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本发明公开了一种缓蚀剂用组合物及其应用以及对设备进行酸洗的方法,所述缓蚀剂用组合物含有促进剂、硫氰酸盐、脂环胺型缓蚀剂和脲型缓蚀剂,其中,所述促进剂、硫氰酸盐、脂环胺型缓蚀剂和脲型缓蚀剂的重量比为10.25-50.25-51.25-12。本发明对设备进行酸洗的方法包括将含有上述缓蚀剂用组合物的酸洗液与设备进行接触。通过上述技术方案,本发明缓蚀剂用组合物中的各个组分能够互相协同地发挥作用,因此,本发。