《环形光照明器和用于环形光照明器的光束成形器.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《环形光照明器和用于环形光照明器的光束成形器.pdf（19页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 102859265 A (43)申请公布日 2013.01.02 C N 1 0 2 8 5 9 2 6 5 A *CN102859265A* (21)申请号 201180021092.6 (22)申请日 2011.04.28 61/328,869 2010.04.28 US F21S 2/00(2006.01) F21V 5/00(2006.01) F21V 8/00(2006.01) F21V 29/00(2006.01) F21Y 101/02(2006.01) (71)申请人克拉-坦科股份有限公司 地址美国加利福尼亚州 (72)发明人 A希尔 (74)专利代理。
2、机构上海专利商标事务所有限公 司 31100 代理人侯颖媖 (54) 发明名称 环形光照明器和用于环形光照明器的光束成 形器 (57) 摘要 本发明揭示了一种具有环状排列光源的环形 光照明器。对于每个光源对应有光束成形器，该光 束成形器包括聚光器、来自光源的光的均匀化装 置以及用于将均匀化装置的输出成像到要照明区 域上的成像装置。各个实施例中的均匀化装置为 将来自聚光器的光引导至其中的棒。与聚光器相 对的棒的端部通过成像装置被成像到要照明区域 中。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2012.10.26 (86)PCT申请的申请数据 PCT/IB2011/051867 20。
3、11.04.28 (87)PCT申请的公布数据 WO2011/135534 EN 2011.11.03 (51)Int.Cl. 权利要求书1页 说明书7页 附图10页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 10 页 1/1页 2 1.一种环形光照明器，包括： 多个环状排列的光源； 指派给每个光源的光束成形器； 聚光器，用于聚集来自每个光源的光； 所述聚光器之后的来自每个光源的光的均匀化装置；以及 成像装置，用于将所述均匀化装置的输出成像到要照明区域中。 2.如权利要求1所述的环形光照明器，其特征在于，所述均匀化装置为棒。 3.如权。
4、利要求2所述的环形光照明器，其特征在于，所述棒和所述聚光器一起形成一 单体单元。 4.如权利要求2所述的环形光照明器，其特征在于，所述棒、所述聚光器和所述成像装 置一起形成一单体单元。 5.如权利要求2所述的环形光照明器，其特征在于，所述棒的均匀化功能基于该棒内 光的全内反射。 6.如权利要求1所述的环形光照明器，其特征在于，所述成像装置为成像透镜。 7.如权利要求6所述的环形光照明器，其特征在于，所述成像装置具有非球面出射表 面。 8.如权利要求1所述的环形光照明器，其特征在于，所述均匀化装置为设置在所述聚 光器上的构造。 9.如权利要求1所述的环形光照明器，其特征在于，每个光源包括至少一个。
5、发光二极 管（LED）。 10.如权利要求1所述的环形光照明器，其特征在于，所述环形光照明器呈现多个冷却 片。 11.一种光束成形器，包括： 聚光器，用于聚集来自光源的光； 均匀化棒，用于对来自所述光源的光进行均匀化；以及 透镜，用于将所述均匀化棒的与所述聚光器相对的端成像到要照明区域中，其中所述 聚光器、所述均匀化棒和所述用于成像的透镜制造为单体。 12.如权利要求11所述的光束成形器，其特征在于，所述光束成形器用塑料材料铸模。 13.如权利要求11所述的光束成形器，其特征在于，所述光束成形器由玻璃制成。 14.如权利要求11所述的光束成形器，其特征在于，所述用于成像的透镜具有非球面 出射表。
6、面，用于将所述均匀化棒成像到要照明区域上。 权 利 要 求 书CN 102859265 A 1/7页 3 环形光照明器和用于环形光照明器的光束成形器 0001 相关申请的交叉引用 0002 本专利申请要求2010年4月28日提交的美国临时专利申请No.61/328,869的优 先权，该申请通过引用结合于此。 技术领域 0003 本发明涉及环形光照明器。 0004 本发明还涉及光束成形器。 背景技术 0005 在许多光学检测或成像作业中需要对将要检测或成像的区域进行清晰的照明。对 于许多这样的照明目的使用环形光，例如在显微镜的使用中，这些环形光是提供暗场照明 的公知手段。在这种应用中，理想的是将。
7、照明的区域限制为感兴趣的区域，并且在感兴趣的 区域内具有均匀的光分布。可能的光源例如为弧光灯、LED（发光二极管）、激光二极管和卤 光灯泡。虽然弧光灯通常提供比LED更高的光强，但它们也比LED呈现更强的强度波动和 更短的寿命；因此，通常LED是较佳的光源选择。因为来自典型LED的光被发射到LED周围 的半球中，所以需要光学元件将尽可能多的来自一个或多个LED的发射光引导到感兴趣的 区域中，即，进入将要照明的区域中。 0006 欧洲专利申请EP 1919001A1涉及用于产品检测的点光设备，其中将LED用作光 源。为了使光跨特定区域的分布变得均匀，使来自LED的光通过棒透镜。通过聚光透镜将 来。
8、自LED的光引入棒透镜。为了保证棒透镜和聚光透镜的适当对准，也为了减少在组装光 学系统期间将要处理的各个部件的数量，棒透镜和聚光透镜作为光学单元的部分提供，棒 透镜构成透光部分，而聚光透镜构成聚光部分。为了将来自光源的光引导至透光部分，聚光 部分将折射和反射进行了组合。 0007 欧洲专利申请EP 2177816A2揭示了一种光源阵列，具体为LED光源阵列，该光源 阵列的光被引导至成形为棒的光积分器。该光积分器基于在该积分器内光的反射使光均匀 并限制光。光积分器可以是具有反射内表面的中空管或光学透明材料的实心棒，其中在该 光积分器内的光的反射归因于全内反射。光积分器的横截面可以是圆形的、多边形。
9、的或不 规则的。还可在光积分器的下游设置其他的光学元件。对于每个光源可以对应有光学元件， 用于控制和引导来自该光源的光。为了影响从光积分器出射的光的发散，光积分器可以是 锥形的。 0008 欧洲专利申请EP 1150154A1揭示了一种照明系统，具体为用于显微镜的照明系 统，其中多个光源（优选为LED）设置在环状的载体中。这些LED可以单独或成组地进行控 制，并呈现小的发射角。 0009 德国专利申请DE 2852203揭示了一种用于显微镜的照明设置，其中来自光源的 光沿着光纤引导，且在光纤的各端从该光纤出射，其中这些端以环状的方式排列。在德国专 利申请DE 4016264中揭示了比如基于光纤。
10、的另一种环形照明系统。 说 明 书CN 102859265 A 2/7页 4 0010 基于光纤的环形照明系统的问题是从光纤出射的光的大散射。同样地，LED的环 状排列趋于产生相当不均匀的照明场，且即使这种LED与现有技术的聚光透镜组合使用， 某些应用所需要的照明场的均匀程度也是无法实现的。 0011 对于环形光，最大光强是非常重要的设计参数，因为这些环形光本质上是“暗场” 照明，其中散射光经常为观测对象。与弧光灯（用于正常显微镜观察的明亮照明的标准）相 比，LED的主要劣势是，它们通常更暗。经常是这样的情况，基于LED的系统在所观测对象 处没有提供足够的光强，且应该在设计中对于该情况给予极大。
11、的考虑以使在图像处可能的 光最大化。使光最大化在机器视觉/检测中尤为重要，其中积分时间无法任意地延长以增 加可用于产生良好曝光图像的光能。在机器视觉系统中的积分时间的增加会降低图像的频 率且增加总的检测时间（图像时间）。由于检测机器的值取决于有多少半帧可在固定时间里 被成像，因此在对象处使光最大化是非常重要的特征。 发明内容 0012 本发明的目的是提供一种能够在要照明区域中产生清晰且均匀的照明场的环形 光照明器。附加地，来自环形照明器的光应能有效地聚集并被引导至要照明区域。 0013 该目的通过具有多个光源的环形照明器实现，其中对于每个光源对应有光束成形 器，该光束成形器包括： 0014 聚。
12、光器，用于聚集来自光源的光； 0015 来自光源的光的均匀化装置；以及 0016 成像装置，用于将均匀化装置的输出成像到要照明区域中。 0017 本发明的另一个目的是提供一种光束成形器，该光束成形器可容易地进行安装且 不需要使其部件对准。附加地，来自光源的光应能有效地进行聚集，且应可使成像透镜的截 断损失最小化。 0018 该目的通过制造为单体的光束成形器来实现，包括： 0019 聚光器，用于聚集来自光源的光； 0020 均匀化棒，用于对来自光源的光进行均匀化；以及 0021 透镜，用于将均匀化棒的与聚光器相对的端成像到要照明区域中。 0022 根据本发明的环形光照明器包括多个以环状方式排列的。
13、光源。在较佳实施例中， 每个光源是发光二极管（LED）或LED阵列。根据本发明，对于每个光源对应有光束成形器。 光束成形器接收来自光源的光并以在要照明区域中产生照明场的方式将该光引导至要照 明区域中，其中照明场具有边界明确的形状，且跨该照明场的照明的均匀程度达到足以完 成即将进行的检测或照明作业。 0023 光束成形器包括聚光器、均匀化装置和成像装置。 0024 聚光器的目的是接收来自光源的光并将其引导至均匀化装置。聚光器优选地以如 下的方式进行设计：从光源发射的尽可能大比例的光通过聚光器聚集并被引导至均匀化装 置，从而最终可在要照明区域中实现足够强度的照明场。 0025 均匀化装置的目的是降。
14、低跨光束的光强的不均匀性，使得最终跨照明场的光的强 度的均匀性达到足够高的程度。 0026 成像装置的目的是将均匀化装置的输出成像到要照明区域中。照明场的大小部分 说 明 书CN 102859265 A 3/7页 5 地取决于成像装置的成像性质。 0027 在一个较佳实施例中，均匀化装置是具有圆形、椭圆形、矩形、正方形、六边形、八 边形或其他横截面的棒；本文中的横截面垂直于光束成形器的光轴。棒具有第一端和第二 端，通过该第一端从聚光器接收光，光通过该第二端从棒出射，第二端沿着光轴与第一端相 对。棒的第二端通过成像装置被成像到要照明区域中。以这种方式产生的照明场的形状由 棒的横截面确定。棒的均匀。
15、化功能归因于来自平行于光轴的棒的侧边的光的反射，通常为 多次反射。优选地，棒是实心物件，至少对于要用于照明的光的波长是透明的，且反射为全 内反射。或者，棒的侧边可设置有反射涂层，或棒可以是具有反射内壁的中空管。本发明的 益处在于，其组合了TIR透镜的聚光效率，以及光束成形器的成像透镜的最小截断损失。 0028 有利的是，棒和聚光器形成了整体单元，且具体地棒和聚光器可制造为单件。这减 少了在组装或维修环形光照明器中需要处理的单个部件的数量，且还消除了在组装或维修 期间适当对准聚光器和棒的需要。更为有利的是，聚光器、棒和成像装置形成了整体单元且 可制造为单件。 0029 在一些实施例中，成像装置为。
16、透镜。 0030 在替换实施例中，均匀化装置为设置在聚光器上的构造。 0031 因为光源的操作产生热量，有利的是为环形光照明器提供冷却机构。在各个实施 例中，该冷却机构包括设置在环形光照明器的外表面上的冷却片，以使该环形光照明器的 用于与环境进行热交换的表面增加。 0032 根据本发明的光束成形器（其可用于根据本发明的环形光照明器，但也可用于其 他目的）制造为单件，从而消除了在光学系统的组装期间对光束成形器的多个部件的适当 对准的需要。而且，以该方式，需要处理的部件的数量也减少了。光束成形器由对于其将要 用于的光波长而言为透明的材料制成。在各个实施例中，这种材料可以比如为塑料材料或 玻璃。 0。
17、033 用于光束成形器的模制材料的一种可能性为丙烯酸，另一种可能性为聚碳酸酯。 丙烯酸比聚碳酸酯具有更好的透射性，但较不能耐受升高的温度。对于不会产生很多余热 的照明源的应用场合，丙烯酸应该是可行的。丙烯酸中的透射损失大约为每毫米0.25，这 导致在光束成形器具有67mm总长度的情况下有15的损失。 0034 根据本发明的光束成形器包括聚光器，其被配置为聚集来自与该光束成形器一起 使用的光源的光。该光束成形器还包括沿着光束成形器的光轴定向的均匀化棒。聚光器布 置成将其聚集的光通过棒的第一端引导至棒中。通过来自棒侧边的光的反射，通常是多次 反射，棒对通过其的光的均匀性起作用。该反射为全内反射。光。
18、束成形器进一步包括透镜， 其将与第一端相对的棒的第二端成像到要照明区域中。 0035 各个实施例中的垂直于光束成形器光轴的棒的横截面可以是圆形、椭圆形、三角 形、正方形、矩形、六边形、八边形或任何其他形状。 0036 本发明可在显微镜中实现，该显微镜保证用显微镜检测的区域（特别是暗场类型） 的清晰照明。显微镜包括至少一个如上所述的根据本发明的环形光照明器。用于该至少一 个环形光照明器的光束成形器可以是如上所述的根据本发明的整体件类型，或者也可以包 括以超过一个部件进行设置的聚光器、均匀化装置和成像装置。 说 明 书CN 102859265 A 4/7页 6 附图说明 0037 现在在以下结合附。
19、图对本发明的详细描述中，将更加全面地描述本发明的特性和 操作模式，其中： 0038 图1a示出具有环状排列的光纤端的现有技术的环形光照明器； 0039 图1b示出具有环状排列的光源的现有技术的环形光照明器； 0040 图2示出用如图1b所示的现有技术的环形光照明器可实现的强度分布； 0041 图3示出TIR透镜和光线以及由其在表面上产生的强度分布； 0042 图4示出非球面聚光透镜和光线以及由其在表面上产生的强度分布； 0043 图5示出复合透镜和光线以及由其在表面上产生的强度分布； 0044 图6示出根据本发明的光束成形器和光线； 0045 图7示出由图6的光束成形器在表面上产生的强度分布；。
20、 0046 图8示出用根据本发明的环形光照明器可实现的强度分布； 0047 图9是根据本发明的光束成形器的透视图。 0048 图10a是聚光器和均匀化棒的透视图； 0049 图10b是图10a的聚光器和均匀化棒的另一透视图； 0050 图11示出被引入具有均匀化棒的聚光器中的腔内的光源； 0051 图12是聚光器中的腔的俯视图；以及 0052 图13是多个光束成形器排列成环形以构成根据本发明的环形照明器的可能实现 的实施例。 具体实施方式 0053 贯穿各附图，相同附图标记表示相同的元件。此外，在附图中只示出对于描述各个 附图为必需的附图标记。所示出的实施例仅表示如何实现本发明的例子。这不应被。
21、视为对 本发明的限制。 0054 图1a示出现有技术的环形光照明器10的设置。弧光灯12被用作光源；来自弧光 灯12的光通过合适的光学元件13（在附图中只示出一个这样的元件）耦合进多个光纤11。 光纤11的端部14环状地排列在环形光照明器10的环形载体17中，其排列的方式使得光 纤11的端部14将来自弧光灯12的光发射至被载体17包围的要照明区域15。如锥体16 所指示地，从端部14发射具有相当大发散的光，该相当大发散意味着对于许多精密应用场 合来说都太大的发散。 0055 图1b示出现有技术环形照明器20的另一种设置。在环状载体27中，多个光源22 以环状方式排列。光源22向要照明区域15发。
22、射光。光源是LED，其通常设置有成形光学 器件（未示出），以将从LED发射的光聚集到预定方向的周围。如锥体26所指示地，尽管有 成形光学器件，但来自单个光源的光仍然呈现对于许多精密应用场合来说都太大的发散。 根据本发明的环形光照明器与所示出的现有技术的环形光照明器具有相同的总体设置；但 是，现有技术的成形光学器件用具有以下所述配置的根据本发明的光束成形器替代。 0056 图2示出可用在图1b所示背景中描述的环形照明器20实现的强度分布1，该环形 照明器20包括具有TIR透镜（见图3）作为成形光学器件的八个光源。照明图案相当发散。 所示图像的中央区域仅仅比锥体26之一所照明的区域稍微亮一些，这表。
23、示，相当大量的强 说 明 书CN 102859265 A 5/7页 7 度被引导至图像中所示区域的中央区域外的区域，而不是引导至要照明的中央区域15。可 用如图1a所示背景中描述的环形照明器10实现的强度分布是类似的。 0057 图3示出TIR（全内反射）透镜23。来自光源22（此处为LED）的由光线100指示 的光被TIR透镜23捕获并被引导至斑点110。引导光根据两个原理实现：占据TIR透镜23 的中央部分的折射透镜部分24通过折射将光线100引导至斑点110。未碰撞折射透镜部 分24但被TIR透镜23捕获的光线100通过全内反射从TIR透镜23的侧表面被引导至斑 点110。图3中还示出的。
24、是在垂直于TIR透镜23的光轴19的表面上斑点110的强度分布 2。由TIR透镜23产生的强度分布2大致是高斯分布，从而在斑点110的中央有最大的强 度，但在强度变小的中央周围同样有宽的区域，即，斑点110没有清晰界定的边缘。此处所 描述的TIR透镜23可被用作如在图1b所示背景中描述的现有技术的环形照明器20的成 形光学器件。无清晰界定边缘的斑点110的强度分布2是由八个这样的光源22和TIR透 镜23的组合的协作产生的强度分布1相当发散的原因，如图2所明显示出的。 0058 图4示出非球面聚光透镜33和光线100。作为光源，在本附图中示意性地示出了 LED的发射器32。非球面聚光透镜33捕。
25、获来自光源的光并将其引导至斑点110上。图4 中还示出的是在垂直于聚光透镜33的光轴19的表面上斑点110的强度分布3，其为LED光 发射器32的图像。如这种情况般地直接成像LED发射器32带来了斑点110照明的高不均 匀性的风险。因此，在要由图1b中所示类型的环形光照明器20（具有LED作为光源且具有 非球面聚光透镜33作为成形光学器件）照明的区域中产生的强度分布的均匀性无法保证对 精密应用而言是足够的。此外，通常如图4中所示的非球面聚光透镜33的聚光效率低于如 图3中所示的TIR透镜23的聚光效率。 0059 图5示出复合透镜40，其包含半球透镜41和中继透镜43，半球透镜41用以聚集 来。
26、自光源42的由光线100指示的光，中继透镜43将光引导至斑点110上。图5中还示出 的是在垂直于复合透镜40的光轴19的表面上斑点110的强度分布4，其为面对光源42的 半球透镜41的平坦后表面的图像。这种设置具有比图3中所述的TIR透镜23低的聚光效 率，且不与封装的LED兼容，这在组装像图1b的环形光照明器20那样的光学系统中是一劣 势。 0060 图6示出光束成形器50，其包括聚光器60、均匀化棒70、锥体部分52和透镜80。 在聚光器60中插入光源（未示出），且该光源发射如光线100所指示的光。聚光器60聚集 来自光源的光并将其通过均匀化棒70的第一端71引导入均匀化棒70。在均匀化棒。
27、70中， 通过来自均匀化棒侧表面73的反射，通常是多次反射，对光进行均匀化。光束成形器50用 对于该光束成形器将要被一起使用的光的波长为透明的材料（像比如塑料材料或玻璃）制 造为单体，且来自侧表面73的反射为全内反射。光通过均匀化棒70的第二端72从均匀化 棒70出射，并进入锥体部分52。从那里，光到达透镜80，透镜80将光引导到斑点110上。 斑点110的强度分布为均匀化棒70的第二端72的图像。锥体部分52的目的是在均匀化 棒70的第二端72和透镜80之间建立固定的距离。因为光束成形器50被制造为单体，所 以在光学系统的组装期间不需要对各个部件（即，聚光器60、均匀化棒70和透镜80）进行。
28、对 准。这简化了光束成形器50的处理以及像例如图1b中所示类型的环形光照明器20的光 学系统的组装。然而，与现有技术相反，将刚刚讨论的光束成形器50而不是TIR透镜用作 根据本发明的环形光照明器实施例中的成形光学器件。光束成形器50当然还可以用于其 说 明 书CN 102859265 A 6/7页 8 他的照明作业，而并不局限于环形光照明。 0061 图7示出了在垂直于光束成形器50的光轴19的表面上的由图6的光束成形器50 产生的斑点110的强度分布5。斑点110的形状由均匀化棒70的横截面确定，更精确地由 在第二端72处的均匀化棒70的横截面确定。在所示的实施例中，该横截面具有八边形的 形。
29、状。如已经提到的，横截面的不同形状也是可能的。应该注意的是，斑点110呈现清晰界 定的边缘，且由于均匀化棒70的作用，跨斑点110的照明强度即使对于精密应用也足够均 匀了。 0062 图8示出了可用根据本发明的环形照明器实现的强度分布6，其在该附图所涉及 的实施例中包括八个在图6所示背景中描述类型的光束成形器50作为成形光学器件。该 附图应该与附图2作比较。由于由光束成形器50产生的光束有清晰界定的边缘，这导致图 7中所示的斑点110有清晰界定的边缘，所以在图8中，要照明区域15明显比其周围更亮。 0063 图9示出如已在图6中示出的根据本发明的光束成形器50的透视图。此处，示出 从透镜80出。
30、射的光线100。这种光束成形器50的配置已在图6所示背景中进行了讨论。 聚光器60呈现腔61，光源（未示出）将被引入该腔61。聚光器60的总体配置对应于如图3 中所示的TIR透镜23的配置。用于成像的透镜80的直径82调节排列在环形照明器20中 的光束成形器50的数量。透镜80具有出射表面84，该出射表面84将通过均匀化棒70的 第二端72从均匀化棒70出射的光成像到斑点110上。推荐透镜80的出射表面84为非球 面的。 0064 图10a和10b是聚光器60以及用于根据本发明的环形光照明器的成形光学器件 （其可由几个部件组成）的透视图，聚光器60作为用于如图6和9中所示的根据本发明的光 束成。
31、形器50。只示出附连于聚光器60的均匀化棒70的一部分。此处的棒70具有六边形 的横截面，且聚光器60的形状适合于棒70的横截面，还在与棒70的第一端71相邻的截面 呈现出六边形的横截面。图10b清楚地示出了聚光器60的腔61，光源（未示出）（通常为 LED）将被插入该腔61。 0065 图11示出了聚光器60以及均匀化棒70的一部分的截面图。LED 62被引入聚光 器60的腔61中。与图3的TIR透镜23类似，聚光器60呈现折射透镜部分64，其将发射的 光聚集到光轴66周围的中央区域中。该区域的横截面由折射透镜部分64的形状和大小确 定。由LED发射到中央区域外侧区域中的光通过来自聚光器60。
32、的侧表面65的全内反射被 引导至均匀化棒70中。 0066 图12是聚光器60中的腔61的俯视图，像LED 62那样的光源将被插入该腔61。 腔61和折射透镜部分64具有六边形的横截面。 0067 图13是多个光束成形器50排列成环形以形成根据本发明的环形照明器20的可 能实现的实施例。排列在环形照明器20中的多个光束成形器50为要照明区域15提供了 均匀的照明。透镜80的直径82（见图9）调节排列在环形照明器20中的光束成形器50的 数量。在本文所示的实施例中，透镜80的直径82是30mm，这导致有大约24个光束成形器 50排列在环形照明器20中。 0068 已经参考了具体实施例描述了本发明。
33、。然而，对于本领域技术人员来说，显而易见 地，可以在不背离所附权利要求书的范围的情况下作出替换和修改。 0069 附图标记 说 明 书CN 102859265 A 7/7页 9 0070 1,6 强度分布 0071 2,3,4,5 强度分布 0072 10,20 环形光照明器 0073 11 光纤 0074 12 弧光灯 0075 13 光学元件 0076 14 光纤的端部 0077 15 要照明区域 0078 16,26 光锥 0079 17,27 载体 0080 19,66 光轴 0081 22,42 光源 0082 23 TIR透镜 0083 24,64 折射透镜部分 0084 25,6。
34、5 侧表面 0085 32 LED发射器 0086 33 非球面聚光透镜 0087 40 复合透镜 0088 41 半球透镜 0089 43 中继透镜 0090 50 光束成形器 0091 52 锥体部分 0092 60 聚光器 0093 61 腔 0094 62 LED 0095 70 均匀化棒 0096 71 均匀化棒的第一端 0097 72 均匀化棒的第二端 0098 73 均匀化棒的侧表面 0099 80 透镜 0100 82 透镜的直径 0101 84 出射表面 0102 100 光线 0103 110 斑点 说 明 书CN 102859265 A 1/10页 10 图1a现有技术 。
35、图1b现有技术 说 明 书 附 图CN 102859265 A 10 2/10页 11 图2 图3 说 明 书 附 图CN 102859265 A 11 3/10页 12 图4 图5 说 明 书 附 图CN 102859265 A 12 4/10页 13 图6 说 明 书 附 图CN 102859265 A 13 5/10页 14 图7 图8 说 明 书 附 图CN 102859265 A 14 6/10页 15 图9 说 明 书 附 图CN 102859265 A 15 7/10页 16 图10a 图10b 说 明 书 附 图CN 102859265 A 16 8/10页 17 图11 说 明 书 附 图CN 102859265 A 17 9/10页 18 图12 说 明 书 附 图CN 102859265 A 18 10/10页 19 图13 说 明 书 附 图CN 102859265 A 19 。