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1、(10)申请公布号 CN 102914949 A (43)申请公布日 2013.02.06 C N 1 0 2 9 1 4 9 4 9 A *CN102914949A* (21)申请号 201210345173.8 (22)申请日 2012.09.17 G03F 7/20(2006.01) (71)申请人天津芯硕精密机械有限公司 地址 300457 天津市滨海新区开发区黄海路 167号 (72)发明人张爱明 李显杰 陈勇 陈修涛 (74)专利代理机构安徽合肥华信知识产权代理 有限公司 34112 代理人余成俊 (54) 发明名称 一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光 的数据处理方法 (57。
2、) 摘要 本发明公开了一种用于扫描式无掩膜光刻机 倾斜SLM曝光的数据处理方法，包括对矢量数据 的存储、栅格化处理、对数据进行重新组合、扫描 曝光时按指定规则读取组合后的数据进行曝光。 本发明提高了扫描式无掩膜光刻机的曝光分辨 率，在同样的SLM物理网格精度下成倍的提高曝 光精度。 (51)Int.Cl. 权利要求书1页 说明书2页 附图2页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 2 页 1/1页 2 1.一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法，其特征在于，包括以 下步骤： （1）输入矢量数据，并将矢量数据缓存在计。
3、算机内存中，通过一定的计算和处理，为矢 量数据建立结构； （2）对具有一定结构的矢量数据进行栅格化处理， 栅格化处理的单帧图像大小由空 间光调制器即SLM的宽度和倾斜的角度来确定，每个栅格的大小即曝光实现的网格精度 和SLM倾斜时的倾斜角度相关，栅格化的数据量也和SLM倾斜时的倾斜角度有关，倾斜 角度是指SLM的成像面在和扫描平台平行的水平方向旋转的角度，假设倾斜角度为， 倾斜角度的正弦值为所要实现的网格精度和SLM实际物理的网格精度之比，由公式 可以计算出N值，N值是SLM进行刷新时显示周期的值； （3）通过对栅格化后的图像进行数据的重新组合，倾斜安装的SLM从组合后的数据中 按行读取数据并。
4、进行曝光；实现了倾斜SLM进行曝光时快速读取图像数据。 2.根据权利要求1所述的一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方 法，其特征在于：所述步骤（1）中， 保存在计算机内存中的矢量数据的结构包括有分层、分 单元、互相引用。 权 利 要 求 书CN 102914949 A 1/2页 3 一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜 SLM 曝光的数据处理方 法 技术领域 0001 本发明涉及倾斜式无掩膜直写光刻技术领域，具体为一种用于扫描式无掩膜光刻 机倾斜SLM曝光的数据处理方法。 背景技术 0002 光刻数据处理，是以GDSII、OASIS、GERBER等格式的文件为输入数据，通过一系列 处。
5、理，输出光刻设备可以直接曝光使用的数据的过程。 0003 空间光调制器（SLM），可以接收光刻设备数据处理模块处理后的图像数据，生成曝 光图像，通过光学系统反射到处于运动平台上的待加工面上。 0004 通过对SLM进行倾斜方式的安装，可以在曝光过程中获得更高的网格精度。 0005 本专利所述的数据处理方法，可以产生特殊格式的曝光数据，满足倾斜后SLM对 数据的高速读取的需求。 发明内容 0006 本发明的目的是提供一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方 法，能够有效提高扫描式无掩膜光刻机的曝光产能，提高曝光结果图形的网格精度。 0007 为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为。
6、： 0008 一种用于扫描式无掩膜光刻机倾斜SLM曝光的数据处理方法，其特征在于，包括 以下步骤： 0009 （1）输入矢量数据，并将矢量数据缓存在计算机内存中，通过一定的计算和处理， 为矢量数据建立便于处理的结构； 0010 （2）对具有一定结构的矢量数据进行栅格化处理， 栅格化处理的单帧图像大小 由空间光调制器即SLM的宽度和倾斜的角度来确定，每个栅格的大小即曝光实现的网格 精度和SLM倾斜时的倾斜角度相关，栅格化的数据量也和SLM倾斜时的倾斜角度有关，倾 斜角度是指SLM的成像面在和扫描平台平行的水平方向旋转的角度，假设倾斜角度为， 倾斜角度的正弦值为所要实现的网格精度和SLM实际物理的。
7、网格精度之比，由公式 可以计算出N值，N值是SLM进行刷新时显示周期的值； 0011 （3）通过对栅格化后的图像进行数据的重新组合，倾斜安装的SLM从组合后的数 据中按行读取数据并进行曝光；实现了倾斜SLM进行曝光时快速读取图像数据，因为硬件 处理数据时按行顺序读取才可以实现最高速率。 0012 所述步骤（1）中， 保存在计算机内存中的矢量数据的结构包括有分层、分单元、互 相引用。 0013 本发明的优点是： 0014 本发明使得矢量数据在倾斜SLM的曝光条件下转化成可以供快速读取的特殊栅 说 明 书CN 102914949 A 2/2页 4 格数据，实现更快的曝光速度和更高的曝光图形分辨率。。
8、 附图说明 0015 图1为SLM倾斜方式示意图。 0016 图2为矢量图形数据存储结构示意图。 0017 图3为待曝光的尚未进行重组的栅格数据示意图。 0018 图4为栅格数据重组示意图。 0019 图5为图4中所示的被取出行数据在SLM上的排布方式示意图。 具体实施方式 0020 如图1所示，SLM倾斜一个预先设计的角度，该角度由系统所要实现的网格 精度来确定，根据公式可以由该倾斜角度计算出一个整数N，假设N计算 得到的值为4。在图1中1是没有倾斜前的SLM，2是倾斜后的SLM，3是倾斜的角度， 该图 中设SLM只有四行显示单元。 0021 对于计算机内存中按图2格式存储的图形数据，因为是。
9、分区域存储，所以能以较 快的速度取出其中一块，然后进行栅格化处理，栅格化的精度由系统所要实现的网格精度 来确定，栅格化处理后的结果如图3所示。对栅格化后的数据，因为N取值为4，所以按每4 列为一个周期进行编号。 0022 图4是对图3的栅格数据进行重组后得到的结果。数据重组的过程是：首先按照 系统设定的N值为周期，给每一列的栅格数据按照图3的方式进行编号。将编号后的每一 列数据按照图4所示的方式进行重新组合，得到新的数据。 0023 曝光时，曝光平台按照扫描方向5进行匀速扫描运动，每运动一个网格精度的距 离后，给SLM发出一个信号，SLM得到信号后，从图4所示的组合后的数据中依次取出一行 数据4，按照图5所示的方式显示到SLM上，同时曝光到平台上的光敏感的介质上。 说 明 书CN 102914949 A 1/2页 5 图1 图2 图3 说 明 书 附 图CN 102914949 A 2/2页 6 图4 图5 说 明 书 附 图CN 102914949 A 。