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1、(10)申请公布号 CN 103029379 A (43)申请公布日 2013.04.10 C N 1 0 3 0 2 9 3 7 9 A *CN103029379A* (21)申请号 201210531652.9 (22)申请日 2012.12.10 B32B 17/06(2006.01) B32B 9/04(2006.01) C23C 14/35(2006.01) C23C 14/08(2006.01) C03C 17/22(2006.01) (71)申请人广东志成冠军集团有限公司 地址 523000 广东省东莞市塘厦镇田心工业 区广东志成冠军集团有限公司 (72)发明人赵玮 陈宇 (74。
2、)专利代理机构北京品源专利代理有限公司 11332 代理人胡彬 (54) 发明名称 双面镀膜低辐射玻璃及其制备方法 (57) 摘要 本发明公开一种双面镀膜低辐射玻璃，包括 玻璃基体，玻璃基体的两侧均设置低辐射隔热层， 低辐射隔热层为掺铝氧化锌（AZO）薄膜层。通过 在玻璃基板两侧均设置低辐射隔热层，可以使镀 膜玻璃具有较高的热学性能，较强的隔绝红外波 段热辐射的能力；通过将低辐射隔热层采用AZO 薄膜，可以运用AZO薄膜自身的特性，在提高热学 性能和隔绝红外波段热辐射能力的同时，提高镀 膜玻璃的可见光透过率和降低镀膜玻璃的红外线 透过率。 (51)Int.Cl. 权利要求书2页 说明书6页 附。
3、图1页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 2 页 说明书 6 页 附图 1 页 1/2页 2 1.一种双面镀膜低辐射玻璃，其特征在于，包括玻璃基体，所述玻璃基体的两侧均设置 低辐射隔热层。 2.根据权利要求1所述的双面镀膜低辐射玻璃，其特征在于，所述低辐射隔热层为掺 铝氧化锌（AZO）薄膜层。 3.根据权利要求1或2所述的双面镀膜低辐射玻璃，其特征在于，所述低辐射隔热层的 厚度为0.5m20m。 4.根据权利要求1或2所述的双面镀膜低辐射玻璃，其特征在于，所述低辐射隔热层的 隔热率u值为1.53.7W/m 2 K。 5.根据权利要求1或2所述的双面镀膜低辐。
4、射玻璃，其特征在于，所述玻璃基体为钢化 玻璃、浮法玻璃、喷砂玻璃、压花玻璃、夹丝玻璃、中空玻璃、夹层玻璃、热弯玻璃、防弹玻璃 中的任意一种。 6.一种如权利要求1至5任一所述的双面镀膜低辐射玻璃的制备方法，其特征在于，包 括以下步骤： 步骤a、镀膜前准备； 将玻璃基体经过超声波清洗，烘干后送入磁控溅射装置； 步骤b、第一面镀膜； 在磁控溅射装置内对应玻璃基体的第一面设置一套磁控溅射头，对磁控溅射装置抽取 真空至5E-3Pa,对玻璃基体的第一面进行磁控溅射镀制低辐射隔热层，溅射气体为氩气， 气压为0.10.9Pa，加热温度为200250，溅射功率为510w/cm 2 ,沉积时间为85s 100s。
5、； 步骤c、第一次冷却； 第一面镀膜完成后，停止磁控溅射镀制低辐射隔热层，取出第一面镀膜的玻璃基体，冷 却； 步骤d、第一次清洗以及烘干； 将第一面镀膜的玻璃基体送入清洗机，进行清洗，清洗完成后送入烘干机进行烘干； 步骤e、第二面镀膜； 将第一面镀膜的玻璃基体翻面后再次送入磁控溅射装置中，使玻璃基体的第二面正对 磁控溅射头，抽取磁控溅射装置内的真空至5E-3Pa，开启磁控溅射装置对玻璃基体第二面 进行磁控溅射镀制低辐射隔热层，溅射气体为氩气，气压为0.10.9Pa，加热温度为200 250，溅射功率为510w/cm 2 ,沉积时间为85s100s； 步骤f、第二次冷却； 第二面镀膜完成后，停止。
6、磁控溅射镀制低辐射隔热层，取出双面镀膜的玻璃基体，冷 却； 步骤g、第二次清洗以及烘干； 将双面镀膜的玻璃基体送入清洗机，进行清洗，清洗完成后送入烘干机进行烘干，完成 玻璃基体镀膜。 7.根据权利要求6所述的双面镀膜低辐射玻璃的制备方法，其特征在于，所述低辐射 隔热层为掺铝氧化锌（AZO）薄膜层。 8.根据权利要求6或7所述的双面镀膜低辐射玻璃的制备方法，其特征在于，所述低辐 权 利 要 求 书CN 103029379 A 2/2页 3 射隔热层的厚度为0.5m20m，隔热率u值为1.53.7W/m 2 K。 9.一种如权利要求1至5任一所述的双面镀膜低辐射玻璃的制备方法，其特征在于，包 括以。
7、下步骤： 步骤a、镀膜前准备； 将玻璃基体经过超声波清洗，烘干后送入磁控溅射装置； 步骤b、双面同时镀膜； 在磁控溅射装置内对应玻璃基体的第一面和第二面分别设置一套磁控溅射头，对磁控 溅射装置抽取真空至5E-3Pa,对玻璃基体的第一面和第二面同时进行磁控溅射镀制低辐 射隔热层，溅射气体为氩气，气压为0.10.9Pa，加热温度为200250，溅射功率为5 10w/cm 2 ,沉积时间为85s100s； 步骤c、冷却； 玻璃基体的第一面和第二面镀膜完成后，停止磁控溅射镀制低辐射隔热层，取出双面 镀膜的玻璃基体，冷却； 步骤d、清洗以及烘干； 将双面镀膜的玻璃基体送入清洗机，进行清洗，清洗完成后送入。
8、烘干机进行烘干，完成 玻璃基体镀膜。 10.根据权利要求9所述的双面镀膜低辐射玻璃的制备方法，其特征在于，所述低辐射 隔热层为掺铝氧化锌（AZO）薄膜层。 权 利 要 求 书CN 103029379 A 1/6页 4 双面镀膜低辐射玻璃及其制备方法 技术领域 0001 本发明涉及低辐射玻璃制造技术领域，尤其涉及一种双面镀膜低辐射玻璃，以及 制备该双面镀膜低辐射玻璃的方法。 背景技术 0002 低辐射镀膜玻璃也叫做Low-E玻璃，是指表面镀上拥有极低表面辐射率的金属或 其他化合物组成的多层膜层的特种玻璃。Low-E玻璃是种绿色、节能、环保的玻璃产品。普 通玻璃的表面辐射率在0.84左右，Low-。
9、E玻璃的表面辐射率在0.25以下。这种不到头发 丝百分之一厚度的低辐射膜层对远红外热辐射的反射率很高，能将80%以上的远红外热辐 射反射回去，而普通透明浮法玻璃、吸热玻璃的远红外反射率仅在12%左右，所以Low-E玻 璃具有良好的阻隔热辐射透过的作用。 0003 目前常用的Low-E玻璃大概包括以下两种，第一种：在玻璃基体一面镀制的一层 功能膜层，例如,中国专利文献CN 202226780 U公开“一种AZO光伏玻璃”，其是在普通或 超白浮法玻璃基片的表面覆盖AZO透明导电薄膜，导电薄膜厚80800nm。使用该光伏玻 璃的太阳能电池具有高导电性、高透过、雾度可控、可光刻的特点，并根据使用要求，。
10、对AZO 膜的组成和各项性能进行设计，使获得的AZO薄膜具有良好的耐老化能力，满足太阳能薄 膜电池的使用要求。但是这种单层镀膜玻璃的热学性能不高，即u值不够高，玻璃的隔绝红 外波段热辐射的能力也很低；第二种：在玻璃基体一面镀制的复合层功能膜层，例如，中国 专利文献CN 102092960 A公开一种“低辐射玻璃”，其从下往上依次包括玻璃基底、第一介 质层、第一阻挡层、过渡层、金属层和第二阻挡层,作为优化还可在第二阻挡层上镀第二介 质层,过渡层促进金属层的生长使其尽快长成连续的结构,使得玻璃可有高的红外反射率 且有高的可见光透过率,而阻挡层充分保护金属层使其发挥高红外反射率的特性。这种玻 璃具有。
11、以下缺陷：1、膜层的层数多，以至于在生产此玻璃时需要经过多次镀膜工序才能完 成生产，生产过程复杂，辅助工序繁多，生产难度高以及次品率高；2、膜层的层数多必然会 降低整个镀膜玻璃的透光性，因此透光性会因薄膜层数的增加而降低。 发明内容 0004 本发明的一个目的，在于提供一种双面镀膜低辐射玻璃，其热学性能高，获得的u 值较高，并且也具有较强的隔绝红外波段热辐射的能力。 0005 本发明的一个目的，在于提供一种双面镀膜低辐射玻璃，其可见光透过率可达85% 以上,红外线透过率可在40%以下。 0006 本发明的另一个目的，在于提供一种双面镀膜低辐射玻璃的制作方法，通过采用 磁控溅射镀膜方法对玻璃基体。
12、进行低辐射隔热层的镀制，使得玻璃基体两侧的薄膜更加稳 定可靠，整个制作工艺简单，辅助工序少，生产难度低，合格率高，并且使生产出来的玻璃具 有较高的热学性能，较强的隔绝红外波段热辐射的能力、较高的透光率以及较低的红外线 透过率。 说 明 书CN 103029379 A 2/6页 5 0007 为达上述目的，本发明采用以下技术方案： 0008 一种双面镀膜低辐射玻璃，包括玻璃基体，所述玻璃基体的两侧均设置低辐射隔 热层。 0009 作为双面镀膜低辐射玻璃的一种优选方案，所述低辐射隔热层为掺铝氧化锌 （AZO）薄膜层。 0010 掺铝氧化锌（AZO）薄膜是一种光学透明导电薄膜，因其在可见光区透光性能。
13、非常 好，所以被广泛应用于汽车或飞机的挡风玻璃、平面液晶显示器等。AZO薄膜因其原料丰富、 价格低廉、材料无毒、易于掺杂和制备温度低等诸多优点而被认为是最具发展潜力的透明 导电薄膜之一。制备AZO薄膜的方法主要有：磁控溅射法、脉冲激光沉积法、化学汽相沉积 法、真空反应蒸发法和溶胶凝胶法等。其中磁控溅射法最为成熟，并已形成商业化生产。 0011 AZO膜的主要成分是ZnO,其禁带宽度为3.37eV，是一种透光性较好的材料。纯 ZnO薄膜是本征半导体，在一定温度下，总有一些电子获得足够的能量，从价带跃迁到导带， 成为导带的自由电子，同时价带出现等数量的空穴，但由这种激发产生的平衡载流子的数 量很少。
14、，所以纯ZnO薄膜的导电性很差，几乎不导电。在ZnO薄膜中掺入浅能级杂质III族 元素Al，离子，能级位于半导体禁带，且靠近导带底。Al的原子半径与格点的Zn原子半 径相近，它将占据晶格格点，与周围元素形成共价键。Al的价电子数比Zn多一个，出现了弱 束缚的电子，这个多余的电子只需要很少一点能量，就可以摆脱束缚并成为在ZnO薄膜中 作共有化运动的自由电子，也就是成为导带中的电子。由于AZO薄膜导电的非平衡载流子 主要是电子，所以AZO薄膜为II型半导体。由于Al原子向导带提供电子，所以Al原子为 施主杂质。AZO膜的电子载流子浓度为10 18 10 20 cm -3 ，电子迁移率为710 2 。
15、cm 2 Vs， 室温电阻率为10 -1 10 -4 cm。电学稳定性高，在室温下放置一年以上仍然保持稳定。由 于AZO膜的禁带宽度大于可见光子能量(3.1eV)，在可见光照射下不会引起本征激发，所以 它对整个可见光是透明的。可见光区的透射率高达8090，一定程度的A1掺杂对膜 的透射率影响不大。作为一种宽禁带半导体，在AZO薄膜导带上有相当高的自由电子浓度， 高浓度电子将引起可见光和红外区电磁辐射的吸收。 0012 优选的，所述低辐射隔热层的厚度为0.5m20m。 0013 更加优选的，所述低辐射隔热层的厚度为2m。 0014 优选的，所述低辐射隔热层的隔热率u值为1.53.7W/m 2 K。
16、。 0015 更加优选的，所述低辐射隔热层的隔热率u值为3W/m 2 K。 0016 优选的，所述玻璃基体为钢化玻璃、浮法玻璃、喷砂玻璃、压花玻璃、夹丝玻璃、中 空玻璃、夹层玻璃、热弯玻璃、防弹玻璃中的任意一种。 0017 其中，钢化玻璃就是将普通退火玻璃先切割成要求尺寸，然后加热到接近软化点 的700度左右，再进行快速均匀的冷却而得到（通常56mm的玻璃在700度高温下加热 240秒左右，降温150秒左右。810mm玻璃在700度高温下加热500秒左右，降温300秒 左右。总之，根据玻璃厚度不同，选择加热降温的时间也不同）。钢化处理后玻璃表面形成均 匀压应力，而内部则形成张应力，使玻璃的抗弯。
17、和抗冲击强度得以提高，其强度约是普通退 火玻璃的四倍以上。已钢化处理好的钢化玻璃，不能再作任何加工或受破损，否则就会“粉 身碎骨”。钢化玻璃具有以下优点：1、强度较之普通玻璃提高数倍，抗弯；2、使用安全，其承 载能力增大改善了易碎性质，即使钢化玻璃破坏也呈无锐角的小碎片，对人体的伤害极大 说 明 书CN 103029379 A 3/6页 6 地降低了；3、钢化玻璃的耐急冷急热性质较之普通玻璃有35倍的提高，一般可承受250 度以上的温差变化，对防止热炸裂有明显的效果。 0018 浮法玻璃是用海沙、石英砂岩粉、纯碱、白云石等原料配制，经熔窑高温熔融，玻璃 液从池窑连续流至并浮在金属液面上，摊成厚。
18、度均匀平整、经火焰抛光的玻璃带，冷却硬化 后脱离金属液，再经退火切割而成的透明无色平板玻璃。浮法生产的成型过程是在通入保 护气体的锡槽中完成的。浮法玻璃应用广泛，分为着色玻璃、浮法银镜、浮法白玻/汽车挡 风级、浮法白玻/各类深加工级、浮法白玻/扫描仪级、浮法白玻/镀膜级、浮法白玻/制镜 级。其中超白浮法玻璃具有广泛的用途及广阔的市场前景，主要应用在高档建筑、高档玻璃 加工和太阳能光电幕墙领域以及高档玻璃家具、装饰用玻璃、仿水晶制品、灯具玻璃、精密 电子行业、特种建筑等。 0019 喷砂玻璃包括喷花玻璃和砂雕玻璃，它是经自动水平喷砂机或立式喷砂机在玻璃 上加工成水平或凹雕图案的玻璃产品，也可在图。
19、案上加上色彩称之谓“喷绘玻璃”，或与电 脑刻花机配合使用，深雕浅刻，形成光彩夺目、栩栩如生的艺术精品。喷砂玻璃用高科技工 艺使平面玻璃的表面造成侵蚀，从而形成半透明的雾面效果，具有一种朦胧的美感。性能上 基本上与磨砂玻璃相似，不同的是改磨砂为喷砂。在居室的装修中，主要用在表现界定区域 却互不封闭的地方，如在餐厅与客厅之间，可用喷砂玻璃制成一道精美的屏风。 0020 压花玻璃又称花纹玻璃或滚花玻璃，是采用压延方法制造的一种平板玻璃，制造 工艺分为单辊法和双辊法。单辊法是将玻璃液浇注到压延成型台上，台面可以用铸铁或铸 钢制成，台面或轧辊刻有花纹，轧辊在玻璃液面碾压，制成的压花玻璃再送入退火窑。双辊。
20、 法生产压花玻璃又分为半连续压延和连续压延两种工艺，玻璃液通过水冷的一对轧辊，随 辊子转动向前拉引至退火窑，一般下辊表面有凹凸花纹，上辊是抛光辊，从而制成单面有图 案的压花玻璃。压花玻璃的理化性能基本与普通透明平板玻璃相同，仅在光学上具有透光 不透明的特点，可使光线柔和，并具有陷私的屏护作用和一定的装饰效果。压花玻璃适用于 建筑的室内间隔，卫生间门窗及需要要又需要阻断视线的各种场合。 0021 夹丝玻璃也称防碎玻璃和钢丝玻璃。在压延生产工艺过程中是将丝网压入半液态 玻璃带中而成型的一种特殊玻璃。优点是较普通玻璃强度高，玻璃遭受冲击或温度剧变时， 使其破而不缺，裂而不散，避免棱角的小块碎片飞出伤。
21、人，如火灾蔓延，夹丝玻璃受热炸裂 时，仍能保持固定状态，起到隔绝火势的作用，故又称防火玻璃。缺点是在生产过程中，丝网 受高温辐射容易氧化，玻璃表面有可能出现“锈斑”一样的黄色和气泡。夹丝玻璃常用于天 窗、天棚顶盖，以及易受震动的门窗上。 0022 中空玻璃是一种良好的隔热、隔音、美观适用、并可降低建筑物自重的新型建筑材 料，它是用两片（或三片）玻璃，使用高强度高气密性复合粘结剂，将玻璃片与内含干燥剂的 铝合金框架粘结，制成的高效能隔音隔热玻璃。中空玻璃多种性能优越于普通双层玻璃，因 此得到了世界各国的认可，中空玻璃是将两片或多片玻璃以有效支撑均匀隔开并周边粘结 密封，使玻璃层间形成有干燥气体空。
22、间的玻璃制品。其主要材料是玻璃、铝间隔条、弯角栓、 丁基橡胶、聚硫胶、干燥剂。 0023 夹层玻璃是由两层或几层玻璃片间夹嵌透明的塑料薄片，经热压黏合而成的一种 安全玻璃。此种玻璃经较大的冲击和较剧烈的震动，仅现裂纹，不致粉碎。 0024 热弯玻璃是由平板玻璃加热软化在模具中成型，再经退火制成的曲面玻璃。热弯 说 明 书CN 103029379 A 4/6页 7 玻璃一般在电炉中进行加工。热弯炉有连续式与间歇式两种，连续热弯炉一般有56个 室，1113个工位，大约几十分钟可以出一块成品。间歇式热弯炉一般只有一个室，升温成 型、退火均在一个室内完成，加工周期需数小时以至一、二十小时，适合制作小批。
23、量特大型 热弯玻璃。 0025 防弹玻璃是由玻璃（或有机玻璃）和优质工程塑料经特殊加工得到的一种复合型 材料，它通常是透明的材料，譬如PVB/聚碳酸酯纤维热塑性塑料（一般为力显树脂。它具有 普通玻璃的外观和传送光的行为，对小型武器的射击提供一定的保护。 0026 进一步的，此双面镀膜低辐射玻璃的可见光透过率可达85%以上,红外线透过率 在40%以下。 0027 一种如上述所述的双面镀膜低辐射玻璃的制备方法，包括以下步骤： 0028 步骤a、镀膜前准备； 0029 将玻璃基体经过超声波清洗，烘干后送入磁控溅射装置； 0030 步骤b、第一面镀膜； 0031 在磁控溅射装置内对应玻璃基体的第一面设。
24、置一套磁控溅射头，对磁控溅射装置 抽取真空至5E-3Pa,对玻璃基体的第一面进行磁控溅射镀制低辐射隔热层，溅射气体为氩 气，气压为0.10.9Pa，加热温度为200250，溅射功率为510w/cm 2 ,沉积时间为 85s100s； 0032 步骤c、第一次冷却； 0033 第一面镀膜完成后，停止磁控溅射镀制低辐射隔热层，取出第一面镀膜的玻璃基 体，冷却； 0034 步骤d、第一次清洗以及烘干； 0035 将第一面镀膜的玻璃基体送入清洗机，进行清洗，清洗完成后送入烘干机进行烘 干； 0036 步骤e、第二面镀膜； 0037 将第一面镀膜的玻璃基体翻面后再次送入磁控溅射装置中，使玻璃基体的第二面。
25、 正对磁控溅射头，抽取磁控溅射装置内的真空至5E-3Pa，开启磁控溅射装置对玻璃基体第 二面进行磁控溅射镀制低辐射隔热层，溅射气体为氩气，气压为0.10.9Pa，加热温度为 200250，溅射功率为510w/cm 2 ,沉积时间为85s100s； 0038 步骤f、第二次冷却； 0039 第二面镀膜完成后，停止磁控溅射镀制低辐射隔热层，取出双面镀膜的玻璃基体， 冷却； 0040 步骤g、第二次清洗以及烘干； 0041 将双面镀膜的玻璃基体送入清洗机，进行清洗，清洗完成后送入烘干机进行烘干， 完成玻璃基体镀膜。 0042 优选的，步骤b和步骤d中的工艺参数优选为溅射气体氩气的气压为0.6Pa，加。
26、热 温度为220，溅射功率为6w/cm 2 ,沉积时间为90s。 0043 作为双面镀膜低辐射玻璃的制备方法的一种优选方案，所述低辐射隔热层为掺铝 氧化锌（AZO）薄膜层。 0044 优选的，所述低辐射隔热层的厚度为0.5m20m，隔热率u值为1.53.7W/ 说 明 书CN 103029379 A 5/6页 8 m 2 K。 0045 一种如上述所述的双面镀膜低辐射玻璃的制备方法，包括以下步骤： 0046 步骤a、镀膜前准备； 0047 将玻璃基体经过超声波清洗，烘干后送入磁控溅射装置； 0048 步骤b、双面同时镀膜； 0049 在磁控溅射装置内对应玻璃基体的第一面和第二面分别设置一套磁控。
27、溅射头，对 磁控溅射装置抽取真空至5E-3Pa,对玻璃基体的第一面和第二面同时进行磁控溅射镀制 低辐射隔热层，溅射气体为氩气，气压为0.10.9Pa，加热温度为200250，溅射功率 为510w/cm 2 ,沉积时间为85s100s； 0050 步骤c、冷却； 0051 玻璃基体的第一面和第二面镀膜完成后，停止磁控溅射镀制低辐射隔热层，取出 双面镀膜的玻璃基体，冷却； 0052 步骤d、清洗以及烘干； 0053 将双面镀膜的玻璃基体送入清洗机，进行清洗，清洗完成后送入烘干机进行烘干， 完成玻璃基体镀膜。 0054 优选的，步骤b中的工艺参数优选为溅射气体氩气的气压为0.8Pa，加热温度为 24。
28、0，溅射功率为8w/cm 2 ,沉积时间为95s。 0055 作为双面镀膜低辐射玻璃的制备方法的一种优选方案，所述低辐射隔热层为掺铝 氧化锌（AZO）薄膜层。 0056 对比现有技术，本发明的有益效果为： 0057 1、通过在玻璃基板两侧均设置低辐射隔热层，可以使镀膜玻璃具有较高的热学性 能，较强的隔绝红外波段热辐射的能力； 0058 2、通过将低辐射隔热层采用AZO薄膜，可以运用AZO薄膜自身的特性，在提高热学 性能和隔绝红外波段热辐射的能力的同时，提高镀膜玻璃的可见光透过率和降低镀膜玻璃 的红外线透过率； 0059 3、通过采用磁控溅射镀膜方法对玻璃基体进行低辐射隔热层的镀制，使得玻璃 基。
29、体两侧的薄膜更加稳定可靠，并且整个制作工艺简单，辅助工序少，生产难度低，合格率 高； 0060 4、通过玻璃基体上下两面对应设置两套磁控溅射头，可以使玻璃基体一次镀制完 两面的薄膜，在保证了薄膜稳定性的同时，提高了生产效率，减少了生产的辅助工序，节约 了生产的成本。 附图说明 0061 图1为本发明所述的双面镀膜低辐射玻璃的结构示意图。 0062 图中： 0063 1、玻璃基体；2、低辐射隔热层。 具体实施方式 0064 如图1所示，此实施例中所述的双面镀膜低辐射玻璃，包括玻璃基体1，玻璃基体1 说 明 书CN 103029379 A 6/6页 9 的两侧均设置低辐射隔热层2，本实施例中，低辐。
30、射隔热层2为掺铝氧化锌（AZO）薄膜层。 0065 低辐射隔热层2的厚度为2m，且低辐射隔热层2的隔热率u值为3W/m 2 K。 0066 本实施例中，玻璃基体1选用钢化玻璃。 0067 此双面镀膜低辐射玻璃的可见光透过率可达85%以上,红外线透过率在40%以 下。 0068 双面镀膜低辐射玻璃的制备方法，包括以下步骤： 0069 第一步、镀膜前准备,将玻璃基体经过超声波清洗，烘干后送入磁控溅射装置； 0070 第二步、第一面镀膜，在磁控溅射装置内对应玻璃基体的第一面设置一套磁控溅 射头，对磁控溅射装置抽取真空至5E-3Pa,对玻璃基体的第一面进行磁控溅射镀制掺铝氧 化锌（AZO）薄膜，溅射气。
31、体为氩气，气压为0.6Pa，加热温度为220，溅射功率为6w/cm 2 ,沉 积时间为90s； 0071 第三步、第一次冷却,第一面镀膜完成后，停止磁控溅射镀制掺铝氧化锌（AZO）薄 膜，取出第一面镀膜的玻璃基体，冷却； 0072 第四步、第一次清洗以及烘干，将第一面镀膜的玻璃基体送入清洗机，进行清洗， 清洗完成后送入烘干机进行烘干； 0073 第五步、第二面镀膜，将第一面镀膜的玻璃基体翻面后再次送入磁控溅射装置中， 使玻璃基体的第二面正对磁控溅射头，抽取磁控溅射装置内的真空至5E-3Pa，开启磁控溅 射装置对玻璃基体第二面进行磁控溅射镀制掺铝氧化锌（AZO）薄膜，溅射气体为氩气，气压 为0.。
32、6Pa，加热温度为220，溅射功率为6w/cm 2 ,沉积时间为90s； 0074 第六步、第二次冷却，第二面镀膜完成后，停止磁控溅射镀制掺铝氧化锌（AZO）薄 膜，取出双面镀膜的玻璃基体，冷却； 0075 第七步、第二次清洗以及烘干，将双面镀膜的玻璃基体送入清洗机，进行清洗，清 洗完成后送入烘干机进行烘干，完成玻璃基体镀膜。 0076 为了加快镀膜的速度，还可以采用下列制备方法对玻璃基板镀膜： 0077 第一步、镀膜前准备,将玻璃基体经过超声波清洗，烘干后送入磁控溅射装置； 0078 第二步、双面同时镀膜，在磁控溅射装置内对应玻璃基体的第一面和第二面分别 设置一套磁控溅射头，对磁控溅射装置抽。
33、取真空至5E-3Pa,对玻璃基体的第一面和第二面 同时进行磁控溅射镀制掺铝氧化锌（AZO）薄膜，溅射气体为氩气，气压为0.8Pa，加热温度 为240，溅射功率为8w/cm 2 ,沉积时间为95s； 0079 第三步、冷却,玻璃基体的第一面和第二面镀膜完成后，停止磁控溅射镀制掺铝 氧化锌（AZO）薄膜层，取出双面镀膜的玻璃基体，冷却； 0080 第四步、清洗以及烘干，将双面镀膜的玻璃基体送入清洗机，进行清洗，清洗完成 后送入烘干机进行烘干，完成玻璃基体镀膜。 0081 以上结合具体实施例描述了本发明的技术原理。这些描述只是为了解释本发明的 原理，而不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术 人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其它具体实施方式，这些方式都将落入 本发明的保护范围之内。 说 明 书CN 103029379 A 1/1页 10 图1 说 明 书 附 图CN 103029379 A 10 。