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1、10申请公布号CN104046270A43申请公布日20140917CN104046270A21申请号201410292072822申请日20140626C09G1/0220060171申请人青岛宝泰新能源科技有限公司地址266000山东省青岛市李沧区郑佛路17号8室72发明人范向奎54发明名称一种存储器用化学抛光组合物57摘要本发明公开了一种存储器用化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质表面活性剂13份，有机添加剂25份，调节剂13份，水性介质5055份，纳米石墨粉12份，氨水713份，氢氧化铝713份，空心玻璃微珠913份，山梨醇1118份，聚丙烯710份，聚乙烯916份，甘油。
2、18份，二本甲酮716份，偶联剂17份，甲基三乙氧基硅烷1419份，钛酸酯偶联剂12份，纳米银05份。本发明的有益效果是制备简单，抛光效果明显，性能稳定。51INTCL权利要求书1页说明书1页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书1页10申请公布号CN104046270ACN104046270A1/1页21一种存储器用化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质表面活性剂13份，有机添加剂25份，调节剂13份，水性介质5055份，纳米石墨粉12份，氨水713份，氢氧化铝713份，空心玻璃微珠913份，山梨醇1118份，聚丙烯710份，聚乙烯916份，甘油18。
3、份，二本甲酮716份，偶联剂17份，甲基三乙氧基硅烷1419份，钛酸酯偶联剂12份，纳米银05份。权利要求书CN104046270A1/1页3一种存储器用化学抛光组合物技术领域0001本发明涉及一种存储器用化学抛光组合物。背景技术0002对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光CMP组合物及方法，但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。发明内容0003本发明所要解决的技。
4、术问题是提供一种存储器用化学抛光组合物。0004为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是一种存储器用化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质表面活性剂13份，有机添加剂25份，调节剂13份，水性介质5055份，纳米石墨粉12份，氨水713份，氢氧化铝713份，空心玻璃微珠913份，山梨醇1118份，聚丙烯710份，聚乙烯916份，甘油18份，二本甲酮716份，偶联剂17份，甲基三乙氧基硅烷1419份，钛酸酯偶联剂12份，纳米银05份。0005本发明的有益效果是制备简单，抛光效果明显，性能稳定。具体实施方式0006实施例1一种存储器用化学抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质表面活性剂13份，有机添加剂25份，调节剂13份，水性介质5055份，纳米石墨粉12份，氨水713份，氢氧化铝713份，空心玻璃微珠913份，山梨醇1118份，聚丙烯710份，聚乙烯916份，甘油18份，二本甲酮716份，偶联剂17份，甲基三乙氧基硅烷1419份，钛酸酯偶联剂12份，纳米银05份。说明书CN104046270A。