光活性化合物及包含其的光敏树脂组合物.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 104066741 A (43)申请公布日 2014.09.24 C N 1 0 4 0 6 6 7 4 1 A (21)申请号 201380006359.3 (22)申请日 2013.05.22 10-2012-0057757 2012.05.30 KR 10-2013-0054473 2013.05.14 KR C07F 9/36(2006.01) G03F 7/004(2006.01) H01L 29/786(2006.01) (71)申请人株式会社LG化学 地址韩国首尔 (72)发明人赵昌镐 金星炫 金汉修 金善花 R卡巴施 朴钟镐 (74)专利代理机构北京北。

2、翔知识产权代理有限 公司 11285 代理人王媛 钟守期 (54) 发明名称 光活性化合物及包含其的光敏树脂组合物 (57) 摘要 本申请涉及一种同时包含肟酯基和膦酸酯基 的光活性化合物，和包含其的光敏树脂组合物，本 申请的化合物具有优异的储存稳定度和高温处理 特性。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2014.07.23 (86)PCT国际申请 的申请数据 PCT/KR2013/004496 2013.05.22 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2013/180419 KO 2013.12.05 (51)Int.Cl. 权利要求书5页 说明书17页 (19)中华。

3、人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书5页 说明书17页 (10)申请公布号 CN 104066741 A CN 104066741 A 1/5页 2 1.一种由式l表示的光活性化合物， 式1 在式1中， Y为C 1 -C 15 亚烷基，其未被取代或被1个以上取代基取代，所述取代基选自R、OR、SR、 COR和OCOR， M 1 为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基， R 1 为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基， R 2 至R 6 中的至少一个为XA，且其余基团各自独立地选自卤素基团、CN、R、OR、SR、COR、 OCOR、NRR和CONRR。

4、， X为直接键连；或选自CO、O、S、SO和SO 2 ， A为C 6 -C 20 芳基，其未被取代或被1个以上取代基取代，所述取代基选自卤素基团、CN、 R、OR、SR、COR、OCOR、NRR和CONRR， R和R各自独立地选自氢、C 1 -C 10 烷基、C 1 -C 10 卤代烷基和C 7 -C 13 芳烷基，或R和R可 共同形成环。 2.权利要求1的光活性化合物，其中式1为式2， 式2 在式2中， Y为C 1 -C 15 亚烷基，其未被取代或被1个以上取代基取代，所述取代基选自R、OR、SR、 COR和OCOR， M 1 为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基， R 1 为。

5、C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基， X为直接键连，或选自CO、O、S、SO和SO 2 ， R 2 、R 3 、R 5 、R 6 、R 7 、R 8 、R 9 、R 10 和R 11 各自独立地选自卤素基团、CN、R、OR、SR、COR、OCOR、 NRR和CONRR， R和R各自独立地选自氢、C 1 -C 10 烷基、C 1 -C 10 卤代烷基和C 7 -C 13 芳烷基，或R和R可 共同形成环。 权 利 要 求 书CN 104066741 A 2/5页 3 3.权利要求1的光活性化合物，其中式1为式3至式6中的任意一个， 式3 式4 式5 式6 4.一种光敏树脂组合物，其包。

6、含： 式1表示的光活性化合物； 碱溶性粘合剂树脂； 包含烯键式不饱和键的可聚合化合物；和 溶剂， 式1 权 利 要 求 书CN 104066741 A 3/5页 4 在式1中， Y为C 1 -C 15 亚烷基，其未被取代或被1个以上取代基取代，所述取代基选自R、OR、SR、 COR和OCOR， M 1 为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基， R 1 为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基， R 2 至R 6 中的至少一个为XA，其余基团各自独立地选自卤素基团、CN、R、OR、SR、COR、 OCOR、NRR和CONRR， X为直接键连、或选自CO、O、S、SO和SO 。

7、2 ， A为C 6 -C 20 芳基，其未被取代或被1个以上取代基取代，所述取代基选自卤素基团、CN、 R、OR、SR、COR、OCOR、NRR和CONRR， R和R各自独立地选自氢、C 1 -C 10 烷基、C 1 -C 10 卤代烷基和C 7 -C 13 芳烷基，或R和R可 共同形成环。 5.权利要求4的光敏树脂组合物，其中式1为式2， 式2 在式2中， Y为C 1 -C 15 亚烷基，其未被取代或被1个以上取代基取代，所述取代基选自R、OR、SR、 COR和OCOR， M 1 为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基， R 1 为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基。

8、， X为直接键连，或选自CO、O、S、SO和SO 2 ， R 2 、R 3 、R 5 、R 6 、R 7 、R 8 、R 9 、R 10 和R 11 各自独立地选自卤素基团、CN、R、OR、SR、COR、OCOR、 NRR和CONRR， R和R各自独立地选自氢、C 1 -C 10 烷基、C 1 -C 10 卤代烷基和C 7 -C 13 芳烷基，或R和R可 共同形成环。 6.权利要求4的光敏树脂组合物，其中式1为式3至式6中的任意一个， 式3 权 利 要 求 书CN 104066741 A 4/5页 5 式4 式5 式6 7.权利要求4的光敏树脂组合物，其中所述碱溶性粘合剂树脂的酸值范围为30至。

9、 300KOH mg/g。 8.权利要求4的光敏树脂组合物，其中所述碱溶性粘合剂树脂的重均分子量范围为 1,000至200,000。 9.权利要求4的光敏树脂组合物，其中基于所述光敏树脂组合物的总重量计，式1的光 活性化合物的含量范围为0.1至5重量。 10.权利要求4的光敏树脂组合物，其中基于所述光敏树脂组合物的总重量计，所述碱 溶性粘合剂树脂的含量范围为1至30重量。 11.权利要求4的光敏树脂组合物，其中基于所述光敏树脂组合物的总重量计，包含烯 键式不饱和键的可聚合化合物的含量范围为0.5至30重量。 12.权利要求4的光敏树脂组合物，其中基于所述光敏树脂组合物的总重量计，溶剂的 含量范。

10、围为40至95重量。 13.权利要求4的光敏树脂组合物，还包含：着色剂。 权 利 要 求 书CN 104066741 A 5/5页 6 14.权利要求13的光敏树脂组合物，其中基于所述光敏树脂组合物的总重量计，着色 剂的含量范围为1至20重量。 15.权利要求4的光敏树脂组合物，还包含：第二种光活性化合物。 16.权利要求15的光敏树脂组合物，其中基于所述光敏树脂组合物的总重量计，所述 第二种光活性化合物的含量范围为0.1至5重量。 17.权利要求4的光敏树脂组合物，还包含： 一种、二种或更多种添加剂，所述添加剂选自固化促进剂、热聚合抑制剂、分散剂、抗氧 化剂、紫外线吸收剂、流平剂、光敏剂、塑。

11、化剂、粘合促进剂、填料和表面活性剂。 18.权利要求17的光敏树脂组合物，其中基于所述光敏树脂组合物的总重量计，各添 加剂的含量范围为0.01至5重量。 19.一种光敏材料，其通过使用权利要求4至18中任一项的光敏树脂组合物而制备。 20.权利要求19的光敏材料，其中所述光敏材料选自用于制造TFT LCD彩色滤光片的 颜料分散型光敏材料、用于形成TFT LCD的黑底或形成有机发光二极管的黑底的光敏材料、 用于形成覆盖层的光敏材料、柱状间隔物的光敏材料、用于印刷电路板的光敏材料。 21.一种电子器件，其通过使用权利要求4至18中任一项的光敏树脂组合物而制造。 权 利 要 求 书CN 104066。

12、741 A 1/17页 7 光活性化合物及包含其的光敏树脂组合物 发明领域 0001 本申请要求于2012年5月30日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第 10-2012-0057757号以及于2013年5月14日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第 10-2013-0054473号的优先权，其全部内容以参引的方式纳入本说明书。 0002 本申请涉及一种包含肟酯(oxime ester)基及膦酸酯基的光活性化合物，以及包 含其的光敏树脂组合物。 0003 发明背景 0004 本申请涉及一种包含肟酯基及膦酸酯基的光活性化合物，以及包含其的光敏树脂 组合物。 0005 光敏树脂组合物可用于形成一种。

13、图案，所述图案通过如下方式形成：将光敏树脂 组合物施用在基板上以形成一种涂层薄膜，并且，使用掩膜等将该涂膜的一部分曝露于光 辐射，之后，使用显影移除未曝露的区域。由于光敏树脂组合物可借由光照来聚合或固化， 因此这些光敏树脂组合物通常用于光固化油墨、光敏印刷板、各种光阻、用于液晶显示器 (LCD)的彩色滤光片、用作树脂黑底(black matrix)的光阻或透明光敏材料。 0006 这些材料中，透明光敏树脂组合物一般用于柱状间隔物、覆盖层及钝化膜，一般不 使用有色化合物例如颜料，并且，所述透明光敏树脂组合物包含碱溶性树脂、含有烯键式不 饱和键的可聚合化合物、光聚合引发剂和溶剂。 0007 这些材。

14、料中，有色光敏树脂组合物用于彩色滤光片的光阻和树脂黑底的光阻，所 述有色光敏树脂组合物一般包括红色、绿色、蓝色或黑色着色剂、碱溶性树脂、含有烯键式 不饱和键的可聚合化合物、光聚合引发剂和溶剂。 0008 随着LCD应用的高品质化及多样化，除了一般用途例如用于笔记本电脑、移动设 备之外，光敏树脂组合物生产为用于构成电视和监视器的液晶显示器件，并且，为了提高 生产效率和电阻，对光反应快速且具有优异机械性能的组合物的需求增加。当使用光刻法 形成图案时或者当通过全曝光形成绝缘保护膜时，对光反应快速的特性换言之，光敏 性日益成为一个发挥非常重要作用的因素。此外，起支撑作用的柱状间隔物或起到保 护膜作用的。

15、覆盖层及钝化膜应具有优异的机械性能，以使液晶显示设备不因来自外部的震 动而受损，并保持原来的性能。 0009 因此，可使用具有优异光敏性的光聚合引发剂来解决这些问题。当使用具有极佳 光敏性的光聚合引发剂时，即使使用少量的光聚合引发剂亦可实现足够的光敏性，因而优 势在于，当制备一种组合物时，其他原料的可用性范围增加，由液晶引起的污染降低且图案 保持率增加。 0010 因此，亟需开发一种光聚合引发剂，所述光聚合引发剂即使仅少量使用也能有效 地吸收UV光源，并且具有优异的光敏性及高温加工特性。 发明内容 0011 技术问题 说 明 书CN 104066741 A 2/17页 8 0012 鉴于此，本。

16、申请的目的在于提供一种新的光活性化合物，所述光活性化合物能够 克服传统光聚合引发剂的所有缺点，易于存储且不会降低光敏性、耐化学性或显影性，并且 在高温过程中具有优异的烟雾(fume)特性，本发明的目的还在于提供包含所述光活性化 合物的光敏树脂组合物。 0013 技术方案 0014 本申请的一个实施方案提供一种由式1表示的光活性化合物。 0015 式1 0016 0017 在式1中， 0018 Y为C 1 -C 15 亚烷基，其未被取代或被1个以上取代基取代，所述取代基选自R、OR、 SR、COR和OCOR； 0019 M 1 为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基； 0020 R 。

17、1 为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基； 0021 R 2 至R 6 中的至少一个为XA，且其余基团各自独立地选自卤素基团、CN、R、OR、SR、 COR、OCOR、NRR和CONRR； 0022 X为直接键连或选自CO、O、S、SO和SO 2 ； 0023 A为C 6 -C 20 芳基，其未被取代或被1个以上取代基取代，所述取代基选自卤素基团、 CN、R、OR、SR、COR、OCOR、NRR和CONRR； 0024 R和R各自独立地选自氢、C 1 -C 10 烷基、C 1 -C 10 卤代烷基和C 7 -C 13 芳烷基，或R和R 可共同形成一个环。 0025 本申请的另一实。

18、施方案提供一种光敏树脂组合物，其包含由式1表示的光活性化 合物、碱溶性粘合剂树脂、含有烯键式不饱和键的可聚合化合物和溶剂。 0026 本申请的另一实施方案提供一种使用光敏树脂组合物制备的光敏材料。 0027 本申请的另一实施方案提供一种使用光敏树脂组合物制造的电子器件。 0028 发明效果 0029 通过本申请提供的化合物易于存储且不会降低灵敏性、耐化学性或显影性，并且 在高温过程中具有优异的防止烟雾产生的特性。因此，本申请的光敏树脂组合物有利于生 产电子器件，且有利于制备液晶显示设备的柱状间隔物、覆盖涂层和钝化材料。 具体实施方式 0030 参考下文详细描述的实施方案，可清楚地理解本申请的优。

19、势和特征，以及实现这 些优势和特征的方法。然而，本申请不限于下述实施方案，并且，应理解，可以多种不同形式 实现本申请，并且本申请的实施方案使本申请的记载更为完整，并且提供这些实施方案是 为了使本申请相关领域的普通技术人员完全知晓本发明的范围，本申请的保护范围仅仅由 说 明 书CN 104066741 A 3/17页 9 权利要求限定。 0031 除另有说明外，本文中所使用的所有术语(包括技术和科学术语)均依据本申请 相关领域的普通技术人员一般可理解的含义使用。此外，除另有明确定义外，不应理想化地 或过多地解释为通常使用的字典定义的术语。 0032 下文中，将详细描述本申请。 0033 本申请的。

20、发明人已合成一种化合物，所述化合物具有在一个分子内同时含有肟酯 基和膦酸酯基的结构，并且，本申请的发明人已证实，与其他已知的光敏引发剂相比，所述 化合物可有效吸收紫外线且具有优异的灵敏性和高温加工特性。 0034 现有的含有肟酯基的光活性化合物具有如下缺点。 0035 关于含有肟酯基结构的光敏引发剂，已开发出使用-氧代肟衍生物(日本专利 申请公开第S61-118423号)、和-氨基肟(美国专利第5,776,996号)等的光敏引发剂。 0036 然而，在上述使用的肟衍生化合物中，早期开发的化合物的光引发效率低，且当彩 色特性较好时，对UV光源的吸收效率差。自20世纪90年代后期开发的化合物的光引。

21、发效 率已显著提高，但仍不足以满足缩短加工时间的要求，这一要求近来日益迫切。具体而言， 这些化合物无法满足含有高颜料浓度的厚膜或厚度为2.5m以上的涂膜的固化程度，因 而仍难以形成精细图案，且所形成的图案无法满足产品所需的临界尺寸(CD)或机械强度 的要求。 0037 在本领域中已知的肟衍生化合物的缺点在于，光引发效率低，加工时间不佳，机械 强度差或储存稳定性差。 0038 由BASF公司生产且近来已商业化的肟酯类光聚合引发剂Irgacure OXE01和 Irgacure OXE02具有显著改善的灵敏性，且因其有关光敏树脂组合物的应用而引起关注。 然而，这些光聚合引发剂十分昂贵，无法以足够量。

22、经济地使用以得到足够的灵敏性，并且这 些光聚合引发剂本身的储存稳定性差。 0039 相比于传统的肟酯类光聚合引发剂，本申请的一个实施方案的光活性化合物的优 点在于，其具有优异的光引发效率、缩短的加工时间、优异的机械强度、优异的经济优势、改 善的储存稳定性、优异的显影能力。此外，本申请的一个实施方案的光活性化合物的优势在 于，其具有优异的灵敏性且随时间稳定，原因在于其对含有烯键式不饱和键的可聚合化合 物具有足够的溶解度。此外，本申请的一个实施方案的光活性化合物的优势在于，其通过有 效吸收i-line(365nm)的紫外光而高效地生成自由基，具有优异的溶解度和与粘合剂的相 容性，且具有优异的高温加。

23、工特性。 0040 本申请的一个实施方案提供由式1表示的光活性化合物。 0041 式1 0042 说 明 书CN 104066741 A 4/17页 10 0043 在本申请的一个实施方案的化合物中，式1可为式2。 0044 式2 0045 0046 在本申请的一个实施方案的化合物中，式1和式2的取代基更加具体地描述如下。 0047 Y可为C l -C 15 亚烷基；或为被1个以上取代基取代的C 1 -C 15 亚烷基，所述取代基选 自R、OR、SR、COR和OCOR；优选为C 2 -C 6 亚烷基。就溶解度和相容性而言，Y更优选为亚乙基 或亚丙基。 0048 M 1 可为C 1 -C 8 烷。

24、基或C 6 -C 12 芳基；优选为C 1 -C 10 烷基，更优选为甲基或乙基。 0049 R 1 可为C 1 -C 8 烷基或C 6 -C 12 芳基；优选为甲基或苯基。当曝光时，R l 为分解成自由 基的部分，其为活性基团，且不特别限制R 1 的结构，然而，当R 1 结构较为简单时，由于移动性 较好，因而光引发效率得到提高。 0050 R 2 至R 6 中的至少一个可为XA，且优选R 4 可为XA。R 2 至R 6 中非XA的其余基团可 各自独立地选自卤素基团、CN、R、OR、SR、COR、OCOR、NRR和CONRR。 0051 X可为直接键连，或可选自CO、O、S、SO和SO 2 ，。

25、优选为O或S。 0052 在式1中，A为未被取代或被1个以上取代基取代的C 6 -C 20 芳基，所述取代基选自 卤素基团、CN、R、OR、SR、COR、OCOR、NRR和CONRR，并且优选为未被取代或被1个以上取 代基取代的苯基，所述取代基选自卤素基团、CN、R、OR、SR、COR、OCOR、NRR和CONRR。 0053 在式2中，对应于A的取代基为R 7 、R 8 、R 9 、R 10 或R 11 。R 7 、R 8 、R 9 、R 10 和R 11 可各自独 立地选自卤素基团、CN、R、OR、SR、COR、OCOR、NRR和CONRR。 0054 R和R可各自独立地选自氢、C 1 -。

26、C 10 烷基、C 1 -C 10 卤代烷基和C 7 -C 13 芳烷基，或R和 R可共同形成一个环。当R和R共同形成一个环时，可形成五元环、六元环或七元环，并且 所述环可为单环或多环，且可为芳族环、脂族环、杂芳族环、或脂族杂环。 0055 卤素基团可为氟、氯、溴或碘。 0056 芳基可为单环芳基或多环芳基。 0057 当芳基为单环芳基时，该单环芳基可具体包括苯基、联苯基、三联苯基、芪基等，但 说 明 书CN 104066741 A 10 5/17页 11 不限于此。 0058 当芳基为多环芳基时，该多环芳基可具体包括萘基、蒽基、菲基、芘基、苝基、 基、芴基等，但不限于此。 0059 烷基可为。

27、直链、支链或环。烷基的具体实例可包括甲基、乙基、正丙基、异丙基、正 丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、新戊基、正己基、环丙基、环丁基、环戊基、环己基等， 但不限于此。 0060 烷氧基可为直链、支链或环，且被取代或未被取代。烷氧基的实例可包括甲氧基、 乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、环戊氧基等，但不限于此。 0061 亚烷基可为直链或支链，且可被取代或未被取代。亚烷基的具体实例可包括亚甲 基、亚乙基、亚丙基、亚异丙基、亚丁基、亚叔丁基等，但不限于此。 0062 本文中使用的术语“被取代或未被取代”意指被1个以上取代基取代，或不含有取 代基。 0063 在式1或式2中，取代基未特别定义。

28、的部分可为氢。 0064 由式1或式2表示的本申请的光活性化合物在其结构中包含肟酯基和膦酸酯基 (-Y-PO(OM l ) 2 )，且包含被取代或未被取代的苯基。 0065 膦酸酯基增加由式1或式2表示的化合物的溶解度，并通过与光敏树脂组合物中 的碱溶性粘合剂树脂形成氢键等来提高光敏树脂组合物的溶解度并降低挥发性，因此与粘 合剂树脂有高相容性。 0066 由于由式1或式2表示的本申请的光活性化合物的沸点高，其优点在于易储存和 有效防止在高温加工中烟雾的产生。以制备彩色滤光片为例，当使用包含常规光活性化合 物的光敏树脂组合物时，由于在曝光过程中产生烟雾，并且所述烟雾挥发到空气中随后会 粘附在例如。

29、掩膜的部件上，因而可能会产生缺陷。由于在烘烤过程中产生烟雾，且所述烟雾 粘附于烘箱壁上并随后在发生脱离时成为异物，因而也可产生缺陷。然而，当使用包含本申 请的光活性化合物的光敏树脂组合物时，优点在于，由于有效地防止在高温过程产生烟雾， 因此在曝光或烘烤过程中可避免产生缺陷。 0067 在本申请的一个实施方案的化合物中，由式1或式2表示的化合物的具体实例如 下，然而，实例不限于此。 0068 式3 0069 0070 式4 0071 说 明 书CN 104066741 A 11 6/17页 12 0072 式5 0073 0074 式6 0075 0076 本申请的一个实施方案提供一种光敏树脂组。

30、合物，其包含由式1表示的光活性化 合物、碱溶性粘合剂树脂、包含烯键式不饱和键的可聚合化合物和溶剂。 0077 在本申请的一个实施方案中，式1的化合物可为式2的化合物。此外，在本申请的 一个实施方案中，式1或式2的化合物可为式3至式6的化合物中的任一个。 0078 在本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物中，由式1表示的光活性化合物的加 入量可在0.1-5重量的范围内，基于光敏树脂组合物的总重量计，但不限于此。当该量小 于0.1重量时，无法表现出足够的灵敏性，而当大于5重量时，由于UV吸收度较高，因 而UV光可能无法到达底部。 0079 本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物，通过包含粘合剂树脂，可。

31、以有效地控 制粘度，并使得可使用碱性显影溶液进行图案化。对于粘合剂，可使用本领域常用的粘合 剂，如碱溶性聚合物树脂。具体而言，碱溶性粘合剂树脂可包括：包含酸官能团的单体；赋 予薄膜强度且能够与所述单体共聚的单体的共聚物；或通过所述共聚物与含环氧基的烯键 式不饱和化合物的聚合反应制备的化合物。 0080 在本申请中使用的碱溶性粘合剂树脂可具有约30至300KOH mg/g的酸值范围。当 酸值小于30KOH mg/g时，由于显影差而无法得到清楚的图案，当酸值大于300KOH mg/g时， 因可洗性过度提高而可能使图案脱落。 0081 碱溶性粘合剂树脂的重均分子量优选为1,000至200,000的范。

32、围，更优选为5,000 说 明 书CN 104066741 A 12 7/17页 13 至100,000的范围。当碱溶性粘合剂树脂的重均分子量小于1,000时，其耐热性和耐化学 性会变差，如果大于200,000，则由于树脂在显影溶液中的溶解度降低，而使其无法良好地 显影，并且由于溶液粘度过度增加，使其难以均匀施用，因此大于200,000的重均分子量不 是优选的。 0082 包含酸基的单体的非限制性实例包括：(甲基)丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、马来 酸、富马酸、单甲基马来酸、异戊二烯磺酸、苯乙烯磺酸、5-降冰片烯-2-羧酸、邻苯二甲酸 单-2-(甲基)丙烯酰氧基)乙酯、琥珀酸单-2-(甲基)丙烯酰氧。

33、基)乙酯、-羧基聚 己内酯单(甲基)丙烯酸酯及其混合物等。 0083 可与包含酸基的单体共聚合的单体的非限制性实例包括:不饱和羧酸酯类，如 (甲基)丙烯酸苄基酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、 (甲基)丙烯酸二甲基氨基乙基酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基) 丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-苯 氧基乙基酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃基酯、(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟 丙基酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-氯丙基酯、(甲基)丙烯酸4-羟丁酯、(甲基)丙烯 酸酰基辛氧基-2-羟基丙酯、(甲基)。

34、丙烯酸丙三醇酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙基酯、 (甲基)丙烯酸3-甲氧基丁基酯、(甲基)丙烯酸乙氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基 三乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三丙二醇酯、聚(乙二醇)甲基醚(甲基)丙烯酸酯、 (甲基)丙烯酸苯氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸对壬基苯氧基聚乙二醇酯、(甲基)丙烯 酸对壬基苯氧基聚丙二醇酯、(甲基)丙烯酸四氟丙基酯、(甲基)丙烯酸1,1,1,3,3,3-六 氟异丙基酯、(甲基)丙烯酸八氟戊基酯、(甲基)丙烯酸十七氟癸基酯、(甲基)丙烯酸三 溴苯基酯、-羟甲基丙烯酸甲酯、-羟甲基丙烯酸乙酯、-羟甲基丙烯酸丙酯、-羟 甲基丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)。

35、丙烯酸二环戊烯基酯、(甲基)丙烯酸 二环戊基氧基乙基酯和(甲基)丙烯酸二环戊烯基氧基乙基酯； 0084 芳族乙烯类，例如苯乙烯、-甲基苯乙烯、邻-乙烯基甲苯、间-乙烯基甲苯、 对-乙烯基甲苯、邻-甲氧苯乙烯、间-甲氧苯乙烯、对-甲氧苯乙烯和邻-氯苯乙烯、间-氯 苯乙烯、对-氯苯乙烯； 0085 不饱和醚类，例如乙烯基甲醚、乙烯基乙醚和烯丙基缩水甘油醚； 0086 N-乙烯基叔胺类，例如N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基咔唑和N-乙烯基吗啉；不饱 和酰亚胺类，例如N-苯基马来酰亚胺、N-(4-氯苯基)马来酰亚胺、N-(4-羟基苯基)马来 酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺；马来酸酐类，例如马来酸酐和甲基马。

36、来酸酐； 0087 不饱和缩水甘油基化合物，例如烯丙基缩水甘油基醚、(甲基)丙烯酸缩水甘油 酯、3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯、其混合物等。 0088 含环氧基的烯键式不饱和化合物可包括一种或多种选自如下的化合物：烯丙基缩 水甘油醚、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯、5-降冰片 烯-2-甲基-2-羧酸缩水甘油酯(内型和外型混合)、1,2-环氧基-5-己烯和1,2-环氧 基-9-癸烯。 0089 在本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物中，基于光敏树脂组合物的总重量 计，粘合剂树脂的含量可在1-30重量的范围内，但不限于此。如果粘合剂树脂的含量在 l重量以上。

37、，则在使用碱性水溶液进行图案化方面是有效的，并且在防止由于在显影溶液 说 明 书CN 104066741 A 13 8/17页 14 中溶解性低而难以形成图案问题方面是有效的。如果粘合剂树脂的含量在30重量以下， 则在显影过程中防止图案的丢失方面是有效的，并且在防止因整个溶液的粘度过高而产生 的难以涂覆问题方面是有效的。 0090 本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物可包含交联化合物，具体而言，可使用 含有烯键式不饱和键的可聚合化合物。更具体而言，可使用含有2个以上不饱和丙烯酸基 团的交联化合物和含有3个以上不饱和丙烯酸基团的交联化合物。具体实例包括一种或 多种选自如下的化合物：通过多元醇的酯。

38、化反应得到的化合物，例如二(甲基)丙烯酸乙 二醇酯、含有2至14个烯键式基团的二(甲基)丙烯酸聚乙二醇酯、三羟甲基丙烷二(甲 基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲 基)丙烯酸季戊四醇酯、2-三丙烯酰氧基甲基乙基邻苯二甲酸、含有2至14个丙烯基团的 二(甲基)丙烯酸丙二醇酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯，二季戊四醇六(甲基)丙烯 酸酯；和使用,-不饱和羧酸使五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯与六(甲基)丙烯酸二 季戊四醇酯进行酸变性的化合物的混合物(由东亚合成株式会社(Toagosei Co.,Ltd.)制 备，商品名为TO-2348、TO-2349)；通过。

39、将(甲基)丙烯酸加成至含有缩水甘油基的化合物 得到的化合物，例如三羟甲基丙烷三缩水甘油基醚丙烯酸加成物和双酚A二缩水甘油基醚 丙烯酸加成物；多元羧酸与含有羟基或烯键式不饱和键的化合物的酯化合物，例如(甲基) 丙烯酸-羟基乙酯的邻苯二甲酸二酯和(甲基)丙烯酸-羟基乙酯与甲苯二异氰酸酯 的加成物，或多异氰酸酯与含有羟基基团或烯键式不饱和键的化合物的加成物；(甲基)丙 烯酸烷基酯，例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯和(甲 基)丙烯酸2-乙基己酯；和9,9-双4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基芴；但不限于此， 并且可使用本领域已知的化合物。此外，根据具体情况，可在这些化合物中。

40、加入二氧化硅分 散剂，其实例包括由Hanse Chemie GmbH制造的Nanocryl XP系列(0596，1045，21/1364) 和Nanopox XP系列(0516，0525)等。 0091 在本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物中，交联化合物的含量，具体为包含 烯键式不饱和基团的可聚合化合物含量可为0.5-30重量，基于光敏树脂组合物的总重 量计，但不限于此。如果该含量小于0.5重量，则由于不能借助光而发生交联反应，因而 所述含量不是优选的；如果该含量大于30重量，则缺陷在于由于对碱的溶解度差，因而 难以形成图案。 0092 在本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物中，溶剂的非限制。

41、性实例包括一种或 多种选自如下的化合物：甲乙酮、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、 丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇甲乙醚、2-乙氧基丙 醇、2-甲氧基丙醇、3-甲氧基丁醇、环己酮、环戊酮、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙 酸酯、乙酸3-甲氧基丁基酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、甲基溶纤剂乙酸酯、 乙酸丁酯和二丙二醇单甲醚。 0093 在本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物中，基于光敏树脂组合物的总重量计 的溶剂的含量可为40-95重量，但不限于此。 0094 本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物是一种透明光敏树脂组合物，且其可包 含。

42、：0.1-5重量由式1表示的光活性化合物、0.5-30重量包含烯键式不饱和键的可聚合 化合物、1-30重量碱溶性粘合剂树脂和40-95重量溶剂。 说 明 书CN 104066741 A 14 9/17页 15 0095 本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物可进一步包含着色剂。 0096 在本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物中，可使用一种或多种颜料、染料或 其混合物作为着色剂。对于其具体实例，可使用炭黑、石墨、金属氧化物例如钛黑(titan black)等作为黑色颜料。碳黑的实例包括Cisto5HIISAF-HS、Cisto KH,Cisto3HHAF-HS、 Cisto NH、Cisto3M。

43、、Cisto300HAF-LS、Cisto116HMMAF-HS、Cisto116MAF、Cisto FMFEF-HS、 Cisto SOFEF、Cisto VGPF、Cisto SVHSRF-HS和Cisto SSRF(Tokai Carbon Co.,Ltd.)； Diagram Black II、Diagram Black N339、Diagram Black SH、Diagram Black H、 Diagram LH、Diagram HA、Diagram SF、Diagram N550M、Diagram M、Diagram E、Diagram G、Diagram R、Diagram 。

44、N760M、Diagram LR、#2700、#2600、#2400、#2350、#2300、#2200、 #1000、#980、#900、MCF88、#52、#50、#47、#45、#45L、#25、#CF9、#95、#3030、#3050、MA7、 MA77、MA8、MA11、MA100、MA40、OIL7B、OIL9B、OIL11B、OIL30B和OIL31B(Mitsubishi Chemical Co.,Ltd)；PRINTEX-U、PRINTEX-V、PRINTEX-140U、PRINTEX-140V、PRINTEX-95、 PRINTEX-85、PRINTEX-75、PRINTE。

45、X-55、PRINTEX-45、PRINTEX-300、PRINTEX-35、 PRINTEX-25、PRINTEX-200、PRINTEX-40、PRINTEX-30、PRINTEX-3、PRINTEX-A、 SPECIAL BLACK-550、SPECIAL BLACK-350、SPECIAL BLACK-250、SPECIAL BLACK-100 和LAMP BLACK-101(Degussa Co.,Ltd.)；RAVEN-1100ULTRA、RAVEN-1080ULTRA、 RAVEN-1060ULTRA、RAVEN-1040、RAVEN-1035、RAVEN-1020、RAVEN-。

46、1000、RAVEN-890H、 RAVEN-890、RAVEN-880ULTRA、RAVEN-860ULTRA、RAVEN-850、RAVEN-820、RAVEN-790ULTRA、 RAVEN-780ULTRA、RAVEN-760ULTRA、RAVEN-520、RAVEN-500、RAVEN-460、RAVEN-450、 RAVEN-430ULTRA、RAVEN-420、RAVEN-410、RAVEN-2500ULTRA、RAVEN-2000、RAVEN-1500、 RAVEN-1255、RAVEN-1250、RAVEN-1200、RAVEN-1190ULTRA、RAVEN-1170(Co。

47、lumbia Carbon Co.,Ltd.)；其混合物等。此外，彩色可视(color visible)着色剂的实例包括洋红6B(C. I.12490)；酞青绿(C.I.74260)；酞青蓝(C.I.74160)；苝黑(BASF K0084.K0086)；花青黑； 罂黄(Linoleic Yellow)(C.I.21090)；罂黄GRO(C.I.21090)、联苯胺黄4T-564D；维多利 亚纯蓝(C.I.42595)；C.I.颜料红3、23、97、108、122、139、140、141、142、143、144、149、166、 168、175、177、180、185、189、190、192、。

48、202、214、215、220、221、224、230、235、242、254、255、 260、262、264和272；C.I.颜料绿7、36和58；C.I.颜料蓝15:1、15:3、15:4、15:6、16、22、 28、36、60和64；C.I.颜料黄13、14、35、53、83、93、95、110、120、138、139、150、151、154、175、 180、181、185、194和213；C.I.颜料紫15、19、23、29、32、37等；并且除这些之外，也可使用 白色颜料、荧光颜料等。对于用作颜料的酞菁类络合物，也可使用含有锌(除了铜之外)作 为主金属的材料。 0097 在本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物中，基于光敏树脂组合物的总重量 计，着色剂的含量可为1-20重量，但不限于此。 0098 本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物是一种有色的光敏树脂组合物，且可包 含：0.1-5重量由式1表示的光活性化合物、0.5-30重量包含烯键式不饱和键的可聚合 化合物、1-30重量的碱溶性粘合剂树脂、1-20重量着色剂和40-95重量的溶剂。 0099 除上述组分外，如必要，本申请的一个实施方案的光敏树脂组合物还可包含1种、 2种或多种添加剂，例如，第二种光活性化合物、固化促进剂、热聚合抑制剂、分散剂、抗。