剥离法薄膜附着力的测量装置.pdf

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摘要
申请专利号:

CN200410024821.5

申请日:

2004.06.01

公开号:

CN1584548A

公开日:

2005.02.23

当前法律状态:

终止

有效性:

无权

法律详情:

未缴年费专利权终止IPC(主分类):G01N 19/04申请日:20040601授权公告日:20060405终止日期:20100601|||授权|||实质审查的生效|||公开

IPC分类号:

G01N19/04

主分类号:

G01N19/04

申请人:

中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人:

张东平; 黄建兵; 齐红基; 赵元安; 张大伟; 邵建达; 范正修

地址:

201800上海市800-211邮政信箱

优先权:

专利代理机构:

上海新天专利代理有限公司

代理人:

张泽纯

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内容摘要

一种剥离法薄膜附着力测量装置,其特征在于它由支架、螺杆、螺母、弹簧和测量小砧组成,支架上下横框中心同一轴线上分别设有“”形上通孔和圆形下通孔,横截面为“”形的螺杆下端设有圆孔,竖直平面上设有标尺,带有较长手柄的螺母的螺孔四周设有等分圆周的刻度,测量小砧上端设有圆孔,螺杆穿过上通孔,测量小砧穿过圆形下通孔,弹簧两端分别钩挂在螺杆的圆孔和测量小砧的圆孔中。该装置具有结构简单、操作方便、价格低廉的特点。

权利要求书

1: 一种剥离法薄膜附着力测量装置,其特征在于它由支架(1)、 螺杆(4)、螺母(10)、弹簧(7)和测量小砧(8)组成,支架(1)上 下横框中心同一轴线上分别设有 形上通孔(2)和圆形下通孔(3), 横截面为 形的螺杆(4)下端设有圆孔(6),竖直平面上设有标 尺(5),带有较长手柄(11)的螺母(10)的螺孔四周设有等分圆周的 刻度(12),测量小砧(8)上端设有圆孔(9),螺杆(4)穿过上通孔 (2),测量小砧(8)穿过圆形下通孔(3),弹簧(7)两端分别钩挂在 螺杆(4)的圆孔(6)和测量小砧(8)的圆孔(9)中。
2: 根据权利要求1所述的剥离法薄膜附着力测量装置,其特征在 于所述的测量小砧(8)的横截面可以为圆形、方形或其他形状。
3: 根据权利要求1所述的剥离法薄膜附着力测量装置,其特征在 于所述的螺母(10)只需与螺杆(4)匹配即可,外形可以为任意形状。

说明书


剥离法薄膜附着力的测量装置

    【技术领域】

    本发明与薄膜有关,特别是一种剥离法薄膜附着力的测量装置。

    技术背景

    薄膜的附着力就是把薄膜静态地从基片上剥落下来所需要的最小力。它是表征薄膜与基片粘着程度的物理量,与薄膜的耐久性、耐磨性及机械稳定性紧密相关,薄膜附着力的大小直接关系到薄膜元件的使用寿命,因此在薄膜研究中对其附着力大小进行测量显得非常重要。剥离法是最直接的一种薄膜附着力测量方法,现在常用的是胶带剥离法,就是通过拉粘着在薄膜表面的胶带,看薄膜被胶带剥离下来的面积大小。显然这种方法比较粗糙,只能定性的说明薄膜附着力的大小,不能进行定量测量,而且对附着力较强的介质膜,因胶带很难把薄膜剥离,所以无法测量。对薄膜附着力进行定量测量的难点在于薄膜被剥落瞬间所施力的大小很难测量,现有的剥离法附着力测量仪一般是通过力电传感器和计算机信号采集等现代手段测量的,这样地仪器不但结构复杂,操作不便,而且价格昂贵,很难普遍推广。所以研究一种结构简单、操作方便、价格低廉的薄膜附着力测量仪是非常必要的。

    【发明内容】

    本发明的目的在于克服上述现有技术的缺点,提供一种剥离法薄膜附着力的测量装置,该装置应结构简单、操作方便、价格低廉。

    本发明的解决解决方案如下:

    一种剥离法薄膜附着力测量装置,其特征在于它由支架、螺杆、螺母、弹簧和测量小砧组成,支架上下横框中心同一轴线上分别设有形上通孔和圆形下通孔,横截面为形的螺杆下端设有圆孔,竖直平面上设有标尺,带有较长手柄的螺母的螺孔四周设有等分圆周的刻度,测量小砧上端设有圆孔,螺杆穿过上通孔,测量小砧穿过圆形下通孔,弹簧两端分别钩挂在螺杆的圆孔和测量小砧的圆孔中。

    所述的测量小砧的横截面可以为圆形、方形或其他形状。

    所述的螺母只需与螺杆匹配即可,外形可以为任意形状。

    本发明的优点:

    1.本发明的测量支架(1)上光孔(2)及螺杆(4)端面形状均为形,避免了在测量过程中因为螺杆转动而在薄膜上附加一个横向的剪切力而给测量结果带来误差,提高了测量结果的准确性。

    2.本发明装置中的弹簧(7)可以根据测量不同性质的薄膜而进行更换和选择。

    3.本发明的螺杆(4)和螺母(10)上均设有标尺和刻度,构成一个螺旋测微计,对弹簧伸长的测量非常准确。

    4.本发明不但可以用于测量薄膜的附着力,也可以应用于其他需要附着力测量的地方。

    5.本发明的结构简单、操作方便、成本低廉,便于推广使用

    【附图说明】

    图1是本发明剥离法薄膜附着力的测量装置整体构造示意图

    图2.是本发明剥离法薄膜附着力的测量装置测量支架示意图

    图3.是本发明剥离法薄膜附着力的测量装置螺杆示意图

    图4.是本发明剥离法薄膜附着力的测量装置螺杆横截面和上通孔形状示意图

    图5是本发明剥离法薄膜附着力的测量装置.螺母示意图

    图6.是本发明剥离法薄膜附着力的测量装置弹簧示意图

    图7是本发明剥离法薄膜附着力的测量装置测量小砧示意图

    【具体实施方式】

    先请参阅图1,图1是本发明剥离法薄膜附着力的测量装置整体构造示意图,由图可见,本发明剥离法薄膜附着力的测量装置选用钢作为制作材料,避免测量中因为形变带来的仪器误差。该装置基本结构主要由测量支架1(图2、螺杆4(图3)、螺母10(图5)、弹簧7(图6)和测量小砧8(图7)组成。测量支架1由方钢中心镂空制成,在测量支架1上边开有形上通孔2,在测量支架1下边与上通孔2同一轴线位置设有圆形下通孔3。螺杆4的横截面也为形,见图3和图4,其直径比上通孔2略小,在上通孔2中螺杆4可以自由上下滑动,在螺杆竖直切面上设有标尺5,在螺杆4下端垂直竖直切面位置设有圆孔6,以便钩挂弹簧7。弹簧7为已知倔强系数两端有钩的拉簧。圆柱形测量小砧8直径比下通孔3直径略小,且可以在下通孔3中自由上下滑动,测量小砧8上端也设有圆孔9,以便钩挂弹簧7。螺母10与螺杆4匹配,且具有较长手柄11,在螺母上表面螺孔四周有均分的刻度12。

    安装和使用方法:

    首先用环氧树脂将薄膜样品13粘在测量小砧8的下端,等环氧树脂固化后将小砧8穿过光孔3,螺杆4穿过上通孔2,弹簧7分别钩挂在螺杆4的圆孔6和测量小砧8的圆孔9中,螺母10从测量支架1外边拧在螺杆上,并使弹簧7自由伸长,由标尺5记下螺杆4的初始位置。该初始位置的定义为薄膜样品13与测量支架1底面刚接触而无作用力时,螺母10上表面所对应的刻度。然后缓慢拧螺母10,直至刚好使薄膜剥离时停止,螺母10上表面所对应标尺5的刻度,即为终止位置。螺杆4的初始和终止位置之差即为弹簧7的伸长量,根据虎克定律计算出薄膜刚好被剥离时所施加的力,再用此力除以测量小砧8端面的面积就得到薄膜的附着力(帕)。

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一种剥离法薄膜附着力测量装置,其特征在于它由支架、螺杆、螺母、弹簧和测量小砧组成,支架上下横框中心同一轴线上分别设有“”形上通孔和圆形下通孔,横截面为“”形的螺杆下端设有圆孔,竖直平面上设有标尺,带有较长手柄的螺母的螺孔四周设有等分圆周的刻度,测量小砧上端设有圆孔,螺杆穿过上通孔,测量小砧穿过圆形下通孔,弹簧两端分别钩挂在螺杆的圆孔和测量小砧的圆孔中。该装置具有结构简单、操作方便、价格低廉的特点。。

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