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1、(10)申请公布号 CN 102867719 A (43)申请公布日 2013.01.09 CN 102867719 A *CN102867719A* (21)申请号 201110186465.7 (22)申请日 2011.07.05 H01J 37/08(2006.01) H01J 37/317(2006.01) (71)申请人 北京中科信电子装备有限公司 地址 101111 北京市中关村科技园通州园光 机电一体化产业基地兴光二街六号 (72)发明人 胡宝富 唐景庭 伍三忠 (54) 发明名称 一种离子源的绝缘装置 (57) 摘要 本发明公开了一种用于离子注入机的离子源 绝缘装置。 一种离子。
2、注入机用离子源， 可以产生宽 带束或扁状带束， 为使其正常工作发明一种绝缘 装置， 以隔离高压电位和地电位。主要包括 ： 离子 源 1、 法兰联接杆 2、 源安装法兰 3、 引出绝缘环 4、 源法兰 5、 屏蔽筒 6 和真空室 7 等。该装置特征在 于， 采用特别的引出绝缘环4安装于源安装法兰3 和源法兰5之间， 且源安装法兰3和源法兰5间采 用法兰联接杆 2 联接， 可以很好的保护高压电位 和地电位。说明书对装置工作原理进行了详细的 说明， 并给出了具体的实施方案。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专。
3、利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 2 页 1/1 页 2 1. 一种用于离子注入机的离子源绝缘装置， 和离子注入机用离子源一起使用。该离子 源可以产生宽带束或扁状带束。该装置为使其正常工作隔离高压电位和地电位。该装置主 要包括 ： 离子源 (1)、 法兰联接杆 (2)、 源安装法兰 (3)、 引出绝缘环 (4)、 源法兰 (5)、 屏蔽筒 (6) 和真空室 (7) 等。 2. 如权力要求 1 所述的一种用于离子注入机的离子源绝缘装置， 该装置特征在于， 采 用特别的引出绝缘环 (4) 安装于源安装法兰 (3) 和源法兰 (5) 之间， 可以很好的保护高压 电位和地电位。 3. 。
4、如权力要求 1 所述的一种用于离子注入机的离子源绝缘装置， 该装置特征在于， 源 安装法兰 (3) 和源法兰 (5) 间利用法兰联接杆 (2) 联接。 4. 如权力要求 2 所述的一种用于离子注入机的离子源绝缘装置， 其特征在于 ： 引出绝 缘环 (4) 采用绝缘材料加工， 内表面形成规则起伏的形状， 用于增加表面面积。 5. 如权力要求 3 所述的一种用于离子注入机的离子源绝缘装置， 其特征在于 ： 法兰联 接杆 (2) 采用绝缘材料制造。 权 利 要 求 书 CN 102867719 A 2 1/2 页 3 一种离子源的绝缘装置 技术领域 0001 本发明涉及一种离子源绝缘装置， 特别适合。
5、于半导体工艺设备中的离子注入机。 背景技术 0002 离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备， 离子源产生需要掺杂的离子 束， 离子束再经过质量分析、 校正、 加速， 传输到处于靶室终端工艺腔体的硅片表面。 0003 随着半导体器件集成度越来越高， 半导体工艺设备越来越复杂， 对离子源的的束 流要求也越来越高。对于注入工艺， 低能量大速流的离子注入机是发展的方向。适用于该 类离子注入机的离子源需要产生宽带束或扁状带束。 本发明正是基于应用该类离子源而设 计。 发明内容 0004 针对现有半导体工艺中离子注入机设备发展的要求， 本发明设计一种用于离子注 入机离子源的绝缘装置。该装置涉及到一种。
6、引出绝缘环， 用于离子源与地电位的隔离。引 出绝缘环从设计角度保护离子源高电位， 实现电隔离。 0005 该装置亦涉及到引出绝缘环两端的法兰联接方式， 该联接方式是采用一种绝缘材 料制造的联接杆， 并将联接杆阵列分布在引出绝缘环周围。 0006 该装置亦设计到一种屏蔽筒设计， 其可以防止金属颗粒进入并附着在引出绝缘环 内表面。 0007 本发明有以下几个显著特点 ： 0008 1. 绝缘效果明显 ； 0009 2. 结构简单， 便于加工制造 ； 附图说明 0010 图 1 是一种用于离子源绝缘装置组件的正视图和剖视图。 0011 图 2 是引出绝缘环的正视图和剖视图。 具体实施方式 0012 。
7、下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍， 但不作为对本发明专利的限 定。 0013 本发明公开了一种用于离子注入机的离子源绝缘装置， 如图 1 所示， 和离子注入 机用离子源一起使用。该离子源可以产生宽带束或扁状带束。该装置为使其正常工作隔离 高压电位和地电位。该装置主要包括 ： 离子源 (1)、 法兰联接杆 (2)、 源安装法兰 (3)、 引出 绝缘环 (4)、 源法兰 (5)、 屏蔽筒 (6) 和真空室 (7) 等。 0014 如图 1 所示， 引出绝缘环 (4) 安装于源安装法兰 (3) 和源法兰 (5) 之间， 可以很好 的保护高压电位和地电位。如图 2 中所示， 引出绝缘环 (。
8、4) 采用绝缘材料加工， 内表面形成 说 明 书 CN 102867719 A 3 2/2 页 4 规则起伏的形状， 用于增加表面面积， 避免积尘， 产生爬电。 0015 源安装法兰 (3) 和源法兰 (5) 间利用法兰联接杆 (2) 联接， 法兰联接杆 (2) 采用 抗拉强度较强的绝缘材料， 并均匀分布在引出绝缘环 (4) 的周围。 0016 源安装法兰 (5) 用于安装离子源 (1)， 其近引出绝缘环端面呈圆弧状， 以避免其在 绝缘环内产生放电现象。 0017 源法兰 (5) 用于引出绝缘环 (4) 联接真空室 (7)。 0018 屏蔽筒 (6) 安装与引出绝缘环 (4) 的内侧， 固定于源法兰之上 ； 其呈椭圆形状， 并 在非安装端加工成圆弧状， 以避免其在绝缘环内产生放电现象。 0019 本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。 对本领域一般技术人员而 言， 在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动， 都构成对本发明专利 的侵犯， 将承担相应的法律责任。 说 明 书 CN 102867719 A 4 1/2 页 5 图 1 说 明 书 附 图 CN 102867719 A 5 2/2 页 6 图 2 说 明 书 附 图 CN 102867719 A 6 。