柔性OLED显示器件及其制造方法.pdf

本发明提供一种柔性OLED显示器件及其制造方法。该OLED显示器件包括：一柔性衬底(1)、与柔性衬底(1)相对设置的柔性封装盖板(2)、设于柔性衬底(1)上的TFT层(3)、设于TFT层(3)上的OLED薄膜器件(4)、设于OLED薄膜器件(4)上并包裹住该OLED薄膜器件(4)的钝化层(5)、及设于柔性封装盖板(2)靠近柔性衬底(1)一侧并将柔性封装盖板(2)与柔性衬底(1)粘结在一起的有机封装薄膜(6)；所述柔性衬底(1)为金属薄片与超薄玻璃中的一种，所述柔性封装盖板(2)为金属薄片与超薄玻璃中不同于所述柔性衬底(1)的另一种。该OLED显示器件既具有良好的柔韧性，又能够有效阻止水汽、氧气的渗透，封装效果好。

权利要求书1.  一种柔性OLED显示器件，其特征在于，包括：一柔性衬底(1)、与 所述柔性衬底(1)相对设置的柔性封装盖板(2)、设于所述柔性衬底(1)上 的TFT层(3)、设于所述TFT层(3)上的OLED薄膜器件(4)、设于所述OLED 薄膜器件(4)上并包裹住所述OLED薄膜器件(4)的钝化层(5)、及设于所 述柔性封装盖板(2)靠近柔性衬底(1)一侧并将柔性封装盖板(2)与柔性 衬底(1)粘结在一起的有机封装薄膜(6)； 所述柔性衬底(1)为金属薄片与超薄玻璃中的一种，所述柔性封装盖板 (2)为金属薄片与超薄玻璃中不同于所述柔性衬底(1)的另一种。 2.  如权利要求1所述的柔性OLED显示器件，其特征在于，所述柔性衬底 (1)为超薄玻璃，所述柔性封装盖板(2)为金属薄片；所述OLED薄膜器件 (4)具有底发光结构，包括设于所述TFT层(3)上的透明阳极、设于所述透 明阳极上的有机材料层、及设于所述有机材料层上的反射型阴极。 3.  如权利要求1所述的柔性OLED显示器件，其特征在于，所述柔性衬底 (1)为金属薄片，所述柔性封装盖板(2)为超薄玻璃；所述OLED薄膜器件 (4)具有顶发光结构，包括设于所述TFT层(3)上的反射型阳极、设于所述 反射型阳极上的有机材料层、及设于所述有机材料层上的透明阴极。 4.  如权利要求3所述的柔性OLED显示器件，其特征在于，所述柔性衬底 (1)与TFT层(3)之间设有一层平坦层(11)。 5.  如权利要求1所述的柔性OLED显示器件，其特征在于，所述钝化层(5) 的材料为氮化硅。 6.  一种柔性OLED显示器件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1、提供一柔性衬底(1)，所述柔性衬底(1)为金属薄片与超薄玻璃 中的一种，在所述柔性衬底(1)上制作TFT层(3)； 步骤2、在所述TFT层(3)上制作OLED薄膜器件(4)； 步骤3、在所述OLED薄膜器件(4)上制作一将所述OLED薄膜器件(4) 完全包裹住的钝化层(5)； 步骤4、提供一柔性封装盖板(2)，所述柔性封装盖板(2)为金属薄片与 超薄玻璃中不同于所述柔性衬底(1)的另一种，在所述柔性封装盖板(2)一 侧粘贴有机封装薄膜(6)，然后将所述柔性封装盖板(2)与柔性衬底(1)进 行对组； 步骤5、加热固化所述有机封装薄膜(6)，使所述柔性封装盖板(2)与柔 性衬底(1)粘结在一起。 7.  如权利要求6所述的柔性OLED显示器件的制造方法，其特征在于，所 述步骤1中的柔性衬底(1)为超薄玻璃，所述步骤4中的柔性封装盖板(2)为 金属薄片；所述步骤2中的OLED薄膜器件(4)具有底发光结构，包括设于所 述TFT层(3)上的透明阳极、设于所述透明阳极上的有机材料层、及设于所 述有机材料层上的反射型阴极。 8.  如权利要求6所述的柔性OLED显示器件的制造方法，其特征在于，所 述步骤1中的柔性衬底(1)为金属薄片，所述步骤4中的柔性封装盖板(2)为 超薄玻璃；所述步骤2中的OLED薄膜器件(4)具有顶发光结构，包括设于所 述TFT层(3)上的反射型阳极、设于所述反射型阳极上的有机材料层、及设 于所述有机材料层上的透明阴极。 9.  如权利要求8所述的柔性OLED显示器件的制造方法，其特征在于，所 述步骤1还包括在所述柔性衬底(1)上沉积一层平坦层(11)。 10.  如权利要求6所述的柔性OLED显示器件的制造方法，其特征在于， 所述步骤2通过真空热蒸镀法或溶液成膜法制作OLED薄膜器件(4)；所述步 骤3通过化学气相沉积法制作钝化层(5)，所述钝化层(5)的材料为氮化硅。

说明书柔性OLED显示器件及其制造方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性OLED显示器件及其制造方 法。
背景技术
平面显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应 用。现有的平面显示器件主要包括液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD) 及有机发光二极管显示器件(Organic Light Emitting Diodes，OLED)。
OLED显示器件具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清 晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现大面积全色显示等 诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示器件。相比于其它类型的显示 器件，OLED显示器件的一大突出特点在于可以实现柔性显示，采用柔性衬底 制成重量轻、可弯曲、便于携带的柔性显示器件是OLED显示器件的重要发 展方向。
柔性有机发光二极管显示器件(Flexible Organic Light Emitting Diodes, FOLED)由制备在柔性衬底上的阳极、阴极、及设于所述阳极、阴极之间的 有机材料层构成，其中至少有一侧的电极是透明的，以便获得发光面。
FOLED显示器件具备普通OLED显示器件的宽视角、高亮度等优点，同 时由于FOLED显示器件的衬底是具有良好柔韧性的材料，相比使用玻璃衬底 的普通OLED显示器件更轻薄、更耐冲击，并且FOLED显示器件的制备能够 采用卷对卷的生产方式，从而可以大幅的降低制造成本。
在FOLED显示器件中，柔性衬底的选材决定着整个显示器件的工艺路线、 生产成本、显示质量及产品可靠性，是开发FOLED显示器件的基础。
目前柔性显示衬底主要为聚合物基片，但聚合物基片作为柔性衬底的水 氧阻隔能力和在高温下的稳定性都不好，制备采用聚合物基片作为衬底的 FOLED显示器件，关键问题在于提高聚合物基片对水氧的阻隔能力及其热稳 定性，以及改善在低温下沉积的氧化铟锡(Indium Tin Oxides，ITO)薄膜的 性能和FOLED显示器件的封装。
因此，有必要对FOLED进行改进，使其既具有良好的柔性，又能够有效 阻止水汽、氧气的渗透，具有较好的封装效果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性OLED显示器件，既具有良好的柔性，又 能够有效阻止水汽、氧气的渗透，封装效果好。
本发明的目的还在于提供一种柔性OLED显示器件的制造方法，使用该方 法制造的柔性OLED显示器件既具有良好的柔性，又能够有效阻止水汽、氧气 的渗透，封装效果好。
为实现上述目的，本发明首先提供一种柔性OLED显示器件，包括：一柔 性衬底、与所述柔性衬底相对设置的柔性封装盖板、设于所述柔性衬底上的 TFT层、设于所述TFT层上的OLED薄膜器件、设于所述OLED薄膜器件上并包 裹住所述OLED薄膜器件的钝化层、及设于所述柔性封装盖板靠近柔性衬底一 侧并将柔性封装盖板与柔性衬底粘结在一起的有机封装薄膜；
所述柔性衬底为金属薄片与超薄玻璃中的一种，所述柔性封装盖板为金属 薄片与超薄玻璃中不同于所述柔性衬底的另一种。
所述柔性衬底为超薄玻璃，所述柔性封装盖板为金属薄片；所述OLED薄 膜器件具有底发光结构，包括设于所述TFT层上的透明阳极、设于所述透明阳 极上的有机材料层、及设于所述有机材料层上的反射型阴极。
所述柔性衬底为金属薄片，所述柔性封装盖板为超薄玻璃；所述OLED薄 膜器件具有顶发光结构，包括设于所述TFT层上的反射型阳极、设于所述反射 型阳极上的有机材料层、及设于所述有机材料层上的透明阴极。
所述柔性衬底与TFT层之间设有一层平坦层。
所述钝化层的材料为氮化硅。
本发明还提供一种柔性OLED显示器件的制造方法，包括如下步骤：
步骤1、提供一柔性衬底，所述柔性衬底为金属薄片与超薄玻璃中的一种， 在所述柔性衬底上制作TFT层；
步骤2、在所述TFT层上制作OLED薄膜器件；
步骤3、在所述OLED薄膜器件上制作一将所述OLED薄膜器件完全包裹住 的钝化层；
步骤4、提供一柔性封装盖板，所述柔性封装盖板为金属薄片与超薄玻璃 中不同于所述柔性衬底的另一种，在所述柔性封装盖板一侧粘贴有机封装薄 膜，然后将所述柔性封装盖板与柔性衬底进行对组；
步骤5、加热固化所述有机封装薄膜，使所述柔性封装盖板与柔性衬底粘 结在一起。
所述步骤1中的柔性衬底为超薄玻璃，所述步骤4中的柔性封装盖板为金属 薄片；所述步骤2中的OLED薄膜器件具有底发光结构，包括设于所述TFT层上 的透明阳极、设于所述透明阳极上的有机材料层、及设于所述有机材料层上的 反射型阴极。
所述步骤1中的柔性衬底为金属薄片，所述步骤4中的柔性封装盖板为超薄 玻璃；所述步骤2中的OLED薄膜器件具有顶发光结构，包括设于所述TFT层上 的反射型阳极、设于所述反射型阳极上的有机材料层、及设于所述有机材料层 上的透明阴极。
所述步骤1还包括在所述柔性衬底上沉积一层平坦层。
所述步骤2通过真空热蒸镀法或溶液成膜法制作OLED薄膜器件；所述步 骤3通过化学气相沉积法制作钝化层，所述钝化层的材料为氮化硅。
本发明的有益效果：本发明提供的一种柔性OLED显示器件及其制造方 法，将金属薄片与超薄玻璃中的一种作为柔性衬底，另一种作为柔性封装盖板， 并相应设置OLED薄膜器件具有底发光结构或顶发光结构，使得OLED显示器 件既具有良好的柔韧性，又能够有效阻止水汽、氧气的渗透，封装效果好。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明 的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限 制。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技 术方案及其它有益效果显而易见。
附图中，
图1为本发明的柔性OLED显示器件的第一实施例的剖面结构图；
图2为本发明的柔性OLED显示器件的第二实施例的剖面结构图；
图3为本发明的柔性OLED显示器件的制造方法的流程图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的 优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1，为本发明的柔性OLED显示器件的第一实施例，包括：一柔 性衬底1，所述柔性衬底1为超薄玻璃；与所述柔性衬底1相对设置的柔性封装 盖板2，所述柔性封装盖板2为金属薄片；直接设于所述柔性衬底1上的TFT层3； 设于所述TFT层3上的OLED薄膜器件4；设于所述OLED薄膜器件4上并包裹住 所述OLED薄膜器件4的钝化层5；及设于所述柔性封装盖板2靠近柔性衬底1一 侧并将柔性封装盖板2与柔性衬底1粘结在一起的有机封装薄膜6。
具体的，所述钝化层5用于保护、封装OLED薄膜器件4，其材料为氮化硅。 所述有机封装薄膜6进一步对OLED薄膜器件4进行保护、封装。所述超薄玻璃 的厚度为50～200μm，易于进行弯曲。
在该第一实施例中，将超薄玻璃作为柔性衬底1，将金属薄片作为柔性封 装盖板2，由于超薄玻璃能够透光，相应的设置所述OLED薄膜器件4具有底发 光结构，所述OLED薄膜器件4包括设于所述TFT层3上的透明阳极、设于所述 透明阳极上的有机材料层、及设于所述有机材料层上的反射型阴极，从而该具 有底发光结构的OLED薄膜器件4发出的光透过所述透明阳极与作为柔性衬底 1的超薄玻璃射出。
由于超薄玻璃与金属薄片的柔韧性均很好，且金属薄片与超薄玻璃均质地 致密，阻止水汽、氧气渗透的作用好，将超薄玻璃作为柔性衬底1、将金属薄 片作为柔性封装盖板2应用在同一个柔性OLED显示器件中，使得OLED显示器 件既具有良好的柔韧性，又能够有效阻止水汽、氧气的渗透，封装效果好。
请参阅图2，为本发明的柔性OLED显示器件的第二实施例，包括：一柔 性衬底1，所述柔性衬底1为金属薄片；与所述柔性衬底1相对设置的柔性封装 盖板2，所述柔性封装盖板2为超薄玻璃；设于所述柔性衬底1上的平坦层11； 设于所述平坦层11上的TFT层3；设于所述TFT层3上的OLED薄膜器件4；设于 所述OLED薄膜器件4上并包裹住所述OLED薄膜器件4的钝化层5；及设于所述 柔性封装盖板2靠近柔性衬底1一侧并将柔性封装盖板2与柔性衬底1粘结在一 起的有机封装薄膜6。
具体的，所述平坦层11的材料为有机物，起到绝缘及使作为柔性衬底1的 金属薄片的表面平整的作用。所述钝化层5用于保护、封装OLED薄膜器件4， 其材料为氮化硅。所述有机封装薄膜6进一步对OLED薄膜器件4进行保护、封 装。所述超薄玻璃的厚度为50～200μm，易于进行弯曲。
在该第二实施例中，将金属薄片作为柔性衬底1，将超薄玻璃作为柔性封 装盖板2，由于超薄玻璃能够透光，相应的设置所述OLED薄膜器件4具有顶发 光结构，所述OLED薄膜器件4包括设于所述TFT层3上的反射型阳极、设于所 述反射型阳极上的有机材料层、及设于所述有机材料层上的透明阴极，从而该 具有顶发光结构的OLED薄膜器件4发出的光透过所述透明阴极与作为柔性封 装盖板2的超薄玻璃射出。
由于超薄玻璃与金属薄片的柔韧性均很好，且金属薄片与超薄玻璃均质地 致密，阻止水汽、氧气渗透的作用好，将金属薄片作为柔性衬底1、将超薄玻 璃作为柔性封装盖板2应用在同一个柔性OLED显示器件中，使得OLED显示器 件既具有良好的柔韧性，又能够有效阻止水汽、氧气的渗透，封装效果好。
请参阅图3，同时结合图1或图2，本发明还提供一种柔性OLED显示器件 的制造方法，包括如下步骤：
步骤1、提供一柔性衬底1，在所述柔性衬底1上制作TFT层3。
所述柔性衬底1为金属薄片与超薄玻璃中的一种。
具体的，当所述柔性衬底1为超薄玻璃时，如图1所示，在所述柔性衬底1 上直接制作TFT层3。
当所述柔性衬底1为金属薄片时，如图2所示，该步骤1还包括在所述柔性 衬底1上沉积一层平坦层11，再在所述平坦层11上制作TFT层3。所述平坦层11 的材料为有机物，起到绝缘及使作为柔性衬底1的金属薄片的表面平整的作用。
步骤2、在所述TFT层3上通过真空热蒸镀法或溶液成膜法制作OLED薄膜 器件4。
具体的，当所述柔性衬底1为超薄玻璃时，如图1所示，所述OLED薄膜器 件4具有底发光结构，包括设于所述TFT层3上的透明阳极、设于所述透明阳极 上的有机材料层、及设于所述有机材料层上的反射型阴极。
当所述柔性衬底1为金属薄片时，如图2所示，所述OLED薄膜器件4具有 顶发光结构，包括设于所述TFT层3上的反射型阳极、设于所述反射型阳极上 的有机材料层、及设于所述有机材料层上的透明阴极。
步骤3、在所述OLED薄膜器件4上通过化学气相沉积法(Chemical Vapor  Deposition，CVD)制作一将所述OLED薄膜器件4完全包裹住的钝化层5。
具体的，所述钝化层5的材料为氮化硅。
步骤4、提供一柔性封装盖板2，在所述柔性封装盖板2一侧粘贴有机封装 薄膜6，然后将所述柔性封装盖板2与柔性衬底1进行对组。
所述柔性封装盖板2为金属薄片与超薄玻璃中不同于所述柔性衬底1的另 一种。
具体的，当所述柔性衬底1为超薄玻璃时，如图1所示，所述柔性封装盖板 2为金属薄片。
当所述柔性衬底1为金属薄片时，如图2所示，所述柔性封装盖板2为超薄 玻璃。
步骤5、加热固化所述有机封装薄膜6，使所述柔性封装盖板2与柔性衬底1 粘结在一起。
至此，完成柔性OLED显示器件的制造。当所述柔性衬底1为超薄玻璃、 所述柔性封装盖板2为金属薄片时，相应具有底发光结构的OLED薄膜器件4发 出的光透过所述透明阳极与作为柔性衬底1的超薄玻璃射出。当所述柔性衬底1 为金属薄片、所述柔性封装盖板2为超薄玻璃时，相应具有顶发光结构的OLED 薄膜器件4发出的光透过所述透明阴极与作为柔性封装盖板2的超薄玻璃射出。
由于超薄玻璃与金属薄片的柔韧性均很好，且金属薄片与超薄玻璃均质地 致密，阻止水汽、氧气渗透的作用好，该柔性OLED显示器件的制造方法将金 属薄片与超薄玻璃中的一种作为柔性衬底1，另一种作为柔性封装盖板2，并相 应设置OLED薄膜器件4具有底发光结构或顶发光结构，使得OLED显示器件既 具有良好的柔韧性，又能够有效阻止水汽、氧气的渗透，封装效果好。
综上所述，本发明的柔性OLED显示器件及其制造方法，将金属薄片与超 薄玻璃中的一种作为柔性衬底，另一种作为柔性封装盖板，并相应设置OLED 薄膜器件具有底发光结构或顶发光结构，使得OLED显示器件既具有良好的柔 韧性，又能够有效阻止水汽、氧气的渗透，封装效果好。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方 案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应 属于本发明权利要求的保护范围。