《单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法.pdf（5页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 102313624 A (43)申请公布日 2012.01.11 CN 102313624 A *CN102313624A* (21)申请号 201110185321.X (22)申请日 2011.07.04 G01L 21/00(2006.01) (71)申请人 常州天合光能有限公司 地址 213031 江苏省常州市新北区电子产业 园天合路 2 号 (72)发明人 马赟 (74)专利代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 王凌霄 (54) 发明名称 单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制 方法 (57) 摘要 本发明涉及单晶炉检测设备技术领域， 特别 是。
2、单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方 法， 包括真空探头和真空压力传感器， 真空探头和 真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口 上， 真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接， 当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的 高压阀值 -95.0Kpa 时单晶炉报警输出回路发出 报警。本发明的有益效果是 ： 加装的真空压力传 感器， 在设备故障， 导致压力异常时及时报警， 防 止炉压异常造成的生产损失， 杜绝炉压过高时产 生的安全隐患。 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 CN 102313628。
3、 A1/1 页 2 1. 一种单晶炉真空管道压力检测报警系统， 其特征是 ： 包括真空探头 (1) 和真空压力 传感器 (2)， 真空探头 (1) 和真空压力传感器 (2) 通过三通装置 (3) 安装压力检测口上， 真 空压力传感器 (2) 与单晶炉报警输出回路 (4) 连接。 2. 根据权利要求 1 所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统， 其特征是 ： 所述的三通 装置 (3) 包括直通主管和直通主管侧面的支管， 直通主管的一端与压力检测口连接， 另一 端与真空探头 (1) 连接， 真空压力传感器 (2) 通过快拆法兰装置 (5) 与支管连接。 3. 根据权利要求 2 所述的单晶炉真空管道压。
4、力检测报警系统， 其特征是 ： 在所述的快 拆法兰装置 (5) 的法兰对接处安装粉尘过滤装置。 4. 根据权利要求 3 所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统， 其特征是 ： 所述的粉尘 过滤装置为带滤网的金属密封圈。 5. 一种权利要求 1 所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统的控制方法， 其特征是 ： 当真空压力传感器 (2) 检测到的压力信号超过设定的高压阀值 -95.0Kpa 时单晶炉报警输 出回路 (4) 发出报警。 权 利 要 求 书 CN 102313624 A CN 102313628 A1/2 页 3 单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法 技术领域 0001 本发明涉及单。
5、晶炉检测设备技术领域， 特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统 及其控制方法。 背景技术 0002 现有的单晶炉在排气管路中设置压力检测口， 压力检测口通过手阀开闭， 在压力 检测口上连接真空探头， 真空探头检测绝对压力 2700Pa 以下压力值， 压力检测范围小， 仅 可在设备正常工作时用于炉内拉晶工艺压力控制。 发明内容 0003 本发明所要解决的技术问题是 ： 提供一种单晶炉真空管道压力检测报警系统及其 控制方法， 在压力异常时及时报警。 0004 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是 ： 一种单晶炉真空管道压力检测报警 系统， 包括真空探头和真空压力传感器， 真空探头和真空压力传感器通。
6、过三通装置安装压 力检测口上， 真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接， 当真空压力传感器检测到的压 力信号超过设定的高压阀值 -95.0Kpa 时单晶炉报警输出回路发出报警。 0005 三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管， 直通主管的一端与压力检测口连 接， 另一端与真空探头连接， 真空压力传感器通过快拆法兰装置与支管连接。 0006 在快拆法兰装置的法兰对接处安装粉尘过滤装置。 0007 粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。 0008 一种单晶炉真空管道压力检测报警系统的控制方法， 当真空压力传感器检测到的 压力信号超过设定的高压阀值 -95.0Kpa 时单晶炉报警输出回路发出报警。 。
7、0009 本发明的有益效果是 ： 加装的真空压力传感器， 在设备故障， 导致压力异常时及时 报警， 防止炉压异常造成的生产损失， 杜绝炉压过高时产生的安全隐患。 附图说明 0010 下面结合附图和实施例对本发明进一步说明 ； 0011 图 1 是本发明的结构示意图 ； 0012 图中， 1. 真空探头， 2. 真空压力传感器， 3. 三通装置， 4. 单晶炉报警输出回路， 5. 快拆法兰装置。 具体实施方式 0013 如图1所示， 一种单晶炉真空管道压力检测报警系统， 包括真空探头1和真空压力 传感器 2， 真空探头 1 和真空压力传感器 2 通过三通装置 3 安装压力检测口上， 真空压力传 。
8、感器 2 与单晶炉报警输出回路 4 连接， 当真空压力传感器 2 检测到的压力信号超过设定的 高压阀值 -95.0Kpa 时单晶炉报警输出回路 4 发出报警。真空探头 1 检测绝对压力 2700Pa 说 明 书 CN 102313624 A CN 102313628 A2/2 页 4 以下压力值， 用于炉内拉晶工艺压力控制。真空压力传感器 2 检测标准大气压 101KPa 至 -101KPa 压力值， 是在真空探头 1 的压力检测区间外增加的检测部件。 0014 三通装置 3 包括直通主管和直通主管侧面的支管， 直通主管的一端与压力检测口 连接， 另一端与真空探头 1 连接， 真空压力传感器 2 通过快拆法兰装置 5 与支管连接。 0015 在快拆法兰装置 5 的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金 属密封圈。 说 明 书 CN 102313624 A CN 102313628 A1/1 页 5 图 1 说 明 书 附 图 CN 102313624 A 。