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1、(10)申请公布号 CN 102870045 A (43)申请公布日 2013.01.09 C N 1 0 2 8 7 0 0 4 5 A *CN102870045A* (21)申请号 201180021053.6 (22)申请日 2011.03.22 2010-104123 2010.04.28 JP 2011-059895 2011.03.17 JP G03F 7/004(2006.01) C08F 220/28(2006.01) G03F 7/039(2006.01) G03F 7/40(2006.01) H01L 21/027(2006.01) (71)申请人 JSR株式会社 地址日本。
2、国东京都 (72)发明人一户大吾 (74)专利代理机构北京三幸商标专利事务所 11216 代理人刘激扬 (54) 发明名称 喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合 物、显示元件用层间绝缘膜及其形成方法 (57) 摘要 本发明为喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感 性组合物，其含有：A在同一或不同的聚合物分 子中具有含下述式(1)所示的基团的结构单元 (I)与含环氧基的结构单元的聚合物，B由肟 磺酸酯化合物及鎓盐化合物所组成的群中选出的 至少一种化合物，及C有机溶剂，其中，固体成 分浓度为10质量%以上30质量%以下，在25 的粘度为2.0MPas以上12MPas以下，而且 作为C有机溶剂，至少含有(C。
3、1)在20的蒸 气压为0.1mmHg以上且低于1mmHg的有机溶剂。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2012.10.26 (86)PCT申请的申请数据 PCT/JP2011/056826 2011.03.22 (87)PCT申请的公布数据 WO2011/135947 JA 2011.11.03 (51)Int.Cl. 权利要求书2页 说明书33页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 2 页 说明书 33 页 1/2页 2 1.一种喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其含有： A在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(1)所示的基团。
4、的结构单元(I)与含 环氧基的结构单元的聚合物、 B由肟磺酸酯化合物及鎓盐化合物所组成的群中选出的至少一种化合物、及 C有机溶剂，其中， 该组合物的固体成分浓度为10质量%以上30质量%以下，在25的粘度为2.0mPas 以上12mPas以下，而且， 作为C有机溶剂，至少含有(C1)在20的蒸气压为0.1mmHg以上且低于1mmHg的有 机溶剂， (式(1)中，R 1 及R 2 各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或芳基；其中，上述烷基、环烷 基或芳基所具有的一部分或全部氢原子可被取代；又，不存在R 1 及R 2 同时为氢原子的情况； R 3 为烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R 3m ) 3 。
5、所示的基团，其中这些基团所具有的一部分或全 部氢原子可被取代；M为Si、Ge或Sn；R 3m 为烷基；其中，R 1 与R 3 可连接，可与所键结的碳原 子一起形成环状醚)。 2.如权利要求1所述的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其中C有机溶 剂进一步含有(C2)在20的蒸气压为1mmHg以上20mmHg以下的有机溶剂， 相对于(C1)有机溶剂及(C2)有机溶剂的合计量，(C2)有机溶剂的含量为10质量%以 上90质量%以下。 3.如权利要求1所述的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其中C有机溶 剂进一步含有(C2)在20的蒸气压为1mmHg以上20mmHg以下的有机溶剂， 相对于。
6、(C1)有机溶剂及(C2)有机溶剂的合计量，(C2)有机溶剂的含量为10质量%以 上50质量%以下。 4.如权利要求1所述的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其进一步含有 D由氟类表面活性剂及聚硅氧烷类表面活性剂所组成的群中选出的至少一种表面活性 剂， 相对于A聚合物100质量份，D表面活性剂的含量为0.01质量份以上2质量份以 下。 5.如权利要求1所述的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其进一步含有 E多官能(甲基)丙烯酸酯化合物。 6.如权利要求1所述的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其进一步含有 F抗氧化剂。 7.如权利要求1所述的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组。
7、合物，其进一步含有 G在1分子中具有2个以上环氧基的化合物。 8.如权利要求1所述的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其中(C1)有机溶 权 利 要 求 书CN 102870045 A 2/2页 3 剂为由二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二丙二醇二甲基醚、苯甲醇、二丙二醇单 甲基醚所组成的群中选出的至少一种有机溶剂。 9.如权利要求2所述的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物，其中(C2)有机溶 剂为由二乙二醇二甲基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、乙二醇单丙基 醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、环己酮、乙酸正丁酯、甲基异丁基酮、3-甲氧基丙酸甲酯 所组成的群中选出的。
8、至少一种有机溶剂。 10.一种显示元件用层间绝缘膜，其由权利要求1所述的喷出喷嘴式涂布法用正型射 线敏感性组合物所形成。 11.一种显示元件用层间绝缘膜的形成方法，其具有： (1)一边使喷出喷嘴与基板相对地移动，一边将权利要求1所述的喷出喷嘴式涂布法 用正型射线敏感性组合物涂布于基板上，形成涂膜的工序， (2)对上述所形成的涂膜的至少一部分照射射线的工序， (3)将经上述射线照射后的涂膜显影的工序，及 (4)将经上述显影后的涂膜加热的工序。 权 利 要 求 书CN 102870045 A 1/33页 4 喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物、 显示元件用 层间绝缘膜及其形成方法 技术领域 0。
9、001 本发明关于喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物、由该组合物所形成的显 示元件用层间绝缘膜及其形成方法，该正型射线敏感性组合物为适合作为液晶显示元件、 有机EL显示元件等显示元件的显示元件用层间绝缘膜的形成材料。 背景技术 0002 在显示元件中，一般以将层状配置的配线之间进行绝缘为目的，设置显示元件用 层间绝缘膜。作为显示元件用层间绝缘膜的形成材料，广泛使用正型射线敏感性组合物，这 是因为得到必要的图案形状所需的工序数少，而且所得的显示元件用层间绝缘膜要求高度 的平坦性。 0003 关于该正型射线敏感性组合物，日本特开2004-264623号公报中提出一种正型射 线敏感性树脂组合物，。
10、其含有含缩醛构造及/或缩酮构造以及环氧基的树脂及酸产生剂。 然而，此正型射线敏感性树脂组合物射线敏感度不充分，作为形成显示元件用层间绝缘膜 用的材料无法被满足。 0004 另一方面，日本特开2002-131896号公报中揭示了旋涂法，作为在小型基板上涂 布射线敏感性组合物的方法。若基于此旋涂法，可在对基板的中央滴下射线敏感性组合物 后，以使基板旋转的涂布方法得到良好的涂布均匀性。然而，用此旋涂法涂布大型基板时， 有下述不佳状况，即旋转所甩掉的被废弃的射线敏感性组合物变多，可能发生高速旋转所 致的基板的破裂，必须确保生产节拍时间等。又，采用于进一步大型的基板时，为了得到旋 转所需要的加速度，需要。
11、特别订购的电动机，在制造成本方面不利。 0005 因此，作为代替旋涂法的涂布方法，采用由喷嘴喷出射线敏感性组合物，涂布于基 板上的喷出喷嘴式涂布法。喷出喷嘴式涂布法为在一定方向使涂布喷嘴掠过，在基板上形 成涂膜的涂布方法，与旋涂法比较下，可减低涂布时所需要的射线敏感性组合物的量，而且 也谋求涂布时间的缩短，在制造成本面有利。然而，使用以往的射线敏感性组合物以基于喷 出喷嘴式涂布法来涂布时，会发生涂布不均，对实现显示元件用层间绝缘膜的特性所要求 的高度平坦性形成障碍。又，例如日本特开2009-98673号公报中虽然记载有以该公报所记 载的射线敏感性组合物也可用旋涂法以外的方法来涂布的要旨，但没有。
12、具体揭示合适的粘 度、固体成分浓度、溶剂等，于实施例中也没有进行喷出喷嘴式涂布法等的涂布。 0006 鉴于如此的状况，希望开发出一种喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物， 其具有高的射线敏感度，而且可形成无涂布不均的具有高度平坦性(膜厚均匀性)的显示 元件用层间绝缘膜，且可高速涂布。 0007 背景技术文献 0008 专利文献 0009 专利文献1日本特开2004-264623号公报 0010 专利文献2日本特开2002-131896号公报 说 明 书CN 102870045 A 2/33页 5 0011 专利文献3日本特开2009-98673号公报 发明内容 0012 发明要解决的课题 0。
13、013 本发明以如上的情况为基础而完成，其目的在于提供喷出喷嘴式涂布法用正型射 线敏感性组合物、显示元件用层间绝缘膜及其形成方法，该组合物具有高的射线敏感度，而 且可形成无涂布不均的具有高度平坦性(膜厚均匀性)的显示元件用层间绝缘膜，且可高 速涂布。 0014 解决问题的手段 0015 为了解决上述问题而完成的本发明为一种喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性 组合物，其含有： 0016 A在同一或不同的聚合物分子中具有含下述式(1)所示的基团的结构单元(I) 与含环氧基的结构单元的聚合物(以下也称为“A聚合物”)， 0017 B由肟磺酸酯化合物及鎓盐化合物所组成的群中选出的至少一种化合物(以下 也。
14、称为“B化合物”)，及 0018 C有机溶剂，且 0019 该组合物的固体成分浓度为10质量%以上30质量%以下，在25的粘度为 2.0mPas以上12mPas以下，而且， 0020 作为C有机溶剂，至少含有(C1)在20的蒸气压为0.1mmHg以上且低于1mmHg 的有机溶剂， 0021 0022 (式(1)中，R 1 及R 2 各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或芳基；其中，上述烷基、 环烷基或芳基所具有的一部分或全部氢原子可被取代；又，不存在R 1 及R 2 同时为氢原子的 情况；R 3 为烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R 3m ) 3 所示的基团，其中，这些基团所具有的一部 分或全部。
15、氢原子可被取代；M为Si、Ge或Sn；R 3m 为烷基；其中，R 1 与R 3 可连接，可与所键结 的碳原子一起形成环状醚)。 0023 该组合物由于含有上述A聚合物、B化合物及C有机溶剂，在曝光时具有高 的射线敏感度。又，基于使该组合物的固体成分浓度成为上述特定范围，可有效地抑制涂布 不均的发生，进一步使该组合物的粘度成为上述特定范围，可一边维持膜厚均匀性，一边即 使发生涂布不均，也可平衡性良好地达成可自发的均匀程度的粘度，而且可实现高速涂布 性。又，基于使用具有上述特定范围的蒸气压的C有机溶剂，即使采用喷出喷嘴式涂布 法，也可防止涂布不均，同时可高速涂布。 0024 在该组合物中，作为C有。
16、机溶剂，进一步含有(C2)在20的蒸气压为1mmHg以 上20mmHg以下的有机溶剂，(C2)有机溶剂的含量，相对于(C1)有机溶剂及(C2)有机溶剂 的合计量而言，较佳为10质量%以上90质量%以下，(C2)有机溶剂的含量，相对于(C1) 说 明 书CN 102870045 A 3/33页 6 有机溶剂及(C2)有机溶剂的合计量，进一步优选为10质量%以上50质量%以下。通过使 蒸气压低的(C1)有机溶剂与蒸气压高的(C2)有机溶剂的质量比成为上述特定范围，特别 在预烘烤后的涂膜中的残存溶剂量为最佳化、涂膜的流动性被平衡，结果可抑制涂布不均 (条纹不均、针痕不均、雾状不均等)的发生，可进一步。
17、提高膜厚均匀性。又，基于使残存溶 剂量最佳化，酸产生量与酸分解性基团高度平衡，射线敏感度有进一步变良好的倾向。 0025 在该组合物中，进一步含有D由氟类表面活性剂或聚硅氧烷类表面活性剂所组 成的群中选出的至少一种表面活性剂(以下也称为“D表面活性剂”)，D表面活性剂的 含量相对于A聚合物100质量份，较佳为0.01质量份以上2质量份以下。由于该组合物 进一步含有D表面活性剂，可提高涂膜的表面平滑性，结果可进一步提高所形成的显示 元件用层间绝缘膜的膜厚均匀性。再者，基于使D表面活性剂的含量在上述特定范围，可 进一步提高涂膜的表面平滑性。 0026 在该组合物中，较佳为进一步含有E多官能(甲基)。
18、丙烯酸酯化合物。由于该 组合物进一步含有E多官能(甲基)丙烯酸酯化合物，可提高显示元件用层间绝缘膜的 透光率及耐热透明性。 0027 在该组合物中，较佳为进一步含有F抗氧化剂。由于该组合物进一步含有F 抗氧化剂，可提高显示元件用层间绝缘膜的透光率及耐热透明性。 0028 在该组合物中，较佳为进一步含有G环氧化合物。由于该组合物进一步含有G 环氧化合物，可提高显示元件用层间绝缘膜的透光率及耐热透明性。 0029 (C1)有机溶剂较佳为由二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二丙二醇二甲 基醚、苯甲醇、二丙二醇单甲基醚所组成的群中选出的至少一种有机溶剂，(C2)有机溶剂较 佳为由二乙二醇二甲基醚、。
19、乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、乙二醇单丙基 醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、环己酮、乙酸正丁酯、甲基异丁基酮、3-甲氧基丙酸甲酯 所组成的群中选出的至少一种有机溶剂。从上述特定化合物中选择(C1)有机溶剂及(C2) 有机溶剂，可进一步抑制涂布不匀的发生，进一步提高膜厚均匀性。 0030 本发明中也适宜地包含由该组合物所形成的显示元件用层间绝缘膜。 0031 本发明的显示元件用层间绝缘膜的形成方法具有： 0032 (1)一边使喷出喷嘴与基板相对地移动，一边将该组合物涂布于基板上，形成涂膜 的工序， 0033 (2)对上述所形成的涂膜的至少一部分照射射线的工序， 0034 (3)将经。
20、上述射线照射后的涂膜显影的工序，及 0035 (4)将经上述显影后的涂膜加热的工序。 0036 根据该形成方法，使用可高速的涂布、同时具有优异的射线敏感度、可形成膜厚均 匀性优异的显示元件用层间固化膜的该组合物，基于利用感射线性的曝光、显像、加热来形 成图案，可容易形成具有微细且精巧的图案的显示元件用层间固化膜。再者，如此所形成的 显示元件用层间绝缘膜，为无涂布不均而具有高度的平坦性，可适用于液晶显示元件、有机 EL显示元件等的显示元件。 0037 再者，本说明书中所言的“喷出喷嘴式涂布法”，指通过喷嘴对被涂物喷出该组合 物而涂布的方法，例如可举出使用具有多个的喷嘴孔以列状排列的喷出口的喷嘴涂。
21、布该组 合物的方法；使用具有狭缝状的喷出口的喷嘴，涂布该组合物的方法等，包含在基板上涂布 说 明 书CN 102870045 A 4/33页 7 该组合物后，使基板旋转，到调整膜厚的操作为止的概念。本说明书中所说的A聚合物的 概念也包括在一个聚合物分子中具有结构单元(I)，而且在与该一个聚合物分子不同的聚 合物分子中具有含环氧基的结构单元。本说明书中所说的“射线敏感性树脂组合物”的“射 线”的概念包括可见光线、紫外线、远紫外线、X射线、带电粒子线等。 0038 发明的效果 0039 如以上说明，本发明的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物为具有高的射 线敏感度、而且可形成无涂布不均的具有高度。
22、平坦性(膜厚均匀性)的显示元件用层间绝 缘膜，进一步且可高速涂布。因此，该组合物适合作为形成液晶显示元件、有机EL显示元件 等的显示元件用层间绝缘膜用的材料。 具体实施方式 0040 本发明的喷出喷嘴式涂布法用正型射线敏感性组合物含有A聚合物、B化合 物及C有机溶剂。又，该组合物也可含有作为合适成分的D表面活性剂、E多官能(甲 基)丙烯酸酯化合物、F抗氧化剂、G环氧化合物。再者，只要不损害本发明的效果，则 也可含有其它任选成分。以下，详述各成分。 0041 0042 A聚合物为在同一或不同的聚合物分子中具有结构单元(I)与含环氧基的结构 单元，视需要也可具有其它结构单元。具有结构单元(I)及含。
23、环氧基的结构单元的A聚 合物的样态没有特别的限定，可举出： 0043 (i)在同一聚合物分子中具有结构单元(I)及含环氧基的结构单元这两者，在A 聚合物中存在1种聚合物分子的情况； 0044 (ii)在一个聚合物分子中具有结构单元(I)，在与其不同的聚合物分子中具有含 环氧基的结构单元，在A聚合物中存在2种聚合物分子的情况； 0045 (iii)在一个聚合物分子中具有结构单元(I)及含环氧基的结构单元这两者，在 与其不同的聚合物分子中具有结构单元(I)，在与这些不同的聚合物分子中具有含环氧基 的结构单元，在A聚合物中存在3种聚合物分子的情况； 0046 (iv)除了(i)(iii)规定的聚合物。
24、分子，在A聚合物中还进一步含有另1种 或2种以上的聚合物分子的情况等。 0047 结构单元(I) 0048 结构单元(I)中含有上述式(1)所示的基团，该基团以在酸的存在下分解而产生 极性基的基团(酸分解性基团)的形式存在，所以经由射线的照射而由B化合物所产生 的酸导致分解，结果碱不溶性的聚合物A变成碱可溶性。上述酸分解性基团具有对碱比 较稳定的缩醛结构或缩酮结构，这些可基于酸的作用而分解。 0049 上述式(1)中，R 1 及R 2 各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或芳基。其中，上述烷 基、环烷基及芳基所具有的一部分或全部氢原子可被取代。又，不存在R 1 及R 2 同时为氢原 子的情况。R 。
25、3 为烷基、环烷基、芳烷基、芳基或-M(R 3m ) 3 所示的基。其中这些基团所具有的 一部分或全部氢原子可被取代。M为Si、Ge或Sn。R 3m 为烷基。其中，R 1 与R 3 可连接，可与 所连接的碳原子一起形成环状醚。 0050 作为上述R 1 及R 2 所示的烷基，较佳为碳原子数130的直链状及支链状的烷基。 说 明 书CN 102870045 A 5/33页 8 又，此烷基可在烷基链中具有氧原子、硫原子、氮原子。作为上述碳原子数130的直链状 及支链状的烷基，例如可举出甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正辛基、正十二 基、正十四基、正十八基等的直链状烷基、异丙基、异丁基、。
26、叔丁基、新戊基、2-己基、3-己基 等的支链状的烷基等。 0051 作为上述R 1 及R 2 所示的环烷基，较佳为碳原子数320的环烷基。又，此碳原子 数320的环烷基可为多环，在环内可具有氧原子。作为上述碳原子数320的环烷基， 例如可举出环丙基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、冰片基、降冰片基、金刚烷基等。 0052 作为上述R 1 及R 2 所示的芳基，较佳为碳原子数614的芳基。此碳原子数6 14的芳基可为单环，也可为单环所连结的构造，也可为缩合环。作为上述碳原子数614 的芳基，例如可举出苯基、萘基等。 0053 作为上述R 1 及R 2 所示的可经取代的烷基、环烷基及芳基的取代基，。
27、例如可举出卤 素原子、羟基、硝基、氰基、羧基、羰基、环烷基(例如环丙基、环戊基、环己基、环庚基、环辛 基、冰片基、降冰片基、金刚烷基等)、芳基(例如苯基、萘基等)、烷氧基(例如甲氧基、乙氧 基、丙氧基、正丁氧基、戊氧基、己氧基、庚氧基、辛氧基等的碳原子数120的烷氧基等)、 酰基(例如乙酰基、丙酰基、丁酰基、异丁酰基等的碳原子数220的酰基等)、酰氧基(例 如乙酰氧基、丙酰氧基、丁酰氧基、叔丁酰氧基、叔戊酰氧基等的碳原子数210的酰氧基 等)、烷氧羰基(例如甲氧羰基、乙氧羰基、丙氧羰基等的碳原子数220的烷氧羰基)、卤 代烷基(例如甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正辛基、正十二基、。
28、正十四基、正 十八基等的直链状烷基，异丙基、异丁基、叔丁基、新戊基、2-己基、3-己基等的支链状烷基 等的烷基，全氟甲基、全氟乙基、全氟丙基、氟环丙基、氟环丁基等的环烷基的一部分或全部 氢原子经卤素原子取代的基等)等。 0054 作为上述R 3 所示的烷基、环烷基及芳基的例，例如可采用上述R 1 及R 2 所例示的基 团。作为上述R 3 所示的芳烷基，例如可举出苄基、苯乙基、萘甲基、萘乙基等的碳原子数7 20的芳烷基等。作为上述R 3 所示的-M(R 3m ) 3 ，例如可举出三甲基硅烷基、三甲基甲锗烷基 等。作为上述R 3 所示的芳烷基或-M(R 3m ) 3 的取代基，可采用上述R 1 及。
29、R 2 所例示的取代基。 0055 作为R 1 与R 3 可连接、且可与所键结的碳原子一起形成的环状醚，例如可举出2-氧 杂环丁烷基、2-四氢呋喃基、2-四氢吡喃基、2-二氧杂环己烷基等。 0056 结构单元(I)具有基于结合到其它碳原子上而成为能够具有缩醛结构或缩酮结 构的官能基，由此可以具有该缩醛结构或缩酮结构。 0057 作为上述基于结合到其它碳原子上而成为能够具有缩醛结构的官能基，例如可举 出1-甲氧基乙氧基、1-乙氧基乙氧基、1-正丙氧基乙氧基、1-异丙氧基乙氧基、1-正丁 氧基乙氧基、1-异丁氧基乙氧基、1-仲丁氧基乙氧基、1-叔丁氧基乙氧基、1-环戊氧基乙 氧基、1-环己氧基乙氧。
30、基、1-降冰片氧基乙氧基、1-冰片氧基乙氧基、1-苯氧基乙氧基、 1-(1-萘氧基)乙氧基、1-苄氧基乙氧基、1-苯乙基氧基乙氧基、(环己基)(甲氧基)甲氧 基、(环己基)(乙氧基)甲氧基、(环己基)(正丙氧基)甲氧基、(环己基)(异丙氧基) 甲氧基、(环己基)(环己氧基)甲氧基、(环己基)(苯氧基)甲氧基、(环己基)(苄氧基) 甲氧基、(苯基)(甲氧基)甲氧基、(苯基)(乙氧基)甲氧基、(苯基)(正丙氧基)甲氧 基、(苯基)(异丙氧基)甲氧基、(苯基)(环己氧基)甲氧基、(苯基)(苯氧基)甲氧基、 (苯基)(苄氧基)甲氧基、(苄基)(甲氧基)甲氧基、(苄基)(乙氧基)甲氧基、(苄基) 说 明。
31、 书CN 102870045 A 6/33页 9 (正丙氧基)甲氧基、(苄基)(异丙氧基)甲氧基、(苄基)(环己氧基)甲氧基、(苄基) (苯氧基)甲氧基、(苄基)(苄氧基)甲氧基、2-四氢呋喃氧基、2-四氢吡喃氧基、1-三甲 基硅烷基氧基乙氧基、1-三甲基甲锗烷基氧基乙氧基等。这些中，较佳为1-乙氧基乙氧基、 1-环己氧基乙氧基、2-四氢吡喃氧基、1-正丙氧基乙氧基、1-正丁氧基乙氧基、2-四氢吡喃 氧基。 0058 作为上述基于结合到其它碳原子上而能够成为具有缩酮结构的官能基，例如可举 出1-甲基-1-甲氧基乙氧基、1-甲基-1-乙氧基乙氧基、1-甲基-1-正丙氧基乙氧基、 1-甲基-1-异。
32、丙氧基乙氧基、1-甲基-1-正丁氧基乙氧基、1-甲基-1-异丁氧基乙氧基、 1-甲基-1-仲丁氧基乙氧基、1-甲基-1-叔丁氧基乙氧基、1-甲基-1-环戊氧基乙氧基、 1-甲基-1-环己氧基乙氧基、1-甲基-1-降冰片氧基乙氧基、1-甲基-1-冰片氧基乙氧 基、1-甲基-1-苯氧基乙氧基、1-甲基-1-(1-萘氧基)乙氧基、1-甲基-1-苄氧基乙氧 基、1-甲基-1-苯乙基氧基乙氧基、1-乙基-1-甲氧基乙氧基、1-乙基-1-乙氧基乙氧基、 1-乙基-1-正丙氧基乙氧基、1-乙基-1-异丙氧基乙氧基、1-乙基-1-正丁氧基乙氧基、 1-乙基-1-异丁氧基乙氧基、1-乙基-1-仲丁氧基乙氧基、1。
33、-乙基-1-叔丁氧基乙氧基、 1-乙基-1-环戊氧基乙氧基、1-乙基-1-环己氧基乙氧基、1-乙基-1-降冰片氧基乙氧基、 1-乙基-1-冰片氧基乙氧基、1-乙基-1-苯氧基乙氧基、1-乙基-1-(1-萘氧基)乙氧基、 1-乙基-1-苄氧基乙氧基、1-乙基-1-苯乙基氧基乙氧基、1-环己基-1-甲氧基乙氧基、 1-环己基-1-乙氧基乙氧基、1-环己基-1-正丙氧基乙氧基、1-环己基-1-异丙氧基乙氧 基、1-环己基-1-环己氧基乙氧基、1-环己基-1-苯氧基乙氧基、1-环己基-1-苄氧基乙 氧基、1-苯基-1-甲氧基乙氧基、1-苯基-1-乙氧基乙氧基、1-苯基-1-正丙氧基乙氧基、 1-苯基-。
34、1-异丙氧基乙氧基、1-苯基-1-环己氧基乙氧基、1-苯基-1-苯氧基乙氧基、1-苯 基-1-苄氧基乙氧基、1-苄基-1-甲氧基乙氧基、1-苄基-1-乙氧基乙氧基、1-苄基-1-正 丙氧基乙氧基、1-苄基-1-异丙氧基乙氧基、1-苄基-1-环己氧基乙氧基、1-苄基-1-苯氧 基乙氧基、1-苄基-1-苄氧基乙氧基、2-(2-甲基-四氢呋喃基)氧基、2-(2-甲基-四氢吡 喃基)氧基、1-甲氧基-环戊氧基、1-甲氧基-环己氧基等。这些中，较佳为1-甲基-1-甲 氧基乙氧基、1-甲基-1-环己氧基乙氧基。 0059 作为上述具有缩醛构造或缩酮构造的结构单元(I)，例如可举出下述式(1-1) (1-3。
35、)所示的结构单元等。 0060 0061 上述式(1-1)(1-3)中、R 1 、R 2 及R 3 与上述式(1)同义。上述式(1-1)及(1-3) 说 明 书CN 102870045 A 7/33页 10 中，R为氢原子或甲基。 0062 作为给予上述式(1-1)(1-3)所示的结构单元的单体(以下也称为“含缩醛构 造的单体”)，例如可举出： 0063 (甲基)丙烯酸1-烷氧基烷酯、(甲基)丙烯酸1-(环烷氧基)烷酯、(甲基)丙 烯酸1-(卤烷氧基)烷酯、(甲基)丙烯酸1-(芳烷氧基)烷酯、(甲基)丙烯酸四氢吡喃 酯等的(甲基)丙烯酸酯类含缩醛构造的单体； 0064 2,3-二(1-(三烷基。
36、硅烷基氧基)烷氧基)羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-(三 烷基甲锗烷基氧基)烷氧基)羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-烷氧基烷氧羰基)-5-降冰 片烯、2,3-二(1-(环烷氧基)烷氧羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-(芳烷氧基)烷氧羰 基)-5-降冰片烯等的降冰片烯为含缩醛构造的单体； 0065 1-烷氧基烷氧基苯乙烯、1-(卤烷氧基)烷氧基苯乙烯、1-(芳烷氧基)烷氧基苯 乙烯、四氢吡喃氧基苯乙烯等的苯乙烯为含缩醛构造的单体。 0066 作为上述(甲基)丙烯酸酯为含缩醛构造的单体的进一步具体例，例如可举出甲 基丙烯酸1-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸1-甲氧基乙酯、甲基丙烯酸1-正丁。
37、氧基乙酯、甲基丙 烯酸1-异丁氧基乙酯、甲基丙烯酸1-叔丁氧基乙酯、甲基丙烯酸1-(2-氯乙氧基)乙酯、甲 基丙烯酸1-(2-乙基己氧基)乙酯、甲基丙烯酸1-正丙氧基乙酯、甲基丙烯酸1-环己氧基 乙酯、甲基丙烯酸1-(2-环己基乙氧基)乙酯、甲基丙烯酸1-苄氧基乙酯、甲基丙烯酸2-四 氢吡喃酯、丙烯酸1-乙氧基乙酯、丙烯酸1-甲氧基乙酯、丙烯酸1-正丁氧基乙酯、丙烯酸 1-异丁氧基乙酯、丙烯酸1-叔丁氧基乙酯、丙烯酸1-(2-氯乙氧基)乙酯、丙烯酸1-(2-乙 基己氧基)乙酯、丙烯酸1-正丙氧基乙酯、丙烯酸1-环己氧基乙酯、丙烯酸1-(2-环己基 乙氧基)乙酯、丙烯酸1-苄氧基乙酯、丙烯酸2-。
38、四氢吡喃酯等。 0067 作为上述降冰片烯为含缩醛构造的单体的进一步具体例，例如可举出2,3-二 (1-(三甲基硅烷基氧基)乙氧基)羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-(三甲基甲锗烷基氧基) 乙氧基)羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-甲氧基乙氧羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-(环 己氧基)乙氧羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-(苄氧基)乙氧羰基)-5-降冰片烯等。 0068 作为上述苯乙烯类含缩醛构造的单体的进一步具体例，例如可举出对或间-1-乙 氧基乙氧基苯乙烯、对或间-1-甲氧基乙氧基苯乙烯、对或间-1-正丁氧基乙氧基苯乙烯、 对或间-1-异丁氧基乙氧基苯乙烯、对或间-1-。
39、(1,1-二甲基乙氧基)乙氧基苯乙烯、对 或间-1-(2-氯乙氧基)乙氧基苯乙烯、对或间-1-(2-乙基己氧基)乙氧基苯乙烯、对或 间-1-正丙氧基乙氧基苯乙烯、对或间-1-环己氧基乙氧基苯乙烯、对或间-1-(2-环己基 乙氧基)乙氧基苯乙烯、对或间-1-苄氧基乙氧基苯乙烯等。 0069 作为结构单元(I)，较佳为上述式(1-1)所示的结构单元。作为含缩醛构造的单 体，较佳为(甲基)丙烯酸1-烷氧基烷酯、(甲基)丙烯酸四氢吡喃酯、(甲基)丙烯酸 1-烷氧基烷氧基苯乙烯、四氢吡喃氧基苯乙烯，进一步优选为(甲基)丙烯酸1-烷氧基烷 酯，特优选为甲基丙烯酸1-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸1-正丁氧基乙酯、。
40、甲基丙烯酸2-四氢 吡喃酯、甲基丙烯酸1-苄氧基乙酯。 0070 含缩醛构造的单体可使用市售品，也可使用以众所周知的方法所合成的单体。例 如，给予上述式(1-1)所示的结构单元的含缩醛构造的单体，例如可基于如下述所示，使 (甲基)丙烯酸在酸触媒的存在下与乙烯醚反应的方法等而合成。 说 明 书CN 102870045 A 10 8/33页 11 0071 0072 上述式中，R、R 1 及R 3 与上述式(1-1)同义。R 21 及R 22 作为-CH(R 21 )(R 22 )而与上 述式(1-1)中的R 2 同义。 0073 A聚合物为可具有1种或2种以上的结构单元(I)。A聚合物中的结构单。
41、元 (I)的含量，只要A聚合物经由酸而显示碱可溶性、发挥显示元件用层间绝缘膜的所需的 耐热性，则没有特别的限定，在一个聚合物分子中含有结构单元(I)与含环氧基的结构单 元这两者时，以单体加入比计，较优选为5质量%70质量%，进一步优选为10质量% 60质量%，特优选为20质量%50质量%。 0074 另一方面，在一个聚合物分子中具有结构单元(I)，而且在另一个聚合物分子中具 有含环氧基的结构单元时，具有结构单元(I)的一个聚合物分子中的结构单元(I)的含量， 以单体加入比计，优选为40质量%99质量%，进一步优选为50质量%98质量%，特优 选为55质量%95质量%。 0075 含环氧基的结构。
42、单元 0076 A聚合物具有上述结构单元(I)的同时含环氧基的结构单元。含环氧基的结 构单元为来自含环氧基的单体的结构单元。再者，所谓的环氧基，就是包含环氧乙烷基 (1,2-环氧构造)及氧杂环丁烷基(1,3-环氧构造)的概念。A聚合物由于在分子中具 有含环氧基的结构单元，可提高由该组合物所得的固化膜的硬度，进一步提高耐热性。 0077 作为给予含环氧基的结构单元的含环氧基的单体，例如可举出： 0078 (甲基)丙烯酸环氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧基丁酯、丙烯酸3-甲 基-3,4-环氧基丁酯、甲基丙烯酸3-乙基-3,4-环氧基丁酯、(甲基)丙烯酸5,6-环氧基 己酯、甲基丙烯酸5-甲基-5。
43、,6-环氧基己酯、甲基丙烯酸5-乙基-5,6-环氧基己酯、(甲 基)丙烯酸6,7-环氧基庚酯、甲基丙烯酸3,4-环氧基环己酯、甲基丙烯酸3,4-环氧基环 己基甲酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧基环己基乙酯、甲基丙烯酸3,4-环氧基环己基丙酯、甲 基丙烯酸3,4-环氧基环己基丁酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧基环己基己酯、丙烯酸3,4-环 氧基环己基甲酯、丙烯酸3,4-环氧基环己基乙酯、丙烯酸3,4-环氧基环己基丙酯、丙烯酸 3,4-环氧基环己基丁酯、丙烯酸3,4-环氧基环己基己基等的含环氧乙烷基的(甲基)丙烯 酸类化合物； 0079 邻乙烯基苄基环氧丙基醚、间乙烯基苄基环氧丙基醚、对乙烯基苄基环氧。
44、丙基醚、 -甲基-邻乙烯基苄基环氧丙基醚、-甲基-间乙烯基苄基环氧丙基醚、-甲基-对 乙烯基苄基环氧丙基醚等的乙烯基苄基环氧丙基醚类； 0080 邻乙烯基苯基环氧丙基醚、间乙烯基苯基环氧丙基醚、对乙烯基苯基环氧丙基醚 等的乙烯基苯基环氧丙基醚类； 0081 3-(丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-3-甲基氧杂环丁 烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(丙烯酰氧基甲基)-3-苯基氧杂环丁 烷、3-(2-丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、3-(2-丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧杂环丁烷、 说 明 书CN 102870045 A 11 9/33页 12 3-(2-丙烯酰氧基。
45、乙基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(2-丙烯酰氧基乙基)-3-苯基氧杂环丁 烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-甲基氧杂环丁 烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-苯基氧 杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-3-乙基 氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-3-乙基氧杂环丁烷、3-(2-甲基丙烯酰氧基乙 基)-3-苯基氧杂环丁烷、2-(丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、2-(丙烯酰氧基甲基)-2-甲 基氧杂环丁烷、2-(丙烯酰氧基甲基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(丙烯。
46、酰氧基甲基)-2-苯基 氧杂环丁烷、2-(2-丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、2-(2-丙烯酰氧基乙基)-2-乙基氧杂环 丁烷、2-(2-丙烯酰氧基乙基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(2-丙烯酰氧基乙基)-2-苯基氧杂 环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)氧杂环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-甲基氧杂环 丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(甲基丙烯酰氧基甲基)-2-苯基 氧杂环丁烷、2-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)氧杂环丁烷、2-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-2-乙 基氧杂环丁烷、2-(2-甲基丙烯酰氧基乙基)-2-乙基氧杂环丁烷、2-(2-甲基丙烯酰氧基乙 基)-2-苯基氧。
47、杂环丁烷等的含氧杂环丁烷基的(甲基)丙烯酸类化合物等。 0082 在上述含环氧基的单体中，从与其它自由基聚合性单体的共聚合反应性及该组合 物的显影性的观点来看，优选为甲基丙烯酸环氧丙酯、甲基丙烯酸2-甲基环氧丙酯、甲基 丙烯酸3,4-环氧基环己酯、甲基丙烯酸3,4-环氧基环己基甲酯、3-(甲基丙烯酰氧基甲 基)-3-甲基氧杂环丁烷、3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷。 0083 A聚合物为可具有1种或2种以上的含环氧基的结构单元。A聚合物中的含 环氧基的结构单元的含量，只要能发挥显示元件用层间绝缘膜的所需耐热性，则没有特别 的限定，在一个聚合物分子中含有结构单元(I)与含环氧基的结。
48、构单元时，相对于A聚合 物中所含有的结构单元(I)而言，以单体加入比计，优选为1质量%60质量%，进一步优 选为15质量%55质量%，特优选为20质量%50质量%。 0084 另一方面，在一个聚合物分子中具有结构单元(I)，而且在另一个聚合物分子中具 有含环氧基的结构单元时，具有含环氧基的结构单元的一个聚合物分子中所含有的含环氧 基的结构单元的含量，以单体加入比计，优选为1质量%80质量%，进一步优选为30质 量%70质量%，特优选为35质量%65质量%。 0085 其它结构单元 0086 A聚合物可含有结构单元(I)及含环氧基的结构单元以外的其它结构单元。作 为给予其它结构单元的单体，例如可举出具有羧基或其衍生物的单体、具有羟基的单体、其 它单体等。 0087 作为上述具有羧基或其衍生物的单体，例如可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、 2-丙烯酰氧基乙基琥珀酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基琥珀酸、2-丙烯酰氧基乙基六氢苯二甲 酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基六氢苯二甲酸等的单羧酸；马来酸、富马酸、柠檬酸、中康酸、伊 康酸等的二羧酸；上述二羧酸的酸酐等。在这些具有羧基或其衍生物的单体中，优选为甲基 丙烯酸。 0088 作为上述具有羟基的单体，例如可举出丙烯酸2-羟。