晶圆储存箱.pdf

本发明涉及一种晶圆储存箱，包括间隔放置于箱体中的多个储存筒，箱体中设置有多根套轴，所述储存桶套设于所述套轴上；所述储存筒包括内筒及外圈，所述内筒的周面间隔设有多个安放槽，所述外圈上设有与所述安放槽对应的卡槽，晶圆放置于所述安放槽与卡槽之间。本发明中，间隔设置的储存筒，保证相邻储存筒上的晶圆不发生干涉；晶圆围绕放置在储存筒上，结构紧凑，占用空间小，仓储成本低。

1.一种晶圆储存箱，其特征在于：包括间隔放置于箱体(1)中的多个储存筒，箱体(1)中
设置有多根套轴(2)，所述储存桶套设于所述套轴(2)上；所述储存筒包括内筒(3)及外圈
(4)，所述内筒(3)的周面间隔设有多个安放槽(5)，所述外圈(4)上设有与所述安放槽(5)对
应的卡槽(6)，晶圆(7)放置于所述安放槽(5)与卡槽(6)之间。

晶圆储存箱

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域，特别涉及晶圆的储存装置。

背景技术

现有的晶圆一般集装于储存箱中，采用纵横向排列方式安放，其存在的缺点明显：
占用空间大，不方便储运。

发明内容

针对现有晶圆储存装置存在的上述问题，申请人进行研究及改进，提供一种晶圆
储存箱，采用滚筒储存形式，节省空间，且对晶圆的保护效果好。

为了解决上述问题，本发明采用如下方案：

一种晶圆储存箱，包括间隔放置于箱体中的多个储存筒，箱体中设置有多根套轴，
所述储存桶套设于所述套轴上；所述储存筒包括内筒及外圈，所述内筒的周面间隔设有多
个安放槽，所述外圈上设有与所述安放槽对应的卡槽，晶圆放置于所述安放槽与卡槽之间。

本发明的技术效果在于：

本发明中，间隔设置的储存筒，保证相邻储存筒上的晶圆不发生干涉；晶圆围绕放
置在储存筒上，结构紧凑，占用空间小，仓储成本低。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图中：1、箱体；2、套轴；3、内筒；4、外圈；5、安放槽；6、卡槽；7、晶圆。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。

如图1所示，本实施例的晶圆储存箱，包括间隔放置于箱体1中的多个储存筒，箱体
1中设置有多根套轴2，储存桶套设于套轴2上；储存筒包括内筒3及外圈4，内筒3的周面间隔
设有多个安放槽5，外圈4上设有与安放槽5对应的卡槽6，晶圆7放置于安放槽5与卡槽6之
间。

本发明中，间隔设置的储存筒，保证相邻储存筒上的晶圆不发生干涉；晶圆围绕放
置在储存筒上，结构紧凑，占用空间小，仓储成本低。

以上所举实施例为本发明的较佳实施方式，仅用来方便说明本发明，并非对本发
明作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本发明所提技
术特征的范围内，利用本发明所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例，并且
未脱离本发明的技术特征内容，均仍属于本发明技术特征的范围内。