《一种晶圆夹持装置.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《一种晶圆夹持装置.pdf（5页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201410818897.9(22)申请日 2014.12.25H01L 21/687(2006.01)(71)申请人 苏州凯锝微电子有限公司地址 215000 江苏省苏州市高新区珠江路525 号(72)发明人 刘思佳(74)专利代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224代理人 董建林(54) 发明名称一种晶圆夹持装置(57) 摘要本发明公开了一种晶圆夹持装置，其特征是，包括握杆（1）、弧形抓杆（2）、夹持部（3）和位于所述弧形抓杆（2）上的箍环（4）；所述弧形抓杆（2）的上端连接在所述握杆（1）的下端，所述弧形抓杆（2）的下端连。
2、接夹持部（3）；所述握杆（1）内部设置活动按压杆（7），所述按压杆（7）的下端连接三个推杆（6）；所述推杆（6）的另一端位于所述箍环（4）上 ；所述握杆（1）的顶端设置卡扣（9）；所述弧形抓杆（2）上相同位置设置滑槽（5），所述箍环（4）位于滑槽（5）上。本发明结构简单、不易碰到晶圆表面、稳定、操作方便。(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页 说明书2页 附图1页(10)申请公布号 CN 104505363 A(43)申请公布日 2015.04.08CN 104505363 A1/1 页21.一种晶圆夹持装置，其特征是，包括握杆（1）、弧形。
3、抓杆（2）、夹持部（3）和位于所述弧形抓杆（2）上的箍环（4）；所述弧形抓杆（2）的上端连接在所述握杆1的下端，所述弧形抓杆（2）的下端连接夹持部（3）；所述握杆（1）内部设置活动按压杆（7），所述按压杆（7）的下端连接三个推杆（6）；所述推杆（6）的另一端位于所述箍环（4）上 ；所述握杆（1）的顶端设置卡扣（9）。2.根据权利要求 1 所述的一种晶圆夹持装置，其特征是，所述按压杆（7）的顶端设置按压帽（8），所述按压帽（8）为橡胶。3.根据权利要求 1 所述的一种晶圆夹持装置，其特征是，所述弧形抓杆（2）上相同位置设置滑槽（5），所述箍环（4）位于滑槽（5）上。4.根据权利要求 1 所述的一。
4、种晶圆夹持装置，其特征是，所述夹持部（3）为呈圆弧形的夹持杆。5.根据权利要求 1 所述的一种晶圆夹持装置，其特征是，所述夹持部（3）的内侧设置圆弧形卡槽（31）。6.根据权利要求 5 所述的一种晶圆夹持装置，其特征是，所述圆弧形卡槽（31）的表面设置橡胶。权 利 要 求 书CN 104505363 A1/2 页3一种晶圆夹持装置技术领域0001 本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种晶圆夹持装置。背景技术0002 晶圆制造中，利用化学机械研磨 CMP 技术对晶圆进行表面全局平坦化，CMP 化学机械研磨技术综合了化学研磨和机械研磨的优势，可以在保证材料去除效率的同时获得较完美的表面，得到的平整。
5、度比单纯使用这两种研磨要高出 1-2 个数量级，并且可以实现纳米级到原子级的表面粗糙度。在 CMP 之后要对晶圆进行清洗，现有技术中已有晶圆清洗机，但在实际生产制造过程中，晶圆清洗机会出现错误并报警，此时需要人工传递晶圆，因此需要晶圆夹持装置。0003 中国专利（201420149283.1），公开了一种晶圆抓取工具，该实用新型通过对弹簧的拉伸和复位实现对晶圆的夹持和固定，但此装置与晶圆平行操作，支架臂易碰到晶圆表面，且操作不便。发明内容0004 为解决现有技术中的不足，本发明提供一种晶圆夹持装置。0005 为了实现上述目标，本发明采用如下技术方案 ：。0006 一种晶圆夹持装置，其特征是，包。
6、括握杆、弧形抓杆、夹持部和位于所述弧形抓杆上的箍环 ；所述弧形抓杆的上端连接在所述握杆的下端，所述弧形抓杆的下端连接夹持部 ；所述握杆内部设置活动按压杆，所述按压杆的下端连接三个推杆 ；所述推杆的另一端位于所述箍环上 ；所述握杆的顶端设置卡扣。0007 前述的一种晶圆夹持装置，其特征是，所述按压杆的顶端设置按压帽，所述按压帽为橡胶。0008 前述的一种晶圆夹持装置，其特征是，所述弧形抓杆上相同位置设置滑槽，所述箍环位于滑槽上。0009 前述的一种晶圆夹持装置，其特征是，所述夹持部为呈圆弧形的夹持杆。0010 前述的一种晶圆夹持装置，其特征是，所述夹持部的内侧设置圆弧形卡槽。0011 前述的一种。
7、晶圆夹持装置，其特征是，所述圆弧形卡槽的表面设置橡胶。0012 本发明所达到的有益效果 ：通过握杆、按压杆、推杆和箍环、滑槽，使得晶圆周边很好地固定在夹持部中，夹持装置与晶圆垂直放置，夹持装置不易碰到晶圆表面，三个弧形抓杆能够稳定的固定住晶圆 ；通过卡扣使晶圆保持紧箍状态，可方便移动晶圆。本发明结构简单、不易碰到晶圆表面、稳定、操作方便。附图说明0013 图 1 是一种晶圆夹持装置示意图 ；图 2 是夹持部示意图 ；说 明 书CN 104505363 A2/2 页4图中附图标记的含义 ：1-握杆，2-弧形抓杆，3-夹持部，31-圆弧形卡槽，4-箍环，5-滑槽，6- 推杆，7- 按压杆，8- 按。
8、压帽，9- 卡扣。具体实施方式0014 下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。0015 如图 1 所示，一种晶圆夹持装置，其特征是，包括握杆 1、弧形抓杆 2、夹持部 3 和位于所述弧形抓杆 2 上的箍环 4 ；所述弧形抓杆 2 的上端连接在所述握杆 1 的下端，所述弧形抓杆 2 的下端连接夹持部 3 ；所述握杆 1 内部设置活动按压杆 7，所述按压杆 7 的下端连接三个推杆 6 ；所述推杆 6 的另一端位于所述箍环 4 上 ；所述握杆 1 的顶端设置卡扣 9。0016 所述按压杆 7 的顶端设置按压帽 8，所述按压。
9、帽 8 为橡胶。0017 所述弧形抓杆 2 上中部相同位置设置滑槽 5，所述箍环 4 位于滑槽 5 上。0018 按压杆7的长度大于握杆 ；当按压帽8被按到握杆1顶端时，合上卡扣9，卡扣9用于固定按压杆 7，使晶圆处于箍紧状态。0019 握杆 1、弧形抓杆 2、箍环 4、夹持部 3、按压杆 7、卡扣 9、推杆 6 的材质均为塑料。0020 如图 2 所示，所述夹持部 3 为呈圆弧形的夹持杆。所述夹持部 3 的内侧设置圆弧形卡槽 31。所述圆弧形卡槽 31 的表面设置橡胶，用于增大夹持部 3 与晶圆周边的摩擦力，使晶圆稳定夹持在圆弧形卡槽 31 中。0021 本实施例使用过程 ：将夹持装置垂直置。
10、于晶圆周边，即将夹持部 3 位于晶圆周边，向下按压按压杆7，带动推杆6向下运动，从而推动箍环4向下运动到滑槽5的底端，晶圆被紧箍，此时按压帽正好位于握杆 1 的顶端，合上卡扣 9，使晶圆保持紧箍状态，移动晶圆到晶圆收纳盒或其他地方，松开晶圆时，只需打开卡扣 9，按压杆 7 向上弹出，箍环 4 滑到滑槽 5的顶端，夹持部松开晶圆。0022 本发明结构简单、不易碰到晶圆表面、稳定、操作方便。0023 以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。说 明 书CN 104505363 A1/1 页5图1图2说 明 书 附 图CN 104505363 A。