液晶面板的制造装置及液晶面板的制造方法.pdf

本发明提供一种液晶面板制造装置及液晶面板的制造方法，能够抑制被处理面板的温度的不均匀且抑制被处理面板的温度的变化。实施方式的液晶面板的制造装置包括光照射部、照射箱、平台、腔室、以及循环型空冷装置。光照射部射出光。照射箱具有透过来自光照射部的光的窗口材料。平台具有载置面，所述载置面以面对窗口材料的方式而设置且载置被处理面板。在平台内部使液体流通，所述液体对载置面的被照射光的区域进行温度控制。腔室覆盖照射箱与平台。循环型空冷装置将从设置于腔室的导入口导入的气体从排出口排出，并对腔室内的温度进行控制。

权利要求书
1.  一种液晶面板的制造装置，其特征在于，包括：
光照射部，射出光；
照射箱，具有透过来自所述光照射部的光的窗口材料；
平台，具有载置面，所述载置面以面对所述窗口材料的方式而设置且载 置被处理面板，在所述平台的内部使液体流通，所述液体对所述载置面的被 照射所述光的区域进行温度控制；
腔室，覆盖所述照射箱与所述平台；以及
循环型空冷装置，包括设置于所述腔室的导入口与排出口，将从所述导 入口导入的气体从所述排出口排出，并对所述腔室内的温度进行控制。

2.  根据权利要求1所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述窗口材料具备如下功能，即，对预先规定的波长的紫外线或红外线 的透过进行控制，或者抑制预先规定的波长的紫外线及红外线双方的透过。

3.  根据权利要求1或2所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述被处理面板包括：彩色滤光片基板，与所述彩色滤光片基板对向的 对向基板，以及设置于所述彩色滤光片基板与所述对向基板之间的液晶层，
所述被处理面板以所述彩色滤光片基板侧与所述载置面接触的方式而配 置于所述平台，所述光照射部从所述对向基板的一侧对所述被处理面板照射 所述光。

4.  根据权利要求3所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述液晶层至少包含向列液晶组成物、呈现蓝相的液晶组成物及聚合性 单体，利用所述光的照射而呈现高分子稳定化蓝相。

5.  根据权利要求1或2所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
所述光照射部包括光源，所述光源以300nm～400nm为主波长，且所述 载置面上的波长为365nm的光的照度为15mW/cm2以下。

6.  根据权利要求1或2所述的液晶面板的制造装置，其特征在于，
以如下方式对所述平台及所述循环型空冷装置进行控制，即，对所述被 处理面板照射所述光时的所述被处理面板的温度相对于10℃～70℃间的设定 温度而为±0.5℃以内。

7.  一种液晶面板的制造方法，其特征在于，
使用液晶面板的制造装置进行下述步骤：
在平台的载置面载置被处理面板；
一边使液体于所述平台内流通，并且将气体从导入口导入至腔室内且从 排出口排出并循环，一边从光照射部通过窗口材料而对配置于所述载置面的 所述被处理面板照射光，
所述液晶面板的制造装置包括：
所述光照射部，射出光；
照射箱，具有透过来自所述光照射部的光的所述窗口材料；
所述平台，具有所述载置面，所述载置面以面对所述窗口材料的方式而 设置且载置所述被处理面板，在所述平台的内部使所述液体流通，所述液体 对所述载置面的被照射所述光的区域进行温度控制；
所述腔室，覆盖所述照射箱与所述平台；以及
循环型空冷装置，包括设置于所述腔室的所述导入口与所述排出口，将 从所述导入口导入的所述气体从所述排出口排出，并对所述腔室内的温度进 行控制。

说明书液晶面板的制造装置及液晶面板的制造方法
技术领域
本发明的实施方式涉及一种液晶面板的制造装置及液晶面板的制造方 法。
背景技术
在液晶面板的制造中，有进行称作光配向的工序的方法，该工序中使用 紫外线灯等光源，对包括具有光反应性的高分子体的被处理面板照射规定波 长的光，由此使高分子体发生化学反应而具有配向功能。
尤其为了呈现出利用高分子使蓝相液晶稳定化的状态，即高分子稳定化 蓝相(聚合物稳定蓝相(Polymer Stabilized Blue Phase：PSBP))而进行光照 射时，被处理面板的温度不均及温度的经时变化对显示特性的不均所造成的 影响大。因此，在对被处理面板照射规定波长的光的液晶面板的制造方法中， 强烈期望抑制紫外线照射时的被处理面板的温度不均匀且抑制被处理面板的 表面的温度变化。
因此，提出有紫外线照射装置，该紫外线照射装置被用于包含光反应性 物质的液晶面板的制造工序中(例如参照专利文献1)。专利文献1所示的紫 外线照射装置记载了如下构成：包括冷却机构，该冷却机构对各个光源元件 的外套管的内部供给冷却风。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2011-215463号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
然而，专利文献1所示的紫外线照射装置中，难以抑制用于呈现高分子 稳定化蓝相的被处理面板的温度的不均匀，或难以抑制被处理面板的温度的 变化。
本发明的目的在于提供一种抑制被处理面板的温度的不均匀、且抑制被 处理面板的温度的变化的液晶面板的制造装置，及液晶面板的制造方法。
[解决问题的手段]
实施方式的液晶面板的制造装置包括光照射部、照射箱、平台、腔室、 以及循环型空冷装置。光照射部射出光。照射箱具有透过来自光照射部的光 的窗口材料(window material)。平台具有载置面，所述载置面以面对窗口材 料的方式而设置且载置被处理面板。在平台的内部使液体流通，所述液体对 载置面的被照射光的区域(area)进行温度控制。腔室覆盖照射箱与平台。循 环型空冷装置包括设置于腔室的导入口及排出口，且将从导入口导入的气体 从排出口排出并对腔室内的温度进行控制。
此外，所述窗口材料具备如下功能，即，对预先规定的波长的紫外线或 红外线的透过进行控制，或者抑制预先规定的波长的紫外线及红外线双方的 透过。
此外，所述被处理面板包括：彩色滤光片基板，与所述彩色滤光片基板 对向的对向基板，以及设置于所述彩色滤光片基板与所述对向基板之间的液 晶层，所述被处理面板以所述彩色滤光片基板侧与所述载置面接触的方式而 配置于所述平台，所述光照射部从所述对向基板的一侧对所述被处理面板照 射所述光。
此外，所述液晶层至少包含向列液晶组成物、呈现蓝相的液晶组成物及 聚合性单体，利用所述光的照射而呈现高分子稳定化蓝相。
此外，所述光照射部包括光源，所述光源以300nm～400nm为主波长， 且所述载置面上的波长为365nm的光的照度为15mW/cm2以下。
此外，以如下方式对所述平台及所述循环型空冷装置进行控制，即，对 所述被处理面板照射所述光时的所述被处理面板的温度相对于10℃～70℃间 的设定温度而为±0.5℃以内。
实施方式的液晶面板的制造方法包括：光照射部，射出光；照射箱，具 有透过来自所述光照射部的光的窗口材料；平台，具有载置面，所述载置面 以面对所述窗口材料的方式而设置且载置被处理面板，在所述平台的内部使 液体流通，所述液体对所述载置面的被照射所述光的区域进行温度控制；腔 室，覆盖所述照射箱与所述平台；以及循环型空冷装置，包括设置于所述腔 室的导入口与排出口，将从所述导入口导入的气体从所述排出口排出，并对 所述腔室内的温度进行控制；且所述液晶面板的制造方法包括下述步骤：在 所述平台的所述载置面载置所述被处理面板；一边使所述液体于所述平台内 流通，并且将所述气体从所述导入口导入至所述腔室内且从所述排出口排出 并循环，一边从所述光照射部通过所述窗口材料而对配置于所述载置面的所 述被处理面板照射光。
[发明的效果]
根据本发明，可提供抑制被处理面板的温度的不均匀、且抑制被处理面 板的温度的变化的液晶面板的制造装置，及液晶面板的制造方法。
附图说明
图1是表示实施方式的液晶面板的制造装置的概要的构成的图。
图2是表示实施方式的液晶面板的制造装置的概要的构成的剖面图。
图3是表示由实施方式的液晶面板的制造装置而被照射光的被处理面板 的构成的剖面图。
图4是说明实施方式的液晶面板的制造装置的窗口材料所透过的光的 图。
图5是表示实施方式的液晶面板的制造装置的窗口材料的构成的剖面 图。
图6是表示比较例与本发明样品1、本发明样品2的温度变化的测定部 位的平面图。
图7是表示实施方式的变形例的液晶面板的制造装置的概要的构成的剖 面图。
图8是表示实施方式的另一变形例的液晶面板的制造装置的概要的构成 的剖面图。
[符号的说明]
1：液晶面板的制造装置
2：被处理面板
3：彩色滤光片基板
4：对向基板
5：液晶层
10：光照射部
11：棒状灯(光源)
20：照射箱
21：窗口材料
22：第一滤光片
23：第二滤光片
30：平台
31：载置面
32：流体保温循环单元
33：配管
40：腔室
50：循环型空冷装置
51：导入口
52：排出口
53：送风管
60：控制单元
A、B、C、D：波长
A～I：测定部位
具体实施方式
以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置1包括光照射部10、照射箱 20、平台30、腔室40、以及循环型空冷装置50。光照射部10射出光。照射 箱20具有透过来自光照射部10的光的窗口材料21。平台30具有载置面31， 所述载置面31以面对窗口材料21的方式而设置且载置被处理面板2。在平 台30内部使液体流通，所述液体对载置面31的被照射光的区域进行温度控 制。腔室40覆盖照射箱20与平台30。循环型空冷装置50包括设置于腔室 40的导入口51及排出口52，将从导入口51导入的气体从排出52排出并 对腔室40内的温度进行控制。
而且，以下所说明的实施方式的液晶面板的制造装置1中，所述窗口材 料21具备下述功能，即，抑制预先规定的波长的紫外线或红外线的透过，或 抑制预先规定的波长的紫外线及红外线双方的透过。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置1中，被处理面板2 包括彩色滤光片基板3、对向基板4、及液晶层5。对向基板4与彩色滤光片 基板3对向。液晶层5设置于彩色滤光片基板3与对向基板4之间。被处理 面板2以彩色滤光片基板3侧与载置面31接触的方式配置于平台30，光照 射部10从对向基板4的一侧对被处理面板2照射光。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置1中，液晶层5至少 包含向列液晶组成物、呈现蓝相的液晶组成物及聚合性单体。液晶层5利用 光的照射而呈现高分子稳定化蓝相。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置1中，光照射部10包 括光源11，该光源11以300nm～400nm为主波长，且载置面上的365nm 的波长的光的照度为15mW/cm2以下。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造装置1中，以被照射光时 的被处理面板2的温度相对于10℃～70℃间的设定温度为±0.5℃以内的方式， 对平台30及循环型空冷装置50进行控制。
而且，以下说明的实施方式的液晶面板的制造方法包括：光照射部10， 射出光；照射箱20，具有透过来自光照射部10的光的窗口材料21；平台30， 具有载置面31，所述载置面31以面对窗口材料21的方式而设置且载置被处 理面板2，在所述平台30内部使液体流通，所述液体对载置面31的被照射 光的区域进行温度控制；腔室40，覆盖照射箱20与平台30；以及循环型空 冷装置53，包括设置于腔室40的导入口51及排出口52，将从导入口51导 入的气体从排出口52排出，并对腔室40内的温度进行控制；且所述液晶面 板的制造方法包括下述步骤：将被处理面板2载置于平台30的载置面31； 一边使所述液体于平台30内流通，并且将所述气体从导入口51导入至腔室 40内且从排出口52排出并循环，一边从光照射部10通过窗口材料21而对 配置于载置面31的被处理面板2照射光。
[实施方式]
接下来，根据附图对本发明的实施方式的液晶面板的制造装置1进行说 明。图1是表示实施方式的液晶面板的制造装置的概要的构成的图，图2是 表示实施方式的液晶面板的制造装置的概要的构成的剖面图，图3是表示由 实施方式的液晶面板的制造装置而被照射光的被处理面板的构成的剖面图， 图4是说明实施方式的液晶面板的制造装置的窗口材料所透过的光的图，图 5是表示实施方式的液晶面板的制造装置的窗口材料的构成的剖面图。
图1所示的实施方式的液晶面板的制造装置(以下，简记作制造装置)1 一边保持为固定的温度一边对被处理面板2照射光，使被处理面板2呈现出 例如构成液晶显示器的高分子稳定化蓝相等。由制造装置1而被照射光的被 处理面板2如图3所示包括：彩色滤光片基板3，与彩色滤光片基板3对向 的对向基板4，及设置于彩色滤光片基板3与对向基板4之间的液晶层5。
彩色滤光片基板3是例如将透过红色、绿色、蓝色的光的彩色滤光片配 置于基板上并由保护膜覆盖所得。对向基板4为将电极配置成阵列状而成的 基板。液晶层5至少包含向列液晶组成物、呈现蓝相的液晶组成物及聚合性 单体。液晶层5利用制造装置1的光的照射而呈现高分子稳定化蓝相。
构成液晶层5的向列液晶组成物包含具有介电各向异性(dielectric  anisotropy)的材料。
呈现蓝相的液晶组成物为如下材料，即，将能够稳定地存在的温度范围 例如扩大至室温，具体来说扩大至0℃以上，但通过被照射光，也可实现比 向列液晶组成物高的响应性。呈现蓝相的液晶组成物为如下物质，即，如果 在例如相对于10℃～70℃间的规定的设定温度而保持为±0.5℃以内的状态下 被照射光，则可无不均地呈现出高分子稳定化蓝相。例如，在设定温度为55℃ 的情况下，呈现蓝相的液晶组成物如果在温度保持为54.5℃～55.5℃的范围 内的状态下被照射光，则可无不均地呈现出高分子稳定化蓝相，在设定温度 为60℃的情况下，呈现蓝相的液晶组成物如果在温度保持为59.5℃～60.5℃ 的范围内的状态下被照射光，则可无不均地呈现出高分子稳定化蓝相。
聚合性单体是用以使向列液晶组成物或呈现高分子稳定化蓝相的液晶组 成物的组成稳定化的材料。
制造装置1如图1及图2所示，包括：射出光的光照射部10，照射箱20， 平台30，腔室40，循环型空冷装置50，及控制单元60等。
光照射部10射出光，在照射箱20内，具体来说，可通过窗口材料21对 被处理面板2照射光，所述被处理面板2在照射箱20中，载置于面对透过来 自光照射部10的光的窗口材料21的平台30的载置面31上。光照射部10具 备多个作为光源的棒状灯11。棒状灯11是将水银、铁或碘等金属卤化物、氩 等稀有气体封入并主要射出紫外线的金属卤化物灯等呈直线状延伸的管型 灯。棒状灯11以300nm～400nm为主波长，且365nm的波长的光(紫外线) 的照度为15mW/cm2以下。而且，棒状灯11的长边方向与从设置于腔室40 的导入口51朝向排出口52的方向、即作为腔室40内的气体的气体所流动的 方向平行。另外，可使用UV-M02(奥克(Orc)制作所股份有限公司制造) 来作为照度计，且使用UV-SN35(Orc制作所股份有限公司制造)作为受光 器。
本实施方式中，棒状灯11设置有三个，且配置在照射箱20及平台30、 载置于载置面31上的被处理面板2的上方。而且，棒状灯11被供该棒状灯 11照射的光通过的未图示的水冷套(water-cooling jacket)所覆盖。水冷套中 填充着水，使该填充的水进行循环，由此将棒状灯11保持为所需的运转温度。
照射箱20形成为箱状，且以内部收容载置于平台30的载置面31的被处 理面板2的方式配置于平台30上。而且，照射箱20具有窗口材料21，该窗 口材料21设置于光照射部10与载置面31之间，且被照射来自光照射部10 的光。
窗口材料21具有抑制预先规定的波长的紫外线及红外线双方的透过的 功能。窗口材料21使适合于液晶层5呈现高分子稳定化蓝相的波长的光透过、 且抑制(限制)其他光的透过。本实施方式中，如图5所示，窗口材料21是 将第一滤光片22与第二滤光片23重叠而构成。第一滤光片22如图4中实线 所示，使波长[nm]为A～B的紫外线透过，且抑制(限制)其他光(波长[nm] 比A短的紫外线、波长[nm]比B长的紫外线、可见光线、红外线)的透过。 第二滤光片23如图4中双点划线所示，使波长[nm]为C～D的紫外线、可见 光线、红外线透过，且抑制(限制)其他光(尤其波长[nm]比C短的紫外线、 波长[nm]比D长的红外线)的透过。另外，C比A长且比B短，B比D短。 因此，本实施方式中，窗口材料21如图4中平行斜线所示，使波长[nm]为C～ B的紫外线透过，且抑制(限制)其他光的透过。而且，本发明中，也可将 使波长[nm]为A～B的紫外线透过且抑制(限制)其他光的透过的滤光片蒸 镀在所述第二滤光片23上，由此构成窗口材料21。
而且，本发明中，窗口材料21只要能够使适合于液晶层5呈现高分子稳 定化蓝相的波长的光透过，则也可包含抑制(限制)预先规定的波长的紫外 线的透过的滤光片，还可包含抑制(限制)预先规定的波长的红外线的透过 的滤光片。如此，本发明中，窗口材料21只要具备如下功能即可，即，根据 适合于液晶层5呈现高分子稳定化蓝相的波长来抑制(限制)预先规定的波 长的紫外线或红外线的透过。
平台30具备载置被处理面板2的载置面31，并使作为固定温度的液体 的水在内部循环，由此来对载置于载置面31的被处理面板2的温度进行控制。 载置面31以面对窗口材料21的方式而设置，且与光照射部10对向。另外， 本发明中，理想的是载置于载置面31的被处理面板2所保持的温度尽可能地 为固定温度，只要载置于载置面31的被处理面板2的温度保持为固定，则在 平台30内循环的作为流体的液体的温度比载置于载置面31的被处理面板2 的温度稍低或稍高均可。另外，本发明中，除水以外，还可使各种液体在平 台30中循环。
平台30上，以彩色滤光片基板3侧与载置面31接触的方式载置被处理 面板2。即，被处理面板2以彩色滤光片基板3与载置面31接触的方式而载 置于平台30的载置面31上。因此，光照射部10从对向基板4的一侧对被处 理面板2照射光。
平台30包含铝合金等且形成为厚的平板状，内部设置着循环路径(未图 示)，该循环路径供具有使被处理面板2成为所需温度的温度的液体循环。平 台30上连接着流体保温循环单元32，该流体保温循环单元32将被处理面板 2的温度保持为固定，且，使作为流体的液体在平台30的循环路径内循环。 流体保温循环单元32例如包含：与用以使液体循环的循环路径连结的配管 (图2中表示一部分)33，周知的加热器，将冷却装置或配管33内的液体送 出的泵等。
腔室40形成为箱状，覆盖照射箱20与平台30的整体，且上部设置光照 射部10。
循环型空冷装置50如图2所示，包括设置于腔室40的导入口51与排出 口52，将从导入口51导入的气体从排出口52排出，并控制腔室40内的温 度。循环型空冷装置50将从导入口51导入的气体从排出口52排出，并控制 腔室40内的温度，由此将腔室40内的温度即照射箱20内的被处理面板2的 温度保持为固定的温度。
本实施方式中，在腔室40的长边方向的一端部的下部开设导入口51， 在腔室40的另一端部的上部开设排出口52。循环型空冷装置50使从导入口 51导入的气体流向腔室40内，并从排出口52排出。循环型空冷装置50除 例如包括导入口51与排出口52外，还包括：用以使气体依次在导入口51、 腔室40内、排出口52中循环的送风管(图2所示)53，将气体保持为固定 温度的周知的加热器，将冷却装置或送风管53内的气体送出的送风机等。
另外，本发明中，理想的是依次在导入口51、腔室40内、排出口52中 循环的气体的温度，与载置于载置面31的被处理面板2所保持的温度尽可能 相等，只要载置于载置面31的被处理面板2保持为固定的温度，则循环的气 体的温度比载置于载置面31的被处理面板2的温度稍低或稍高均可。另外， 气体的温度始终为目标温度，也存在与实际温度不同的情况。
而且，制造装置1例如在排出口52的附近等适当的部位，设置着温度传 感器(未图示)，该温度传感器对设置于平台30的内部的循环路径中流通的 液体、水冷套中循环的水或在腔室40的内外循环的气体等的温度进行检测。 制造装置1例如在导入口51的附近等适当的部位，设置对从导入口51导入 至照射箱20内的气体的流量进行检测的流量传感器。
控制单元60对制造装置1的光的照射动作进行控制。控制单元60连接 于流体保温循环单元32、循环型空冷装置50、光照射部10等。控制单元60 例如以包含中央处理器(central processing unit，CPU)等的运算处理装置或 未图示的微处理器作为主体而构成，所述微处理器包含只读存储器(read-only  memory，ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)等，所 述控制单元60与显示处理运行的状态的显示单元或操作员登记加工内容信 息等时所使用的操作单元连接。
控制单元60在从光照射部10对载置于平台30的载置面31的被处理面 板2照射光时，根据温度传感器等的检测结果等，来对覆盖棒状灯11的水冷 套进行控制，且将棒状灯11保持为所需的运转温度。而且，控制单元60在 从光照射部10对载置于平台30的载置面31的被处理面板2照射光时，根据 温度传感器等的检测结果等，来对流体保温循环单元32进行控制，而将平台 30中循环的液体的温度保持为固定，并对循环型空冷装置50进行控制，而 将在腔室40的内外循环的气体的温度保持为固定，从而将载置于平台30的 载置面31的被处理面板2的温度保持为固定。
例如，在从光照射部10对被处理面板2照射光时，利用控制单元60， 以被照射光时的被处理面板2的温度相对于10℃～70℃间的规定的设定温度 为±0.5℃以内的方式，来对平台30及循环型空冷装置50进行控制。即，本 发明中，所谓将载置于平台30的载置面31的被处理面板2的温度保持为固 定，是指保持为相对于10℃～70℃间的规定的设定温度而为±0.5℃以内的温 度。例如，当设定温度为55℃时，利用控制单元60，以被处理面板2的温度 保持为54.5℃～55.5℃的范围内的温度的方式，来对流体保温循环单元32中 循环的液体的温度及照射箱20内的温度等进行控制。当设定温度为60℃时， 利用控制单元60，以被处理面板2的温度保持为59.5℃～60.5℃的范围内的 温度的方式，来对流体保温循环单元32中循环的液体的温度及导入至照射箱 20内的气体的流量、温度等进行控制。
接下来，对使用了所述构成的实施方式的制造装置1的液晶面板的制造 方法，即，对被处理面板2照射光的方法进行说明。首先，操作员将处理内 容信息登记在控制单元60中，当有开始处理运行的指示时，开始进行处理运 行。然后，在处理运行中，将被处理面板2载置于平台30的载置面31。接 着，控制单元60使液体在平台30内流通，并且通过导入口51而将气体导入 至腔室40内且从排出口52排出，并且使水在水冷套内循环。控制单元60从 光照射部10通过窗口材料21而对载置于载置面31的被处理面板2照射固定 时间的光。将固定时间内被照射了光的被处理面板2从平台30卸下，且将光 照射前的被处理面板2载置于平台30的载置面31。与所述工序同样地照射 光。
根据所述构成的实施方式的制造装置1及液晶面板的制造方法，使液体 在平台30内循环，以将被处理面板2的温度保持为固定的温度的方式进行控 制，此外，将覆盖收容被处理面板2的照射箱20的腔室40内的气体保持为 固定。而且，根据制造装置1及液晶面板的制造方法，可将收容被处理面板 2的照射箱20的内部与照射箱20的外部，即，腔室40的内部的温度保持为 大致相同且大致固定，且可抑制温度从照射箱20向腔室40的散热，因而可 抑制照射箱20内的温度的变化。因此，根据制造装置1及液晶面板的制造方 法，可抑制照射箱20内的被处理面板2的温度的变化。而且，根据制造装置 1及液晶面板的制造方法，可利用平台30内的液体而将载置于载置面31的 被处理面板2的温度保持为固定。因此，根据制造装置1及液晶面板的制造 方法，可抑制照射箱20内的被处理面板2的温度变化。
此外，根据制造装置1及液晶面板的制造方法，窗口材料21使适合于液 晶层5呈现高分子稳定化蓝相的波长的光透过，且限制其他光的透过，因而 对被处理面板2仅照射对于呈现高分子稳定化蓝相而言为最低限度且必需的 光。因此，根据制造装置1及液晶面板的制造方法，即便从光照射部10对载 置于载置面31的被处理面板2照射光，也可抑制对被处理面板2照射不需要 的光。尤其可抑制对被处理面板2照射会带来温度变化的红外线等所不需要 的光。由此，可抑制载置于载置面31的被处理面板2的温度上升。因此，根 据制造装置1及液晶面板的制造方法，可更确实地抑制照射箱20内的被处理 面板2的温度变化。
而且，根据制造装置1及液晶面板的制造方法，对覆盖照射箱20的腔室 40内导入气体。为此，可将腔室40内的气体的温度与照射箱20内的温度保 持为大致相同。因此，根据制造装置1及液晶面板的制造方法，可抑制被处 理面板2的温度的不均匀。
而且，根据制造装置1及液晶面板的制造方法，对覆盖照射箱20的腔室 40内导入固定温度的气体。因此，根据制造装置1及液晶面板的制造方法， 即便被照射光时被处理面板2的温度与例如为50℃或60℃等的制造装置1的 外部气体的温度之间的差大，也可抑制设置于照射箱20内的被处理面板2因 与制造装置1外部的温度差而散热所引起的被处理面板2的温度变化。
因此，根据制造装置1及液晶面板的制造方法，可抑制载置于载置面31 的被处理面板2的温度不均匀，且可抑制被处理面板2的温度的变化。
而且，根据制造装置1，以彩色滤光片基板3与载置面31接触的方式， 将被处理面板2载置于平台30上，从而光照射部10朝向对向基板4照射光。 而且，根据制造装置1，液晶层5包含呈现高分子稳定化蓝相的液晶组成物。 此外，光照射部10包括棒状灯11，该棒状灯11以300nm～400nm为主波 长且波长为365nm的光的照度为15mW/cm2以下。而且，以对被处理面板2 照射光时的被处理面板2的温度相对于10℃～70℃间的设定温度为±0.5℃以 内的方式，对平台30的液体及导入至照射箱20内的气体进行控制。因此， 根据制造装置1，使光作用于液晶层5，而可使其确实地呈现高分子稳定化蓝 相。
而且，根据制造装置1，因将导入口51设置于腔室40的下部，将排出 口52设置于腔室40的上部，所以从腔室40的下部导入气体，因而气体不易 直接接触照射箱20，从而可抑制照射箱20内的气体的温度变化。因此，根 据制造装置1，可进一步抑制照射箱20内的气体的温度变化。
然后，对所述实施方式的制造装置1及液晶面板的制造方法的效果进行 确认。将结果表示于表1。表1是表示比较例及本发明样品1、本发明样品2 的温度变化的结果的图。
另外，在表1所示的情况下，测定从光照射部10对载置于载置面31的 被处理面板2照射光时被处理面板2的图6所示的测定部位A～测定部位I 的温度变化。
另外，测定部位A～测定部位I表示设置于图6所示的部位的温度传感 器的检测结果。图6是表示比较例与本发明样品1、本发明样品2的温度变 化的测定部位的平面图。显示A～I的检测结果的温度传感器如图6所示，在 俯视制造装置1时，设置于被处理面板2即载置面31上。A表示设置于偏靠 导入口51的一角部的温度传感器的检测结果，B表示设置于偏靠导入口51 的棒状灯11的一端部的正下方的温度传感器的检测结果，C表示设置于偏靠 导入口51的另一角部的温度传感器的检测结果。D表示设置于载置面31的 长边方向的中央部的宽度方向的一端部的温度传感器的检测结果，E表示设 置于载置面31的长边方向的中央部且棒状灯11的中央部的正下方的温度传 感器的检测结果，F表示设置于载置面31的长边方向的中央部的宽度方向的 另一端部的温度传感器的检测结果。G表示设置于偏靠排出口52的一角部的 温度传感器的检测结果，H表示设置于偏靠排出口52的棒状灯11的另一端 部的正下方的温度传感器的检测结果，I表示设置于偏靠排出口52的另一角 部的温度传感器的检测结果。
表1的本发明样品1将平台30的设定温度设为55℃，将利用循环型空 冷装置50而在腔室40内循环的气体的温度设为55℃。表1的本发明样品2 将平台30的设定温度设为60℃，将利用循环型空冷装置50而在腔室40内 循环的气体的温度设为60℃。而且，表1的比较例将平台30的设定温度设 为60℃，并停止由循环型空冷装置50进行的气体的循环。而且，进行测定 时，对测定开始直至1200秒后的测定部位A～测定部位I各自的温度变化进 行测定。表1的○表示可将被处理面板2保持为固定的温度以稳定地呈现高分 子稳定化蓝相，×表示无法将被处理面板2保持为固定的温度以稳定地呈现高 分子稳定化蓝相。
[表1]
表1照射结果
条件 Max(最大) Min(最小) Ave(平均) 判定 本发明样品1 55.2 54.5 54.91 ○ 本发明样品2 60.2 59.5 60.06 ○ 比较例 60.8 59.0 60.06 ×
根据表1的比较例，即便仅使用平台30，测定部位A、测定部位G及测 定部位I的温度有时也会低于59.5℃，且有时测定部位E及测定部位H的温 度会超过60.5℃，所述平台30以将载置于载置面31的被处理面板2保持为 固定的温度的方式而受到控制。而且，比较例中，测定部位A、测定部位G 及测定部位I的最低温度为59.0℃，测定部位E及测定部位H的最高温度为 60.8℃。因此，根据比较例可知，如果被照射光，则载置面31上的被处理面 板2的温度上升，且未使腔室40内的气体进行循环因而产生温度不均。由此， 根据比较例可知，无法抑制被处理面板2的温度的不均匀、并且无法抑制被 处理面板2的温度的变化以稳定地呈现高分子稳定化蓝相。
根据表1的本发明样品1、本发明样品2，通过使用平台30与循环型空 冷装置50，而所有测定部位A～测定部位I的温度均处于54.5℃～55.5℃或 59.5℃～60.5℃的范围，所述平台30以将载置于载置面31的被处理面板2保 持为固定的温度的方式而受到控制。因此，根据本发明样品1、本发明样品2， 可抑制被处理面板2的温度的不均匀、且可抑制被处理面板2的温度的变化， 以稳定地呈现高分子稳定化蓝相。
(变形例)
图7是表示实施方式的变形例的液晶面板的制造装置的概要的构成的剖 面图，对与所述实施方式相同的部分附上相同的符号并省略说明。本发明中， 如图7所示，也可为在腔室40的长边方向的另一端部的上部开设导入口51， 在腔室40的一端部的下部开设排出口52。图7所示的变形例中，因从腔室 40的上部导入气体，故气体直接与照射箱20接触，从而可使照射箱20内的 气体的温度更快地达到所需的条件。
图8是表示实施方式的另一变形例的液晶面板的制造装置的概要的构成 的剖面图，对与所述实施方式相同的部分附上相同的符号并省略说明。如图 8所示，也可为在腔室40的下部开设多个导入口51，在腔室40的上部开设 多个排出口52。图8所示的变形例中，因从多个导入口51将气体导入至腔 室40，所以能够使照射箱20内的气体的温度更快地达到所需的条件。
已对本发明的几个实施方式进行了说明，但这些实施方式是作为示例而 提示，并不意图限定发明的范围。这些实施方式可由其他各种形态来实施， 在不脱离发明的主旨的范围内，可进行各种省略、置换、变更。这些实施方 式包含在发明的范围或主旨内，且同样地包含在权利要求所记载的发明及其 均等的范围内。