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1、(10)申请公布号 CN 104241154 A (43)申请公布日 2014.12.24 C N 1 0 4 2 4 1 1 5 4 A (21)申请号 201310237194.2 (22)申请日 2013.06.14 H01L 21/66(2006.01) H01L 21/60(2006.01) B23K 1/00(2006.01) B29C 65/48(2006.01) B29C 65/82(2006.01) (71)申请人无锡华润安盛科技有限公司 地址 214028 江苏省无锡市国家高新技术产 业开发区锡梅路55号 (72)发明人魏元华 王伦波 刘晓明 (74)专利代理机构无锡互维知。
2、识产权代理有限 公司 32236 代理人王爱伟 (54) 发明名称 倒装芯片焊点润湿性的判定方法及其芯片的 焊接方法 (57) 摘要 本发明公开了一种倒装芯片焊点润湿性的判 定方法:将倒装芯片下压,与助焊剂通道底部软 接触,使倒装芯片上的球形凸点顶端变平;利用 显微镜测量被压平的球形凸点顶端扁平部直径, 获得压平直径d1;将压平直径d1与球形凸点直径 d比较,若满足0d1且d1d1且d1d1且d1d1且 d1铜柱直径,则说明产品润湿性良好,焊接可靠性良好;反之,则表明 焊接可靠性较差,可能直接影响到产品的性能。 0004 然而,当需要对一些面积过大的芯片或是超薄型芯片进行焊点润湿度检测时,使 。
3、用die shear的工艺方法便无法实现,对于面积过大的芯片来说,主要是由于芯片面积超出 设备识别区,无法完成整片芯片的检测;对于超薄型芯片来说,由于芯片的易碎裂性,使得 不能完成检测。因此,基于上述原因,目前只能通过检测产品焊接可靠性试验来完成,不能 直接观测判定,使得工艺复杂化,试验时间周期长,影响生产效率,且成本高。 发明内容 0005 本发明目的是提供一种倒装芯片焊点润湿性的判定方法及其芯片的焊接方法,采 用该方法,以直观的方式判定焊接可靠性,检测更为方便,有助于提高生产效率,降低生产 成本。 0006 为达到上述目的,本发明采用的判定技术方案是:一种倒装芯片焊点润湿性的判 定方法,其。
4、测试步骤为: 0007 下压倒装芯片与助焊剂通道底部软接触,使倒装芯片上的球形凸点顶端变平; 0008 测量球形凸点顶端扁平部直径,获得压平直径d1; 0009 将压平直径d1与凸点直径d比较,若满足0d1且d1d1且d1d1且d1d1且d1d/2,则表示球形凸点下压力过大,芯片内部出现应力损坏。 0037 在本实施例中,所述球形凸点20直径d为140微米,当采用显微镜放大倍数80倍 的情况下,测量所述压平直径d1为40微米,表示该芯片的焊点润湿性符合要求。 0038 使用上述方法检测判定的焊接方法是: 0039 制作芯片的球形凸点; 0040 拾取倒装芯片; 0041 蘸助焊剂; 0042 。
5、判断焊点的润湿度,挑选出合格产品进入下一工序,不合格产品则被拣出; 0043 贴放芯片; 0044 合格产品回流焊或热固化; 0045 底部充填灌胶; 0046 待胶固化。 0047 判断焊点的润湿度具体方法为:通过下压倒装芯片10,与芯片上的球形凸点软 接触,使球形凸点的顶端变平,利用显微镜放大80倍后测量变平的扁平部直径,当获得的 压平直径d1为40微米时,将压平直径d1与球形凸点直径d=140微米比较,满足0d1且 d1d/2,表示球形凸点20下压力过大,倒装芯片10内部出现应力损坏,为不 合格产品;当获得的压平直径d1为0微米,则表示该倒装芯片的焊点润湿性不足,为不合格 产品,对不合格。
6、产品拣出后调节参数,避免流入下一程序。 0048 检测过程位于回流焊之前,检测方便,不影响、且不改变原有的焊接工艺及设备, 因此成本低廉;在回流焊或热固化之前对芯片的焊点质量进行测量,可避免不合格产品被 成品化,降低不良品出品率,减少原材料的浪费。 0049 综上所述实施例仅表达了本发明的集中实施方式,其描述较为具体和详细,但并 不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是对于本领域的普通技术人员来 说,在不拖累本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都是属于本发明的保 护范围。因此,本发明专利的保护范围应以权利要求为准。 说 明 书CN 104241154 A 1/1页 6 图1 图2 说 明 书 附 图CN 104241154 A 。