一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法技术领域
本发明涉及蓝宝石技术领域，特别是涉及一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片
加工方法。
背景技术
蓝宝石晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能。广泛应用于高亮
度LED衬底材料、各种光学元器件、扫描仪窗口材料。蓝宝石窗口片用于光学窗口领域具有
以下几个优良特征：1.高光学透射率，蓝宝石晶体有很好的透光性能，其透光范围为0.15～
7.5微米，覆盖了紫外、可见、近红外、中红外等波段；2.高耐磨性，膨胀系数仅为5X10-6/度，
熔点为2050°C，工作温度可达1900°C，具有优秀的耐热冲击和耐高温性能；3.很好的机械性
能，其硬度可达莫氏9级，同时还有很好的抗压强度、压缩强度和弯曲强度，同时具有抗电磁
干扰、电磁兼容性能，抗辐射性能、电绝缘性能。
随着蓝宝石应用领域的发展，扫描仪窗口片应用越来越广，国内对扫描仪窗口片
加工工艺远落后国际技术水平。传统的加工方法主要采用单面加工工艺不仅加工效率低、
晶片外观划痕多、成本高等不足。
发明内容
本发明的目的是提供一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，解决传统
的加工方法主要采用单面加工工艺不仅加工效率低、晶片外观划痕多、成本高等不足的问
题。
为解决以上问题本发明所采用的方案：
一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其加工方法如下：
（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到
的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到
蓝宝石晶片：
（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为16-18H，Warp控制
在≤20um以内；
（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.01-0.03mm ，
工作时间为20-30min；
（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一
面利用金刚石进行研磨，研磨时间为30-40min，研磨后表面Ra保持在10-20nm；
（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.3-0.5nm，TTV≤10um；
（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为20-60min，每分
钟上下抛动20-60次。
上述的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其中，所述的中性环保清
洗液以20%的中性环保清洗液与80%的超纯水混合配比而成，其中中性环保清洗液为东莞市
炅盛塑胶科技有限公司提供，超纯水为用实验室纯水机自制超纯水。
本方案的有益效果：
本发明提供的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，包括切块、切片、精雕、
研磨、抛光与清洗六大步骤，步骤简单，制备方便，本发明利用多线开方机切块、单线切割机
去除头尾料、精雕倒角、双面研磨与抛光，避免对蓝宝石薄皮表面产生磨损，有效的提高加
工效率，提升晶片外观质量，不仅加工效率、晶片质量有显著提升，也大大降低了成本，最后
使用中性环保清洗液进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较低，及安全
又环保。
具体实施方式
实施例一：一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其加工方法如下：
（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到
的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到
蓝宝石晶片：
（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为16H，Warp控制在
10um；
（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.01mm ，工作
时间为20min；
（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一
面利用金刚石进行研磨，研磨时间为30min，研磨后表面Ra保持在10nm；
（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.5nm，TTV为10um；
（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为20min，每分钟
上下抛动20次。
实施例二：一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其加工方法如下：
（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到
的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到
蓝宝石晶片：
（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为17H，Warp控制在
15um；
（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.02mm ，工作
时间为25min；
（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一
面利用金刚石进行研磨，研磨时间为35min，研磨后表面Ra保持在15nm；
（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.3nm，TTV为8um；
（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为40min，每分钟
上下抛动40次。
实施例三：一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其加工方法如下：
（1）首先将蓝宝石晶锭置于多线开方机中，切割成指定大小的蓝宝石晶块，随后将得到
的蓝宝石晶块置于单线切割机中，去除头尾料，再使用平面磨对块料状进行精细加工，得到
蓝宝石晶片：
（2）将蓝宝石晶片利用高速切割机，切割成蓝宝石薄片，加工时间为18H，Warp控制在
20um；
（3）将切割成的蓝宝石薄片利用高精度精雕机进行加工，其精度控制在0.02mm ，工作
时间为30min；
（4）将精雕后的蓝宝石薄片，采用双面研磨的方法，一面利用砂碳化硼进行研磨，另一
面利用金刚石进行研磨，研磨时间为40min，研磨后表面Ra保持在20nm；
（5）对研磨后的蓝宝石薄片进行CMP抛光处理，其表面Ra保持在0.3-0.5nm，TTV为6um；
（6）利用中性环保清洗液对抛光后的蓝宝石薄片进行清洗，清洗时间为60min，每分钟
上下抛动60次。
上述的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，其中，所述的中性环保清
洗液以20%的中性环保清洗液与80%的超纯水混合配比而成，其中中性环保清洗液为东莞市
炅盛塑胶科技有限公司提供，超纯水为用实验室纯水机自制超纯水。
本发明提供的一种7.2吋纳米级蓝宝石扫描仪窗口片加工方法，包括切块、切片、
精雕、研磨、抛光与清洗六大步骤，步骤简单，制备方便，本发明利用多线开方机切块、单线
切割机去除头尾料、精雕倒角、双面研磨与抛光，避免对蓝宝石薄皮表面产生磨损，有效的
提高加工效率，提升晶片外观质量，不仅加工效率、晶片质量有显著提升，也大大降低了成
本，最后使用中性环保清洗液进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较
低，及安全又环保。
仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉
本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖
在本发明的保护范围内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。