径向箔轴承.pdf

该径向箔轴承(3、40、50)具备：顶部箔(9)，与旋转轴(1)对置地配置；中间箔(10、41)，配置于顶部箔(9)的径向外侧；背部箔(11)，配置于中间箔(10，41)的径向外侧；以及圆筒状的轴承壳体(12、42、51)，容纳顶部箔(9)、中间箔(10、41)以及背部箔(11)。在轴承壳体(12、42、51)的两侧面，互相对置地分别形成有卡合凹部(31、35)。中间箔(10、41)具有沿着轴承壳体(12、42、51)的周向配置的多个中间箔片(10a、41a)。在各个中间箔片(10a、41a)，形成有卡合于卡合凹部(31、35)的卡合突片(10b、41b)。

权利要求书
1.   一种径向箔轴承，是包围旋转轴并支撑该旋转轴的径向箔轴承，
具备：圆筒状的顶部箔，与所述旋转轴对置地配置；中间箔，配置于所述顶部箔的径向外侧；背部箔，配置于所述中间箔的径向外侧；以及圆筒状的轴承壳体，容纳所述顶部箔、所述中间箔以及所述背部箔，
在所述轴承壳体的两侧面，分别互相对置地形成有从所述轴承壳体的内周面朝向外周面延伸的卡合凹部，而且，沿所述轴承壳体的周向形成多对所述卡合凹部，
所述中间箔具有沿着所述轴承壳体的周向配置的多个中间箔片而构成，
在各个所述中间箔片，形成有卡合于所述卡合凹部的卡合突片。

2.   根据权利要求1所述的径向箔轴承，其特征在于，
所述背部箔具有沿着所述轴承壳体的周向配置的多个背部箔片而构成，
所述中间箔片的所述卡合突片通过形成于所述多个背部箔片之间的间隙而卡合于所述卡合凹部。

3.   根据权利要求1所述的径向箔轴承，其特征在于，
在所述轴承壳体的内周面，在对置的所述卡合凹部之间，形成有卡合槽，所述卡合槽与这些卡合凹部连通且朝向轴承壳体的外周面侧的深度比所述卡合凹部浅，
卡止部件卡止于所述卡合凹部和所述卡合槽，该卡止部件具有卡合于所述卡合凹部的一对卡合臂和卡合于所述卡合槽并联接所述一对卡合臂之间的联接部，而且，在所述一对卡合臂的与卡合于所述卡合凹部的一侧相反的一侧，设有比所述轴承壳体的内周面突出的卡合凸部，
在所述背部箔的两侧缘部，分别形成有卡合于所述卡合凸部的卡合切口，
所述中间箔片的所述卡合突片通过所述背部箔的所述卡合切口而卡合于所述卡合凹部。

4.   根据权利要求1所述的径向箔轴承，其特征在于，
在所述背部箔的两侧缘部，分别形成有与所述卡合凹部连通的卡合切口，
所述中间箔片的所述卡合突片通过所述背部箔的卡合切口而卡合于所述卡合凹部。

5.   根据权利要求3或4所述的径向箔轴承，其特征在于，
所述背部箔具有沿着所述轴承壳体的周向配置的多个背部箔片而构成，
在各个所述背部箔片，形成有所述卡合切口。

6.   根据权利要求5所述的径向箔轴承，其特征在于，
所述背部箔片的所述卡合切口形成于所述背部箔片的周向中央部。

7.   根据权利要求1至6中的任一项所述的径向箔轴承，其特征在于，
使多块所述中间箔重叠。

说明书径向箔轴承
技术领域
本发明涉及径向箔轴承。
本申请基于2012年7月18日在日本申请的日本特愿2012-159696号而主张优先权，将其内容引用于此。
背景技术
一直以来，作为高速旋转体用的轴承，已知以包围旋转轴的方式装配而使用的径向轴承。作为这样的径向轴承，众所周知具备如下部件的径向箔轴承：薄板状的顶部箔，形成轴承面；背部箔，弹性地支撑该顶部箔；以及圆筒状的轴承壳体，容纳前述顶部箔和前述背部箔。作为径向箔轴承的背部箔，主要使用将薄板以波板状成形的波箔。
另外，在一部分的箔轴承中，以“箔间摩擦导致的衰减效果的提高”或“顶部箔的刚性的增强”等作为目的，将中间箔插入顶部箔与背部箔之间(例如，参照专利文献1)。
在这样的径向箔轴承中，通常，为了防止顶部箔或波箔从轴承壳体脱落，将其一端部(止动端部)通过点焊而直接或经由隔离物而间接地固定于轴承壳体。另外，中间箔通常也与顶部箔或波箔同样地遍及轴承壳体的整周而配置，其一端部通过焊接而固定于轴承壳体。
另外，还已知具有如下构造的径向箔轴承：为了代替焊接而机械地进行固定，将顶部箔或背部箔(波箔)的端部通过弯曲加工而弯折，使该弯折部卡合在形成于轴承壳体的卡合槽(例如，参照专利文献2至4)。
专利文献1：美国专利第5902049号说明书
专利文献2：日本特开2011-033176号公报
专利文献3：日本特开2011-017385号公报
专利文献4：日本特开2002-061645号公报。
发明内容
发明要解决的问题
可是，如果通过焊接而进行背部箔(波箔)向轴承壳体的固定，则有时候由于吸热而背部箔或轴承壳体变形，受到该影响而在顶部箔产生应变。同样地，即使通过焊接而进行中间箔的固定，有时候也在顶部箔产生应变。即，如果由于焊接而在中间箔产生应变，则有时候中间箔的应变还反映于配置于其上的顶部箔，在顶部箔产生应变。另外，即使在使顶部箔和中间箔重叠而统一焊接的情况下，成为基底的中间箔的应变也仍然反映于顶部箔，存在顶部箔的应变量变大的可能性。
另外，在前述专利文献2至4所记载的径向箔轴承中，由于对顶部箔或背部箔进行弯曲加工，因而有时候也在顶部箔产生应变。即，有时候由于顶部箔和背部箔的弯曲加工而分别产生应变，但由于背部箔支撑顶部箔，因而存在背部箔的应变影响到顶部箔且顶部箔的应变变得更大的可能性。
而且，通过旋转轴的旋转而形成于该旋转轴与顶部箔之间的箔轴承的流体润滑膜的厚度为10μm左右而非常薄。因此，存在这样的可能性：即使在顶部箔稍微产生应变，影响也波及轴承的负荷能力和动态特性(刚性和衰减性能)而未得到像设计那样的性能。
另外，一直以来，在使用中间箔的情况下，遍及轴承壳体的整周而配置中间箔。可是，如果遍及整周而配置，则中间箔与背部箔之间或中间箔与顶部箔之间的摩擦导致的约束部位增加，难以发生相互的滑行。然而，如果这样难以发生滑行，则存在由于滑行而产生的摩擦所导致的衰减效果变低的可能性。
本发明是鉴于前述情况而作出的，其目的在于，提供这样的径向箔轴承：充分地减少在顶部箔产生的应变，关于轴承的负荷能力或动态特性(刚性和衰减性能)，得到像设计那样的良好的性能，能够进一步通过箔间摩擦而提高衰减效果。
用于解决问题的方案
依据本发明的第1方式，包围旋转轴并支撑该旋转轴的径向箔轴承具备：圆筒状的顶部箔，与前述旋转轴对置地配置；中间箔，配置于前述顶部箔的径向外侧；背部箔，配置于前述中间箔的径向外侧；以及圆筒状的轴承壳体，容纳前述顶部箔、前述中间箔以及前述背部箔。在前述轴承壳体的两侧面，分别互相对置地形成有从该轴承壳体的内周面朝向外周面延伸的卡合凹部，而且，沿前述轴承壳体的周向形成有多对前述卡合凹部。前述中间箔具有沿着前述轴承壳体的周向配置的多个中间箔片而构成。另外，在各个前述中间箔片，形成有卡合于前述卡合凹部的卡合突片。
在该径向箔轴承中，由沿着轴承壳体的周向配置的多个中间箔片构成中间箔。因此，与单个中间箔遍及轴承壳体的整周而配置的情况相比，箔间的摩擦导致的约束部位减少，容易在各中间箔片与背部箔或顶部箔之间发生滑行。因此，由于滑行而产生的摩擦所导致的衰减效果变高。
另外，使形成于中间箔片的卡合突片卡合于形成在轴承壳体的两侧面的卡合凹部。因此，不对各中间箔片进行点焊或大的弯曲加工，就能够将由该中间箔片构成的中间箔容纳、固定于轴承壳体内。因此，防止由于中间箔的点焊或中间箔的应变的影响而在顶部箔产生应变，顶部箔的应变充分地变少。另外，由于不需要中间箔的焊接，因而能够消除焊接不良导致的组装不良或组装的偏差。而且，在中间箔片破损或消耗时，不更换中间箔整体，仅更换破损或消耗的零件(中间箔片)即可。
另外，依据本发明的第2方式，在上述第1方式中，前述背部箔具有沿着前述轴承壳体的周向配置的多个背部箔片而构成。另外，前述中间箔片的前述卡合突片通过形成于前述多个背部箔片之间的间隙而卡合于前述卡合凹部。
由于背部箔经由中间箔而弹性地支撑顶部箔，因而在从顶部箔受到载荷时，通过沿其周向变形而容许顶部箔的挠曲，支撑顶部箔。可是，在背部箔沿周向变形时，受到与轴承壳体之间的摩擦的影响，因而虽然在自由端侧容易变形，但是在固定端侧难以变形。因此，在自由端侧和固定端侧，在支撑刚性方面产生差异，有时候作为轴承整体而难以得到均匀的支撑刚性。
依据本发明的第2方式，由沿着轴承壳体的周向配置的多个背部箔片构成背部箔，因而背部箔片中的固定端与自由端之间的距离变短，前述的自由端侧与固定端侧之间的支撑刚性之差变小。因此，背部箔整体的支撑刚性的偏差变少。
另外，由于这样地由多个背部箔片构成背部箔，因而通过使中间箔片的卡合突片通过形成于它们之间的间隙，从而能够使该卡合突片容易地卡合于卡合凹部。
另外，依据本发明的第3方式，在上述第1方式中，在前述轴承壳体的内周面，在对置的前述卡合凹部之间，形成有卡合槽，该卡合槽与这些卡合凹部连通且朝向轴承壳体的外周面侧的深度比该卡合凹部浅。卡止部件卡止于前述卡合凹部和前述卡合槽，该卡止部件具有卡合于前述卡合凹部的一对卡合臂、以及卡合于前述卡合槽并联接前述一对卡合臂之间的联接部，而且，在前述一对卡合臂的与卡合于前述卡合凹部的一侧相反的一侧，设有比前述轴承壳体的内周面突出的卡合凸部。在前述背部箔的两侧缘部，分别形成有卡合于前述卡合凸部的卡合切口。另外，前述中间箔片的前述卡合突片通过前述背部箔的前述卡合切口而卡合于前述卡合凹部。
这样做的话，使分别设在轴承壳体的内周面的两侧端部的卡合凸部卡合于分别形成于背部箔的两侧缘部的卡合切口，由此，能够将背部箔固定于轴承壳体。即，不对背部箔进行点焊或弯曲加工，就能够将背部箔容纳、固定于轴承壳体内。因此，防止由于背部箔的点焊或背部箔的应变的影响而在顶部箔产生应变，顶部箔的应变充分地变少。另外，由于不需要背部箔的焊接，因而能够消除焊接不良导致的组装不良或组装的偏差。
另外，由于使中间箔片的卡合突片通过背部箔的卡合切口而卡合于卡合凹部，因而能够将该卡合突片容易地卡合于卡合凹部。
而且，由于使卡止部件的卡合臂和中间箔片的卡合突片一同卡合于卡合凹部，因而与分别个别地形成前述卡合臂、前述卡合突片所卡合的部位的情况相比，能够减少针对轴承壳体的加工数。
另外，依据本发明的第4方式，在上述第1方式中，在前述背部箔的两侧缘部，分别形成有与前述卡合凹部连通的卡合切口。另外，前述中间箔片的前述卡合突片通过前述背部箔的卡合切口而卡合于前述卡合凹部。
这样做的话，通过将中间箔片的卡合突片卡合于卡合凹部，从而能够不但将该中间箔片而且还将背部箔固定于轴承壳体。
另外，由于这样地通过中间箔片将背部箔固定于轴承壳体，因而不对背部箔进行点焊或弯曲加工，就能够将背部箔容纳、固定于轴承壳体内。因此，防止由于背部箔的点焊或背部箔的应变的影响而在顶部箔产生应变，顶部箔的应变充分地变少。另外，由于不需要背部箔的焊接，因而能够消除焊接不良导致的组装不良或组装的偏差。
此外，依据本发明的第5方式，在上述第3或第4方式中，前述背部箔具有沿着前述轴承壳体的周向配置的多个背部箔片而构成。另外，在前述背部箔片，分别形成有前述卡合切口。
这样做的话，背部箔片中的固定端与自由端之间的距离变短，前述的自由端侧与固定端侧之间的支撑刚性之差变小。因此，背部箔整体的支撑刚性的偏差变少。
另外，由于在背部箔片分别形成有卡合切口，因而通过使中间箔片的卡合突片通过这些卡合切口，从而能够将该卡合突片容易地卡合于卡合凹部。
另外，依据本发明的第6方式，在上述第5方式中，前述背部箔片的卡合切口形成于该背部箔片的周向中央部。
这样做的话，各背部箔片的、自由端侧与固定端侧之间的支撑刚性之差进一步变小，因此，背部箔整体的支撑刚性的偏差变得更少。
另外，依据本发明的第7方式，在上述第1至第6方式中的任一方式中，使多块前述中间箔重叠。
这样做的话，添加了通过中间箔间的滑行所导致的摩擦而得到的衰减效果，由此，径向箔轴承导致的衰减效果更进一步变高。
发明的效果
依据本发明的径向箔轴承，由沿着轴承壳体的周向配置的多个中间箔片构成中间箔。因此，能够容易在各中间箔片与背部箔或顶部箔之间发生滑行，所以能够提高通过滑行而产生的摩擦所导致的衰减效果。
另外，不对各中间箔片进行点焊或大的弯曲加工，就将中间箔容纳、固定于轴承壳体内。因此，能够防止由于中间箔的应变的影响而在顶部箔产生应变。因此，充分地减少顶部箔的应变，由此，关于轴承的负荷能力和动态特性(刚性和衰减性能)，能够得到像设计那样的良好的性能。
附图说明
图1是示出适用本发明所涉及的径向箔轴承的涡轮机械的一个示例的示意图。
图2A是本发明的第1实施方式中的径向箔轴承的侧面图。
图2B是示出轴承壳体的内周面的主要部分的概略图。
图3A是图2A所示的径向箔轴承的主要部分分解立体图。
图3B是示出固定工具嵌合于通槽的状态的俯视图。
图3C是示出固定工具嵌合于通槽的状态的侧视截面图。
图4A是图2A所示的径向箔轴承的主要部分分解立体图。
图4B是图2A的A-A线向视截面图。
图5A是图2A所示的径向箔轴承的主要部分分解立体图。
图5B是中间箔片的俯视图。
图5C是中间箔片的侧面图。
图5D是图2A的C-C线向视截面图。
图6A是使图2A的主要部分平坦化而示意性地示出的侧面图。
图6B是图6A的B-B线向视图。
图7A是顶部箔的展开图。
图7B是顶部箔的展开侧面图。
图8是图2A的主要部分放大图。
图9A是本发明的第2实施方式中的径向箔轴承的侧面图。
图9B是使图9A的主要部分平坦化而示意性地示出的侧面图。
图10A是图9A所示的径向箔轴承的主要部分分解立体图。
图10B是图9A的D-D线向视截面图。
图11A是本发明的第3实施方式中的径向箔轴承的侧面图。
图11B是使图11A的主要部分平坦化而示意性地示出的侧面图。
图12A是图11A所示的径向箔轴承的主要部分分解立体图。
图12B是图11A的E-E线向视截面图。
图13是示出第3实施方式的径向箔轴承的变形例的主要部分分解立体图。
具体实施方式
以下，参照附图，详细地说明本发明的径向箔轴承。此外，在以下的附图中，为了使各部件成为能够识别的大小，适当变更各部件的比例尺。
图1是示出适用本发明的径向箔轴承的涡轮机械的一个示例的侧面图。在图1中，符号1是旋转轴，符号2是设在旋转轴的顶端部的叶轮，符号3是本发明所涉及的径向箔轴承。此外，在图1中，省略而仅记载一个径向箔轴承，但通常沿旋转轴1的轴向设有两个径向箔轴承，构成旋转轴1的支撑构造。因此，在本实施方式中，虽然未图示，但也设有两个径向箔轴承3。
在旋转轴1，在形成有叶轮2的一侧，固定有推力环4，在该推力环4的两侧，与该推力环4对置地分别配置有推力轴承5。
另外，叶轮2配置于成为静止侧的壳体6内，在与壳体6之间，具有顶隙7。
另外，在旋转轴1，在比推力环4更靠近中央侧，径向箔轴承3以包围旋转轴1的方式装配。
“第1实施方式”
图2A、2B是示出适用于这样的构成的涡轮机械的径向箔轴承的第1实施方式的图。该第1实施方式的径向箔轴承3是如图2A所示地包围旋转轴1并支撑旋转轴1的圆筒状的装置。径向箔轴承3具备如下部件而构成：圆筒状的顶部箔9，与旋转轴1对置而配置；中间箔10，配置于顶部箔9的径向外侧；背部箔11，配置于中间箔10的径向外侧；以及轴承壳体12，配置于背部箔11的径向外侧。
轴承壳体12是构成径向箔轴承3的最外部的金属制圆筒状的部件，在内部容纳有背部箔11、中间箔10以及顶部箔9。在该轴承壳体12，在其内周面，沿着轴承壳体12的轴向形成有通槽13。即，如示出轴承壳体12的内周面主要部分的图2B所示，在轴承壳体12的内周面，从轴承壳体12的轴向的一端至另一端连续地遍及其全长而形成有通槽13。通槽13形成为，长度与轴承壳体12的长度(轴向长度)相同，开口宽度为3mm~5mm左右，深度为1.5mm~2.5mm左右。
另外，在通槽13的两端部，与通槽13分别连通而形成有卡止槽14。卡止槽14如作为径向箔轴承3的主要部分分解立体图的图3A所示，是将轴承壳体12的两侧面(轴向上的两侧面)分别切口而形成的槽部。卡止槽14沿着轴承壳体12的厚度方向(径向)从内周缘(内周面)朝向外周缘(外周面)而形成。此外，在本实施方式中，为了使卡止槽14与通槽13可靠地连通，将卡止槽14的宽度形成为与通槽13的宽度相比而充分地宽。
另外，在通槽13，在其两内侧面(在周向上互相对置的面)分别形成有卡止凹部15。这些卡止凹部15是沿着通槽13的长度方向形成于其全长的槽状的凹部，在本实施方式中，以最大深度为0.2~0.3mm左右的截面U状(半圆弧状)形成。另外，这些卡止凹部15形成于通槽13的开口侧，例如自轴承壳体12的内周面起1mm以内的深度位置。由此，能够如后所述地将顶部箔9的凸部的顶端部卡止于卡止凹部15。
为了形成这些通槽13和卡止凹部15，优选地利用线切割放电加工。即，在形成像通槽13或槽状的卡止凹部15那样从轴承壳体12的轴向的一端至另一端连续的槽的情况下，通过线切割放电加工而使线移动，从而描摹槽的截面形状的外形，由此，能够容易地且精度良好地形成各槽。尤其是，在本实施方式中，通过采用线切割放电加工，从而能够通过一系列的加工而容易地形成通槽13及其两内侧面的卡止凹部15，因而能够将通槽13或卡止凹部15的加工成本抑制得充分低。
另外，关于卡止槽14，也形成从轴承壳体12的外面侧至内表面侧连续的槽，因而能够通过采用线切割放电加工而将其加工成本抑制得充分低。但是，关于卡止槽14，尤其是由于不要求其加工精度等，因而也能够采用立铣刀导致的切削加工等。
固定工具16嵌入并卡止于这样的通槽13和卡止槽14。如图3A、作为通槽13和固定工具16的俯视图的图3B以及作为通槽13和固定工具16的侧视截面图的图3C所示，固定工具16具有如下部件而构成：棒状(四棱柱状)的基部17，嵌入并容纳于通槽13；一对弯折片18、18，形成于基部17的两端部，卡止于一对卡止槽14、14；以及两个隔壁片19，形成于基部17的中央部，突出至与弯折片18相反的一侧。
基部17，高度形成为0.5~1.5mm左右，其上表面(隔壁片19侧的面)形成为比通槽13的开口下沉1mm左右。弯折片18形成为与通槽13的底面和轴承壳体12的外周面之间的距离大致相等的长度。由此，弯折片18以充分的面积抵接于卡止槽14，并且，防止从轴承壳体12的外周面突出。
由这些弯折片18、18和与通槽13连通而设置的卡止槽14、14形成限制部。即，一对弯折片18、18分别卡止于设在通槽13的两端部的卡止槽14、14，由一对弯折片18、18在轴向上夹持轴承壳体12。因此，固定工具16沿通槽13的长度方向(轴承壳体12的轴向)移动受到限制，除了间隙部分以外，实质地防止了移动。
隔壁片19形成于如图3B、C所示地将基部17大致三等分即将通槽13大致三等分的两个位置。隔壁片19，其高度形成为成为与通槽13的开口相同的位置或比通槽13稍微突出。例如，也可以突出背部箔11的高度的一半左右。通过由这样的隔壁片19将通槽13沿其长度方向大致三等分，从而利用固定工具16在通槽13内形成三个卡合槽20。
即，通过将固定工具16从轴承壳体12的内周面侧嵌入并卡止于卡止槽14和通槽13，从而能够容易地形成三个卡合槽20。这些卡合槽20，其深度成为大致1mm左右，在其两内侧面，使卡止凹部15开口。
此外，固定工具16能够通过对由例如厚度为3~4mm左右的不锈钢等构成的金属板进行线切割放电加工而形成。
另外，如图2A所示，在轴承壳体12，由卡止部件30形成用于使后述的背部箔11卡止的卡合凸部33a。即，如作为径向箔轴承3的主要部分分解立体图的图4A所示，在轴承壳体12的两侧面，分别互相对置地形成有从轴承壳体12的内周缘(内周面)朝向外周缘(外周面)延伸的槽状的第1卡合凹部31。一对第1卡合凹部31形成于在轴承壳体12的轴向上互相对置的位置。第1卡合凹部31如图2A所示，在本实施方式中分别形成于将轴承壳体12的侧面沿其周向大致三等分的位置。卡止部件30卡止于这些第1卡合凹部31。此外，在本实施方式中，从轴承壳体12的一方的侧面观看，在配置于三处的第1卡合凹部31中的两处的第1卡合凹部31、31的中间位置，配置有通槽13。
另外，在轴承壳体12的内周面，如图4A所示，在对置的第1卡合凹部31、31之间，形成有与第1卡合凹部31、31连通的槽32。槽32，其深度比第1卡合凹部31的深度即朝向轴承壳体12的外面侧的深度(在本实施方式中，与轴承壳体12的厚度相等)更浅。由此，在本实施方式中，在第1卡合凹部31与槽32之间，形成有台阶部(参照图4A)。
卡止部件30卡止于这些第1卡合凹部31、31和槽32。卡止部件30具有卡合于第1卡合凹部31、31的一对卡合臂33和将这些卡合臂33、33之间联接的联接部34而以H状形成。如作为图2A的A-A线向视截面图的图4B所示，联接部34形成为，卡合于槽32并容纳于槽32内，不突出至槽32的外侧(轴承壳体12的径向内侧)。具体而言，槽32的深度成为1mm~2mm左右，因此，联接部34的高度也成为1mm~2mm左右。
一对卡合臂33相对于联接部34沿上下方向延伸出而形成，由此，如前所述，将卡止部件30以H状形成。在这些卡合臂33的上侧延伸出的部分即与卡合于第1卡合凹部31的一侧相反的一侧从轴承壳体12的内周面突出，由此，成为卡合于后述的背部箔片11a的卡合切口11d的卡合凸部33a。
另外，在卡合臂33的下侧延伸出的部分卡止在前述的第1卡合凹部31与槽32之间的台阶部。由此，卡止部件30相对于轴承壳体12向其轴向的移动被限制。
此外，卡止部件30的卡合臂33和联接部34如图4A所示为四棱柱状，另外，也可以是圆柱状(圆棒状)。卡合臂33和联接部34的粗细成为0.3~0.5mm左右。这样的卡止部件30能够通过例如将由厚度不足0.5mm的不锈钢等构成的金属箔蚀刻加工或线切割放电加工成H状而形成。
另外，关于槽32，与通槽13同样地，能够通过线切割放电加工而形成。而且，关于第1卡合凹部31，与卡止槽14同样地，能够通过线切割放电加工或立铣刀导致的切削加工等而加工。即，能够通过线切割放电加工而对通槽13和槽32连续地加工处理，同样地，关于卡止槽14和第1卡合凹部31，也能够通过线切割放电加工等而连续地加工处理。因此，关于轴承壳体12，能够谋求其加工成本的降低化。
在这样地形成槽32、第1卡合凹部31之后，使卡止部件30从轴承壳体12的内周面侧嵌入并卡止于第1卡合凹部31和槽32，由此，能够容易地形成卡合凸部33a。
另外，如图2A所示，在轴承壳体12，在其两侧面，形成有用于保持后述的中间箔片10a的第2卡合凹部35。第2卡合凹部35作为本发明中的卡合凹部而起作用。第2卡合凹部35如作为径向箔轴承3的主要部分分解立体图的图5A所示，从轴承壳体12的内周缘(内周面)至外周缘(外周面)以槽状延伸而形成。该第2卡合凹部35如图2A所示，在轴承壳体12的两侧面，互相对置而成对形成。在本实施方式中，形成有合计三对这样的第2卡合凹部35，这些第2卡合凹部35分别形成于将轴承壳体12的侧面沿其周向大致三等分的位置。
另外，这些第2卡合凹部35以相对于第1卡合凹部31偏离半间距的状态配置。即，三对第2卡合凹部35中的一对与通槽13的一方侧邻接而配置，另外二对分别配置于在周向上相邻的第1卡合凹部31、31之间的中央部。
此外，关于第2卡合凹部35，也与卡止槽14和第1卡合凹部31同样地，能够通过线切割放电加工而加工。即，关于卡止槽14、第1卡合凹部31以及第2卡合凹部35，能够通过线切割放电加工而连续地加工处理。因此，关于轴承壳体12，能够谋求其加工成本的降低化。另外，还能够代替线切割放电加工而使用激光加工。
背部箔11由箔(薄板)形成，弹性地支撑中间箔10和顶部箔9。作为这样的背部箔11，使用例如波箔或日本特开2006-57652号公报和日本特开2004-270904号公报等所记载的弹簧箔、日本特开2009-299748号公报等所记载的背部箔等。在本实施方式中，作为背部箔11，使用波箔。但是，也可以将前述的弹簧箔或背部箔用作本发明的背部箔。
背部箔11(波箔)在本实施方式中具有沿着轴承壳体12的周向配置的三个(多个)背部箔片11a而构成。
这些背部箔片11a是箔(薄板)以波板状成形且侧面成形为作为整体而成为大致圆弧状的部件，三个都形成为相同的形状/尺寸。因此，这些背部箔片11a将轴承壳体12的内周面大致三等分而配置。
另外，这些背部箔片11a在夹着通槽13的位置隔开某种程度的间隙而配置，在除此以外的位置，彼此的端部隔开既定的间隔而配置。在隔开该既定的间隔的位置，形成有前述的第2卡合凹部35。另外，在夹着通槽13的位置，在通槽13的一方侧，也形成有第2卡合凹部35。通过这样的构成，三个背部箔片11a作为整体而以大致圆筒状形成，经由中间箔10而沿顶部箔9的周向配置。
另外，这样地以波板状成形的背部箔片11a，如使图2A的主要部分平坦化而示意性地示出的图6A所示，沿着轴承壳体12的周向交替地形成有与轴承壳体12相接的平坦的谷部11b和与中间箔10(中间箔片10a)相接的弯曲的峰部11c。由此，背部箔片11a尤其是通过与中间箔片10a(中间箔10)相接的峰部11c而经由中间箔片10a来弹性地支撑顶部箔9。另外，沿径向箔轴承3的轴向形成由峰部11c和谷部11b构成的流体的通路。
另外，在这些背部箔片11a，如作为图6A的B-B线向视图的图6B所示，在各自的周向中央部(沿着轴承壳体12的周向的方向的中央部)的两侧缘部(轴向上的两侧的缘部)，形成有卡合切口11d。卡合切口11d如图6A所示形成于背部箔片11a的谷部11b，是将由形成于峰部11c、11c之间的平坦部构成的谷部11b从其侧缘朝向中央侧以矩形状切口而形成的切口。
卡合切口11d形成在与设于轴承壳体12的卡止部件30的卡合凸部33a相对应的位置，即与卡合凸部33a重叠的位置。卡合切口11d，其纵横的宽度形成为与卡合凸部33a的纵横的宽度大致相同，从而卡合于卡合凸部33a。具体而言，沿着轴承壳体12的周向的横宽成为0.2mm~0.4mm左右，沿着轴向的纵宽成为1mm~2mm左右。
此外，卡合切口11d优选使用针对箔的蚀刻加工或放电加工来形成，从而不产生毛刺，也不产生加工所导致的应变。即，优选地，在通过蚀刻加工或放电加工而在箔上形成卡合切口11d之后，进行用于形成峰部11c和谷部11b的冲压成型，形成背部箔片11a。
在这样的构成的基础上，如图4A和图6A所示，背部箔片11a的卡合切口11d卡合于轴承壳体12的卡合凸部33a(卡止部件30的卡合臂33)。
这样，背部箔片11a的卡合切口11d卡合于在卡合臂33的上侧延伸出的卡合凸部33a，在该状态下，在轴承壳体12的内周面上，配置有三个背部箔片11a。因此，卡止部件30，尤其是其联接部34被背部箔片11a压住，由此防止从轴承壳体12脱落。
如图2A所示，中间箔10配置于由三个背部箔片11a构成的背部箔11与顶部箔9之间。中间箔10在本实施方式中具有沿着轴承壳体12的周向配置的三个中间箔片10a而构成。中间箔片10a如图5B、5C所示，其展开形状以大致矩形状形成。使中间箔片10a分别以既定曲率弯曲，从而由三个中间箔片10a形成大致圆筒状，由此，中间箔片10a分别形成为侧面视图呈圆弧状。另外，在其一方的短边侧的两端部(轴向上的两端部)，分别形成有由双点划线表示的突出片，这些突出片以大致直角弯折，由此形成卡合突片10b。
这样地形成的卡合突片10b，如图2A、图5A、图6A所示，分别穿过形成于三个背部箔片11a之间的间隙而卡合于轴承壳体12的第2卡合凹部35。由此，中间箔片10a如作为图2A的C-C线向视截面图的图5D所示，分别以覆盖背部箔片11a的状态保持于轴承壳体12。这样地保持于轴承壳体12的中间箔片10a，尤其是形成于其两侧的卡合突片10b以夹持轴承壳体12的两侧面的方式卡合于第2卡合凹部35。因此，即使在由于旋转轴1的轴偏移等导致的难以预料的外力施加于径向箔轴承3时，也防止中间箔片10a在轴承壳体12内旋转。而且，由于在轴承壳体12内向轴向移动受到限制，因而防止从轴承3脱落。
如图2A所示，顶部箔9沿着由三个中间箔片10a构成的中间箔10的内表面卷成圆筒状而形成。顶部箔9配设为，形成于一端部侧(周向上的一端部)的凸部21a和形成于另一端部侧的凸部21b分别卡合在形成于轴承壳体12的通槽13中的卡合槽20。该顶部箔9，如作为其展开图的图7A所示，以轴承周向作为长边且以轴承长度方向作为短边的矩形状的金属箔沿作为其侧面图的图7B中的箭头方向(长边的长度方向：轴承周向)卷成圆筒状而形成。
在该顶部箔9，如图7A所示，在一边侧(短边侧)，形成有具有一个凸部21a和两个凹部22a而构成的第1凹凸部23a，在与前述一边(短边)相反的另一边侧(短边侧)，形成有具有两个凸部21b和一个凹部22b而构成的第2凹凸部23b。第2凹凸部23b的凹部22b与第1凹凸部23a的凸部21a相对应地形成，第1凹凸部23a的凹部22a与第2凹凸部23b的凸部21b相对应地形成。
即，第2凹凸部23b的凹部22b形成为：在将顶部箔9卷成圆筒状以使第1凹凸部23a与第2凹凸部23b重叠时，凸部21a穿过凹部22b内。同样地，第1凹凸部23a的凹部22a形成为：在将顶部箔9卷成圆筒状时，凸部21b分别穿过凹部22a内。此外，凸部21a、21b，其宽度形成为，与通槽13和通过固定工具16形成的卡合槽20的长度相对应而与其大致一致。
穿过凹部22b、22a的凸部21a、21b如图2A所示分别引出至轴承壳体12侧，使其顶端部卡合于轴承壳体12的卡合槽20。在本实施方式中，如作为图2A的主要部分放大图的图8所示，凸部21a、21b，在其顶端部分别进入并卡合于通槽13中的卡合槽20内之后，进一步进入卡止凹部15内并卡止于此。由此，顶部箔9配设成：其向周向的移动被限制，其移动量变得微小。
即，凸部21a、21b配设成以下程度：其顶端不与卡止凹部15的内表面强力地碰撞，顶端部侧面与卡止凹部15的内表面相接。因此，在旋转轴1的稳定运转时，凸部21a、21b未从卡止凹部15或卡合槽20受到大的反力，因而防止在顶部箔9产生的应变。另外，即使在由于旋转轴1的轴偏移等导致的难以预料的外力施加于径向箔轴承3时，也防止顶部箔9在轴承壳体12内旋转，并且防止从轴承壳体12与旋转轴1之间脱落。
即，在施加难以预料的外力时，凸部21a、21b强力地卡止于卡止凹部15的内表面，由此，防止这些凸部21a、21b从卡止凹部15脱落且进一步还从卡合槽20脱落。因此，防止顶部箔9旋转或过度地变形而使凸部21a、21b从凹部22b、22a拔出，防止顶部箔9从轴承壳体12脱落。
另外，凸部21a、21b被划分卡合槽20的固定工具16的隔壁片19限制向轴向的移动。即，凸部21a，其两侧受隔壁片19限制，由此，形成凸部21a的第1凹凸部23a向轴向的移动受限制。另外，两个凸部21b，其内侧部分分别受隔壁片19限制，而且，还沿互相相反的方向受限制，由此，形成这两个凸部21b的第2凹凸部23b向轴向的移动受限制。这样，顶部箔9向轴承壳体12的轴向的移动受限制，因而防止从轴承壳体12向外跳出。
另外，顶部箔9如图7B所示，在形成第1凹凸部23a的一侧(一边侧)和形成第2凹凸部23b的一侧(另一边侧)，形成有与它们之间的中央部相比厚度薄(薄壁)的薄壁部24。这些薄壁部24如图2A所示，以其外周面(轴承壳体12侧的面)成为比前述中央部的外周面更凹陷的状态的方式，薄厚度化(薄壁化)而形成。
为了形成薄壁部24，通过例如蚀刻加工而将顶部箔9的两端部以10μm单位控制而形成为期望的厚度(薄度)。具体而言，在设为轴承直径φ35mm的情况下，如果将顶部箔9的厚度设为100μm，则薄壁部24的厚度成为80μm左右。此外，在这样的蚀刻加工中，与弯曲加工等相比，在顶部箔9产生的应力极小，因此，顶部箔9中也几乎不产生应变。
另外，图7B所示的薄壁部24的周向的长度L如图2A所示成为与对应到通槽13和背部箔11(波箔)的端部的一个峰部程度的长度。
通过这样地在顶部箔9的两端部形成薄壁部24，这两端部(薄壁部24)容易弹性变形，因此，这两端部仿效构成轴承壳体12的内周面的曲面而成为曲面。由此，顶部箔9在其两端部也几乎不产生将旋转轴1紧固的力(局部的预加载荷)。
另外，由于使顶部箔9的两端部的外周面以成为比中央部的外周面更凹陷的状态的方式薄厚度化而形成薄壁部24，因而在与经由中间箔10而支撑其外周面侧的背部箔11之间，在与其端部的一个峰部之间，形成有间隙。由此，在薄壁部24，可靠地防止产生将旋转轴1紧固的力(局部的预加载荷)。此外，关于薄壁部24的周向的长度L，也可以代替图2A所示的示例，作为对应到通槽13和背部箔11的端部的三个峰部程度的长度。
接着，说明由这样的构成组成的径向箔轴承3的作用。
在旋转轴1停止的状态下，顶部箔9经由中间箔10(三个中间箔片10a)而由背部箔11(三个背部箔片11a)向旋转轴1侧施力，由此，紧贴于旋转轴1。此外，在本实施方式中，由于顶部箔9的两端部成为薄壁部24，因而在这些薄壁部24中，几乎不产生将旋转轴1紧固的力(局部的预加载荷)。
如果使旋转轴1沿图2A中的箭头P方向起动，则最初以低速开始旋转，随后徐徐地加速而以高速旋转。于是，如图2A中箭头Q所示，周围的流体从顶部箔9、中间箔10、背部箔11的各自的一端侧引入，流入顶部箔9与旋转轴1之间。由此，在顶部箔9与旋转轴1之间，形成流体润滑膜。
该流体润滑膜的膜压作用于顶部箔9，经由与顶部箔9相接的中间箔10而按压背部箔片11a的各个峰部11c。于是，背部箔片11a由中间箔10按压，从而其峰部11c被按压扩张，由此，背部箔片11a在轴承壳体12上沿其周向运动。即，背部箔片11a(背部箔11)经由中间箔10弹性地支撑顶部箔9，因而在从顶部箔9受到载荷时沿其周向变形，由此，容许顶部箔9和中间箔10的挠曲并支撑它们。
可是，如图4A、B所示，在背部箔片11a，在设于其侧缘部的卡合切口11d卡合有卡止部件30的卡合凸部33a，由此，防止背部箔片11a在轴承壳体12的内周面上沿周向转动。因此，虽然背部箔片11a的各个峰部11c以卡合凸部33a所卡合的卡合切口11d作为固定点(固定端)而沿周向变形(运动)，但是背部箔片11a本身的中心部不从固定位置偏离。
另外，在背部箔片11a沿周向变形(运动)时，受到与轴承壳体12或中间箔10之间的摩擦的影响，因而虽然在其两端部即自由端侧容易变形(容易运动)，但是在前述固定点(固定端)侧难以变形。因此，在自由端侧和固定端侧，背部箔片11a的支撑刚性有时候产生差异。
可是，在本实施方式中，由三个背部箔片11a构成背部箔11，因而与由单个箔形成背部箔11的情况相比，固定端与自由端之间的距离变短。因而，前述支撑刚性之差变小。而且，由于将卡合切口11d形成于背部箔片11a的周向中央部，以卡合凸部33a导致的固定点作为背部箔片11a的周向中央部，因而固定端与自由端之间的距离更短，因此，自由端侧与固定端侧之间的支撑刚性之差变得更小。
另外，在旋转轴1以高速旋转时，卡合凸部33a还约束背部箔片11a向轴向的运动，因而即使在冲击等难以预料地起作用的情况下，也能够防止背部箔片11a从轴承壳体12脱落。
同样地，中间箔片10a，其卡合突片10b卡合于形成在轴承壳体12的两侧面的第2卡合凹部35。因此，即使在冲击等难以预料地起作用的情况下，也防止中间箔片10a在轴承壳体12内旋转或在轴承壳体12内向轴向移动。另外，对于径向，由顶部箔9覆盖，因而顶部箔9作为防脱件而起作用，从而防止中间箔片10a从轴承3脱落。
另外，在直到形成流体润滑膜为止的过渡状态下，在旋转轴1与顶部箔9之间产生固体摩擦，这成为起动时的阻力。可是，如前所述，在顶部箔9的两端部不产生预加载荷，周围流体流入的一侧的顶部箔9成为薄壁部24而变软，顶部箔9与旋转轴1之间容易开口，由此，如果旋转轴1起动，则在短时间内形成流体润滑膜，旋转轴1相对于顶部箔9而以非接触状态旋转。
在这样的径向箔轴承3中，在顶部箔9与背部箔11之间配设中间箔10，因而当旋转轴1在旋转时引起轴振动(自激振动)时，与此相伴的膜压变动从顶部箔9经由中间箔10(中间箔片10a)向背部箔11(背部箔片11a)传递。此时，在顶部箔9中由于载荷变动而引起微小的挠曲(根据载荷而变动)，由此，在顶部箔9与中间箔10之间，进一步在中间箔10与背部箔11之间，发生“滑行”。该“滑行”引起摩擦所导致的能量散失，使膜压变动衰减。即，得到衰减效果。因此，能够通过该衰减效果而抑制前述的轴振动(自激振动)，容易平息该轴振动。
另外，由于由沿着轴承壳体12的周向配置的三个(多个)中间箔片10a构成中间箔10，因而与单个中间箔遍及轴承壳体12的整周配置的情况相比，难以约束与背部箔11之间或与顶部箔9之间的“滑行”，摩擦导致的约束部位减少。因此，在各中间箔片10a与背部箔11或顶部箔9之间容易发生滑行，能够提高通过滑行产生的摩擦所导致的衰减效果。
另外，由于使形成于中间箔片10a的卡合突片10b卡合于形成在轴承壳体12的两侧面的第2卡合凹部35，因而不对各中间箔片10a进行点焊或大的弯曲加工，就能够将由中间箔片10a构成的中间箔10容纳、固定于轴承壳体12内。因此，能够防止由于中间箔10的点焊或中间箔10的应变的影响而在顶部箔9产生应变，能够充分地减少顶部箔9的应变。由于这样充分地减少顶部箔9的应变，因而关于轴承的负荷能力和动态特性(刚性和衰减性能)，能够得到像设计那样的良好性能。
另外，由于不需要中间箔10或背部箔11的焊接，因而能够消除焊接不良导致的组装不良和组装的偏差，能够使制造容易而提高组装再现性。由此，能够谋求成本的降低化。而且，在中间箔片10a或背部箔片11a破损或消耗时，不更换中间箔10整体或背部箔11整体，仅更换破损或消耗的零件(中间箔片10a或背部箔片11a)即可。
另外，由于背部箔11由沿着轴承壳体12的周向配置的多个背部箔片11a构成，因而背部箔片11a中的固定端与自由端之间的距离变短，自由端侧与固定端侧之间的支撑刚性之差变小。因此，能够减少背部箔11整体的支撑刚性的偏差。
另外，由于将背部箔片11a的卡合切口11d形成于背部箔片11a的周向中央部，因而各背部箔片11a中的自由端侧与固定端侧之间的支撑刚性之差进一步变小。因此，能够进一步减少背部箔11整体的支撑刚性的偏差。
另外，由于这样由多个背部箔片11a构成背部箔11，因而使中间箔片10a的卡合突片10b通过形成于这些背部箔片11a之间的间隙，由此，能够容易地将卡合突片10b卡合于第2卡合凹部35。
另外，使分别形成于轴承壳体12的内周面的两侧端部的卡合凸部33a卡合于分别形成于背部箔片11a的两侧缘部的卡合切口11d，由此，将背部箔片11a固定于轴承壳体12。因此，不对背部箔片11a进行点焊或弯曲加工，就能够将背部箔片11a容纳、固定于轴承壳体12内。因此，防止由于背部箔11(背部箔片11a)的点焊或背部箔11的应变的影响而在顶部箔9产生应变，能够充分地减少顶部箔9的应变。
另外，由于将通槽13沿着轴承壳体12的轴向从一端至另一端连续地形成，因而能够通过放电线切割加工而容易地形成通槽13，因此，能够将其加工成本抑制得较低。
另外，即使成为在顶部箔9与轴承壳体12之间产生轴向的偏离的状态，由于卡合在将通槽13沿长度方向分割而形成的卡合槽20的凸部21a、21b受卡合槽20的端部(隔壁片19)限制而使其移动停止，因而也能够防止这样的偏离。
另外，由于在通槽13的内侧面形成有卡止凹部15，使顶部箔9的凸部21a、21b的顶端部卡止于卡止凹部15，因而能够容易地进行凸部21a、21b的定位及其卡止，能够进一步提高顶部箔9的组装再现性。
另外，关于与顶部箔9有关的制造工序，只是仅仅增加蚀刻加工导致的凹凸部23a、23b的形成，能够消除现有的点焊或产生应变的弯曲加工。因此，能够使制作的难易度下降，使制造成本降低化。
另外，由于没有顶部箔9相对于轴承壳体12的焊接，因而不存在焊接不良等导致的组装不良或组装的偏差。因此，再现性变高，量产性优异。
另外，由于在顶部箔9的两端部形成薄壁部24，因而在顶部箔9，在这两端部都不产生将旋转轴1紧固的力(局部的预加载荷)。因此，能够防止由于预加载荷而起动转矩变高或运转中的发热变高至设定以上。
另外，由于在顶部箔9的两端部形成薄壁部24，因而不需要例如用于像现有技术那样使顶部箔的两端部适合于轴承壳体的内曲面(内周面)的热处理工序。
而且，通过在顶部箔9的两端部形成薄壁部24，从而周围流体流入的一侧的顶部箔9的端部侧变软，因而如前所述，周围流体容易流入顶部箔9与旋转轴1之间。因此，以更低的转速形成流体润滑膜，因而起动性提高。
“第2实施方式”
接着，说明本发明的径向箔轴承的第2实施方式。图9A、9B、10A、10B是示出适用于图1所示的涡轮机械的径向箔轴承的第2实施方式的图。图9A中的符号40是径向箔轴承。
该径向箔轴承40，在由六个中间箔片41a构成中间箔41这点和使中间箔片41a的卡合突片41b的卡合部位卡合于使卡止部件30的卡合臂33卡合的第1卡合凹部31这点，与图2A所示的径向箔轴承3不同。
在本实施方式中，在轴承壳体42中未形成第2卡合凹部35，仅形成作为本发明中的卡合凹部而起作用的第1卡合凹部31。此外，用于使顶部箔9的凸部21a、21b卡合的通槽13和卡止槽14、进而固定工具16等的构成与第1实施方式相同。
构成中间箔41的中间箔片41a具有与图5B、5C所示的第1实施方式的中间箔片10a大致相同的构成。此外，中间箔片41a，在沿着轴承壳体42的周向的长度如图9A所示形成为背部箔片11a的大致一半的长度这点，与中间箔片10a不同。即，本实施方式的中间箔片41a，也与图5B、5C所示的构成同样地，展开形状以大致矩形状形成。另外，使中间箔片41a以由六个中间箔片41a形成大致圆筒状的方式分别以既定曲率弯曲，由此，以具有一对卡合突片41b的侧面视图圆弧状形成。
这些中间箔片41a，在本实施方式中，其卡合突片41b如图9B所示通过背部箔片11a的卡合切口11d而卡合于第1卡合凹部31。即，在轴承壳体42的周向上相邻的一对中间箔片41a彼此如图10A所示配置成彼此的卡合突片41b对置。使这些卡合突片41b分别通过卡合切口11d而卡合于第1卡合凹部31。此时，使这一对卡合突片41b如图9B所示卡合于卡止在第1卡合凹部31的卡止部件30的卡合臂33的两侧(周向上的两侧)，即卡合臂33的侧面与形成有第1卡合凹部31的内侧面之间。
在本实施方式中，如图10A所示，用于使卡止部件30卡止的槽32和用于使卡合臂33卡合的第1卡合凹部31，各自的宽度(轴承壳体42的周向上的宽度)不同而形成。即，如果将卡止部件30的厚度(周向上的厚度，卡合臂33和联接部34处的厚度)设为a，将中间箔片41a的厚度(板厚，卡合突片41b的厚度)设为b，则槽32的宽度为a，与此相对的是，轴承壳体42的第1卡合凹部31的宽度成为(a＋2b)以上。另外，背部箔片11a的卡合切口11d的宽度成为大致(a＋2b)。由此，如作为图9A的D-D线向视截面图的图10B所示，卡止部件30的联接部34卡合于槽32。另外，卡止部件30的卡合臂33(卡合凸部33a)和一对卡合突片41b同时卡合于卡合切口11d。而且，卡止部件30的卡合臂33和一对卡合突片41b同时卡合于第1卡合凹部31。
此外，关于前述各尺寸能够适当变更，也可以是例如，关于卡合臂33的厚度，通过蚀刻加工来使壁减薄而成为(a-2b)，使第1卡合凹部31的宽度成为比a稍宽的(a+α)，使卡合切口11d的宽度成为a。
在这样的径向箔轴承40中，除了通过第1实施方式的径向箔轴承3而得到的效果之外，由于不需要第2卡合凹部35的加工，因而能够使轴承壳体42的加工更容易。
另外，由于不是由三个而是由六个中间箔片41a构成中间箔41，因而前述的摩擦所导致的约束部位进一步减少，更容易在各中间箔片41a与背部箔11或顶部箔9之间发生滑行，能够进一步提高摩擦所导致的衰减效果。
另外，能够由中间箔片41a将背部箔片11a固定于轴承壳体42。
“第3实施方式”
接着，说明本发明的径向箔轴承的第3实施方式。图11A、11B、12A、12B是示出适用于图1所示的涡轮机械的径向箔轴承的第3实施方式的图。图11A中的符号50是径向箔轴承。该径向箔轴承50，在未设置卡止部件30而是通过中间箔片41a将背部箔片11a固定于轴承壳体51这点，与图9A所示的径向箔轴承40不同。
即，在本实施方式中，在轴承壳体51，未形成第1实施方式和第2实施方式所示的用于使卡止部件30卡止的槽32，仅形成有第1卡合凹部31。中间箔片41a，其卡合突片41b如图11B所示通过背部箔片11a的卡合切口11d而卡合于第1卡合凹部31。在轴承壳体42的周向上相邻的一对中间箔片41a彼此如图12A所示将彼此的卡合突片41b对置地配置，使这些卡合突片41b分别通过卡合切口11d卡合于第1卡合凹部31。此时，在本实施方式中，由于未设置卡止部件30，因而如图11B所示，仅使一对卡合突片41b卡合于第1卡合凹部31。
因此，在本实施方式中，如图12A所示，第1卡合凹部31与第2实施方式所示的第1卡合凹部31相比，其宽度(沿着轴承壳体51的周向的宽度)更窄地形成。具体而言，成为中间箔片41a的卡合突片41b的厚度b的2倍左右的宽度。另外，背部箔片11a的卡合切口11d的宽度也优选成为卡合突片41b的厚度b的2倍左右的宽度。此外，由于卡合突片41b的厚度b通常为0.1mm以下而非常薄，因而第1卡合凹部31的宽度也有必要成为0.2mm以下。可是，在现状下难以进行这样的狭窄宽度的加工，有时候由于使用例如激光加工而成本变高。因此，在本实施方式中，优选地如图13所示，使多个(在图13中为2层)中间箔片41a重叠而多层化并使用。如果这样地多层化，则相应地也使卡合突片41b由于多层化而变厚，能够扩宽第1卡合凹部31的宽度。因此，第1卡合凹部31的加工变得容易，相应地，能够将成本抑制得较低。
在这样的径向箔轴承40中，除了通过第2实施方式的径向箔轴承3而得到的效果之外，不需要卡止部件30而减少零件件数和组装工时，而且也不需要槽32的加工，由此，得到能够大幅地降低成本这一效果。
此外，本发明不限定于前述实施方式，仅受所附权利要求书限定。在上述的实施方式中示出的各构成部件的各形状或组合等是一个示例，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够基于设计要求等而进行构成的附加、省略、置换及其他的变更。
例如，在前述第1实施方式或第2实施方式中，仅使用一块(一层)由中间箔片构成的中间箔，但也可以如图13所示使多块中间箔(中间箔片)重叠而多层化。通过这样使中间箔多层化而配置于背部箔与顶部箔之间，从而对通过由于在顶部箔与中间箔之间或中间箔与背部箔之间互相滑行而产生的摩擦所得到的衰减效果，添加了通过中间箔之间的滑行所导致的摩擦来得到的衰减效果。因此，能够抑制旋转轴的轴振动(自激振动)而更容易平息该轴振动。
在提高径向箔轴承的衰减能力中，如前所述，中间箔的多层化是有效的。可是，在现有技术中，将中间箔点焊于轴承壳体，因而有必要将中间箔的厚度调整为不因该焊接而烧穿的程度，因此，成为与顶部箔相同程度的厚度。因此，如果使多块这样厚度的中间箔重叠而多层化，则轴承面的刚性(将顶部箔和中间箔相合的刚性)过高，有时候轴承面未适当地追随由于轴振动引起的流体润滑膜的膜压变动。结果，存在难以得到箔间的“滑行”所导致的衰减效果的可能性。
与此相对的是，在前述实施方式中，由于不是将中间箔焊接于轴承壳体，而是通过使其卡合突片卡合于卡合凹部而固定于背部箔与顶部箔之间，因而能够将中间箔形成为相对于顶部箔而充分地薄的厚度。因此，能够将轴承面的刚性抑制为适当的高度(强度)，同时使其多层化成为可能。
另外，在前述第1实施方式、第2实施方式中，由卡止部件30的卡合臂33形成卡合于背部箔片11a的卡合切口11d的卡合凸部33a。与此相对的是，也可以在轴承壳体12的内周面直接形成卡合凸部33a。在该情况下，尤其是在第2实施方式中，在直接形成于轴承壳体12的内周面的卡合凸部33a的两侧(周向上的两侧)，分别形成用于使中间箔片41a的卡合突片41b卡合的槽状的卡合凹部即可。
另外，在前述实施方式中，通过将固定工具16嵌入通槽13而形成使顶部箔9的凸部21a、21b卡合的卡合槽20，但也可以将这样的使凸部21a、21b卡合的卡合槽直接形成于轴承壳体12，以代替通槽13。
另外，在前述实施方式中，将轴承壳体以圆筒状形成，但也可以在一方的侧面或两方的侧面一体地形成环状的凸缘，将整体以大致圆筒状形成。通过形成凸缘，从而能够使向涡轮机械的壳体等的安装变容易。
产业上的可利用性
本发明能够适用于包围并支撑旋转轴的径向箔轴承。
符号说明
1　旋转轴
3、40、50　径向箔轴承
9　顶部箔
10、41　中间箔
10a、41a　中间箔片
10b、41b　卡合突片
11　背部箔
11a　背部箔片
11d　卡合切口
12、42、51　轴承壳体
13　通槽
14　卡止槽
15　卡止凹部
16　固定工具
17　基部
18　弯折片
19　隔壁片
20　卡合槽
30　卡止部件
31　第1卡合凹部(卡合凹部)
32　槽
33　卡合臂
33a　卡合凸部
34　联接部
35　第2卡合凹部(卡合凹部)。