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1、(10)申请公布号 CN 102502253 A (43)申请公布日 2012.06.20 C N 1 0 2 5 0 2 2 5 3 A *CN102502253A* (21)申请号 201110370142.3 (22)申请日 2011.11.18 B65G 47/90(2006.01) H01L 21/677(2006.01) (71)申请人北京七星华创电子股份有限公司 地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号 M2号楼2层 (72)发明人高浩 (74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 代理人王莹 (54) 发明名称 晶圆状物件的输送系统 (57) 摘要 本发。
2、明公开了一种晶圆状物件的输送系统， 涉及半导体晶圆制造技术领域，包括至少两个处 理单元(1)、机械手(2)，所述机械手(2)，与各处 理单元(1)的距离相等，用于将待处理晶圆状物 件放置到所述处理单元(1)中，并将处理完毕的 晶圆状物件取出。本发明通过使机械手与各处理 单元的距离相等，依靠两个机械手自身旋转和升 降实现晶圆状物件存取操作，并可以通过暂存台 进行过渡完成一次传片过程，或者采用以带导轨 机械手从卡匣区域取片后直接由通过机械手在导 轨上的移动送到处理单元区域，这两种方式运动 路径简单，存取快速可靠，同时与同类型设备相比 本发明能有效降低所占用的足迹面积。 (51)Int.Cl. 权利。
3、要求书1页 说明书2页 附图1页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 1/1页 2 1.一种晶圆状物件的输送系统，包括至少两个处理单元(1)、机械手(2)，其特征在于， 所述机械手(2)，与各处理单元(1)的距离相等，用于将待处理晶圆状物件放置到所述处理 单元(1)中，并将处理完毕的晶圆状物件取出。 2.如权利要求1所述的晶圆状物件的输送系统，其特征在于，所述处理单元(1)呈圆周 或正多边形阵列布局。 3.如权利要求1所述的晶圆状物件的输送系统，其特征在于，还包括至少一个卡匣 (3)，用于存放待处理晶圆状物件和处理完毕的。
4、晶圆状物件。 4.如权利要求3所述的晶圆状物件的输送系统，其特征在于，所述机械手(2)为带导轨 机械手，所述带导轨机械手位于导轨(4)在处理单元区域的部分时，使得所述带导轨机械 手的中心与各处理单元(1)中心的距离相等。 5.如权利要求1所述的晶圆状物件的输送系统，其特征在于，所述机械手(2)包括：位 于卡匣区域的卡匣区域机械手和位于处理单元区域的处理单元区域机械手。 6.如权利要求5所述的晶圆状物件的输送系统，其特征在于，还包括暂存台(5)，用于 临时存放待处理晶圆状物件或处理完毕的晶圆状物件。 7.如权利要求6所述的晶圆状物件的输送系统，其特征在于，所述暂存台包括至少一 个待处理晶圆状物件。
5、暂存台(6)和至少一个处理完毕晶圆状物件暂存台(7)。 权 利 要 求 书CN 102502253 A 1/2页 3 晶圆状物件的输送系统 技术领域 0001 本发明涉及半导体晶圆制造技术领域，尤其涉及一种晶圆状物件的输送系统。 背景技术 0002 现有技术中用于输送晶圆状物件的装置，其处理单元通常是线性布置、两侧对称 的，且采用一固定机械手旋转取片(或一带导轨机械手配合取片)并放置暂存台，由另外一 个直线驱动装置在晶片处理单元和暂存台之间取放晶片。 0003 这种方式涉及一个旋转运动与另外一个旋转运动和直线运动组成的复合运动的 配合操作，运动精度设计比较复杂，影响存取片速度，且存取晶圆运动路。
6、径复杂。 发明内容 0004 (一)要解决的技术问题 0005 本发明要解决的技术问题是：提供一种晶圆状物件的输送系统，其存取片速度快， 存取晶圆状物件的运动路径简单。 0006 (二)技术方案 0007 为解决上述问题，本发明提供了一种晶圆状物件的输送系统，包括至少两个处理 单元、机械手，所述机械手，与各处理单元的距离相等，用于将待处理晶圆状物件放置到所 述处理单元中，并将处理完毕的晶圆状物件取出。所述机械手的旋转中心与各处理单元处 理中心的距离相等。 0008 优选地，所述处理单元呈圆周或正多边形阵列布局。 0009 优选地，还包括至少一个卡匣，用于存放待处理晶圆状物件和处理完毕的晶圆状 。
7、物件。 0010 优选地，所述带导轨机械手位于导轨在处理单元区域的部分时，使得所述带导轨 机械手的中心与各处理单元中心的距离相等。 0011 优选地，所述机械手包括：位于卡匣区域的卡匣区域机械手和位于处理单元区域 的处理单元区域机械手。 0012 优选地，还包括暂存台，用于临时存放待处理晶圆状物件或处理完毕的晶圆状物 件。 0013 (三)有益效果 0014 本发明通过使机械手与各处理单元的距离相等，依靠两个机械手自身旋转和升降 实现晶圆状物件存取操作，并可以通过暂存台进行过渡完成一次传片过程，或者采用以带 导轨机械手从卡匣区域取片后直接由通过机械手在导轨上的移动送到处理单元区域，这两 种方式。
8、运动路径简单，存取快速可靠，同时与同类型设备相比本发明能有效降低所占用的 足迹面积。 附图说明 说 明 书CN 102502253 A 2/2页 4 0015 图1为本发明实施方式中所述采用暂存台的晶圆状物件的输送系统的结构示意 图； 0016 图2为本发明实施方式中所述采用带导轨机械手的晶圆状物件的输送系统的结 构示意图。 具体实施方式 0017 下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施 例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。 0018 如图1-2所示，本发明所述的晶圆状物件的输送系统，包括至少两个处理单元1、 机械手2，所述机械手2，与各处理单元1的距离。
9、相等，用于将待处理晶圆状物件放置到所述 处理单元1中，并将处理完毕的晶圆状物件取出。所述机械手2的存取臂中心与各处理单 元处理中心的距离相等。 0019 优选地，所述处理单元1呈圆周或正多边形阵列布局。 0020 优选地，还包括至少一个卡匣3，用于存放待处理晶圆状物件和处理完毕的晶圆状 物件。 0021 优选地，所述机械手2为带导轨机械手，所述带导轨机械手位于导轨4在处理单元 区域的部分时，使得所述带导轨机械手的中心与各处理单元1中心的距离相等。 0022 优选地，所述机械手2包括：位于卡匣区域的卡匣区域机械手和位于处理单元区 域的处理单元区域机械手。 0023 优选地，还包括暂存台5，用于临。
10、时存放待处理晶圆状物件或处理完毕的晶圆状物 件。 0024 本发明中晶圆状物件的运动路径有两种： 0025 晶圆状物件的运动路径一：由卡匣区域机械手从卡匣3中取拿晶圆状物件放置在 暂存台5；由处理单元区域机械手从暂存台5取拿晶圆状物件放置到处理单元1中； 0026 晶圆状物件的运动路径二：带导轨机械手运动到卡匣区域从卡匣3中取拿晶圆状 物件；带导轨机械手夹持晶圆状物件一起运动到处理单元区域；带导轨机械手将晶圆状物 件放入到处理单元1中。 0027 以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通 技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有 等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。 说 明 书CN 102502253 A 1/1页 5 图1 图2 说 明 书 附 图CN 102502253 A 。