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本发明公开了一种烷氧基三甲基硅烷的制备方法,其具体步骤为:在装有滴加装置、尾气吸收装置、冷凝回流器的反应容器内加入六甲基二硅氮烷、阳离子交换树脂;然后通入氮气进行保护,控制反应容器内温度为10100,向反应容器内滴加醇类物质;滴加结束后控制反应温度为10120保温反应46小时,整个反应过程中反应容器内压力控制在00.2Mpa,但不为0;反应过程中产生的氨气进入尾气吸收装置,反应过程中产生的挥发物通。