移动台、 具有移动台的输送装置及带电粒子束装置 技术领域 本发明涉及在例如半导体制造装置或液晶制造装置中用于输送试料的移动台及 具有该移动台的输送装置、 以及带电粒子束装置。
背景技术 作为在制造半导体设备时使用的装置， 有使用电子束或离子束的图案描绘装置及 检查装置。在这些装置中， 为了使试料移动到目标位置而使用的移动台例如在基座上配置 有沿 X 轴方向移动的 X 台， 并在 X 台上配置有沿 Y 轴方向移动的 Y 台。并且， 提出有一种以 与 X 台的移动方向平行的方式对 Y 台设置滑动件， 并对动力传递部即 Y 驱动轴设置由固定 辊和按压辊构成的辊钩部 ( ロ一ラフツク部 ) 的结构 ( 例如， 日本特开 2007-184193 号公 报 )。在该结构中， Y 驱动轴被固定于直线电动机， 滑动件在固定辊与按压辊之间能够沿着 X 轴方向移动。
然而， 在专利文献 1 的结构中， 在滑动件与按压辊及固定辊之间容易发生打滑， 从 而会产生 Y 台的位置精度变差的问题。
因此， 追求一种抑制台的位置精度恶化的技术。
发明内容 本发明的一形态的移动台具有第一台、 第二台、 生成部、 动力传递部。第一台能够 沿着第一方向移动。 第二台其至少一部分位于第一台上且能够沿着与第一方向交叉的第二 方向进行移动。生成部生成用于使第二台沿着第二方向移动的驱动力。动力传递部从生成 部向第二台传递驱动力， 且至少一部分伴随着第一台的移动而进行动作。
本发明的一形态的输送装置具有移动台和控制生成部的动作的控制器。
本发明的一形态的带电粒子束装置具有能够向第二台上载置试料的输送装置和 设置在第二台的上方并对试料照射带电粒子束的带电粒子束源。
根据本发明的一形态的移动台及输送装置， 能够抑制台的位置精度的恶化。
根据本发明的一形态的带电粒子束装置， 能够更高精度地向对称物的所希望的位 置照射带电粒子束。
附图说明 图 1 是本发明的第一实施方式的移动台的俯视图。
图 2 是本发明的第一实施方式的移动台的侧视图， 是从图 1 的箭头 A 方向观察而 得到的侧视图。
图 3 是图 1 的 B-B 线处的剖视图。
图 4 是图 1 的由虚线 C 包围的部分的剖视图， 是图 2 的 D-D 线的截面的俯视观察 时的图。
图 5 是本发明的第二实施方式的移动台的俯视图。
图 6 是本发明的第二实施方式的移动台的侧视图， 是从图 5 的箭头 E 方向观察而 得到的侧视图。
图 7 是表示图 6 的 F-F 线处的旋转轴的一部分及齿轮部的截面的图。
图 8 是本发明的第二实施方式的移动台的一变形例的俯视图。
图 9 是图 8 的 H-H 线处的旋转轴的一部分及齿轮部的截面的从箭头 G 方向观察时 的图。
图 10 是本发明的第三实施方式的移动台的俯视图， 尤其是详细地表示微调机构 的结构的图。
图 11 是图 10 的 J-J 线处的剖视图。
图 12 是本发明的第三实施方式的移动台的一变形例的俯视图。
图 13 是详细地表示图 12 的移动台的微调机构的结构的图。
图 14 是图 13 的 K-K 线处的剖视图。
图 15 是表示本发明的输送装置的结构例的俯视图。
图 16 是表示使用了本发明的实施方式的移动台的带电粒子束装置的结构例的侧 视图。 具体实施方式
以下， 参照附图， 详细地说明本发明的实施方式。需要说明的是， 在图 4 以外的全 部的附图中标注有正交坐标系的 X 轴、 Y 轴及 Z 轴。而且， 为了便于说明， 在图 1、 图 5、 图 8、 图 10、 图 12、 图 13、 图 15 中标注有俯视观察移动台 1 时看不见的 Y 滚珠丝杠 17。
( 第一实施方式 )
如图 1- 图 3 所示， 第一实施方式的移动台 1A 具有基台 11、 在基台 11 上能够沿着 X 轴方向呈直线状移动的 X 台 12、 在 X 台 12 上能够沿着 Y 轴方向呈直线状移动的 Y 台 13。 而且， 移动台 1A 具有 ： 在基台 11 的上表面以沿着 X 轴方向延伸的方式设置的 X 直线引导件 14 ； 在 X 台 12 的上表面以沿着 Y 轴方向延伸的方式设置的 Y 直线引导件 15。X 台 12 由 X 直线引导件 14 引导， Y 台 13 由 Y 直线引导件 15 引导。基台 11、 X 台 12 及 Y 台 13 配置在 由强磁性体即纯铁、 低碳钢或坡莫合金等制作的真空腔室 3 内。
需要说明的是， X 直线引导件 14 和 Y 直线引导件 15 在俯视观察时以正交的方式 设置， 因此配置在移动台 1A 上的晶片等试料能够在 XY 平面中自如地移动。
在 X 台 12 的与基台 11 对置的表面上设有 X 滚珠丝杠 16。X 滚珠丝杠 16 的丝杠 轴在 X 电磁电动机 MX 所产生的驱动转矩的作用下旋转。X 台 12 对应于该 X 滚珠丝杠 16 的 丝杠轴的旋转， 被 X 直线引导件 14 引导而进行移动。
同样地， Y 台 13 也通过 Y 电磁电动机 MY 驱动。具体而言， 在 Y 台 13 的与 X 台 12 对置的表面上设置的 Y 滚珠丝杠 17 的丝杠轴在 Y 电磁电动机 MY 所产生的驱动转矩的作用 下旋转。在此， Y 滚珠丝杠 17 安装在 Y 台 13 的 X 轴方向上的中央部。当 Y 滚珠丝杠 17 的 丝杠轴旋转时， Y 台 13 在 X 台 12 上被 Y 直线引导件 15 引导而进行移动。Y 台 13 的至少一 部分位于 X 台 12 上。需要说明的是， 在本实施方式的移动台 1A 中， X 电磁电动机 MX 及 Y 电 磁电动机 MY 所生成的驱动转矩是指旋转转矩。
此外， X 电磁电动机 MX 及 Y 电磁电动机 MY 发热且周围的磁场可能会发生变动， 因此分别安装在真空腔室 3 的外壁面上。由此， 能够抑制真空腔室 3 的内部空间受到这些发 热及磁场变动的影响的情况。例如， 在真空腔室 3 的内部， 在对半导体晶片进行描绘时， 能 够抑制带电粒子束因磁场而发生弯曲的情况。
另外， 通过利用 X 电磁电动机 MX 使 X 滚珠丝杠 16 的旋转数及旋转速度等变化， 而 能够控制 X 台 12 的 X 轴方向的移动。同样地， 通过利用 Y 电磁电动机 MY 使 Y 滚珠丝杠 17 的旋转数及旋转速度等变化， 而能够控制 Y 台 13 的 Y 轴方向的移动。
在此， Y 滚珠丝杠 17 从 Y 电磁电动机 MY 经由驱动转矩传递部 20 来传递驱动转矩。 以下， 参照图 4， 说明驱动转矩传递部 20 的详细结构。
驱动转矩传递部 20 具有 ： 中间旋转轴 21 ； 能够绕中间旋转轴 21 自由地进行旋转 移动的两个臂 22、 23 ； 在第一臂 22 的两端部通过轴承等以可旋转的方式配置的两个平带轮 ( 以下， 称为 “滑轮” )24、 25 ； 在第二臂 23 的两端部通过轴承等以可旋转的方式配置的两个 平带轮 ( 滑轮 )26、 27。而且， 驱动转矩传递部 20 还具有 ： 架设在滑轮 24 与滑轮 25 之间的 环状的平带 28 ； 架设在滑轮 26 与滑轮 27 之间的环状的平带 29 ； 用于对各平带 28、 29 施加 一定张力的张力轮 30、 31。
驱动转矩传递部 20 将 Y 电磁电动机 MY 和 Y 台 13 连结。以下， 对驱动转矩传递部 20 与 Y 台 13 及 Y 电磁电动机 MY 的连接状态进行说明。滑轮 24 经由联轴器 41 及驱动轴 42 而与 Y 电磁电动机 MY 的电动机轴 40 连接。该驱动轴 42 与滑轮 24 牢固地连接， 将Y电 磁电动机 MY 的旋转转矩向滑轮 24 传递。 驱动轴 42 通过轴承 43 保持成与套筒 44 同心。并且， 第一臂 22 固定于套筒 44。 由此， 驱动轴 42 相对于第一臂 22 能够自由旋转。而且， 套筒 44 经由一对轴承 45 而由固定 座 46 保持。其结果是， 滑轮 24 与第一臂 22 相互不干涉， 并能够与电动机轴 40 同心地绕电 动机轴 40 进行旋转运动。
另外， 第一臂 22 固定在中间旋转轴 21 上。滑轮 25、 26 经由一对轴承 48 而安装于 中间旋转轴 21。由此， 滑轮 25、 26 可以不受第一臂 22 干涉地进行旋转。需要说明的是， 在 此， 滑轮 25、 26 一体构成。
平带 28 架设在滑轮 24 与滑轮 25 之间。平带 28 对应于滑轮 24 的旋转而保持一 定的张力， 并绕驱动轴 42 及中间旋转轴 21 旋转， 从而将传递给滑轮 24 的来自 Y 电磁电动 机 MY 的驱动转矩向滑轮 25、 26 传递。
接着， 中间旋转轴 21 经由一对轴承 49 而与第二臂 23 连接。由此， 中间旋转轴 21 相对于第二臂 23 能够旋转。
第二臂经由一对轴承 50 而固定于传递轴 51。即， 传递轴 51 相对于第二臂 23 能够 旋转。在传递轴 51 固定有滑轮 27。
平带 29 架设在滑轮 26 与滑轮 27 之间。平带 29 对应于滑轮 26 的旋转而保持一 定的张力， 并绕中间旋转轴 21 及传递轴 51 旋转， 从而将传递给滑轮 26 的来自 Y 电磁电动 机 MY 的驱动转矩向滑轮 27 传递。由此， 从 Y 电磁电动机 MY 向滑轮 25、 26 传递的驱动转矩 经由滑轮 27 向传递轴 51 传递。
并且， 传递轴 51 通过联轴器 52 与 Y 滚珠丝杠 17 连结。Y 滚珠丝杠 17 的丝杠轴对 应于传递轴 51 的旋转而进行旋转。由于该旋转， Y 台 13 沿着 Y 轴方向移动。
第一臂 22 及第二臂 23 能够以中间旋转轴 21 为中心进行旋转。 在 X 台 12 移动时，
中间旋转轴 21 沿着与 X 轴及 Y 轴垂直的 Z 轴方向移动， 并且第一臂 22 与第二臂 23 所成的 角度发生变化。具体而言， 当伴随着 X 台 12 的移动而驱动轴 40 与传递轴 51 之间的距离减 小时， 中间旋转轴 21 沿着 X 轴方向进行移动并沿着 Z 轴方向向上移动， 第一臂 22 与第二臂 23 所成的角度减小。即， 具有第一臂 22 和第二臂 23 的驱动转矩传递部 20 成为沿着 X 轴方 向收缩的状态。
另一方面， 当伴随着 X 台 12 的移动而驱动轴 40 与传递轴 51 之间的距离增大时， 中 间旋转轴 21 沿着 X 轴方向进行移动， 并沿着 Z 轴方向以使中间旋转轴 21 与驱动轴 40( 及 传递轴 51) 之间的距离减小的方式进行移动， 第一臂 22 与第二臂 23 所成的角度增大。即， 驱动转矩传递部 20 成为沿着 X 轴方向伸长的状态。
如此， 在移动台 1A 中， 滚珠丝杠 17 固定于 Y 台 13， 伴随着 X 台 12 的移动， 具有第 一臂 22 及第二臂 23 的驱动转矩传递部 20 沿着 X 轴方向进行伸缩。
如上所述， 在本实施方式的移动台 1A 中， 伴随着 X 台 12 的移动， 从 Y 电磁电动机 MY 向 Y 台 13 传递驱动力的驱动转矩传递部发生变形。驱动转矩传递部伴随着 X 台 11 的 移动而发生变形。在此， 驱动转矩传递部 20 具有被 Y 电磁电动机 MY 驱动而旋转的驱动轴 42、 中间旋转轴 21、 传递轴 51、 平带 28、 29、 第一臂 22 及第二臂 23 等。 该驱动转矩传递部 20 与以可旋转的方式安装于 Y 台 13 的 Y 滚珠丝杠 17 连接。 并 且， 伴随着 X 台 12 的移动而驱动转矩传递部 20 的 X 轴方向的长度发生变化。需要说明的 是， 在移动台 1A 中， 将包含驱动转矩传递部 20 及 Y 滚珠丝杠 17 在内的结构称为动力传递 部。而且， 当驱动转矩传递部 20 发生变形时， 动力传递部整体也发生变形。
如上所述， 在本实施方式的移动台 1A 中， 动力传递部伴随着 X 台 11 的移动而进行 动作。由此， 即使在 Y 台 13 沿着 X 轴方向移动时， 动力传递部也能够保持该 Y 台 13 的位置 精度并同时传递驱动力。而且， 在移动台 1A 中， 由于动力传递部伴随着 X 台 11 的移动而进 行动作， 因此与动力传递部在 X 轴方向上被固定在规定位置上的情况相比， 能够减少施加 给动力传递部的负载。由此， 能够抑制 Y 台 13 从动力传递部受到反作用力的情况， 因此能 够抑制 Y 台 13 的姿态精度及位置精度的恶化。由此， 能够进一步减少通过移动台 1A 要移 动到的试料的目标位置与移动到的试料的实际位置的偏差 ( 以下， 简称为 “试料的位置偏 差” )。
另外， 在本实施方式的移动台 1A 中， 来自 Y 电磁电动机 MY 的驱动力经由 Y 滚珠丝 杠 17 而施加给 Y 台 13 的 X 轴方向上的中央部， 因此能够抑制多余的旋转力矩施加给 Y 台 13 而使 Y 台 13 产生俯仰方向及偏转方向上的旋转的情况。由此， 能够更加良好地保持 Y 台 13 的姿态精度， 并抑制试料相对于 X、 Y 方向及 XY 平面发生倾斜的情况。由此， 能够进一步 减少试料的位置偏差。
需要说明的是， 滑轮 24、 25、 26、 27 与平带 28、 29 相接的外周面优选为凸曲面。这 样， 当滑轮 24、 25、 26、 27 的外周面为凸曲面时， 平带 28、 29 不易脱落。
在本实施方式的移动台 1A 中， 平带 28、 29 由例如不锈钢 (SUS) 构成。而且， 平带 28、 29 的尺寸例如其厚度为 0.08mm， 宽度为 5mm。
另外， 滑轮 24、 25、 26、 27 的供平带 28、 29 接触的部分的宽度， 即， 滑轮 24、 25、 26、 27 的与平带 28、 29 的宽度方向相同的方向上的长度例如为 7mm， 在滑轮 24、 25、 26、 27 的外 周面为凸曲面时， 该凸曲面的曲率例如为半径 90mm。
另外， 在本实施方式的移动台 1A 中使用了平带 28、 29， 但只要能够在保持一定的 张力的同时进行旋转， 并从驱动轴 42 向传递轴 51 传递旋转转矩， 也可以使用例如链等其他 的张力线。
另外， X 台 12 及 Y 台 13 优选由陶瓷构成。陶瓷通常比金属的比重小且刚性率高， 因此， 当利用陶瓷来形成 X 台 12 及 Y 台 13( 以下， 在未区别 X 台 12 及 Y 台 13 时， 称为 “台 12、 13” ) 时， 台 12、 13 的厚度即使薄也不易发生变形， 可以减小驱动台 12、 13 的驱动力。这 会带来能够延长带的耐久期间及减小消耗电力等效果。而且， 在台 12、 13 由陶瓷构成时， 即 使台 12、 13 被施加应力也不易变形， 在施加驱动力时能立即进行移动。其结果是， 能够进一 步提高台的位置精度及姿态精度。
另外， 由于陶瓷比金属的热膨胀率小， 因此即使台 12、 13 的温度发生变化， 其尺寸 也不易变化， 从而能够以更高的精度来对台进行定位。
此外， X 直线引导件 14 及 Y 直线引导件 15 优选由陶瓷构成。需要说明的是， 在本 实施方式的移动台 1A 中， 使用了 LM 引导件 (Linear Motion Guide)， 但也可以是交叉辊引 导件。当 X 直线引导件 14 及 Y 直线引导件 15 为陶瓷时， 耐磨损性及比刚度提高， 因此直线 引导件 14、 15 不易磨损且维护管理容易， 从而能够进一步提高台的位置精度及姿态精度。 另外， 为了进一步减小磁场变动， 优选利用非磁性不锈钢来形成 X 滚珠丝杠 16 及 Y 滚珠丝杠 17 的丝杠轴， 并利用氮化硅等高强度陶瓷来形成螺母内部的滚珠。
( 第二实施方式 )
接下来， 对本发明的第二实施方式进行说明。第二实施方式的移动台与第一实施 方式的移动台的不同点在于动力传递部的结构。如图 5 至图 7 所示， 移动台 1B 的动力传递 部具有旋转轴 60 和齿轮部 61。旋转轴 60 与 Y 电磁电动机 MY 连接， 且在 X 轴方向上被固 定在规定位置。齿轮部 61 与旋转轴 60 连接， 伴随着 X 台 12 的移动而能够沿着 X 轴方向移 动。而且， 齿轮部 61 伴随着旋转轴 60 的旋转而进行旋转。滚珠丝杠 17 的丝杠轴与齿轮部 61 连接。旋转轴 60 在 Y 电磁电动机 MY 所施加的驱动力的作用下进行旋转， 滚珠丝杠 17 的 丝杠轴对应于齿轮部 61 的旋转而进行旋转。需要说明的是， 在图 5 至图 7 中， 使用蜗轮作 为齿轮部 61。
齿轮部 61 具有螺旋齿轮 (Screw gear)61a 和斜齿齿轮 61b(helical gear)。 斜齿 齿轮 61b 与旋转轴 60 连接。螺旋齿轮 61a 与滚珠丝杠 17 的丝杠轴连接。由此， 当旋转轴 60 旋转时， 斜齿齿轮 61b 也旋转， 而且， 与斜齿齿轮 61b 啮合的螺旋齿轮 61a 也旋转。其结 果是， 与螺旋齿轮 61a 连接的滚珠丝杠 17 的丝杠轴也旋转。斜齿齿轮 61b 经由直线辊轴承 62 而与旋转轴 60 连接。
直线辊轴承 62 在其内部具有辊槽。而且， 旋转轴 60 在其表面具有与轴向平行的 直线状的槽 63。直线辊轴承 62 具有多个球状的辊。上述辊槽和旋转轴 60 的槽 63 作为这 些辊的引导而发挥作用。而且， 多个辊能够沿着上述辊槽及旋转轴 60 的槽 63 在自身进行 旋转的同时进行循环。由此， 直线辊轴承 62 能够沿着旋转轴 60 的槽 63 进行移动。其结果 是， 斜齿齿轮 62b 能够沿着 X 轴方向进行移动。
另外， 斜齿齿轮 61b 经由轴承 64 而由齿轮保持部 65 保持。通过该轴承 64， 斜齿齿 轮 61b 相对于齿轮保持部 65 能够旋转。由此， 斜齿齿轮 61b 能够伴随着旋转轴 60 的旋转 而进行旋转。
通过以上的结构， 齿轮部 61 伴随着 X 台 12 的移动而能够沿着 X 轴方向移动， 且能 够对应于旋转轴 60 的旋转而进行旋转。 由此， 通过利用 Y 电磁电动机 MY 使旋转轴 60 旋转， 而能够使滚珠丝杠 17 旋转， 从而能够使 Y 台 13 移动。而且， 通过利用 Y 电磁电动机 MX 来 改变 Y 滚珠丝杠 17 的旋转数及旋转速度等， 而能够控制 Y 台 11 的 Y 轴方向的移动。
另外， 如图 8 及图 9 所示， 作为齿轮部 61， 也可以使用其他种类的齿轮。图 8 及图 9 所示的移动台 1C 的齿轮部 61 具有两个锥齿轮 (bevel gear)61a、 61b。一个锥齿轮 61b 与旋转轴 60 连接， 另一个锥齿轮 61a 与滚珠丝杠 17 的丝杠轴连接。由此， 当旋转轴 60 旋 转时， 锥齿轮 61b 也旋转， 而且， 与锥齿轮 61b 啮合的锥齿轮 61a 也旋转。其结果是， 与锥齿 轮 61a 连接的滚珠丝杠 17 的丝杠轴也旋转。锥齿轮 61b 经由直线辊轴承 62 而与旋转轴 60 连接。
直线辊轴承 62 在其内部具有辊槽。而且， 旋转轴 60 在其表面具有与轴向平行的 直线状的槽 63。直线辊轴承 62 具有多个球状的辊。上述辊槽和旋转轴 60 的槽 63 作为这 些辊的引导而发挥作用。而且， 多个辊能够沿着上述辊槽及旋转轴 60 的槽 63 在自身进行 旋转的同时进行循环。由此， 直线辊轴承 62 能够沿着旋转轴 60 的槽 63 进行移动。其结果 是， 锥齿轮 61b 能够沿着 X 轴方向进行移动。
另外， 锥齿轮 61b 经由轴承 64 而由齿轮保持部 65 保持。通过该轴承 64， 斜齿齿 轮 61b 相对于齿轮保持部 65 能够旋转。由此， 锥齿轮 61b 能够伴随着旋转轴 60 的旋转而 进行旋转。
通过以上的结构， 锥齿轮 61b 伴随着 X 台 12 的移动而能够沿着 X 轴方向移动， 且 能够对应于旋转轴 60 的旋转而进行旋转。由此， 通过利用 Y 电磁电动机 MY 使旋转轴 60 旋 转， 而能够使滚珠丝杠 17 旋转， 从而能够使 Y 台 13 移动。而且， 通过利用 Y 电磁电动机 MX 来改变 Y 滚珠丝杠 17 的旋转数及旋转速度等， 而能够控制 Y 台 11 的 Y 轴方向的移动。
在上述的移动台 1B、 1C 中， 动力传递部具有 ： 在 X 轴方向上被固定在规定位置的旋 转轴 60 ； 以能够沿着 X 轴方向移动的方式与旋转轴 60 连接的齿轮部 61。根据该结构， 动 力传递部的齿轮部 61 伴随着 X 台 11 的移动而进行动作， 因此动力传递部即使在 Y 台 13 沿 着 X 轴方向移动时， 也能够保持该 Y 台 13 的位置精度并传递驱动力。而且， 在移动台 1B、 1C 中， 动力传递部伴随着 X 台 11 的移动而进行动作， 因此与动力传递部在 X 轴方向上被固 定在规定位置的情况相比， 能够减少施加给动力传递部的负载。由此， 能够抑制 Y 台 13 从 动力传递部受到反作用力的情况， 因此能够抑制 Y 台 13 的姿态精度及位置精度的恶化。由 此， 能够进一步减少试料的位置偏差。
( 第三实施方式 )
接下来， 对本发明的第三实施方式进行说明。第三实施方式的移动台与第一实施 方式的移动台的不同之处在于具有对 Y 轴方向上的 Y 台 13 的位置进行微调的微调机构。 微 调机构设置于 Y 台 13。通过该微调机构， 能够对 Y 轴方向上的 Y 台 13 的位置进行微调。
在本实施方式的移动台中， 如图 10 及图 11 所示， 微调机构具有安装于 Y 台 13 的 调整构件 70 和多个压电元件 71。调整构件 70 通过螺钉 72， 经由辊 73 而安装在 Y 台 13 的 背面、 即安装在 Y 台 13 的与 X 台 11 对置的面上。如后所述， 在对 Y 台 13 的位置进行微调 时， 由于螺钉 72 弯曲而使 Y 台 13 相对于调整构件 70 相对移动。而且， 调整构件 70 固定于 螺母 75， 该螺母 75 安装于滚珠丝杠 17 的丝杠轴。由此， Y 台 13 能够相对于固定在螺母 75上的调整构件 70 进行相对移动。其结果是， 能够对 Y 台 13 的 Y 轴方向上的位置进行微调。
Y 台 13 具有沿着 Y 轴方向排列的多个贯通孔 73。在此， 作为一例， Y 台 13 具有两 个贯通孔 73。需要说明的是， 以下， 将位于两个贯通孔 73 之间的 Y 台 13 的一部分称为 “台 部分” 。
调整构件 70 具有 ： 位于 Y 台 13 的背面的基座部分 70a ； 沿着 Y 轴方向位于台部分 的两侧的多个紧固部 70b。这些紧固部 70b 隔着 Y 台 13 的台部分设置， 分别从对置的 Y 台 13 的台部分的侧面离开。紧固部 70b 通过例如螺钉而与基座部分 70a 连接。
紧固部 70b 优选沿着 Y 轴方向在台部分的两侧设置相同数目， 以使得 Y 台 13 在 Y 轴方向上的任一方向都能够以相同的按压力移动相同距离。 需要说明的是， 在图 10 及图 11 中， 在上述台部分的两侧设有一对紧固部 70b。
多个压电元件 71 对应于多个紧固部 70b。 各压电元件 71 配置在对应的紧固部 70b 与 Y 台 13 之间。各紧固部 70b 为了将电压施加前的压电元件 71 压靠于 Y 台 13 而位于 Y 轴方向上的 Y 台 13 的两侧。
这些压电元件 71 最初以未施加电压的状态配置在紧固部 70b 与 Y 台 13 之间。此 时， 压电元件 71 以尽可能在压电元件 71 与 Y 台 13 之间及压电元件 71 与紧固部 70b 之间 没有间隙的方式配置。接着， 对压电元件 71 施加电压而使压电元件 71 沿 Y 方向伸长至最 大伸长量的一半左右。由此， 压电元件 71 与 Y 台 13 之间及压电元件 71 与紧固部 70b 之间 的间隙完全消失或减少成可以忽视的程度。 然后， 在对 Y 台 13 的位置进行调整时， 位于 Y 台 13 的台部分的两侧的多个压电元 件 71 中， 使位于该台部分的一侧的压电元件 71a 伸长， 而使位于另一侧的压电元件 71b 收 缩与压电元件 71a 的伸长量相同的量。由此， Y 台 13 相对于调整构件 70 进行相对移动， 其 结果是， Y 台 13 沿着 Y 轴方向进行移动。
需要说明的是， 虽然未图示， 但压电元件 71 的伸缩通过对这些压电元件 71 施加电 压来进行。
根据本实施方式的移动台， 由于设置微调机构， 因此在通过 X 电磁电动机 MX 及 Y 电磁电动机 MY 使 X 台 11 及 Y 台 13 移动到规定的位置后， 能够对 Y 台 13 的 Y 轴方向上的 位置进行微调。
另外， 也可以通过其他的结构来实现微调机构。图 12 至图 14 所示的微调机构与 图 10 及图 11 所示的微调机构的不同之处在于 ： 基座部分 70a 的 Y 轴方向上的长度比 Y 台 13 的 Y 轴方向上的长度长， 紧固部 70b 设置在 Y 台 13 的外周部的外侧 ； 以及压电元件 71 与 Y 台 13 的外周部相接配置。
并且， 由于基座部分 70a 长， 因此将调整构件 70 安装于 Y 台 13 的螺钉 72 的个数 多。
在该结构中， 通过使压电元件 71 伸缩， 能够对 Y 台 13 的 Y 轴方向上的位置进行微 调。
需要说明的是， 无论微调机构为图 10 及图 11 所示的哪一结构， 通过沿着 Y 台 13 能够移动的 Y 轴方向对 Y 台 13 施加按压力， 都能调整 Y 台 13 的 Y 轴方向上的位置。
另外， 在微调机构为图 10、 图 11 所示的结构时， 与图 12- 图 14 所示的结构相比， 能 够抑制 Y 台 13 的姿态精度的恶化。这是因为， 若由于压电元件 71 的伸缩而 Z 方向分量的
力作用于 Y 台 13 时， 在 Y 台 13 的外周部的外侧配置压电元件 71 能够减小受到该 Z 方向分 量的力的影响。
另外， 如图 12 及图 13 所示， 也可以将微调机构设置于 X 台 11。设置于 Y 台 13 的 微调机构和设置于 X 台 11 的微调机构的种类既可以相同也可以不同。当设置于 Y 台 13 的 微调机构与设置于 X 台 11 的微调机构相同时， 例如能够将对压电元件施加电压的电源等一 部分系统相对于 X 台 11 及 Y 台 13 共通使用。由此， 能够简化移动台的整体结构。
另外， 如图 15 所示， X 电磁电动机 MX 及 Y 电磁电动机 MY 通过控制器 80 来充分控 制其动作。需要说明的是， 该控制器 80 也可以用于第二及第三实施方式的移动台。
图 16 是表示使用了本实施方式的移动台 1A 的带电粒子束装置的结构例的侧视 图。如图 16 所示， 带电粒子束装置 90 具有移动台 1A 和带电粒子束源 91。试料能够载置 在 Y 台 13 的上表面。带电粒子束源 91 产生电子束或离子束等带电粒子束而对试料进行照 射。带电粒子束装置 90 例如是电子束描绘装置时， 电子束向硅晶片等试料照射。需要说明 的是， 移动台 1A 及射出带电粒子束的带电粒子束源 91 的出射口配置在真空腔室 3 的内部。
当将本实施方式的移动台 1A 使用于带电粒子束装置 91 时， 能够减少要移动到的 试料的目标位置与实际使试料移动后的试料位置的偏差。由此， 能够减少在该试料中要照 射带电粒子束的位置与该试料中的实际的带电粒子束的照射位置的偏差。 从而能够实现对 试料的更微细的描绘或更精密的检查。
[ 符号说明 ] 12 第一台 13 第二台 17 驱动轴 MY、 MY 电动机