008 另外， 在大型护罩与盖子间的间隔为 1mm 以上时， 不能用盖子压住大型护罩使之 说 明 书 CN 102819184 A 3 2/7 页 4 保持稳定， 因而在运送大型护罩时， 大型护罩在箱体内出现移动或振动， 导致在箱体和大型 护罩之间产生摩擦而出现灰尘， 从而产生异物附着在大型护罩上的问题。 0009 为了解决上述诸多问题， 本申请的申请人已经完成了如后述的专利文献 2、 专利文 献 3 或专利文献 4 所述的发明， 提出了专利申请。 0010 后述专利文献 2 中记载的技术是 ： 在收纳护罩的箱体的托盘表面上突出设置立起 的突出部， 并且， 在该突出部的。
11、侧面设有底切部， 通过将护罩的保护膜插入该底切部之中来 保持固定置于托盘上的护罩。 另外， 专利文献3中记载的技术是 ： 先将具有规定粘合力的粘 结材料涂在护罩的保护膜下表面， 在将护罩放置在托盘上时， 通过将保护膜粘合在托盘上 来将护罩保持固定在托盘上。 此外， 专利文献4中记载的技术是 ： 由箱体盖子的顶面悬挂棒 状的挤压体， 在将这种盖子盖在托盘上时， 用该挤压体从上方压住放置在托盘上的护罩的 保护膜， 由此将护罩保持固定在托盘上。 0011 专利文献 1 ： 特公昭 54-28718 号公报 0012 专利文献 2 ： 特开平 11-38597 号公报 0013 专利文献 3 ： 特开。
12、平 11-24238 号公报 0014 专利文献 4 ： 特开平 11-52553 号公报 发明内容 0015 记载于上述专利文献 2 专利文献 4 的发明对收纳过去常用的 5 英寸或 6 英寸这 种用于半导体的护罩的箱体是极为有效的， 但是， 在对收纳作为本发明对象的护罩的面积 在 1000cm2以上的大型护罩的箱体应用这些发明时， 存在后述的若干问题。 0016 在专利文献 2 的技术中， 采用成本低廉且易于制造的真空成型法， 在托盘表面上 突出设置立起的突出部， 并在该突出部的侧面设置较深的底切部， 这种方法存在难以获得 足够的成型精度的问题。另外， 在采用注射成型法成型托盘时， 虽然由。
13、于成型精度高可以 进行上述成型， 但在采用注射成型法来成型作为本发明对象的 1000cm2以上的大型护罩时， 需要极其大型的成型机， 因此， 成本提高且不实用， 同时由于托盘尺寸非常大而出现成型变 形， 并且难以在突出部的侧面以高精度设置又窄又深的底切部。 0017 在专利文献 3 的技术中， 将粘结材料涂在护罩的保护膜的下面以将保护膜粘贴在 托盘的表面上， 这一方法对于像半导体用护罩的箱体这种小尺寸箱体是有效的， 但是， 在像 本发明这样收纳大型护罩的大型箱体中， 由于成型精度可能不够， 有时在托盘的放置护罩 的位置出现翘曲。于是， 托盘翘曲产生的变形影响到保护膜， 使保护膜的一部分从粘结材。
14、 料上剥离或者使粘结材料的粘合力降低， 由此导致了难以将护罩均匀地贴在光掩模上的问 题。 0018 在专利文献 4 的技术中， 采用的方法是 ： 用悬挂于箱体盖子的顶面的挤压体对放 置在托盘上的护罩的保护膜进行挤压以保持固定护罩。 像收纳半导体护罩的箱体那样， 5英 寸 6 英寸之类的小型箱体的情况下可以维持成型精度， 但是， 如上所述， 在收纳作为本发 明对象的大型护罩的大型箱体中， 不仅成型精度不够且成型的箱体出现翘曲， 因此， 采用上 述技术时， 在将盖子盖在箱体上时， 出现的问题是， 设置于盖子一侧的挤压体难以正确且确 实地压住护罩的保护膜以使该护罩保持固定。 0019 本发明涉及的大。
15、型护罩的收纳方法及其收纳结构体是鉴于上述诸多问题而开发 说 明 书 CN 102819184 A 4 3/7 页 5 出的全新的技术， 该收纳方法及其收纳结构体的特征在于， 大型护罩的保护膜的外周缘的 一部分或全部向外侧突出并形成余边， 在将护罩放置在托盘上时， 用胶带将该余边粘合在 托盘表面来确实地将护罩保持固定在托盘上。 0020 本发明涉及的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体是从根本上解决上述问题的 技术。本发明的第一方案在于大型护罩的收纳方法， 该方法包括将面积在 1000cm2以上的 大型护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中的过程， 所述大型护罩包括框架、 粘合在该框 架的上缘面上的护罩。
16、膜、 涂在该框架的下缘面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料而粘 合在框架下面的保护膜， 所述收纳方法的特征在于， 所述大型护罩的保护膜的外周缘的一 部分或全部向外侧突出并形成余边， 并且， 利用胶带将该余边固定在所述托盘上， 从而将大 型护罩收纳在箱体内。此处的护罩面积是框架的外径面积。 0021 在上述第一方案中， 由于护罩的保护膜的外周缘的一部分或全部向外侧突出并形 成余边， 因而在将护罩放置在托盘上时， 可以将突出于护罩外框的外侧的所述余边贴在托 盘的表面上。 并且， 在本发明中， 利用胶带使所述余边粘贴在托盘上， 因此， 通过极其简单的 操作就可以将护罩以稳定的状态确实地保持固定在托盘。
17、上。 0022 此外， 在本发明中， 由于采用富于柔软性的胶带将大型护罩的保护膜粘贴在托盘 上， 因此， 即使在托盘的成型精度不充分的情况下， 或者在托盘出现翘曲的情况下， 也能够 不受任何影响地将大型护罩正确且确实地保持固定在托盘上。 0023 本发明的第二方案是本发明的第一方案的大型护罩的收纳方法， 其中， 形成的所 述保护膜的余边的宽度为 6mm 以上、 长度为 20mm 以上。 0024 在上述第二方案中， 更优选的实施方式是所述保护膜的余边的长度为 50mm 以上， 进一步优选的实施方式是所述长度为 300mm 以上。另外， 在本发明中， 大型护罩的面积在 4000cm2以上时， 将。
18、上述保护膜的余边的长度制成 300mm 以上是特别有效的。 0025 在上述第二发明中， 由于在大型护罩的保护膜上设有的余边的尺寸是宽度在 6mm 以上、 长度在 20mm 以上， 因此， 在将大型护罩放置于托盘上时， 可以将该余边以较宽的宽度 重合在托盘的表面上， 并且， 可以利用胶带将余边稳定地且确实地保持固定在托盘的表面 上。 0026 本发明的第三方案是本发明的第一或第二方案的大型护罩的收纳方法， 考虑到成 型精度， 在放在上述箱体的托盘上的大型护罩的框架与盖在该托盘上的盖子之间的全部空 间设置至少 1mm 以上的间隔来进行收纳。 0027 在上述第三方案中， 由于通过在放置于箱体托盘。
19、上的大型护罩的框架和盖在该托 盘上的盖子之间设置至少 1mm 以上的间隔来对大型护罩进行收纳， 因此， 在运送大型护罩 时， 也无需担心大型护罩由于振动等原因而与盖子发生接触并产生摩擦。另外， 如上所述， 由于可以利用胶带以稳定的状态将大型护罩保持固定在托盘上， 因而无需用盖子压住大型 护罩， 所以， 可以容易地设计箱体， 并且， 还可以将箱体的成型精度和变形的问题全部解决。 0028 本发明的第四方案在于大型护罩收纳结构体， 该结构体是将面积在 1000cm2以上 的大型护罩收纳在由托盘和盖子构成的箱体中的结构体， 所述大型护罩包括框架、 粘合在 该框架的上缘面上的护罩膜、 涂在该框架的下缘。
20、面上的粘结材料以及用于保护该粘结材料 而粘附在框架下面的保护膜， 其中， 在该结构体中， 所述大型护罩的保护膜的外周缘的一部 分或全部具有向外侧突出的余边， 并且， 利用胶带将该余边固定在所述托盘上。 说 明 书 CN 102819184 A 5 4/7 页 6 0029 本发明的第五方案是本发明的第四方案的大型护罩收纳结构体， 其中， 上述保护 膜的余边的宽度为 6mm 以上、 长度为 20mm 以上。 0030 本发明的第六方案是本发明的第四或第五方案的大型护罩收纳结构体， 其中， 放 置在上述箱体的托盘上的大型护罩的框架和盖在该托盘上的盖子之间具有至少 1mm 以上 的间隔。 0031 。
21、为了防止在对构成液晶显示器 (LCD) 的薄膜晶体管 (TFT) 和滤色器 (CF) 等进行 制造时的光刻工序中所使用的光掩模或标线片上附着异物， 使用护罩面积在 1000cm2以上 的大型护罩， 本发明作为这种大型护罩的收纳方法及其收纳结构体可发挥有用的效果。 0032 在本发明涉及的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体中， 由于护罩的保护膜的外 周缘的一部分或全部向外侧突出并形成余边， 因此， 将护罩放置在托盘上时， 具有突出于护 罩外框外侧的所述余边可以贴在托盘表面上的效果。 并且， 在本发明中， 由于利用胶带使所 述余边粘贴在托盘上， 所以还具有通过极其简单的操作就可以将护罩以稳定的状态确。
22、实地 保持固定在托盘上的效果。此外， 由于利用富于柔软性的胶带将护罩保护膜的具有柔软性 的余边粘贴在托盘上， 所以具有如下效果 ： 即使在托盘的成型精度不充分的情况下， 或者在 托盘出现翘曲的情况下， 也能够不受任何影响地将护罩正确且确实地保持固定在托盘上。 0033 另外， 在本发明中， 将设置在护罩的保护膜上的余边的尺寸设为宽度在 6mm 以上、 长度在 20mm 以上的情况中， 还具有如下效果 ： 将护罩放置于托盘上时， 可以将该余边以较 宽的宽度贴在托盘的表面上， 并且， 可以利用胶带将余边稳定且确实地保持固定在托盘的 表面上。 0034 另外， 在本发明中， 在放置于箱体的托盘上的大。
23、型护罩的框架和盖在该托盘上的 盖子之间设置至少 1mm 以上的间隔来进行收纳的情况中， 在运送大型护罩时， 也无需担心 大型护罩由于振动等原因而与盖子接触并发生摩擦。 另外， 如上所述， 在利用胶带将大型护 罩以稳定的状态保持固定在托盘上的情况中， 无需用盖子压住大型护罩， 所以具有如下效 果 ： 可以容易地设计箱体， 并且， 还可以将箱体的成型精度和变形的问题全部解决。 附图说明 0035 图 1 是本发明的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的纵剖面说明图。 0036 图 2 是图 1 的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的主要部位的放大说明图。 0037 图3是在图1的大型护罩的收纳方法及其收。
24、纳结构体中使用的大型护罩用保护膜 的平面图。 0038 图4是在图1的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体中使用的大型护罩用保护膜 的平面图。 0039 图 5 是表示保护膜的形状的例子的图。 具体实施方式 0040 根据附图对本发明涉及的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的一实施方式进 行具体说明。图 1 是本发明涉及的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的纵剖面说明图， 图 2 是图 1 的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体的主要部位的放大说明图， 图 3 是在图 1 的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体中使用的大型护罩用保护膜的平面图， 图 4 与图 说 明 书 CN 102819184 A 6 5/。
25、7 页 7 3 同样地是在图 1 的大型护罩的收纳方法及其收纳结构体中使用的大型护罩用保护膜的平 面图。 0041 在图 1、 图 2(a) 和图 2(b) 中， A 是大型护罩， 正如已做的详细说明， A 是护罩面积 在1000cm2以上的大型护罩， 其构成如下 ： 框架1、 利用粘合剂2粘附在所述框架1的上缘面 上的护罩膜 3、 涂在所述框架的下缘面上的粘结材料 4、 以及用于保护该粘结材料 4 而粘附 在粘结材料 4 上的保护膜 5。 0042 在上述实施方式中， 将粘结材料 4 涂在了框架 1 的下缘面上， 但是， 使用预先将粘 结材料 4 和保护膜 5 形成为层状所得到的层状粘结材料。
26、的情况中， 只要将该层状粘结材料 层积在框架 1 的下缘面上进行粘附即可。但是， 在本说明书中， 也包含上述情况而仅总称为 “涂” 。接着， 将如上构成的大型护罩 A 收纳在由托盘 6 和盖子 7 构成的箱体 B 中。可以用 胶带将盖子和托盘的对接面的四周进行密封， 或者在托盘 6 和盖子 7 的角部安装夹子 8。 0043 在上述大型护罩A的保护膜5的外周缘的外侧突出设置有余边5a， 该余边5a通过 后述的胶带粘附固定于托盘 6 的表面上。本发明人反复进行各种实验， 结果表明， 优选该余 边 5a 的宽度 W 为 6mm 以上、 长度 L 为 20mm 以上。从而可以利用胶带 9 容易地将具。
27、有这种 尺寸的余边 5a 以稳定的状态粘附固定在托盘 6 的表面上。另外， 在本发明中， 更优选所述 长度 L 为 50mm 以上， 进一步优选所述长度 L 为 300mm 以上。另外， 优选在护罩框架的至少 2 边， 以各边长度的 5% 以上作为余边的长度 ； 优选至少在相对的 2 边， 以各边长度的 5% 以 上作为余边的长度。 另外， 关于上述余边5a的宽度W和长度L， 将余边碰到托盘端部的情况 作为余边的上限。 0044 在实施本发明的收纳方法及其收纳结构体时， 如上述图1和图2所示， 将大型护罩 A 放置在箱体 B 的托盘 6 的中央部， 并且， 使用规定宽度和长度的胶带 9， 将突。
28、出在大型护罩 A 的框架 1 的外侧的保护膜 5 的余边 5a 粘附在托盘 6 的表面上， 由此可以将大型护罩 A 以 极其稳定的状态简单且确实地保持固定在托盘 6 的中央部。 0045 在本发明的收纳方法及其收纳结构体中， 如上所述， 利用富于柔软性的胶带 9 将 突出在大型护罩 A 的框架 1 的外侧的保护膜 5 的具有柔软性的余边 5a 粘附固定在箱体 B 的托盘 6 的表面上， 因此， 即使箱体 B 的托盘 6 的成型精度不充分或者托盘 6 出现翘曲， 也 可以简单地将大型护罩 A 以稳定的状态固定在托盘 6 上而不受这些问题的影响。 0046 另外， 优选粘附胶带 9 以覆盖余边 5。
29、a 的整个面的方式进行粘贴， 但如果可以获得 粘附固定的效果， 也可以以部分覆盖的方式进行粘贴。 0047 此外， 在本发明的收纳方法及其收纳结构体中， 由于可以将大型护罩 A 以稳定的 状态确实地保持固定在箱体 B 的托盘 6 上， 所以无需用箱体 B 的盖子 7 压住大型护罩 A， 因 此， 可以使盖子 7 和大型护罩 A 的框架 1 之间的间隔 D 为 1mm 以上。因此， 由于大型护罩 A 和盖子 7 具有足够的间隔， 所以不会出现因运送时等的振动导致大型护罩 A 和盖子发生摩 擦的情况， 从而无需担心出现灰尘的问题。 另外， 从大型护罩的保管性、 清洗性的方面考虑， 上述间隔 D 优。
30、选在 300mm 以下。 0048 在上述大型护罩 A 的保护膜 5 上设置余边 5a 时， 如图 3(a) 图 3(d) 或者图 4(a) 图 4(d) 所示， 可以在保护膜 5 的外缘的外侧突出设置宽度 W 为 6mm 以上、 长度 L 为 20mm 以上的余边 5a。 0049 即， 图 3(a) 是在不对大型护罩 A 的中央进行粘附的保护膜 5 的长边的外侧中央设 说 明 书 CN 102819184 A 7 6/7 页 8 置余边 5a 的结构， 图 3(b) 是在不对大型护罩 A 的中央进行粘附的保护膜 5 的短边的外侧 中央设置余边 5a 的结构。图 3(c) 是在不对大型护罩 。
31、A 的中央进行粘附的保护膜 5 的长边 和短边的各边外侧中央设置余边 5a 的结构， 并且图 3(d) 是在对大型护罩 A 的中央进行粘 附的保护膜 5 的长边和短边的各边外侧中央设置余边 5a 的结构。 0050 图 4(a) 是在不对大型护罩 A 的中央进行粘附的保护膜 5 的长边的外侧中央和短 边的几乎全部长度的外侧设置余边 5a 的结构， 图 4(b) 是在不对大型护罩 A 的中央进行粘 附的保护膜 5 的长边的几乎全部长度的外侧和短边的中央分别设置余边 5a 的结构。此外， 图 4(c) 的情况中， 在不对大型护罩 A 的中央进行粘附的保护膜 5 的长边和短边的几乎全部 长度连续设置。
32、余边 5a。图 4(d) 的情况中， 是在对大型护罩 A 的中央进行粘附的保护膜 5 的 长边和短边的几乎全部长度连续设置余边 5a 的结构。 0051 另外， 图 5 给出了保护膜的形状的例子。 0052 作为在本发明中使用的保护膜的材质， 优选使用聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、 聚 乙烯树脂等。另外， 对于保护膜的厚度， 优选使用厚度为 30m 500m 的保护膜。 0053 对于本发明中使用的箱体的材质， 可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、 丙烯 腈 - 丁二烯 - 苯乙烯树脂、 丙烯酸树脂、 聚碳酸酯树脂、 或聚氯乙烯树脂等树脂。另外， 也可 以使用防静电型树脂。特别优选使用出气量少的树脂。
33、。 0054 另外， 作为本发明中使用的胶带的基材， 可以使用例如聚乙烯、 聚丙烯、 聚对苯二 甲酸乙二醇酯、 聚氯乙烯或非织布等。另外， 作为胶带的粘合剂， 可以使用例如丙烯酸类的 粘合剂或聚乙烯醇等。此外， 作为胶带， 优选出气量少的胶带。另外， 也可以是实施了防静 电处理的胶带。 0055 本发明人使用具有如上所述的结构的本发明的大型护罩的收纳方法及其收纳结 构体进行了实验， 结果得到了如下实施例所示的良好结果。 0056 实施例 1 0057 将外形尺寸为 427mm294mm、 在保护膜 5 的长边和短边的中央部位分别设有尺寸 为 W 10mmL 100mm 的余边 5a 的大型护罩。
34、 A 放置在通过以 ABS 树脂材料进行真空成型得 到的箱体 B 的托盘 6 上， 利用胶带 9( 胶带尺寸 ： 15mm120mm) 将上述余边 5a 粘附固定在 托盘 6 上， 然后， 将盖子 7 盖在所述托盘 6 上， 在所述托盘 6 和盖子 7 的角部安装夹子 8 来 将两者固定。此时， 考虑到成型精度， 将大型护罩 A 的框架 1 和盖子 7 之间的间隔 D 保持在 3.6mm以上。 以这种状态进行长距离运送大型护罩的测试， 结果未发现在大型护罩A和箱体 B 之间出现摩擦， 并且， 在大型护罩 A 的护罩膜 3 上和框架 1 的周围的任意一处也未发现有 灰尘附着。而且， 大型护罩 A。
35、 以最初被放置的状态被保持固定。长距离运送测试的最大冲 击值是 10cm/s2。 0058 实施例 2 0059 将外形尺寸为 905mm750mm、 在保护膜 5 的长边和短边的中央部位分别设有尺寸 为 W 10mmL 100mm 的余边 5a 的大型护罩 A 放置在通过以 ABS 树脂材料进行真空成型得 到的箱体 B 的托盘 6 上， 利用胶带 9( 胶带尺寸 ： 15mm120mm) 将上述余边 5a 粘附固定在 托盘 6 上， 然后， 将盖子 7 盖在所述托盘 6 上， 在所述托盘 6 和盖子 7 的角部安装夹子 8 来 将两者固定。此时， 考虑到成型精度， 将大型护罩 A 的框架 1。
36、 和盖子 7 之间的间隔 D 保持在 3.6mm 以上。在与上述实施例 1 完全相同的条件下进行运送测试， 结果未发现在大型护罩 A 说 明 书 CN 102819184 A 8 7/7 页 9 和箱体 B 之间出现摩擦， 并且， 在大型护罩 A 的护罩膜 3 上和框架 1 的周围的任意一处也未 发现有灰尘附着。而且， 大型护罩 A 以与最初放置时同样的状态被稳定地保持固定在托盘 6 上。 0060 实施例 3 6 0061 将具有如下表 1 所示的护罩的外形尺寸以及设置于保护膜的长边和短边的中央 部的余边的尺寸 (WL) 的大型护罩 A 放置在通过以 ABS 树脂材料进行真空成型得到的箱 体。
37、 B 的托盘 6 上， 利用胶带 9 将上述余边 5a 粘附固定在托盘 6 上， 然后， 将盖子 7 盖在所述 托盘 6 上， 用带子将所述托盘 6 和盖子 7 的对接部位的四周进行密封。固定带尺寸以及大 型护罩 A 的框架 1 和盖子 7 之间的间隔 D 如下述表 1 所示。在与上述实施例 1 完全相同的 条件下对这些护罩箱体进行运送测试， 结果未发现在大型护罩A和箱体B之间出现摩擦， 并 且， 大型护罩 A 以与最初放置时同样的状态被稳定地保持固定在托盘 6 上。 0062 表 1 0063 实施例 护罩尺寸 余边尺寸 (WL) 间隔 D 固定带尺寸 3 427294 1070 15 15。
38、90 4 782474 1070 15 1590 5 905750 10500 30 15600 6 1136783 10500 30 15600 0064 单位 ： mm 0065 比较例 1 0066 将外形尺寸为 427mm294mm 的大型护罩 A 直接 ( 未使用胶带 9) 放置在通过以 ABS树脂材料进行真空成型得到的托盘6上， 然后， 将盖子7盖在托盘6上并用夹子8固定， 将盖子 7 与大型护罩 A 的框架 1 之间的间隔 D 保持在设计尺寸 0.5mm， 在这种状态下， 在与 上述实施例 1 相同的条件下进行运送测试， 结果发现在大型护罩 A 和盖子 7 之间出现摩擦 的痕迹，。
39、 并且， 发现在大型护罩 A 的护罩膜 3 的一部分上附着有细小的灰尘。 0067 比较例 2 0068 采用与比较例 1 相同的方式， 将外形尺寸为 427mm294mm 的大型护罩 A 直接放置 在托盘 6 上， 然后， 考虑到成型精度， 将盖在托盘 6 上的盖子 7 与大型护罩 A 的框架 1 之间 的间隔 D 保持在 3.6mm 以上， 在这种状态下， 在与实施例 1 相同的条件下进行运送测试， 结 果发现在大型护罩 A 和盖子 7 之间出现摩擦的痕迹。并且， 发现在大型护罩 A 的框架 1 的 周围附着有细小的灰尘。 0069 工业实用性 0070 只要使用本发明的大型护罩的收纳方法。
40、及其收纳结构体， 就可以将大型护罩以稳 定的状态收纳在箱体中并且可以无损伤地安全地运送大型护罩， 而与箱体的成型精度的高 低或是否出现变性的情况无关。 说 明 书 CN 102819184 A 9 1/5 页 10 图 1 说 明 书 附 图 CN 102819184 A 10 2/5 页 11 图 2 说 明 书 附 图 CN 102819184 A 11 3/5 页 12 图 3 说 明 书 附 图 CN 102819184 A 12 4/5 页 13 图 4 说 明 书 附 图 CN 102819184 A 13 5/5 页 14 图 5 说 明 书 附 图 CN 102819184 A 14 。