放电加工装置和放电加工方法 本发明涉及一种主要根据电极位置信息使得加工稳定、优化的放电加工装置和放电加工方法。
刻模放电加工，一般是图6所示、粗加工到精加工分阶段，一面改变峰值电流、脉冲宽度等加工条件和电极位置，一面加工获得所需形状的多阶段放电加工。其原因是放电加工中精加工至所需表面光洁度时，若从一开始就按其精加工条件加工，由于电能较小，因而加工非常花时间。因此，就可以获得较高加工效率的加工方法而言，一般进行多阶段放电加工，先将加工表面光洁度较差、但按电能较大因而加工速度较快的粗加工条件加工的大部分除去，然后慢慢切换为电能较小的加工条件，同时一点一点加深加工深度，从而得到所需的表面光洁度。最近，一般还有一种加工方法，从多阶段加工中某一阶段切换为向电极与待加工物形成的加工间隙供给常规油加工液中混有金属、半金属粉末物质的粉末混入加工液进行加工的粉末混入放电加工，将加工表面精加工为镜面。
这种粉末混入放电加工采用以下方法，在精加工中，除了可精加工成加工面积达500cm2且表面光洁度达1-2μmRmax的镜面以外，还具有加工速度比以往快数倍等非常优异的加工特性，但粗加工中由于基于常规油加工液的加工特性没有变化，因而考虑到粉末寿命和加工液的过滤，便从第一阶段至加工表面光洁度为10-20μmRmax这种加工阶段用通常加工液进行加工，进入后续加工阶段，再将加工液切换为粉末混入加工液进行加工。
接下来用图7说明现有的粉末混入放电加工装置。图7中，1为电极，2为待加工物，3为加工槽，4为控制装置，5为通过控制装置4接收指令、向电极1和待加工物2形成的加工间隙提供放电脉冲的加工电源，6为对加工间隙发生的放电电压加以平均的平均电路，7为对于平均电路6所平均的放电电压设定基准电压的基准电压设定装置，8为由控制装置4控制其驱动的伺服电动机，9为固定电极1、通过滚珠丝杠10由伺服电动机8在Z轴方向驱动的滑动器，11为检测电极1位置的线性标尺，12为贮存常规油加工液14的加工液容具，13为贮存混有粉末物质15的粉末混入加工液的加工液容具，17、18为汲取加工液容具12、13贮存地加工液提供给加工槽3的泵，它也由控制装置4控制其驱动。而且，19、20、21、22是根据控制装置4的指令对其进行开闭的控制阀。
接下来说明动作。分阶段边改变加工条件和各加工条件下电极位置边进行加工直到为所需表面光洁度和形状的时候，首先由泵17汲取加工液容具12内的常规油加工液14，通过控制阀20送至加工槽3。接着，向加工槽3内供给足够的常规油加工液14后，控制装置4向加工电源5发出指令，加工电源5切换为第一阶段加工条件，向电极1与待加工物2形成的加工间隙供给放电脉冲，开始放电加工。此时，控制装置4给伺服电动机8指令，使电极1与待加工物2相对沿Z向输送。接下来，线性标尺11检测出电极1到达第一阶段规定加工深度Z1位置的话，控制装置4便给加工电源5指令，切换为第二阶段加工条件，一直加工到第二阶段规定的加工深度Z2。接着重复这一系列动作直到最终的第n阶段。
这里说明电极1与待加工物2形成的加工间隙长的控制方法。由加工电源5在加工间隙上加脉冲状电压的话，如图8(a)所示，在发生放电之前的延迟时间To内呈现开路电压Vo，此后发生放电，在脉冲宽度Ton内呈现放电电压Vg。接下来，在中止时间Toff后加下一脉冲状电压。但加工间隙长比合适距离短的话，如图8(b)所示，因直接发生放电而没有开路电压Vo的时间To，始终呈现放电电压Vg，持续这样加工时便演变为电弧状态，会对电极和工件造成损伤。而加工间隙长比合适距离长的话，如图8(c)所示，因难以发生放电致使开路电压Vo的时间To非常长，单位时间平均放电次数减少，因而加工效率大幅下降。因而，要防止加工间隙长发生变化，得通过测定平均放电电压，将它与基准电压比较，来控制加工间隙长。也就是说，加工间隙呈现的放电电压经平均电路平均后的值Vave根据图8(a)可近似为下式。
Vave＝(Vo·To+Vg·Ton)/(To+Ton+Toff) (1)
接着，预先在基准电压设定装置7中将加工间隙长为合适距离时的Vave设定为基准电压Vref，加工间隙长比合适距离长的时候，因放电延迟时间To较大，因而根据式(1)Vave值比基准电压Vref大，检测出这种情况，由控制装置4向伺服电动机8发出指令，控制使得电极1接近待加工物2。反之，加工间隙长比合适距离近的时候，放电延迟时间To较小，因而根据式(1)Vave值比基准电压Vref小，检测出这种情况，由控制装置4向伺服电动机8发出指令，控制使得电极1与待加工物2拉开距离。放电加工中往往在数μm至数十μm范围内进行这类加工间隙长控制。
接下来说明从第k阶段开始进行粉末混入放电加工的情形。第k-1阶段加工结束时，一旦加工中断，将加工槽3内的通常加工液14通过控制阀19排至加工液容具12，排出结束时通过泵18汲取加工液容具13内的粉末混入加工液16，通过控制阀22送至加工槽3，向加工槽3供给了足够的粉末混入加工液时，控制装置4向加工电源5发送指令，切换为第k阶段加工条件开始放电加工，同时向伺服电动机8发送指令，使电极1进给至加工深度Zk，电极1达到加工深度Zk时结束第k阶段粉末混入放电加工。
就根据加工间隙内的加工状态控制加工条件的方法而言，还有如特开平4-63623揭示的那种方法。
根据我们的研究知道，粉末混入放电加工一大特征即加工表面的镜面性受加工液中粉末混入浓度很大影响，一般的粉末混入放电加工是将粉末混入浓度设定为20-30(g/l)来进行稳定镜面加工的，但粉末混入浓度不足10(g/l)的话，加工表面光洁度就变差，加工表面达不到镜面要求。
但用到粉末混入加工液时，油加工液中混有的金属、或半金属粉末物质的比重比油加工液大，因而即便搅拌加工液，粉末物质仍然会沉淀于因搅拌产生的加工液流体沉积部分。因此，随着粉末混入放电加工时间变长，粉末混入加工液16中粉末物质15的浓度减少，电极1与待加工物2形成的加工间隙中的粉末混入浓度变小，粉末混入浓度为10(g/l)以下的话，就得不到所要的镜面。
而且，粉末混入放电加工中沉淀的粉末物质15，下一次油加工时，因将常规油加工液14送至加工槽3，因而粉末物质15与油加工液14混合，会携带至加工液容具12。因此，粉末混入加工液容具13内的粉末混入浓度减小，粉末混入浓度低于10(g/l)的话，就得不到所要镜面。
而且，电极1形状复杂或加工深度较深时，未将粉末物质15充分供给电极1与待加工物2形成的加工间隙，加工间隙的粉末混入浓度低于10(g/l)，就得不到所要的镜面。
特开平4-63623揭示的方法是加工液在油加工时控制使得加工状态稳定的方法，无法对粉末混入浓度的下降所产生的加工状态加以判定。
本发明正是要解决这类问题，其目的在于，防止加工表面因加工间隙粉末混入浓度减小引起的镜面特性变差，以获得所需镜面(表面光洁度)。
本发明的放电加工装置，是一种电极与待加工物形成的加工间隙充满混有粉末物质的加工液，加脉冲电压进行加工的放电加工装置，其中包括：进行多阶段加工时，检测各阶段加工起始位置的加工起始位置检测装置；检测各阶段加工结束位置的加工结束位置检测装置；对该加工结束位置检测装置检测出的前一阶段加工结束位置与所述加工起始位置检测装置检测出的下一阶段加工起始位置进行比较的加工位置比较装置；根据该加工位置比较装置得到的比较结果改变加工条件的加工条件变更装置。
而且，当所述加工起始位置检测装置检测出的下一阶段加工起始位置与所述加工结束位置检测装置检测出的前一阶段加工结束位置之差低于规定数值时，所述加工位置比较装置判断所述粉末物质在加工液中的浓度较小。
而且，还包括当所述加工位置比较装置判断为所述粉末物质在加工液中的浓度较小时，向所述加工液中供给所述粉末物质的粉末供给装置。
本发明的放电加工装置，是一种电极与待加工物形成的加工间隙充满混有粉末物质的加工液，加脉冲电压进行加工的放电加工装置，其中包括：每隔规定时间检测用于加工的有效放电脉冲数的有效放电脉冲数检测装置；设定各放电加工条件下每一放电脉冲平均加工量的加工量设定装置；设定各放电加工条件下加工面积的面积设定装置；根据所述有效放电脉冲数检测装置检测出的有效放电脉冲数、所述加工量设定装置设定的每一放电脉冲平均加工量和所述面积设定装置设定的加工面积运算所述电极在规定时间内预定进给量的电极进给量运算装置；每隔规定时间检测所述电极在加工中实际进给量的电极进给量检测装置；对所述电极进给量运算装置求得的预定进给量与所述电极进给量检测装置检测出的实际电极进给量进行比较的电极进给量比较装置；根据该电极进给量比较装置得到的比较结果改变加工条件的加工条件变更装置。
而且，当所述电极进给量检测装置检测出的电极进给量与所述电极进给量运算装置求得的预定进给量之差超过规定值时，所述电极进给量比较装置判断所述粉末物质在加工液中的浓度较小。
而且，还包括当所述电极进给量比较装置判断为所述粉末物质在加工液中的浓度较小时，向所述加工液中供给粉末物质的粉末供给装置。
所述加工条件变更装置设法改变相对于所述加工间隙发生的放电电压的基准电压。
所述加工条件变更装置设法改变放电中止时间。
所述加工条件变更装置设法改变电极定时提升量。
本发明的放电加工方法，是一种电极与待加工物形成的加工间隙充满混有粉末物质的加工液，加脉冲电压进行加工的放电加工方法，其中包括：进行多阶段加工时，检测各阶段加工起始位置的加工起始位置检测步骤；检测各阶段加工结束位置的加工结束位置检测步骤；对这样检测出的前一阶段加工结束位置与下一阶段加工起始位置进行比较的加工位置比较步骤；根据该加工位置比较步骤得到的比较结果改变加工条件的加工条件变更步骤。
而且，当所述加工起始位置检测步骤检测出的下一阶段加工起始位置与所述加工结束位置检测步骤检测出的前一阶段加工结束位置之差低于规定数值时，所述加工位置比较步骤判断所述粉末物质在加工液中的浓度较小。
而且，还包括当所述加工位置比较步骤判断为所述粉末物质在加工液中的浓度较小时，向所述加工液中供给所述粉末物质的粉末供给步骤。
本发明的放电加工方法，是一种电极与待加工物形成的加工间隙充满混有粉末物质的加工液，加脉冲电压进行加工的放电加工方法，其中包括：每隔规定时间检测用于加工的有效放电脉冲数的有效放电脉冲数检测步骤；设定各放电加工条件下每一放电脉冲平均加工量的加工量设定步骤；设定各放电加工条件下加工面积的面积设定步骤；根据所述有效放电脉冲数检测步骤检测出的有效放电脉冲数、所述加工量设定步骤设定的每一放电脉冲平均加工量和所述面积设定步骤设定的加工面积运算所述电极在规定时间内预定进给量的电极进给量运算步骤；每隔规定时间检测所述电极在加工中实际进给量的电极进给量检测步骤；对所述电极进给量运算步骤求得的预定进给量与所述电极进给量检测步骤检测出的实际电极进给量进行比较的电极进给量比较步骤；根据该电极进给量比较步骤得到的比较结果改变加工条件的加工条件变更步骤。
而且，当所述电极进给量检测步骤检测出的电极进给量与所述电极进给量运算步骤求得的预定进给量之差超过规定值时，所述电极进给量比较步骤判断所述粉末物质在加工液中的浓度较小。
而且，还包括当所述电极进给量比较步骤判断为所述粉末物质在加工液中的浓度较小时，向所述加工液中供给粉末物质的粉末供给步骤。
图1是示意本发明第一实施例的构成图。
图2是粉末混入浓度与加工间隙长关系的示意图。
图3是分阶段加工时电极位置与加工间隙长关系的示意图。
图4是示意本发明第二实施例的构成图。
图5是不同粉末浓度情况下加工时间与电极进给量关系的示意图。
图6是多阶段放电加工方法的简略示意图。
图7是示意现有放电加工装置的构成图。
图8是加工间隙长与放电电压关系的示意图。
实施例1
根据图1至图3，说明本发明第一实施例。图中，与现有例相同标号示出相同或相应部分，省略其说明。
图1是示意本发明第一实施例的构成图。图1中，30为检测各阶段加工起始位置的加工起始位置检测装置，31为检测各阶段加工结束位置的加工结束位置检测装置，32为对加工结束位置检测装置31检测的某一阶段的加工结束位置与加工起始位置检测装置30检测的下一阶段的加工起始位置进行比较的加工位置比较装置，33为根据加工比较装置30的比较结果对加工条件的修改加以控制的加工条件变更装置，34为贮存粉末物质、通过控制阀35的开闭向粉末混入加工液容具13供给粉末物质15的粉末供给装置。
接下来说明动作。如先前所述，沉淀于加工槽3内的粉末物质15与常规油加工液14相混合携带至加工液容具12、或是电极1形状复杂、或是加工深度较深的时候，电极1与电极2形成的加工间隙内的粉末混入浓度低于10(g/l)的话便得不到镜面，不过粉末混入浓度与加工间隙长存在图2所示的关系，粉末混入浓度较小的话，在相同加工条件下，加工间隙长也较小。因此，检测因粉末混入浓度较低造成的加工间隙长的减小，据此进行增加粉末混入浓度这种动作的话，便可以防止加工表面镜面特性变差。
图3示意的是多阶段加工时粉末混入放电加工中电极1位置与加工间隙长的关系。由图2可知，粉末混入浓度20-30(g/l)时的加工间隙长比粉末混入浓度低于10(g/l)时的要大。因此，粉末混入浓度低于10(g/l)时的第k阶段的粉末混入放电加工起始位置，与粉末混入浓度不到20-30(g/l)时的粉末混入放电加工起始位置相比，相对于加工进给方向，处于超前各自加工间隙长差值的位置。也就是说，令第k-1阶段电极加工结束位置为Zk-1、粉末混入浓度10(g/l)时第k阶段粉末混入放电加工起始位置为Za、此时的加工间隙长为Ga、粉末混入浓度20-30(g/l)时第k阶段粉末混入放电加工起始位置为Zb、此时的加工间隙长为Gb的话，则有下式成立。
Zb-Za＝(Zb-Zk-1)-(Za-Zk-1)＝Gb-Ga (2)
而且，式(2)有下式成立
Za-Zk-1＝(Zb-Zk-1)-(Gb-Ga) (3)
因而，Gb-Ga的值由图2可知，Zb-Zk-1的值与加工形状和加工深度无关，为一定值，因而预先求得此值的话，检测第k-1阶段加工结束位置Zk-1与第k阶段粉末混入放电起始位置Z，其差成立如下所示关系的话，
Z-Zk-1≤(Zb-Zk-1)-(Gb-Ga)＝α(α为常数) (4)
便判断粉末混入浓度低于10(g/l)，进行粉末混入浓度增加这种动作便可以防止加工表面镜面特性变差。
因此，加工结束位置检测装置31接收控制装置4输出的第k-1阶段加工结束信号和线性标尺11输出的此时电极位置信号，检测第k-1阶段加工结束时刻的电极位置Zk-1，将该值输出至加工位置比较装置32。加工起始位置检测装置30接收控制装置4输出的进行粉末混入放电加工的第k阶段加工起始信号和线性标尺11输出的此时电极位置信号，检测第k阶段加工起始位置Z，将该值输出至加工位置比较装置32。加工位置比较装置32有Zk-1和Z值输入时，计算Z和Zk-1的差，该差值低于规定数α的时候，也就是说，式(4)所示关系成立时，加工位置比较装置32判断加工间隙粉末混入浓度下降，将信号送至控制阀35和加工条件变更装置33。接收到信号的控制阀35打开规定时间，向加工液容具13供给粉末供给装置34贮存的粉末物质15，使粉末混入加工液16的粉末浓度增大。
加工条件变更装置33接收加工位置比较装置32输出的信号时，向控制装置4输出信号，使得基准电压设定装置7设定的基准电压Vref值加大，控制装置4接收到该信号，就向基准电压设定装置7发出信号，可使基准电压Vref值设定得较大。例如，基准电压设定为40(V)的时候，使基准电压加大10(V)左右。基准电压Vref值较大的话，可控制加工间隙长使得式(1)表示的Vave值较大。要增大Vave值，最好使放电延迟时间To延长，故而控制使得加工间隙长增大，延缓放电发生。因此，加工间隙长增大，粉末物质15容易进入加工间隙，因而加工间隙的粉末混入浓度增加。
加工条件变更装置33接收到加工位置比较装置32输出的信号，就向控制装置4输出信号，使得此时加工条件设定的中止时间Toff延长，控制装置4接收该信号，就向加工电源5发出信号，加工电源5设定为中止时间Toff延长，在加工间隙上加上放电脉冲。例如，中止时间设定为仅4(μs)的话，延长中止时间为其2倍，达8(μs)左右。中止时间Toff延长，式(1)所示的Vave值变小，因而加工间隙长可控制为确保Vave值一定。要确保Vave值一定，最好延长放电延迟时间To，因而，可控制使得加工间隙长加大，延缓放电发生。因此，加工间隙长增大，粉末物质15容易进入加工间隙，因而加工间隙的粉末混入浓度增加。
加工条件变更装置33接收到加工位置比较装置32输出的信号，就向控制装置4输出信号，使得此时的电极定时提升量加大，控制装置4接收该信号，就向伺服电动机8发出信号，伺服电动机8驱动使得电极定时提升量加大。例如，电极定时提升量设定为仅0.5(mm)的话，加大电极定时提升量为其2倍，达1(mm)左右。因此，加工间隙长增大，粉末物质15容易进入加工间隙，因而加工间隙的粉末混入浓度增加。
这样，通过接收加工起始位置比较装置32输出的信号，向加工液中供给粉末物质，或是加大基准电压Vref、中止时间Toff、电极定时提升量来增大加工间隙长，使得粉末物质15容易进入加工间隙的话，就可以增大加工间隙的粉末混入浓度，保证获得所要镜面。
实施例2
图4是示意本发明第二实施例的构成图。图4中，36为每隔规定时间检测用于加工的有效放电脉冲数的有效放电脉冲数检测装置，37为设定加工条件每一放电脉冲平均加工量的加工量设定装置，38为设定加工面积的面积设定装置，39为根据有效放电脉冲数检测装置36检测出的单位时间平均有效放电脉冲数、加工量设定装置37设定的每次放电平均加工量和面积设定装置38设定的加工面积，运算规定时间平均的电极1进给量(预定进给量)的电极进给量运算装置，40为接收线性标尺11输出的信号，检测规定时间平均来说电极1的实际进给量的电极进给量检测装置，41为对电极进给量运算装置39求得的按规定时间平均计算的电极进给量与电极进给量检测装置40检测的按规定时间平均的电极实际进给量进行比较的电极进给量比较装置。
接下来说明动作。加工开始时的粉末混入浓度设定为20-30(g/l)，如先前所述，粉末沉淀于加工液流体淀积部位，加工时间加长的话，粉末物质15便沉淀，加工过程中，粉末混入浓度低于10(g/l)，就得不到镜面。图5示意的是粉末混入放电加工中加工时间与加工进给量的关系。粉末混入浓度恒定为20-30(g/l)时，加工时间与加工进给量之间的关系呈以此时加工条件所确定的加工速度为比例常数的正比关系，不过，加工中粉末混入浓度减少的话，根据图2，相同加工条件下加工间隙长也减少，因而，如图5所示，加工进给量增大加工间隙长减小的那部分。
因而，检测加工中粉末混入浓度下降造成的加工进给量增大的那部分，据此进行使粉末混入浓度增加这种动作的话，就可以防止加工表面镜面特性变差。
放电加工中，电极位于相对待加工物2加工表面距离有此时加工条件所确定的加工间隙长的位置。而且，加工间隙长如先前所述，总是控制为具有适当的距离。因而，第k阶段粉末混入放电加工开始时，按粉末混入浓度20-30(g/l)时的加工间隙长Gb开始加工，粉末混入浓度未下降的话就在维持加工间隙长Gb的状态下进行加工，直到第k阶段加工结束为止。而且，令此时加工条件下每次放电的平均加工量为V，加工面积为S，规定时间平均的有效放电脉冲数为m，待加工物比重为ρ，则此时规定时间平均的电极进给量Lb可近似为
Lb＝m·V/ρ·S (8)
但另规定时间内加工间隙的粉末混入浓度为10(g/l)，此时加工间隙长为Ga的话，加工间隙长的减少量ΔG可由下式表示
ΔG＝Gb-Ga (9)
此时的电极进给量La为随加工进给的量Lb与加工间隙长的减少量ΔG之和。也就是说，
La＝Lb+ΔG (10)
因而，粉末混入浓度下降所造成的加工间隙长的减少量ΔG由式(10)为
ΔG＝La-Lb (11)
式(11)中的ΔG由图2和图5可知，故而检测规定时间中实际的电极进给量L和计算求得的粉末混入浓度未下降时的电极进给量L’，其差成立如式(12)所示关系的话，
L-L’≥La-Lb＝β(β为常数) (12)
便判断粉末混入浓度低于10(g/l)，进行使粉末混入浓度增加这种动作，就可以防止加工表面镜面特性变差。
因此，电极进给量运算装置39根据式(8)，由有效放电脉冲数检测装置36检测出的每隔规定时间用于加工的有效放电脉冲数，加工量设定装置37设定的各加工条件每一放电脉冲的平均加工量，和面积设定装置38设定的各加工条件每一加工面积，求得粉末混入浓度未下降时规定时间内的电极进给量L’，向电极进给量比较装置41输出该值。这里，有效放电脉冲数检测装置36是根据特开平05-293714号公报所揭示的方式，检测放电电压高频成分，对此积分，积分值超过基准值的话，便判断是有效放电脉冲，每隔规定时间对此进行计数这种装置。电极进给量检测装置40接收线性标尺11输出的信号，在规定时间内平均地检测电极1的实际进给量L，向电极进给量比较装置41输出该值。电极进给量比较装置41有L和L’值输入时，计算L与L’的差，该差值超过规定数β时，也就是说，具有式(12)所示关系时，电极进给量比较装置35判断加工间隙粉末混入浓度低于10(g/l)，向控制阀3 5和加工条件变更装置33输出信号。接收到信号的控制阀35打开规定时间，向加工液容具13供给粉末供给装置34贮存的粉末物质15，使粉末混入加工液16的粉末混入浓度增大。
加工条件变更装置33接收到电极进给量比较装置41输出的信号，就向控制装置4输出信号，使得基准电压设定装置7设定的基准电压Vref值变大，控制装置4接收该信号，就向基准电压设定装置7发出信号，设定使得基准电压Vref值变大。例如，基准电压设定为40(V)时，使基准电压加大10(V)左右。基准电压Vref值较大的话，可控制加工间隙长使得式(1)所示的Vave值变大。要使Vave值变大，最好是延长放电延迟时间To，因而控制使得加工间隙长变大，延缓放电发生。因此，加工间隙长增大，粉末物质15容易进入加工间隙，因而加工间隙的粉末混入浓度增加。
加工条件变更装置33接收到电极进给量比较装置41输出的信号，就向控制装置4输出信号，使得此时加工条件设定的中止时间Toff延长，控制装置4接收该信号，就向加工电源5发出信号，加工电源5设定使得中止时间Toff加长，在加工间隙上加上放电脉冲。例如，中止时间设定为4(μs)时，延长中止时间为其2倍，达8(μs)左右。中止时间Toff延长的话，式(1)所示的Vave值变小，因而加工间隙长可控制为确保Vave值不变。要确保Vave值不变，最好是延长放电延迟时间To，因而控制使得加工间隙长变大，延缓放电发生。因此，加工间隙长增大，粉末物质15容易进入加工间隙，因而加工间隙的粉末混入浓度增加。
加工条件变更装置33接收到电极进给量比较装置41输出的信号，就向控制装置4输出信号，使得此时的电极定时提升量加大，控制装置4接收该信号，就向伺服电动机8发出信号，伺服电动机8驱动时加大电极定时提升量。例如，电极定时提升量设定为0.5(mm)时，加大电极定时提升量为其2倍，达1(mm)左右。因此，加工间隙长增大，粉末物质1 5容易进入加工间隙，因而加工间隙的粉末混入浓度增加。
而且，对于第k+1阶段粉末混入放电加工来说，显然也同样。
这样，通过接收电极进给量比较装置41输出的信号，向加工液中供给粉末物质，或是加大基准电压Vref、中止时间Toff、电极定时提升量来增大加工间隙长，使得粉末物质15容易进入加工间隙的话，就可以增大加工间隙的粉末混入浓度，保证获得所要镜面。
本发明如上所述构成，因而具有下述效果。
进行多阶段加工时，通过比较某一阶段加工结束位置与下一阶段加工起始位置，判别加工液中粉末混入浓度大小，判断粉末混入浓度较小时，向加工液中供给粉末物质，因而粉末混入浓度增大，可防止粉末混入浓度减少所造成的加工表面的镜面特性变差，获得所需镜面。
进行多阶段加工时，通过比较某一阶段加工结束位置与下一阶段加工起始位置，判别加工液中粉末混入浓度大小，判断粉末混入浓度较小时，修改加工条件，使加工间隙长增大，因而粉末物质容易进入加工间隙，粉末混入浓度增大，可防止粉末混入浓度减少所造成的加工表面的镜面特性变差，获得所需镜面。
根据每隔规定时间用于加工的有效放电脉冲数、各放电加工条件下每一放电脉冲的平均加工量和各加工条件下的加工面积，运算规定时间内电极的进给量，与每隔规定时间电极在加工中的实际进给量进行比较，判别加工液中粉末混入浓度大小，判断粉末混入浓度较小时，向加工液中供给粉末物质，因而粉末混入浓度增大，可防止粉末混入浓度减少所造成的加工表面的镜面特性变差，获得所需镜面。
根据每隔规定时间用于加工的有效放电脉冲数、各放电加工条件下每一放电脉冲的平均加工量和各加工条件下的加工面积，运算规定时间内电极的进给量，与每隔规定时间电极在加工中的实际进给量进行比较，判别加工液中粉末混入浓度大小，判断粉末物质混入浓度较小时，修改加工条件，使加工间隙长增大，因而粉末物质容易进入加工间隙，粉末混入浓度增大，可防止粉末混入浓度减少所造成的加工表面的镜面特性变差，获得所需镜面。