晶片输送机系统和装配晶片输送机系统的方法.pdf

本案提供一种适用于输送待传送的晶片的输送机系统。输送机系统包括至少一个滚子、适用于可旋转地保持所述滚子的至少一个滚子轴承和在所述滚子之上横跨的至少一个晶片传送皮带。当装配输送机系统时，即当输送机系统处于正常操作模式下时，滚子轴承通过横跨的晶片传送皮带的张力保持在适当的位置。

权利要求书1.  一种适用于在晶片传送皮带上输送待传送的晶片的输送机系统，所述输送机系统包含：至少一个滚子；和至少一个滚子轴承，适用于可旋转地保持所述滚子，其中所述滚子轴承通过以下中的至少一个保持在适当的位置：适用于驱动所述滚子的驱动皮带的张力，和所述晶片传送皮带的张力。2.  如权利要求1所述的输送机系统，其特征在于，所述滚子被专门地通过所述驱动皮带的张力和所述晶片传送皮带的张力中的至少一个保持在适当的位置。3.  如权利要求1或2所述的输送机系统，其特征在于，所述至少一个滚子是适用于驱动所述晶片传送皮带的驱动滚子和适用于导向所述晶片传送皮带的导向滚子中的至少一个。4.  如权利要求1至3中任一项所述的输送机系统，其特征在于，所述至少一个滚子轴承是适用于可旋转地保持所述驱动滚子的驱动滚子轴承和适用于可旋转地保持所述导向滚子的导向滚子轴承中的至少一个。5.  如权利要求1、2、3或4中任一项所述的输送机系统，其特征在于，所述滚子轴承的轴线被容纳在安装槽中，其中所述轴线在晶片传送方向上可移动以使得所述晶片传送皮带的张力可被调整。6.  如权利要求1至5中任一项所述的输送机系统，其特征在于，两个晶片传送皮带被平行地布置。7.  如权利要求6所述的输送机系统，其特征在于，适用于驱动所述相关联的两个晶片传送皮带的两个驱动滚子被布置在公共驱动轴上。8.  如权利要求1至7中任一项所述的输送机系统，其特征在于，所述输送机系统进一步包含适用于驱动所述驱动滚子的电动机单元。9.  如权利要求7所述的输送机系统，其特征在于，适用于可旋转地保持所述驱动滚子的所述驱动滚子轴承被布置在所述公共驱动轴上。10.  如权利要求8所述的输送机系统，其特征在于，所述输送机系统进一步包含布置在所述电动机单元上的电动机驱动滚子。11.  如权利要求10所述的输送机系统，其特征在于，所述电动机驱动滚子通过所述驱动皮带驱动所述公共驱动轴。12.  如前述权利要求中任一项所述的输送机系统，其特征在于，所述驱动皮带是锯齿状驱动皮带。13.  如前述权利要求中任一项所述的输送机系统，其特征在于，所述电动机驱动滚子包含主动齿轮。14.  如权利要求12所述的输送机系统，其特征在于，所述锯齿状驱动皮带的至少一个所述齿平行于所述皮带的方向定向，且所述主动齿轮的小齿轮以围绕所述主动齿轮行进的方向定向。15.  如前述权利要求中任一项所述的输送机系统，其特征在于，所述晶片传送皮带包含一材料，所述材料选自由以下材料组成的群组：橡胶、塑料、聚氨酯、金属和任何上述材料的组合。16.  如前述权利要求中任一项所述的输送机系统，其特征在于，所述驱动滚子轴承和所述导向滚子轴承中的至少一个选自由以下轴承组成的群组：球轴承、滚子轴承、圆锥轴承和沟槽球轴承。17.  如前述权利要求中任一项所述的输送机系统，其特征在于，所述输送机系统进一步包含传感器单元，所述传感器单元适用于检测在所述晶片传送皮带上被输送的晶片的通过。18.  如权利要求17所述的输送机系统，其特征在于，所述传感器单元选自由以下传感器组成的群组：光学传感器、机械传感器、电容传感器、超声波传感器和上述传感器的任何组合。19.  一种装配用于传送晶片的晶片输送机系统的方法，所述方法包含：提供至少一个可旋转布置的滚子；使至少一个晶片传送皮带和驱动皮带中的至少一个在所述滚子上横跨，以使得所述滚子通过所述晶片传送皮带和所述驱动皮带的张力中的至少一个被保持在适当的位置。20.  如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述滚子被专门地通过所述驱动皮带的张力和所述晶片传送皮带的张力中的至少一个保持在适当的位置。

说明书晶片输送机系统和装配晶片输送机系统的方法
技术领域
本案实施例涉及晶片处理领域，且特别地涉及晶片传送系统。此外，本案实施例涉及促进装配和拆卸所述晶片传送系统的方法。特别地，本案实施例在太阳能电池生产中的晶片传送领域的范围内。
背景技术
在基于晶片的太阳能模块和薄膜太阳能模块的生产技术中，在进行处理步骤前后操作和传送晶片是一个问题。随着晶片处理变得越来越复杂，对环境条件敏感且成本密集，在很多情况下的待处理晶片的传送可通过输送机系统执行。这些输送机系统可基于传送皮带，例如通过电动机驱动装置驱动。
这种输送机系统包括所述电动机驱动装置和用于提供皮带通道的布置。输送机系统可包括用于驱动皮带的滚子，在所述皮带上可放置将被传送的晶片。在维护程序期间，当保养系统时，或为了调换皮带和/或除去滚子，传送系统的元件被至少部分地的拆卸和/或拆除。拆卸和/或拆除程序可导致整个处理系统的停机时间较长，且因此导致生产成本增加。
鉴于上文，存在改进的需要。
发明内容
鉴于上文，本案提供以下内容。
根据一方面，提供了一种适用于输送待传送的晶片的输送机系统。所述输送机系统包括至少一个滚子、适用于可旋转地保持所述滚子的至少一个滚子轴承，其中所述滚子轴承通过适用于驱动所述滚子的驱动皮带的张力和/或晶片传送皮带的张力保持在适当的位置。
根据另一方面，提供了一种用于装配传送晶片的晶片输送机系统的方法。所述方法包括：提供至少一个可旋转布置的滚子；在所述滚子之上横跨适用于 驱动滚子的至少一个晶片传送皮带或驱动皮带，以使得所述滚子被专门地通过驱动皮带和/或晶片传送皮带的张力保持在适当的位置。
根据特定实施例，滚子被专门地通过驱动皮带和/或晶片传送皮带的张力保持在适当的位置。
进一步的实施例、方面、细节和优点将从从属权利要求、说明书和附图中进一步显现。本领域技术人员在阅读以下详细描述且在查看以下附图之后将认识附加的特征和优点。
附图说明
以可详细地理解本案的上述特征的方式，可参考实施例对上文简要概述的本案作更具体的描述。附图中的元件并不必按比例，而是将重点放在图示本发明的原理上。此外，在附图中，相同附图标记表示相应部分。附图涉及本案的实施例且在下文中描述：
图1a图示根据实施例的输送机系统的示意侧面剖面图；
图1b图示根据另一实施例的输送机系统的示意侧面剖面图；
图1c图示根据又一实施例的输送机系统的示意侧面剖面图；
图2图示根据又一实施例的输送机系统的侧视图；
图3是图2中所描绘的输送机系统的各部分的详图；
图4是根据另一实施例的包括在输送机系统中的电动机单元的分解图，所述电动机单元具有附着于公共驱动轴的两个滚子；
图5是根据一实施例的支撑单元的三维视图，所述支撑单元适用于支撑输送机系统的元件；
图6a图示根据实施例的导向滚子的细节，所述导向滚子通过导向滚子轴承可旋转地附接于导向滚子轴；
图6b图示图6a中所示的导向滚子轴的细节；
图7展示用于固定图6a中所示的导向滚子轴承的安装板；和
图8是图示根据一实施例的操作晶片输送机系统的方法的流程图。
具体实施方式
在以下详细说明中，对构成说明一部分的附图进行参考，且在所述说明中，附图是通过其中可以实践本发明的说明性的具体实施例而图示。就此而言，参考被描述的附图的方向使用诸如“水平”、“垂直”、“顶部”、“底部”、“正面”、“背面”等等的方向术语。因为实施例的元件可以数个不同方向定位，所以方向术语用于说明目的且决不起限制作用。应将理解，在不背离本发明范围的情况下，可使用其他实施例且可进行结构或逻辑变化。以下详细说明因此不被视为具有限制意义，且本发明的范围是由所附权利要求书限定。被描述的实施例使用特定语言，所述特定语言不应被理解为限制所附权利要求书的范围。
现将对各种实施例进行详细参考，所述实施例的一个或多个示例图示于附图中。每一个示例是作为说明而提供，且每一个示例并不意指作为对本发明的限制。例如，图示或描述为一个实施例的一部分的特征可用于其他实施例或结合其他实施例一起使用，以产生更进一步的实施例。本发明意图包括所述修改和变化。示例使用特定语言描述，所述特定语言不应被理解为限制所附权利要求书的范围。附图没有按比例绘制且仅用于说明性目的。为清楚起见，如果没有另外说明，那么相同元件或制造步骤已在不同附图中通过相同附图标记表示。
如本文所使用，术语“正常操作模式”应被理解为描述输送机系统的一种模式，在所述模式中，输送机系统处于装配状态且可用于输送待传送的晶片。如本文所使用，术语“保养模式”应被理解为描述输送机系统的一种模式，在所述模式中，输送机系统被拆卸且输送机系统的各个元件可被获取和/或保养。在本说明书的上下文中，术语“晶片传送方向”应被理解为其中待传送的晶片可使用传送皮带来回移动的传送方向。待传送的晶片可具有范围从5cm×5cm至50cm×50cm的尺寸，且更具体地说，待传送的晶片可具有范围从大约12cm×12cm至大约20cm×20cm的尺寸，诸如15.5cm×15.5cm的尺寸。
根据各方面，本案提出一种适用于输送待传送的晶片的输送机系统，其中输送机系统的元件可通过晶片传送皮带的张力保持在适当的位置。具体地说，可提供适用于输送待传送的晶片的输送机系统。输送机系统可包括至少一个滚 子、适用于可旋转地保持所述滚子的至少一个滚子轴承、和在滚子之上横跨的至少一个晶片传送皮带，其中滚子轴承通过横跨的晶片传送皮带的张力被保持在适当的位置。替代地或另外地，输送机系统可包括被设置用于驱动滚子的至少一个驱动皮带。驱动皮带可在滚子之上横跨，从而将滚子保持在适当的位置。
根据本文所述的实施例，滚子被专门地通过驱动皮带和/或晶片传送皮带的张力保持在适当的位置。这应被理解为因为滚子没有被以任何方式（诸如通过螺钉、胶水、焊接等等）固定于滚子轴承。
此外，可以提供用于装配传送晶片的晶片输送机系统的方法。所述方法可包括：提供至少一个可旋转布置的滚子；在滚子上横跨至少一个晶片传送皮带，以使得滚子可通过横跨的晶片传送皮带的张力被保持在适当的位置；通过滚子驱动晶片传送皮带；以及在驱动的晶片传送皮带上传送晶片。
根据修改的实施例，所述至少一个可旋转布置的滚子可以是适用于驱动晶片传送皮带的驱动滚子和适用于导向晶片传送皮带的导向滚子中的至少一个。此外，所述至少一个滚子轴承可以是适用于可旋转地保持驱动滚子的驱动滚子轴承和适用于可旋转地保持导向滚子的导向滚子轴承中的至少一个。
图1a图示根据实施例的输送机系统100。输送机系统100包括在第一侧401的驱动滚子101（部分地图示在图1a中），和通过驱动滚子101驱动的晶片传送皮带303。由此，待传送的晶片可在晶片传送方向304上输送，晶片被放置在晶片传送皮带303上。在图1a中，描绘了晶片的水平运动，然而，只要晶片不会滑掉，待传送的晶片可在偏离水平方向的任何方向上输送。
可提供合适表面粗糙度的皮带表面，以使得晶片在传送期间可被固定地保持。除了以上条件之外或作为以上条件的替代，可提供由吸引装置（未图示）从晶片传送皮带303下方提供的吸力，以使得待传送的晶片可被安全地保持在晶片传送皮带303上。可提供支撑单元300，以便在处理地点安装晶片传送系统100的元件。支撑单元300可包括底座部分307或支撑架。底座部分307和/或支撑架可根据处理地点限定的要求设计。
在晶片传送系统100的第二侧402，可提供导向滚子201。由此，待传送的晶片可从一侧移动到另一侧，诸如在附图中从左侧401移动到右侧402，或从右侧402移动到左侧401。通过合适的轴承，即驱动滚子轴承103和导向滚 子轴承203，驱动滚子101和导向滚子201可分别可旋转地附着于支撑单元300。由此，提供适用于驱动晶片传送皮带303的驱动滚子101和适用于导向晶片传送皮带303的导向滚子201中的至少一个。
此外，提供适用于可旋转地保持驱动滚子101的驱动滚子轴承103和适用于可旋转地保持导向滚子201的导向滚子轴承203中的至少一个。根据一实施例，导向滚子轴承203可通过夹具308支撑，所述固定装置的示例将在图6a、图6b和图7中更详细地图示。
如图1a中所示，驱动滚子轴承103和导向滚子轴承203两者都可被容纳于在支撑单元300中提供的各个安装凹槽104中。由此，通过松开晶片传送皮带303，驱动滚子轴承103和相关联的驱动滚子101一起以及导向滚子轴承203和相关联的导向滚子201可一起被释放。换句话说，通常没有所提供的滚子的额外固定。由此，可以容易且有效的方式执行从输送机系统100的正常操作模式（在所述模式中，输送机系统100处于装配状态且可用于输送待传送的晶片）到保养模式（在所述模式中，输送机系统被拆卸）的转换。轴承103、轴承203从支撑单元300的释放参照图4的分解图详细描述。
换句话说，根据可与本文所述的其他实施例结合的实施例的输送机系统包括适用于驱动晶片传送皮带303的至少一个驱动滚子101和用于导向晶片传送皮带303的至少一个导向滚子201。
可以提供可适于可旋转地保持驱动滚子101的至少一个驱动滚子轴承103。除所述驱动滚子轴承之外，还可提供适用于可旋转地保持导向滚子201的导向滚子轴承203。晶片传送皮带303可在驱动滚子101和导向滚子201两者上横跨。
根据可与本文所述的实施例结合的另一实施例，晶片传送皮带303可作为环形带提供。晶片传送皮带303的材料可选自由以下材料组成的群组：橡胶、塑料、聚氨酯、金属，和上述材料的任何组合。由此，晶片传送皮带303的材料可适应以使得晶片传送过程可被改进。
在图1a中所描绘的正常操作模式中，驱动滚子轴承103和驱动滚子101一起以及导向滚子轴承203和导向滚子201一起可通过横跨的晶片传送皮带303的张力被保持在适当的位置。此外，在正常操作模式中，待传送的晶片可 在大致水平的方向上输送。
在保养模式（例如，图示于图3中）中，晶片传送皮带303可被除去或至少松开，且输送机系统100的维护或保养可通过释放驱动滚子101和导向滚子201中的至少一个、以及相关联的轴承103、203来进行。晶片传送皮带303可被除去或至少松开，且在特定元件损坏的情况下，部分输送机系统100可被例如通过释放驱动滚子101和导向滚子201中的至少一个以及通过选择性地释放相关联的轴承103、203来更换。
在适用于输送待传送的晶片的输送机系统100中，可提供至少一个驱动滚子轴承103以便可旋转地保持驱动滚子101，且可提供至少一个导向滚子轴承203以便可旋转地保持导向滚子201。由于晶片传送皮带303可在驱动滚子101和导向滚子201上横跨，所以驱动滚子轴承103和导向滚子轴承203两者都通过皮带张力保持在各个安装凹槽104中。
图1b图示根据另一实施例的输送机系统的示意侧面剖面图。如图1b中所示，驱动滚子101可被附接在公共驱动轴102处，且驱动滚子101可由驱动皮带106驱动。驱动皮带106横跨在滚子101和电动机驱动滚子105之间，所述驱动皮带106进而可通过电动机单元（未图示在图1b中）驱动。使用驱动皮带106，驱动滚子轴承103和驱动滚子101一起可通过横跨的驱动皮带106的张力被保持在适当的位置。
换句话说，驱动滚子轴承103和驱动滚子101一起可通过晶片传送皮带303的张力（如已根据图1a在上文中描述地），或通过驱动皮带106的张力中的至少一个被保持在适当的位置。此外，驱动滚子轴承103和驱动滚子101一起可通过晶片传送皮带303的张力和驱动皮带106的张力被保持在适当的位置。
为了通过驱动皮带在凹槽104之内提供驱动滚子轴承103的可靠固定装置，通常使得连接驱动滚子轴承103的轴线和电动机驱动滚子105的轴线的直线与平行于晶片传送方向304的水平线311之间的角度310实现以下情况：连接驱动滚子轴承103的轴线和电动机驱动滚子105的轴线的直线触及支撑单元300。在图1b中，为了说明性目的，描绘了最大角度，在所述最大角度下，连接驱动滚子轴承103的轴线和电动机驱动滚子105的轴线的直线仍然触及支撑单元300。
在连接驱动滚子轴承103的轴线和电动机驱动滚子105的轴线的直线与水平线311之间的角度310可在从0度至75度的范围中，更具体地说在从0度至55度的范围中，且甚至更具体地说，角度310可约达45度，所述水平线311平行于晶片传送方向304。由此，在保养模式中，通过除去或至少松开驱动皮带106，驱动滚子轴承103和/或驱动滚子101和/或晶片传送皮带303可从输送机系统100被除去。
图1c图示根据又一实施例的输送机系统的示意侧面剖面图。除图1b中所描绘的输送机系统设置之外，图1c中所示的输送机系统100包括惰轮滚子311，所述惰轮滚子311可被用作晶片传送皮带303的偏转滑轮。根据可与本文所述的其他实施例结合的实施例，晶片传送皮带可通过惰轮滚子311横跨。此外，或作为上述情况的替代，晶片传送皮带303可通过例如在支撑单元300的方向上移动惰轮滚子311而被容易地调换或保养。由此，不同长度的晶片传送皮带303可通过相对于支撑单元300调整惰轮滚子311来被补偿。
根据典型的实施例，在其中输送机皮带包括通过传送皮带和/或驱动皮带被保持在固定位置的两个滚子的实施例中提供惰轮滚子。此情况被图示在图1c中，在此图中，在右侧的滚子201也不具备固定装置。
图2图示根据可与本文所述的其他实施例结合的实施例的输送机系统100的侧视图。如图2中所示，支撑单元300可通过螺钉200附接于处理系统（未图示）。支撑单元300支撑输送机布置，所述输送机布置具有第一侧401和第二侧402，所述第一侧401具有电动机单元301，且所述第二侧402具有导向滚子201a、201b。
在支撑单元的第二侧402处的终止单元可包括至少一个导向滚子201a、201b，所述至少一个导向滚子201a、201b适用于将相关联的晶片传送皮带303a、303b导引回到第一侧401。在本文中，晶片传送皮带303a、303b可在一环路中横跨，所述环路位于在第一侧401的各个驱动滚子101a、101b和在第二侧402的各个导向滚子201a、201b之间。可提供至少一个导向滚子轴承203以便在终止单元处保持各个导向滚子201。
在图2中所示的实施例中，两个晶片传送皮带303a、303b可被提供用于以安全且可靠的方式输送待传送的晶片（未图示）。两个晶片传送皮带303a、 303b可大致平行于彼此地进行布置且可在晶片传送方向304上具有一长度，所述长度在10cm至3m的范围中，更具体地说在50cm至2m的范围中，且甚至更具体地说，晶片传送皮带303a、303b的长度可约达1m。此外，晶片传送皮带303a、303b可具有垂直于晶片传送方向304测量的一宽度，所述宽度在从0.3cm至10cm的范围中，更具体地说在从0.5cm至2cm的范围中，且甚至更具体地说，晶片传送皮带303a、303b可具有大约1cm的宽度。
在此处应注意，仅一个晶片传送皮带303或多于两个的晶片传送皮带303可被用于本文所述的实施例的替代修改中。此外，应注意，图2描绘其中已建立正常操作模式的情况。第一晶片传送皮带303a可在第一驱动滚子101a和第一导向滚子201a之间横跨，其中第二晶片传送皮带303b可在第二驱动滚子101b和第二导向滚子201b之间横跨。两个驱动滚子101a、101b可被附接于公共驱动轴102。驱动轴102可通过电动机驱动滚子105由电动机单元301驱动。电动机驱动滚子105可适于通过驱动皮带106驱动公共驱动轴102。由此，驱动滚子101a、101b两者都可被驱动以使得晶片传送皮带303可在传送方向304上移动，例如，可在晶片传送方向304上来回移动。
晶片传送皮带303a、303b可在导向滚子201a、201b上被导向且被导向回到驱动滚子101a、101b，以使得可提供环形的晶片传送皮带303。导向滚子201a、201b可被保持在各个安装板205a、205b处。在安装板205a、205b中，可分别提供安装槽202a和202b以使得导向滚子201a、201b的各个轴可在晶片传送方向304上来回移动。以此方式，两个晶片传送皮带303a、303b可被分别地横跨。由此，导向滚子轴承203a、203b中至少一个的轴线可被容纳在安装槽202a、202b中，其中所述轴线可在晶片传送方向304上来回移动以使得晶片传送皮带303的张力可被调整。
根据实施例的替代修改，至少一个驱动滚子轴承103的轴线可被容纳在另一安装槽（未图示在图2中）中，其中所述轴线可在晶片传送方向304上来回移动以使得晶片传送皮带303的张力可被调整。
在图2中所示的输送机系统100的实施例中，驱动滚子101a、101b和导向滚子201a、201b两者都可通过各个轴承，即驱动滚子轴承103a、103b和导向滚子轴承203a、203b，可旋转地附接于支撑单元300。导向滚子轴承203a、 203b可在输送机系统100的第二侧402在安装槽201a、201b之内被附接于各个安装板205a、205b。
另一方面，驱动滚子轴承103a、103b可通过两个晶片传送皮带303a、303b被可释放地保持在支撑单元300处，且驱动滚子轴承103a、103b可被容纳在相关联的安装凹槽104a、104b中，参见图4。由此，在下文根据图3和图4所述的保养模式中，可以促进公共驱动轴102连同两个驱动滚子101a、101b和驱动滚子轴承103a、103的各个拆除和拆卸，且可以降低保养维护成本。此外，可以减少由保养程序或在损坏的情况下由于修理工作所导致的停机时间。如从图2中可见，晶片传送皮带303a、303b可以容易且有效的方式从输送机系统100被除去，而无需从输送机系统100拆除任何其他元件。
虽然没有在附图中图示，但是应在此处注意，代替通过电动机单元301驱动公共驱动轴102，导向滚子201a、201b中的一个或两个可被驱动以使得晶片传送皮带303a、303b可在晶片传送方向304上移动（图1a）。
图3是根据可与本文所述的其他实施例结合的实施例的输送机系统100的主要部分的分解图。输送机系统100被图示为至少部分地被拆卸以使得个别元件可被单独看到。在此处应注意，其中已从输送机系统100除去晶片传送皮带303a、303b以使得输送机系统100的其他元件也可被释放的情况在本说明书中被表示为保养模式。
电动机单元301被示例性地图示为包括公共驱动轴102和附接于所述驱动轴102的两个驱动滚子101a、101b。此外，图示了两个驱动滚子轴承103a、103b，所述驱动滚子轴承103a、103b可被容纳在各个安装凹槽104a、104b中。在图3中所示的情况下，晶片传送皮带303a、303b可被释放以使得公共驱动轴102和驱动滚子101a、101b一起可例如为了维护目的而被拆卸。
根据可与本文所述的其他实施例结合的实施例，输送机系统100可包括传感器单元403，所述传感器单元403适用于检测正在晶片传送皮带303a、303b上输送的晶片的通过。根据更进一步另外或替代的修改，传感器单元403可选自包括以下传感器的群组：光学传感器、机械传感器、电容传感器、超声波传感器和上述传感器的任何组合。根据另一实施例，传感器单元403可用于在晶片传送期间的运动调整。
图4是电动机单元301的分解图，电动机单元301包括两个滚子101a、101b和两个驱动滚子轴承103a、103b，所述两个滚子101a、101b被图示为具有公共驱动轴102的单元，且所述两个驱动滚子轴承103a、103b被提供用于可旋转地保持公共驱动轴102。在正常操作模式中，驱动滚子轴承103a、103b可被容纳在电动机单元301的主体的安装凹槽104a、104b中。由此，在保养模式中，通过除去晶片传送皮带303a、303b，可旋转地保持各个驱动滚子101a、101b的滚子轴承103a、103b可与相关联的滚子101a、101b一起被释放。
在图4左侧上图示的驱动皮带106可用于例如经由驱动环316驱动公共驱动轴102，所述驱动环316设置在两个驱动滚子101a、101b之间的公共驱动轴102上。为了装配电动机单元301，可以提供螺钉200、垫圈207和安装螺母106。根据可与本文所述的其他实施例结合的实施例，驱动皮带106可作为锯齿状驱动皮带提供。根据实施例，锯齿状驱动皮带可具有在大致垂直于皮带运动方向的方向上定向的齿，或可具有在大致平行于皮带运动方向的方向上定向的齿，或可具有在垂直方向和平行方向之间定向的齿。除上述情况之外，或作为上述情况的替代，电动机驱动滚子105可作为主动齿轮提供。
根据可与本文所述的其他实施例结合的实施例，主动齿轮可具有在大致垂直于主动齿轮的轴线的方向上定向的齿，或可具有在大致平行于主动齿轮的轴线的方向上定向的齿，或可具有在垂直方向和平行方向之间定向的齿。除此之外，或作为替代，驱动环316可具有在大致垂直于公共驱动轴102的方向上定向的齿，或可具有在大致平行于公共驱动轴102的方向上定向的齿，或可具有在垂直方向和平行方向之间定向的齿。由此，可以改进从电动机单元301到公共驱动轴102的旋转动量传递。
根据可与本文所述的其他实施例结合的实施例，驱动滚子轴承103a、103b和导向滚子轴承203a、203b中的至少一个可选自由以下轴承组成的群组：球轴承、滚子轴承、圆锥轴承和沟槽球轴承。
图5图示支撑单元300的底座部分307。底座部分307可适于被固定在处理晶片的处理地点，以使得根据实施例的输送机系统100可用于传送待处理的晶片。底座部分307可使用螺钉200和垫圈200固定。输送机系统100的元件可通过螺钉200、垫圈207和安装螺母206附接在底座部分307的顶部上。
图6a图示根据可与本文所述的其他实施例结合的实施例，通过导向滚子轴承203可旋转地附接于导向滚子轴204的导向滚子201的细节。导向滚子轴204可被安装在安装槽202中，且导向滚子轴204可相对于晶片传送方向304来回调整，如图1a中所描绘地。诸如螺纹杆的距离元件315可被提供且附接于导向滚子保持装置313，以使得可防止或至少减少导向滚子保持装置313在安装槽之内的晶片传送方向上的运动（参见图7）。
图6b图示图6a中所示的导向滚子保持装置313的细节。如图6b中所示，导向滚子保持装置313包括突起部312，在晶片传送皮带303横跨的情况下，所述突起部312可导致导向滚子保持装置313相对于导向滚子轴204的中心线314的倾斜。由此，在安装板（参见图7）和导向滚子保持装置313之间的摩擦可将导向滚子保持装置313固定在安装板的安装槽（参见图7）之内。
图7展示用于通过图6b中所示的导向滚子保持装置313可旋转地保持图6a中所示的导向滚子轴承203的安装板205。如图7中所示，安装板205包括其中可容纳导向滚子轴204（参见图6a）的安装槽202。安装板205可例如通过螺钉200、垫圈207和安装螺母206附接于支撑单元300。每一晶片传送皮带303a、303b的附接的安装板205a、205b被图示在图2中。换句话说，导向滚子保持装置313可使用安装槽205中的公差在晶片传送方向304上进行调整，而导向滚子保持装置313可当晶片传送皮带横跨时使用由突起部312产生的倾斜固定在安装槽205之内。
值得注意的是，在图7中说明性图示的元件和图6a的那些元件可组成如图1a中所描绘的固定装置308。
图8是图示根据一实施例的操作晶片输送机系统100的方法的流程图。在方块501处，程序可以开始。然后，可提供至少一个可旋转布置的驱动滚子101（方块502）和/或至少一个可旋转布置的导向滚子201（方块503）。程序前进到方块504，在所述方块处，可以决定是否需要正常操作模式。如果在方块504处决定需要正常操作模式（在方块504处的“是”），那么在方块505处，至少一个晶片传送皮带303可横跨在驱动滚子101之上和导向滚子201之上。由此，驱动滚子101和/或导向滚子201可通过横跨的晶片传送皮带303的张力保持在适当的位置。
然后，在方块506处，晶片传送皮带303可通过驱动滚子101驱动。然后，至少一个晶片传送皮带303可被驱动以使得晶片可在驱动的晶片传送皮带303上被传送（方块507）。在正常操作模式中的程序可在方块508处结束。
如果在方块504处决定不需要正常操作模式而需要保养模式（在方块504处的“否”），那么程序前进到方块509，在所述方块处，可开始保养模式。然后，在方块510中，晶片传送皮带303可被除去。在除去晶片传送皮带303之后，驱动滚子101和导向滚子201中的至少一个可从支撑单元300被释放。由此，可以提供对输送机系统100或至少输送机系统100的元件的维护。
根据另一实施例，输送机系统100可包括传感器单元403，所述传感器单元403可包括光学传感器、机械传感器、电容传感器、超声波传感器，和上述传感器的任何组合。使用传感器单元403，可以检测在晶片传送皮带303a、303b上被输送的晶片的通过，和/或可以进行在晶片处理期间的运动调整。此外，晶片传送可被控制或至少监控。
根据本文所述的实施例的输送机系统100可被例如在太阳能电池生产中有效地用于传送晶片。所描述的从正常操作模式到保养模式且返回到正常操作模式的转换允许在太阳能电池处理期间的既简单又成本有效的晶片传送和输送机系统维护。
虽然前述内容是针对本发明的实施例，但是可在不背离本发明的基本范围的情况下设计本发明的其他和进一步的实施例，且本发明的范围是由以上权利要求书所决定。