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1、(10)申请公布号 CN 102856485 A (43)申请公布日 2013.01.02 C N 1 0 2 8 5 6 4 8 5 A *CN102856485A* (21)申请号 201110175469.5 (22)申请日 2011.06.27 H01L 35/26(2006.01) H01L 35/28(2006.01) (71)申请人吴应前 地址 201102 上海市闵行区平阳路300弄古 美四村52号602室 申请人胡安惠 吴明芳 (72)发明人吴应前 (54) 发明名称 一种用于半导体制冷的三层复合结构材料 (57) 摘要 本发明的名称是“一种用于半导体制冷的三 层复合结构材料。
2、”,属于半导体制冷的技术领域。 所述复合结构由三个制冷材料薄成,它将制冷材 料的物理参数-塞贝克系数、电导率和热导 率做适度的空间分离,各层根据自身应起的作用 优化自己的参数配置,突出一个主要参数,然后结 合起来形成一个整体上的优化结构。用这种优化 的复合结构代替现有的单一均匀结构,突破了均 匀结构中参数互相制约所造成的技术瓶颈,是一 种新型的节能环保复合材料的制备方案,为制造 半导体制冷材料和组件提供了一个新方法。 (51)Int.Cl. 权利要求书1页 说明书3页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 3 页 1/1页 2 1.一种用于半导。
3、体制冷的复合结构材料,包括三个制冷材料薄层,两个表面层和一个 中间层,层与层之间的过渡可以是突变的,也可以是缓变的,表面层的塞贝克系数高,中间 层的电导率高,三层结合起来组成复合结构,其特征在于把制冷材料物理参数塞贝克系 数、电导率和热导率做适度的空间分离,每一个制冷材料薄层根据自身应起的物理作用优 化自身的参数配置,突出一个主要参数,然后组合起来形成一个整体上的优化结构,突破现 有的单一均匀制冷材料的技术瓶颈。 2.根据权利要求1所述的复合结构材料,其特征在于所述复合结构材料包括由N-N + -N 结构复合材料或P-P + -P结构复合材料,其中两个N型表面层的塞贝克系数高,中间N + 层的。
4、 电导率高,或两个P型表面层的塞贝克系数高,中间P + 层的电导率高。 3.根据权利要求1和权利要求2所述的复合结构材料,其特征在于按照这类复合结构, 直接制备制冷元件和制冷组件。 权 利 要 求 书CN 102856485 A 1/3页 3 一种用于半导体制冷的三层复合结构材料 0001 本发明的名称是“一种用于半导体制冷的三层复合结构材料”,提供一种制备制冷 材料和制冷器件的新方法,属于半导体制冷的技术领域。半导体制冷又叫热电制冷、温差电 制冷,是一种绿色的固态制冷方式。其优点是体积小、重量轻、无污染、无噪声、寿命长、可靠 性高,绿色环保节能,尤其在小功率、小温差的制冷领域内有不少的应用,。
5、诸如电子器件、光 电器件的冷却、汽车冷热两用箱、饮水机、红酒柜等。但是半导体制冷的缺点也比较明显,即 与传统制冷方式相比能效比不高,成本也比较贵。为了克服这些缺点,世界各国的学者们在 过去的半个世纪里做了各种探索和研究。这些研究的方向主要表现在以下两个方面: 0002 第一,研究开发新的块体热电材料。碲铋合金是公认的室温附近的最好热电材料, 目前绝大多数热电制冷器件都使用这类材料。这类材料的无量纲优质系数一般都小于1,最 好的也不过0.9, 1-2 ,至今还停留在上个世纪六十年代的水平。不少学者认为,这类材料 已经没有多少潜力可挖,于是把目光投向CoSb 3 ,Zn 4 Sb 3 ,金属硅化物。
6、和NaCo 2 O 4 等新材料上, 并取得了一些成效, 【3】-【5】 ,但离实际应用还有很长的距离。 0003 第二,将现有材料低维化,不改变现有热电材料的化学成分,只是将原来的三维块 体形式变成量子阱、超晶格、量子线、量子点等低维形式,依靠载流子在束缚态下的特殊性 能优势(比如,费米能级附近状态密度升高)、界面声子散射增强和调制掺杂提高迁移率等 多种因素,提高热电材料的优质系数。从Hicks and Dresselhouse率先倡议采用低维结构 算起,至今不过二十年,这方面就已经取得了令人瞩目的进展 【5】 。不过,这些工作至今仍然 处在实验研究阶段,没有商品器件问世,说明在技术和成本上。
7、还有很大的障碍需要克服。所 以,总体说来,半导体制冷的发展形势还不是很乐观。 0004 根据我们的研究,块体制冷材料应用的瓶颈主要不是材料本身的性能问题,而是 材料以及器件的结构不合理,其理由如下:至今所有的块体热电材料都是均匀结构,质量由 优质系数Z和无量纲优质系数ZT表征。 0005 其中为材料的赛贝克系数,为材料的电导率,为材料的热导率。 下面以N型材料为例,说明瓶颈是如何造成的。半导体物理 【6】 表明,这三个参数的大小分别 是: 0006 塞贝克系数 0007 其中, b 为玻尔兹曼常数,q为电子电量,为散射因子(对于品格散射 ),Nc为导带底的电子状态密度(由材料的本征性质决定),。
8、n为导带电子浓度。可见,的 绝对值大小是电子浓度n的减函数,n越大,的绝对值越小。 0008 电导率nq n (2) 0009 其中 n 为电子迁移率,由材料种类、温度和杂质缺陷等因素决定。可见,与电 子浓度n成正比,n越大,也越大。 0010 热导率 L + e (3) 0011 其中 L 为晶格热导率,由材料的本征性质、温度和缺陷等因素决定,占热导率的 大部分。 e 为电子热导率, e LT (4) 说 明 书CN 102856485 A 2/3页 4 0012 其中L为洛仑兹常数,T为温度。 0013 显然,热导率是电导率的增函数,越大,也越大。 0014 从以上四个公式可以看出,对结构。
9、均匀的块体材料来说,质量参数、和是 相互制约,相互矛盾的,越大,就会越小,也越大。所以结构均匀的制冷材料的优质 系数很难提高。这是造成现在热电材料质量技术瓶颈的根本原因。将这种均匀块体结构材 料切割成元件以后,两端再做上电极,就成了通常的半导体制冷组件,组件的基本单元是电 偶,块体材料的优质系数都不高,制成的组件和电偶的质量自然也不高。 0015 本发明基于对半导体制冷机理的理解提出一种制备制冷材料和制冷器件的新方 法,其特征在于用一种三层式复合结构制冷材料代替现在的均匀结构的制冷材料。所述复 合结构由两个高的端面层和一个高的中间层组成,形成高层高层高层 的夹层结构,层与层之间的过渡可以是突变。
10、的,也可以是缓变的。按这种结构先做成制冷材 料,然后切成元件,做上电极,就获得一种新的制冷组件。当然也可以直接按这种结构制备 元件,形成新的制冷组件。这种复合结构的优势可以通过一个N-N + -N型结构和一个P-P + -P 结构进行说明。如果温差电偶的N臂和P臂分别采用了这两种复合结构,则温差电偶通电 制冷时两个端面层的高,珀尔特效应显著,有强烈的吸热能力Q c 和放热能力Q h 。中间的 N + 层和P + 层的电导率高,所以焦耳热以及产生这些焦耳热需要付出的电功率W J 就很小。加 之高,必然导致中间层的塞贝克系数 b 很低,克服中间层的温差电动势所需付出的电 功率W T 也很小,所以电。
11、偶消耗的总电功率WW J +W T 也必然很小,于是,能效比(即制冷 系数) 会很高。从这个例子可以看出,三层式复合结构与现在的均匀结构相同之处 在于都由制冷材料构成,不同之处在于复合结构将制冷材料的物理参数-、和做 了适度的空间分离。每一个半导体制冷材料的薄层根据自己应当起到的物理作用,优化自 己的参数配置,突出一个主要的参数,然后组合起来形成一个整体上的优化结构。用它代替 现有制冷材料和制冷器件的单一均匀结构,就突破了单一均匀结构参数之间互相制约所造 成的技术瓶颈。下面我们以一个数字例子说明这种复合结构材料的性能优势。由稳态下的 热平衡方程很容易证明,采用三层式结构的电偶,在最大制冷功率工。
12、况下,仍然有 0016 0017 其中,T max 为最大温差,T c min 为冷端绝热时的最低温度,Z c 为三层复合结构下电 偶的优质系数,其大小是, 其中 c 为电偶的塞贝克系数, c | cn |+ cp 是N型 端面层和P 型端面层的塞贝克系数总和,R为电偶两臂的串联总电阻,K为电偶两臂并联的 总热导。由于N-N + -N结构和P-P + -P结构中两个端面层都比中间层薄很多,所以R、K之值基 本上由中间层决定。在电偶形状因子取最佳值的条件下, 0018 0019 其中,脚标b代表中间层的相关参数, bn 、 bp 分别是电偶的N臂和P臂的中间层 热导率, bn 、 bp 分别是电。
13、偶的N臂和P臂的中间层电阻率。 0020 如果在三层式结构中,| cn | cp 260v/, 说 明 书CN 102856485 A 3/3页 5 bn bp 20x10 -3 W/cm.则,Z c 5.1x10 -3 /。目前采用均匀结构的碲铋合金 【7】 的优 质系数Z不过是2.5x10 -3 /-3.0x10 -3 /。可见,采用三层式复合结构的电偶要比均匀结 构的电偶的优质系数高出70-100。当然,如果在温差电偶中只将一个臂采用三层式 复合结构,另一个臂采用传统的均匀结构,则优质系数改善的程度没有这么高,可是改善还 是肯定的。其实半导体制冷材料的品种很多,其中大部分至今未获应用,根。
14、源在于人们总是 用均匀块体材料的三大参数作为评价材料质量的标准,然而这种标准其实并不合理,它使 我们遗漏了不少优质的材料,比如,一种材料塞贝克系数本来很高,可是掺杂下来,塞贝克 系数变得很低。这类材料从传统的考核标准来看,显然是次等材料;但是,如果采用上述的 三层式复合结构,则可以制造出很优秀的制冷组件。从这种意义上讲,三层式复合结构为我 们制造半导体制冷材料和制冷组件增添了一种新的思路。 0021 参考资料: 0022 【1】Majundar A.“Thermoelectricity in Semiconductor Nanostructures”, Science,2004,303:777-778 0023 【2】谢华清、奚同庚“低维材料热物理”,上海科技出版社2008年9月第一版 0024 【3】胡安徽等“Skutterudite热电材料的最新进展”材料导报,2007年第一期 0025 【4】徐国栋等“高优质系数热电材料研究”,材料导报,2010年第三期 0026 【5】骆军“热电材料研究”,2010年7月在中科院物理所的专题学术报告 0027 【6】钱佑华、徐至中“半导体物理”,高等教育出版社,2003年12月 0028 【7】汪继强“化学电源与物理电源”,国防工业出版社2008年第二版 说 明 书CN 102856485 A 。