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1、(10)申请公布号 CN 104007611 A (43)申请公布日 2014.08.27 C N 1 0 4 0 0 7 6 1 1 A (21)申请号 201410060525.4 (22)申请日 2014.02.21 2013-034857 2013.02.25 JP 2013-034858 2013.02.25 JP 2013-066310 2013.03.27 JP G03F 7/00(2006.01) (71)申请人大日本网屏制造株式会社 地址日本京都市上京区堀川通寺之内上4 丁目天神北町1番地之1 (72)发明人川越理史 増市干雄 上野博之 上野美佳 谷口和隆 正司和大 芝藤弥生。
2、 田中哲夫 陶山武史 (74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 代理人臧建明 (54) 发明名称 图案形成装置及图案形成方法、以及对准装 置及对准方法 (57) 摘要 本发明提供一种图案形成装置及图案形成方 法、以及对准装置及对准方法。该图案形成装置 中，使承载图案的承载体(BL)与被转印图案的被 转印体(SB)对向配置。基于拍摄承载体(BL)的 外缘的至少一部分而得的结果，使第一保持设备 (61)移动而将承载体(BL)定位在第一目标位置。 基于拍摄被转印体(SB)的外缘中的至少一部分 而得的结果，使第二保持设备(41)移动而将被转 印体(SB)定位在规定的第二目标位。
3、置。拍摄形成 在承载体(BL)的第一对准标记及形成在被转印 体的第二对准标记，基于其拍摄结果使第一保持 设备(61)及第二保持设备(41)中的至少一者移 动，对承载体(BL)与被转印体(SB)进行位置对 准。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书5页 说明书33页 附图22页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书5页 说明书33页 附图22页 (10)申请公布号 CN 104007611 A CN 104007611 A 1/5页 2 1.一种图案形成装置，其特征在于，包括： 第一保持设备，保持由图案承载面承载图案的承载体； 第二保持设备，以。
4、使被转印面与所述承载体的所述图案承载面对向的方式，保持包括 被转印所述图案的所述被转印面的被转印体； 第一移动设备，使所述第一保持设备与所述图案承载面平行地移动； 第二移动设备，使所述第二保持设备与所述被转印面平行地移动； 预对准设备，拍摄由所述第一保持设备保持的所述承载体的外缘的至少一部分，基于 其拍摄结果使所述第一移动设备作动而将所述承载体定位在规定的第一目标位置，并且拍 摄由所述第二保持设备保持的所述被转印体的外缘的至少一部分，基于其拍摄结果使所述 第二移动设备作动而将所述被转印体定位在规定的第二目标位置；以及 精密对准设备，拍摄形成在定位于所述第一目标位置的所述承载体的第一对准标记及 。
5、形成在定位于所述第二目标位置的所述被转印体的第二对准标记，基于其拍摄结果使所述 第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一者作动，对所述承载体与所述被转印体进行 位置对准。 2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于：所述精密对准设备是在同一视 场内同时拍摄所述第一对准标记及所述第二对准标记。 3.根据权利要求1或2所述的图案形成装置，其特征在于：所述第一保持设备是保持 所述承载体的周缘部，以使所述图案承载面朝上的水平姿势且以使比所述周缘部更靠内侧 的中央部的下方敞开的状态保持所述承载体，且 所述图案形成装置还包括推顶设备，所述推顶设备是通过从下方推顶所述承载体的所 述中央部，而使承载于所。
6、述承载体的所述图案抵接于所述被转印体的所述被转印面。 4.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于：所述预对准设备包括拍摄所述 承载体及所述被转印体的外缘的预对准用拍摄部，另一方面，所述精密对准设备包括以高 于所述预对准用拍摄部的分辨率拍摄所述第一对准标记及所述第二对准标记的精密对准 用拍摄部。 5.根据权利要求4所述的图案形成装置，其特征在于：所述精密对准用拍摄部包括倍 率固定的摄像光学系统。 6.根据权利要求4或5所述的图案形成装置，其特征在于：所述预对准设备包括多个 所述预对准用拍摄部，多个所述预对准用拍摄部分别拍摄所述承载体的外缘中的互不相同 的多个部位及所述被转印体的外缘中的互不。
7、相同的多个部位。 7.一种图案形成装置，其使由第一保持设备保持的承载体的主面中的可承载图案的一 面、与由第二保持设备保持的板状体的一面相互挤压而形成图案；所述图案形成装置的特 征在于，包括： 移动设备，使所述第二保持设备与所述板状体的一面平行地移动； 拍摄设备，拍摄由所述第二保持设备保持的所述板状体的外缘的至少一部分；以及 预对准设备，在形成所述图案前，基于所述拍摄设备的拍摄结果，在利用所述第二保持 设备保持所述板状体的状态下使所述移动设备作动，将所述板状体定位在目标位置。 8.根据权利要求7所述的图案形成装置，其特征在于：所述第二保持设备包括吸附保 持所述板状体的另一面的中央部的保持平面，且。
8、使所述板状体的外缘从所述保持平面伸出 权 利 要 求 书CN 104007611 A 2/5页 3 而利用所述保持平面保持所述板状体， 所述拍摄设备相对于所述板状体从与所述第一保持设备为相反侧的一侧拍摄所述板 状体的外缘。 9.一种对准装置，其特征在于，包括： 第一保持设备，保持形成着第一对准标记且具有光透过性的第一板状体，可使所述第 一板状体在与其主面平行的方向移动； 第二保持设备，使形成着第二对准标记的第二板状体保持相对于所述第一板状体平行 且隔着规定的间隙而邻近对向的状态，可使所述第二板状体在与其主面平行的方向移动； 主拍摄设备，相对于所述第一板状体，以光轴与所述第一板状体的主面正交的方。
9、式配 置在与所述第二板状体为相反侧的一侧，拍摄所述第一板状体及所述第二板状体；以及 副拍摄设备，相对于所述第一板状体设置在与所述第二板状体为相反侧的一侧，以比 所述第一拍摄设备的拍摄范围更广泛的拍摄范围对所述第一板状体及所述第二板状体进 行拍摄；且 基于所述副拍摄设备的拍摄结果，所述第一保持设备使所述第一板状体移动定位在所 述第一对准标记处于所述主拍摄设备的拍摄范围的位置，另一方面，基于所述副拍摄设备 的拍摄结果，所述第二保持设备使所述第二板状体移动定位在所述第二对准标记处于所述 主拍摄设备的拍摄范围的位置，进而， 基于所述主拍摄设备的拍摄结果，所述第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一 者。
10、使所述第一板状体与所述第二板状体的相对位置变化，以使所述第二对准标记相对于所 述第一对准标记的相对位置成为预先规定的目标位置。 10.根据权利要求9所述的对准装置，其特征在于：所述副拍摄设备的光轴与所述第一 板状体的主面斜交。 11.根据权利要求9或10所述的对准装置，其特征在于：所述副拍摄设备的拍摄范围 包含所述主拍摄设备的拍摄范围的至少一部分。 12.根据权利要求9或10所述的对准装置，其特征在于：所述主拍摄设备包括倍率固 定的放大光学系统。 13.根据权利要求9或10所述的对准装置，其特征在于：所述主拍摄设备具有高于所 述副拍摄设备的分辨率。 14.根据权利要求9或10所述的对准装置，其。
11、特征在于：所述副拍摄设备的景深比所 述主拍摄设备的景深更深，所述副拍摄设备使所述第一对准标记及所述第二对准标记均处 于聚焦范围而进行拍摄。 15.根据权利要求9或10所述的对准装置，其特征在于：包括拍摄范围彼此不同的多 个所述主拍摄设备、以及拍摄范围彼此不同的多个所述副拍摄设备。 16.一种图案形成方法，其特征在于，包括： 配置步骤，利用第一保持设备保持承载图案的承载体，并且利用第二保持设备保持被 转印所述图案的被转印体，使所述承载体的图案承载面与所述被转印体的被转印面对向地 配置； 预对准步骤，拍摄所述承载体的外缘的至少一部分，基于其拍摄结果使所述第一保持 设备移动而将所述承载体定位在规定的。
12、第一目标位置，并且拍摄所述被转印体的外缘中的 权 利 要 求 书CN 104007611 A 3/5页 4 至少一部分，基于其拍摄结果使所述第二保持设备移动而将所述被转印体定位在规定的第 二目标位置；以及 精密对准步骤，拍摄形成在所述承载体的第一对准标记及形成在所述被转印体的第二 对准标记，基于其拍摄结果使所述第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一者移动， 对所述承载体与所述被转印体进行位置对准。 17.根据权利要求16所述的图案形成方法，其特征在于：在所述精密对准步骤中，在同 一视场内同时拍摄所述第一对准标记及所述第二对准标记。 18.根据权利要求17所述的图案形成方法，其特征在于：在所述。
13、精密对准步骤中，将所 述第一对准标记处于进行拍摄的拍摄部的视场内的所述承载体的位置设为所述第一目标 位置，另一方面，将所述第二对准标记处于所述拍摄部的视场内的所述被转印体的位置设 为所述第二目标位置。 19.根据权利要求16所述的图案形成方法，其特征在于：在所述预对准步骤中，拍摄所 述承载体的外缘中的互不相同的多个部位而求出所述承载体相对于所述第一目标位置的 第一位置偏移量，使所述第一保持设备相应于所述第一位置偏移量进行移动，另一方面，拍 摄所述被转印体的外缘中的互不相同的多个部位而求出所述被转印体相对于所述第二目 标位置的第二位置偏移量，使所述第二保持设备相应于所述第二位置偏移量进行移动。 。
14、20.根据权利要求16至19中任一项所述的图案形成方法，其特征在于：包括转印步 骤，所述转印步骤是在所述精密对准步骤后，使所述承载体与所述被转印体抵接而将所述 图案从所述承载体转印至所述被转印体。 21.一种图案形成方法，其特征在于，包括： 第一步骤，在使承载体的主面中的可承载图案的一面与板状体的一面相互对向的状态 下，利用第一保持设备保持所述承载体，并且利用第二保持设备保持所述板状体；以及 第二步骤，使所述第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一者移动，使所述承载 体的一面与所述板状体的一面相互挤压而形成图案；且 所述第一步骤包括预对准步骤，所述预对准步骤是拍摄由所述第二保持设备保持的所 述。
15、板状体的外缘的至少一部分，基于其拍摄结果使所述第二保持设备在保持所述板状体的 状态下与所述板状体的一面平行地移动，而将所述板状体定位在目标位置。 22.根据权利要求21所述的图案形成方法，其特征在于：所述板状体具有多边形形状， 所述预对准步骤包括： 倾斜修正步骤，拍摄作为规定所述板状体的形状的一条边的第一边上的互不相同的多 个部位，基于其拍摄结果而修正所述板状体相对于所述目标位置的倾斜；以及 偏移修正步骤，拍摄规定所述倾斜经修正的所述板状体的形状的边中的与所述第一边 不平行的第二边及所述第一边，基于其拍摄结果而修正所述板状体相对于所述目标位置的 偏移。 23.根据权利要求22所述的图案形成方法。
16、，其特征在于：还包括第三步骤，该第三步骤 是对利用所述第二保持设备将所述板状体保持在所述目标位置时的所述第一边及所述第 二边进行拍摄，将根据其拍摄结果所获得的与所述目标位置有关的信息记忆为目标位置信 息， 所述倾斜修正步骤是如下的步骤：基于根据拍摄结果所获得的与所述板状体的位置 权 利 要 求 书CN 104007611 A 4/5页 5 有关的信息及所述目标位置信息，求出所述板状体相对于所述目标位置的倾斜量，通过对 应于所述倾斜量的所述第二保持设备的移动，而修正所述板状体相对于所述目标位置的倾 斜， 所述偏移修正步骤是如下的步骤：基于根据拍摄结果所获得的与所述板状体的位置 有关的信息及所述目。
17、标位置信息，求出所述板状体相对于所述目标位置的偏移量，通过对 应于所述偏移量的所述第二保持设备的移动，而修正所述板状体相对于所述目标位置的偏 移。 24.根据权利要求21至23中任一项所述的图案形成方法，其特征在于：所述板状体为 在一面设置着第一图案的版， 所述第二步骤包括图案化步骤，该图案化步骤是在利用所述第一保持设备保持所述承 载体后，不对所述第一保持设备、与通过所述预对准步骤而定位在所述目标位置的所述版 进行位置对准，使所述承载体的一面与所述版的一面相互挤压，而将所述第一图案转印至 所述承载体的一面。 25.根据权利要求21至23中任一项所述的图案形成方法，其特征在于：所述承载体包 括第。
18、一对准标记，并且在所述承载体的所述一面设置着第二图案，所述板状体为包括第二 对准标记的基板，所述第二步骤包括： 精密对准步骤，对由所述第一保持设备保持的所述承载体的所述第一对准标记、及通 过所述预对准步骤而定位在所述目标位置的所述基板的所述第二对准标记进行拍摄，基于 其拍摄结果使所述第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一者移动而对所述承载体 与所述基板进行位置对准；以及 转印步骤，在所述精密对准步骤后，使所述承载体的一面与所述基板的一面相互挤压 而将所述第二图案转印至所述基板的一面。 26.一种对准方法，其特征在于，包括： 配置步骤，使形成着第一对准标记且具有光透过性的第一板状体、及形成着第。
19、二对准 标记的第二板状体相互平行地且隔着规定的间隙地邻近对向配置，并且相对于所述第一板 状体，在与所述第二板状体为相反侧的一侧，以光轴与所述第一板状体的主面正交的方式 配置主拍摄设备； 预对准步骤，相对于所述第一板状体，从与所述第二板状体为相反侧的一侧，利用具有 比所述主拍摄设备的拍摄范围更广泛的拍摄范围的副拍摄设备，在同一视场内拍摄所述第 一对准标记与所述第二对准标记，基于其拍摄结果，将所述第一板状体及所述第二板状体 定位在所述第一对准标记及所述第二对准标记均处于所述主拍摄设备的拍摄范围的位置； 以及 精密对准步骤，利用所述主拍摄设备在同一视场内拍摄所述第一对准标记及所述第二 对准标记，基于。
20、其拍摄结果，使所述第一板状体与所述第二板状体相对移动，以使所述第二 对准标记相对于所述第一对准标记的相对位置成为预先规定的目标位置。 27.根据权利要求26所述的对准方法，其特征在于：使所述副拍摄设备的光轴与所述 第二板状体的主面斜交。 28.根据权利要求26或27所述的对准方法，其特征在于：以包含所述主拍摄设备的拍 摄范围的至少一部分的方式设定所述副拍摄设备的拍摄范围。 权 利 要 求 书CN 104007611 A 5/5页 6 29.根据权利要求26或27所述的对准方法，其特征在于：在所述预对准步骤中，利用 具有比所述主拍摄设备的景深更深的景深的所述副拍摄设备，使所述第一对准标记及所述 。
21、第二对准标记均处于聚焦范围而进行拍摄。 30.根据权利要求26或27所述的对准方法，其特征在于：关于所述第一板状体及所述 第二板状体中的至少一者，在所述预对准步骤及所述精密对准步骤中朝相同的方向移动。 权 利 要 求 书CN 104007611 A 1/33页 7 图案形成装置及图案形成方法、 以及对准装置及对准方法 技术领域 0001 本发明涉及一种对于以彼此的主面邻近对向的方式保持的两个物体进行位置对 准的技术。 背景技术 0002 存在如下所述的技术领域：将两个物体以使它们的主面彼此邻近对向的状态且以 规定的位置关系予以配置。例如作为在玻璃(galss)基板或半导体基板等基板形成图案 (。
22、pattern)的技术，例如有如专利文献1中所记载般，使承载图案的承载体密接于被转印体 (基板)而转印图案的技术。在这种转印技术中，为了适当地管理向被转印体的图案转印位 置，转印前的承载体与被转印体的位置对准变得重要。作为这种用于两个物体的位置对准 的技术，例如有专利文献2至专利文献4中所记载的技术。 0003 在这些技术中，在使分别预先形成着对准标记(alignment mark)的两个物体(承 载体及被转印体)邻近对向配置的状态下，利用相机拍摄这些对准标记。然后，根据图像内 的对准标记的位置关系求出两个物体间的相对的位置偏移量，使两个物体相对移动以修正 该位置偏移，由此，进行位置对准。 0。
23、004 现有技术文献 0005 专利文献 0006 专利文献1日本专利特开2010-158799号公报 0007 专利文献2日本专利特开2009-212489号公报 0008 专利文献3日本专利特开2006-172930号公报 0009 专利文献4日本专利特开2004-342642号公报 0010 近年来，要求设备进一步薄型化及大型化，并且也要求图案的高精细化。因此，对 于基板等板状体的位置对准也开始要求更高的精度。然而，就所述现有技术而言有时难以 应对这种要求。例如为了基于拍摄结果实现高精度的位置对准，必须提高拍摄设备的分辨 率，但这样一来，拍摄范围必然变狭窄。另一方面，为了将拍摄设备用于粗。
24、略的位置对准，需 要更广泛的拍摄范围，但难以同时实现高分辨率及广泛的拍摄范围。而且，为了构成高分辨 率且拍摄范围广泛的拍摄设备，成本提高。 0011 而且，例如必须预先将承载体或被转印体的位置校准到至少对准标记位于拍摄视 场内的程度的位置。为了这一目的，通常进行预对准(prealignment)处理。作为这种相对 粗略的位置对准，先前例如采用如下方法等：通过使承载体或被转印体等物体碰撞设置在 装置内的适当位置的位置限制构件而进行布局；或在装置外部将位置已预先对准的物体搬 入到装置内的规定位置。然而，近年来，由于要求图案的细致化，所以对准标记的尺寸变小， 而且，所要求的位置精度也变得微细。因此，。
25、在拍摄中使用高分辨率且高倍率的相机，由此 导致拍摄视场变小。另一方面，所处理的物体也进一步大型化，由此导致物体的重量也增大 而容易发生弯曲，因此，就机械性的位置限制而言，难以将承载体或被转印体等定位在适当 位置。 说 明 书CN 104007611 A 2/33页 8 发明内容 0012 本发明是鉴于所述课题而完成，其目的在于提供一种可使应邻近对向的两个物 体、例如承载图案的承载体及被转印该图案的被转印体高精度地进行位置对准的对准技术 及利用该对准技术的图案形成技术。 0013 为了达成所述目的，本发明的图案形成装置的第一实施方式包括：第一保持设备， 保持由图案承载面承载图案的承载体；第二保持。
26、设备，以使被转印面与所述承载体的所述 图案承载面对向的方式，保持包括被转印所述图案的所述被转印面的被转印体；第一移动 设备，使所述第一保持设备与所述图案承载面平行地移动；第二移动设备，使所述第二保持 设备与所述被转印面平行地移动；预对准(pre-alignment)设备，拍摄由所述第一保持设 备保持的所述承载体的外缘的至少一部分，基于其拍摄结果使所述第一移动设备作动而将 所述承载体定位在规定的第一目标位置，并且拍摄由所述第二保持设备保持的所述被转印 体的外缘的至少一部分，基于其拍摄结果使所述第二移动设备作动而将所述被转印体定位 在规定的第二目标位置；以及精密对准设备，拍摄形成在定位于所述第一目。
27、标位置的所述 承载体的第一对准标记及形成在定位于所述第二目标位置的所述被转印体的第二对准标 记，基于其拍摄结果使所述第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一者作动，对所述 承载体与所述被转印体进行位置对准。 0014 而且，为了达成所述目的，本发明的图案形成方法的第一实施方式包括：配置步 骤，利用第一保持设备保持承载图案的承载体，并且利用第二保持设备保持被转印所述图 案的被转印体，使所述承载体的图案承载面与所述被转印体的被转印面对向地配置；预对 准步骤，拍摄所述承载体的外缘的至少一部分，基于其拍摄结果使所述第一保持设备移动 而将所述承载体定位在规定的第一目标位置，并且拍摄所述被转印体的外缘中的。
28、至少一部 分，基于其拍摄结果使所述第二保持设备移动而将所述被转印体定位在规定的第二目标位 置；以及精密对准步骤，拍摄形成在所述承载体的第一对准标记及形成在所述被转印体的 第二对准标记，基于其拍摄结果使所述第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一者移 动，对所述承载体与所述被转印体进行位置对准。 0015 在这样构成的发明中，拍摄由第一保持设备保持的承载体及由第二保持设备保持 的被转印体的各外缘，基于其拍摄结果，第一移动设备及第二移动设备使承载体及被转印 体移动到各目标位置。这里，只要可检测出承载体及被转印体的外缘的位置即可，相较于高 分辨率，拍摄视场广泛来得更佳。 0016 即便这时对各目标位。
29、置的定位精度未必高，也可使形成在承载体的第一对准标记 及形成在被转印体的第二对准标记的位置位于某种程度的范围内。即，通过适当地设定第 一目标位置及第二目标位置，能以第一对准标记及第二对准标记成为可由精密对准设备拍 摄的位置的方式进行位置调整。因此，精密对准设备的拍摄视场可相对狭窄，由此，能以高 分辨率进行拍摄，且可获得高的位置对准精度。 0017 这些情况下的承载体及被转印体是通过使保持它们的第一保持设备及第二保持 设备移动而与第一保持设备及第二保持设备一并进行移动。因此，即便为大型且有重量的 承载体或被转印体，也可使它们不变形而确实地移动到目标位置。 0018 这样一来，在本发明的第一实施方。
30、式中，可通过不使用对准标记的预对准来使第 说 明 书CN 104007611 A 3/33页 9 一对准标记及第二对准标记移动到规定的范围内。而且，可通过使用以所述方式在某种程 度上限定位置的第一对准标记及第二对准标记的精密对准，实现更高精度的位置对准。因 此，可对承载图案的承载体及被转印该图案的被转印体高精度地进行位置对准。 0019 在本发明中，精密对准设备例如也可构成为可在同一视场内同时拍摄第一对准标 记及第二对准标记。通过在同一视场内拍摄分别形成在承载体及被转印体的对准标记，能 以更良好的精度来掌握两者的位置关系，并可更高精度地对承载体与被转印体进行位置对 准。 0020 而且，例如第。
31、一保持设备以如下方式构成：保持承载体的周缘部，以使图案承载面 朝上的水平姿势且以使比周缘部靠内侧的中央部的下方敞开的状态保持承载体；且图案形 成装置的构成也可为还包括推顶设备，所述推顶设备是通过从下方推顶承载体的中央部而 使由承载体承载的图案抵接于被转印体的被转印面。在这种构成中，由第一保持设备保持 着周缘部的承载体的中央部因自重而朝下弯曲，且即便欲从侧方推挤承载体使其移动也会 被弯曲吸收，而难以进行位置对准。在这种情况下，通过应用本发明，其效果尤其显著。 0021 而且，例如也可为如下构成：预对准设备包括拍摄承载体及被转印体的外缘的预 对准用拍摄部，另一方面，精密对准设备包括以高于预对准用拍。
32、摄部的分辨率拍摄第一对 准标记及第二对准标记的精密对准用拍摄部。这样一来，可根据目的而包括分辨率不同的 拍摄部，由此，能使装置成本与所需的性能平衡。 0022 在该情况下，精密对准用拍摄部也可例如包括倍率固定的摄像光学系统。使倍率 可变的情况下的光轴偏移或高倍率时的图像的失真(distortion)等会成为检测精度降低 的原因，但通过使倍率固定，可避免这种问题且可实现对准标记的高精度的位置检测、及基 于该位置检测的高精度的位置对准。 0023 另一方面，预对准设备的构成也可为例如包括多个预对准用拍摄部，多个所述预 对准用拍摄部分别拍摄承载体的外缘中的互不相同的多个部位及被转印体的外缘的互不 相。
33、同的多个部位。通过在多个部位拍摄承载体及被转印体的外缘，可掌握它们在面内的位 置偏移量，从而可更确实地向目标位置移动。 0024 而且，在本发明的图案形成方法中，优选的是在精密对准步骤中，将第一对准标记 处于进行拍摄的拍摄部的视场内的承载体的位置设为第一目标位置，另一方面，将第二对 准标记处于拍摄部的视场内的被转印体的位置设为第二目标位置。这样一来，可通过执行 预对准步骤而确实地将两对准标记位于拍摄部的视场内，并且可通过执行精密对准步骤而 实现承载体与被转印体的高精度的位置对准。 0025 而且，例如在预对准步骤中，也可拍摄承载体的外缘中的互不相同的多个部位而 求出承载体相对于第一目标位置的位。
34、置偏移量，使第一保持设备相应于该位置偏移量而移 动，另一方面，拍摄被转印体的外缘中的互不相同的多个部位而求出被转印体相对于第二 目标位置的位置偏移量，使第二保持设备相应于该位置偏移量而移动。这样一来，可与所述 图案形成装置的发明同样地，掌握承载体及被转印体在面内的位置偏移量，从而可更确实 地向目标位置移动。 0026 而且，也可包括转印步骤，该转印步骤是在精密对准步骤之后，使承载体与被转印 体抵接而将图案从承载体转印至被转印体。使承载体与被转印体在经精度良好地进行位置 对准的状态下抵接而进行图案转印，由此，可在被转印体的适当位置形成图案。 说 明 书CN 104007611 A 4/33页 1。
35、0 0027 而且，本发明的图案形成装置的第二实施方式是一种图案形成装置，该图案形成 装置是使由第一保持设备保持的承载体的主面中的可承载图案的一面与由第二保持设备 保持的板状体的一面相互挤压而形成图案，为了达成所述目的，该图案形成装置包括：移动 设备，使所述第二保持设备与所述板状体的一面平行地移动；拍摄设备，拍摄由所述第二保 持设备保持的所述板状体的外缘的至少一部分；以及预对准设备，在形成所述图案前，基于 所述拍摄设备的拍摄结果，在利用所述第二保持设备保持所述板状体的状态下使所述移动 设备作动，将所述板状体定位在目标位置。 0028 而且，为了达成所述目的，本发明的图案形成方法的第二实施方式包。
36、括：第一步 骤，在使承载体的主面中的可承载图案的一面与板状体的一面相互对向的状态下，利用第 一保持设备保持所述承载体，并且利用第二保持设备保持所述板状体；以及第二步骤，使所 述第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一者移动，使所述承载体的一面与所述板状 体的一面相互挤压而形成图案；且所述第一步骤包括预对准步骤，该预对准步骤是拍摄由 所述第二保持设备保持的所述板状体的外缘的至少一部分，基于其拍摄结果而使所述第二 保持设备在保持所述板状体的状态下与所述板状体的一面平行地移动，而将所述板状体定 位在目标位置。 0029 在这样构成的发明中，使由第一保持设备保持的承载体的一面与由第二保持设备 保持的板。
37、状体的一面相互挤压而形成图案，但在这之前，板状体已以由第二保持设备保持 的状态定位在目标位置。即，在利用第二保持设备保持板状体的状态下执行预对准。因此， 即便在利用第二保持设备保持板状体之前发生的搬送位置偏移或板状体的弯曲等产生影 响，也可通过预对准而消除这些影响，从而可将板状体确实地定位在目标位置。结果，可提 高图案形成的精度。 0030 这里，在板状体具有多边形形状的情况下，也可构成为执行如下步骤而执行预对 准，所述步骤是指：倾斜修正步骤，拍摄作为规定板状体的形状的一条边的第一边上的互不 相同的多个部位，基于其拍摄结果而修正板状体相对于目标位置的倾斜；及偏移修正步骤， 拍摄规定倾斜经修正的。
38、板状体的形状的边中的与第一边不平行的第二边及第一边，基于其 拍摄结果而修正板状体相对于目标位置的偏移(offset)。由此，可将多边形形状的板状体 准确地定位在目标位置。 0031 而且，也可在执行这些倾斜修正步骤及偏移修正步骤之前，对利用第二保持设备 将板状体保持在目标位置时的第一边及第二边进行拍摄，将根据其拍摄结果所获得的与目 标位置有关的信息记忆为目标位置信息。而且，在倾斜修正步骤中，基于根据拍摄结果所获 得的与板状体的位置有关的信息及目标位置信息而求出板状体相对于目标位置的倾斜量， 通过对应于倾斜量的第二保持设备的移动而修正板状体相对于目标位置的倾斜。而且，在 偏移修正步骤中，也可基于。
39、根据拍摄结果所获得的与板状体的位置有关的信息及目标位置 信息，求出板状体相对于目标位置的偏移量，通过对应于偏移量的第二保持设备的移动而 修正板状体相对于目标位置的偏移。通过这样基于根据拍摄结果所获得的信息及目标位置 信息进行两阶段的修正处理，能以高精度将多边形形状的板状体定位在目标位置。 0032 而且，在将在一面设置着第一图案的版设为板状体，利用该第一图案使承载体的 一面图案化的情况下，在利用第一保持设备保持承载体后，也可不对第一保持设备与通过 预对准步骤而定位在目标位置的版进行位置对准，使承载体的一面与版的一面相互挤压， 说 明 书CN 104007611 A 10 5/33页 11 而将。
40、第一图案转印至承载体的一面。这也是因为通过预对准使版(板状体)定位在目标位 置，因此在承载体与版之间未发生大的位置偏移，而且，即便发生少许的位置偏移也不会对 承载体的一面的图案化本身带来影响。 0033 对此，在将设置在承载体的一面的第二图案转印至作为板状体之一的基板的情况 下，理想的是除执行预对准外还执行精密对准。即，在承载体具有第一对准标记并且在承载 体的一面设置着第二图案，且板状体为具有第二对准标记的基板的情况下，理想的是执行 如下两个步骤，即：精密对准步骤，对由第一保持设备保持的承载体的第一对准标记、及通 过预对准步骤而定位在目标位置的基板的第二对准标记进行拍摄，基于其拍摄结果使第一 。
41、保持设备及第二保持设备中的至少一者移动而对承载体与基板进行位置对准；以及转印步 骤，在精密对准步骤后，使承载体的一面与板状体的一面相互挤压而将第二图案转印至基 板的一面。 0034 此外，为了较好地拍摄板状体的外缘，也可如下述般构成。即，也可构成为：第二保 持设备包括吸附保持板状体的另一面的中央部的保持平面，且以板状体的外缘从保持平面 伸出的状态保持板状体，拍摄设备相对于板状体从与第一保持设备为相反侧的一侧拍摄板 状体的外缘。由此，可不干涉第一保持设备或承载体地配置拍摄设备，从而能良好地拍摄板 状体的外缘。 0035 为了达成所述目的，本发明的对准装置包括：第一保持设备，保持形成着第一对准 标。
42、记且具有光透过性的第一板状体，可使所述第一板状体在与其主面平行的方向移动；第 二保持设备，使形成着第二对准标记的第二板状体保持相对于所述第一板状体平行且隔着 规定的间隙而邻近对向的状态，可使所述第二板状体在与其主面平行的方向移动；主拍摄 设备，相对于所述第一板状体，以光轴与所述第一板状体的主面正交的方式配置在与所述 第二板状体为相反侧的一侧，拍摄所述第一板状体及所述第二板状体；以及副拍摄设备，相 对于所述第一板状体设置在与所述第二板状体为相反侧的一侧，以比所述第一拍摄设备的 拍摄范围更广泛的拍摄范围对所述第一板状体及所述第二板状体进行拍摄；且，基于所述 副拍摄设备的拍摄结果，所述第一保持设备使。
43、所述第一板状体移动定位在所述第一对准标 记处于所述主拍摄设备的拍摄范围的位置，另一方面，基于所述副拍摄设备的拍摄结果，所 述第二保持设备使所述第二板状体移动定位在所述第二对准标记处于所述主拍摄设备的 拍摄范围的位置，进而，基于所述主拍摄设备的拍摄结果，所述第一保持设备及所述第二保 持设备中的至少一者使所述第一板状体与所述第二板状体的相对位置变化，以使所述第二 对准标记相对于所述第一对准标记的相对位置成为预先规定的目标位置。 0036 而且，为了达成所述目的，本发明的对准方法包括：配置步骤，使形成着第一对准 标记且具有光透过性的第一板状体、及形成着第二对准标记的第二板状体相互平行地且隔 着规定的。
44、间隙地邻近对向配置，并且相对于所述第一板状体，在与所述第二板状体为相反 侧的一侧，以光轴与所述第一板状体的主面正交的方式配置主拍摄设备；预对准步骤，相对 于所述第一板状体从与所述第二板状体为相反侧的一侧，利用具有比所述主拍摄设备的拍 摄范围更广泛的拍摄范围的副拍摄设备，在同一视场内拍摄所述第一对准标记与所述第二 对准标记，基于其拍摄结果，将所述第一板状体及所述第二板状体定位在所述第一对准标 记及所述第二对准标记均处于所述主拍摄设备的拍摄范围的位置；以及精密对准步骤，利 用所述主拍摄设备在同一视场内拍摄所述第一对准标记及所述第二对准标记，基于其拍摄 说 明 书CN 104007611 A 11 。
45、6/33页 12 结果，使所述第一板状体与所述第二板状体相对移动，以使所述第二对准标记相对于所述 第一对准标记的相对位置成为预先规定的目标位置。 0037 在这些发明中，通过基于利用拍摄范围广泛的副拍摄设备所拍摄出的结果，使第 一板状体及第二板状体移动，而将第一对准标记及第二对准标记定位在主拍摄设备的拍摄 范围内。因此，即便拍摄范围相对狭窄的主拍摄设备也可确实地在同一视场内拍摄第一对 准标记及第二对准标记。而且，基于利用主拍摄设备所拍摄的结果，对第一板状体与第二板 状体进行位置对准。就从斜向进行的拍摄而言，将两片板状体间的间隙(gap)变动表现为 拍摄结果中的对准标记的相对位置的变动，因此间隙。
46、调整的精度对位置对准的精度造成影 响。对此，在本发明中，主拍摄设备的光轴设定在与第一板状体的主面正交的方向，因此可 实现不受间隙变动的影响的高精度的位置对准。而且，无需扩大主拍摄设备的拍摄范围，因 此例如可通过增大拍摄时的放大倍率，而提高第一板状体与第二板状体之间的位置检测精 度。 0038 而且，对于主拍摄设备而言，无需广泛的拍摄范围，另一方面，对于副拍摄设备而 言，无需高分辨率，进而在这些拍摄设备中不需要使拍摄范围或放大倍率可变的构成，因此 能以低成本构成装置。 0039 在这些发明中，优选的是以其光轴与第一板状体的主面斜交的方式设置副拍摄设 备。这样一来，利用副拍摄设备所估测的第一板状体。
47、的表面积比使光轴与第一板状体的主 面正交时的更广泛。即，可扩大副拍摄设备的拍摄范围。而且，通过将光轴设定在与主拍摄 设备的光轴方向不同的方向，可使主拍摄设备与副拍摄设备相互不干涉地进行拍摄。 0040 而且，也可使副拍摄设备的拍摄范围包含主拍摄设备的拍摄范围的至少一部分。 通过以与主拍摄设备的拍摄范围重复的方式设定副拍摄设备的拍摄范围，而在将第一对准 标记及第二对准标记位于副拍摄设备的拍摄范围内的状态下，使第一板状体及第二板状体 基于副拍摄设备的拍摄结果而移动，因此移动后的第一板状体及第二板状体的位置的确认 变得容易。 0041 而且，例如主拍摄设备也可包括倍率固定的放大光学系统。对于主拍摄设。
48、备而言， 无需广泛的拍摄范围，因此，通过使用放大光学系统进行拍摄范围被限定但为高倍率的拍 摄，可提高第一板状体与第二板状体的相对位置的检测精度，从而可提高位置对准精度。通 过将倍率固定，可不发生在倍率可变的情况下成为问题的光轴的偏移等而实现高倍率的拍 摄。 0042 而且，例如，主拍摄设备也可具有比副拍摄设备更高的分辨率。通过使主拍摄设备 为高分辨率，可提高位置检测精度。另一方面，就副拍摄设备而言，只要具有可检测第一对 准标记及第二对准标记的大致位置的程度的分辨率即可，可使用分辨率相对低的拍摄设备 从而减少装置成本。 0043 而且，例如也可使副拍摄设备的景深比主拍摄设备的景深更深，且副拍摄设。
49、备使 第一对准标记及第二对准标记均处于聚焦范围而进行拍摄。对于副拍摄设备而言，无需高 的放大倍率，因此可使用具有相对深的景深的摄像光学系统的拍摄设备。因此，即便在隔着 间隙地配置第一板状体与第二板状体的情况下，也可在将第一对准标记与第二对准标记一 并位于聚焦范围内的状态下进行拍摄。而且，这样一来，可提高基于副拍摄设备的拍摄结果 的第一板状体及第二板状体的位置检测精度，且可更确实地使第一对准标记及第二对准标 说 明 书CN 104007611 A 12 7/33页 13 记位于主拍摄设备的拍摄范围内。 0044 而且，例如也可设置拍摄范围彼此不同的多个主拍摄设备、及拍摄范围彼此不同 的多个副拍摄设备。根据这种构成，可将第一对准标记及第二对准标记分别设置在第一板 状体及第二板状体的多个部位而供进行位置对准，因此可更提高位置对准的精度。 0045 而且，例如也可使第一板状体及第二板状体中的至少一者在预对准步骤与精密对 准步骤中向大致相同的方向移动。作为用以使第一板状体及第二板状体移动的机构，可使 用各种机构，但在预对准步骤中，使移动对象板状体向某个方向移动后，在精密对准步骤中 也使其向大。