检查装置及检查方法、液滴喷出装置 及液滴喷出方法、装置及电子仪器 【技术领域】
本发明是关于备有具有可喷出液体状液滴的喷嘴的喷头的液滴喷出装置的检查装置及检查方法，以及液滴喷出装置。
技术背景
以前，作为具有微细图案的装置制造方法，大多使用光刻法，但是，近年来都在关注使用液滴喷出方式的装置制造方法。该技术是将含有功能性材料的液体材料从液滴喷出装置的喷头喷出，将材料配置在基板上形成图案，就可数量少品种多的生产而言是相当有效的。作为液滴喷出装置的液滴喷出方式，已知主要有利用压电体元件的变形喷出液体材料液滴的压电喷射方式，及利用施加热量以急剧产生蒸发喷出液体材料的方式。
虽然喷头具有多个喷嘴，例如，因堵塞等原因，有时一部分喷嘴不能喷出液体。当存在不能喷出液体的喷嘴(非工作喷嘴)时，对基板喷出液滴形成圆点图案时，会产生圆点遗漏。特开平11-78051号公报中，记载了一种技术，对打印机(印刷装置)检测圆点遗漏的方法(非工作喷嘴检测方法)。该技术是根据由墨喷嘴喷出墨滴，通过光传感器检测区，根据光传感器地接受光量的降低，判知是否从墨喷嘴喷出墨滴的技术。
上述现有技术，通过调整每单位时间喷出墨滴的喷出量和喷出间隔，虽然能有效准确地不提高传感器感度就能检测出是否由墨喷嘴喷出墨滴，但是，在设定多个喷出量，短时间喷出间隔时，利用光传感器有时不可能准确地检测出墨滴。
【发明内容】
本发明的目的是鉴于上述情况，提供一种在检查液滴喷出装置是否从喷嘴喷出液滴时，能准确进行检测的，液滴喷出装置的检查装置及检查方法，以及液滴喷出装置。
本发明的第1种形态，是检查从设在喷头的喷嘴喷出液滴的检查装置，包括射出检测光的投光部分，上述检测光被照射的接受光部分，和相对上述检测光的光路，在交叉方向上移动上述喷头的移动装置。上述移动装置，使喷头在上述移动方向上移动，上述喷嘴及规定时间间隔喷出液滴，D：上述检测光的光束直径，d：上述液滴的直径，L：在上述喷头的移动方向上喷嘴的相互间距，H：一个从喷嘴喷出液滴到下一个喷出液滴，上述喷头与该检测装置的相对移动距离，此时，设定应满足如下条件。
D/2+d/2≤L ……(1) 而且
H≤D ……(2)
本发明的第2种形态，是具有多个可喷出液体液滴的喷嘴的喷头的液滴喷出装置的检查方法中，相对于规定的接受光部分照射检测光，以规定时间间隔从上述喷嘴喷出上述液滴，上述液滴通过上述检测光的光路时，检测上述接受光部分的接受光量，根据检测结果，检查上述喷嘴的状况时，设定需满足以下条件。
D/2+d/2≤L而且H≤D
其中，D：上述检测光的光束直径，d：上述液滴的直径，L：在上述喷头的移动方向上，喷嘴相互间的间距，H：1个从喷嘴喷出液滴到下1个喷出液滴，上述喷头移动距离。
另外，本发明的第3种形态，液滴喷出装置包括在可喷出液体液滴的规定方向上，具有多个并列喷嘴的喷头，检查是否从上述喷嘴喷出液滴的检查装置、和根据上述检查装置的检测结果，对上述喷头进行规定处理的控制装置；而上述检查装置包括射出检测光的投光部分、来自投光部分的检测光被照射的接受光部分、和相对于上述检测光的光路，在交叉的方向上以规定速度移动上述喷头的移动装置；上述移动装置在上述移动方向上移动该喷头，上述喷嘴以规定时间间隔喷出液滴，D：上述检测光的光束直径，d：上述液滴的直径，L：在上述喷头的移动方向上，喷嘴相互间的间距，H：一个从喷嘴喷出液滴到下一个喷出液滴，上述喷头的移动距离，这时设定应满足下述条件：
D/2+d/2≤L而且H≤D。
本发明的第4种形态是液滴喷出方法，包括如下工序，即，在可喷出液体液滴的规定方向上，从具有多个并列喷嘴的喷头喷出液滴的工序；检查是否从上述喷嘴喷出液滴的检测工序；和根据上述检查工序的检查结果，对上述喷头进行规定处理的处理工序；其中，上述检查工序是对规定的接受光部分照射检测光，以规定的时间间隔从上述喷嘴喷出液滴，上述液滴通过上述检测光的光路，以检查上述接受光部分的接受光量，并根据检查结果，检查上述喷嘴的喷出状态时，设定需满足以下条件。
D/2+d/2≤L而且H≤D
其中，D：上述检测光的光束直径，d：上述液滴的直径，L：在上述喷头的移动方向上，喷嘴相互间的间距，H：一个从喷嘴喷出液滴直到下一个喷出液滴为止，上述喷头的移动距离。
D/2+d/2≤L而且H≤D
本发明的第5种形态是装置，其至少一部分由上述液滴喷出装置形成。
进而，本发明的第6种形态是电子仪器，其构成要件的至少一部分由上述液滴喷出装置形成。
根据上述各个形态，在满足上述条件的状态下，通过光学检测从喷嘴喷出的液滴，由于在检测光的光路上，只能配置1个从喷嘴喷出的液滴，所以能准确地检查是否从喷嘴正常地喷出液滴。即，图5和图6中示出了未满足上述(1)式条件的情况下，例如，产生的状态是在检测光的光路上配置了从2个喷嘴分别喷出的2个液滴。这样一来，即使从第1喷嘴没有喷出液滴，只是从第2喷嘴喷出液滴的状态下，由于在检测光的光路上存在从第2喷嘴喷出的液滴，所以接受光部分有时会错误地判断成是从第1喷嘴喷出的液滴。进而，即使喷嘴进行正常的喷出动作，由于未满足上述(2)式的条件，。在第1个喷嘴喷出第1个液滴和第2个液滴之间，喷头会过分地通过检测光的光路，仅管正常喷出液滴，仍会产生未检出的不良状态。因此，通过满足上述条件来避免上述不良状态的发生。
另外，在本发明的液滴喷出装置的检查装置中，上述检测光的光束直径比上述接受光部分的计测区域直径大时，上述D最好是上述计测区域的直径。即，检测光的光束直径在接受光部分的计测区域直径以上时，液滴通过检测光的部分光路时，该通过部分是相当于计测区域之外的部分，这时，接受光部分不可能检测出通过的液滴。因此，检测光的光束直径比接受该检测光的接受光部分计测区域直径大时，将直径D取为计测区域的直径。
本发明液滴喷出装置的检查装置中，也备有可再次设定上述D、d、和H中至少1个值的控制装置。
据此，在检查装置未满足上述条件时，可利用控制装置调整上述D、d、H以满足上述条件。
在本发明的液滴喷出装置中，上述喷嘴的数量最好是任意设定。这样可任意形成各种大小，形状的装置图案。例如，利用控制该喷嘴喷出动作的控制装置，可任意设定使用喷嘴的数量。
因此，上述液滴喷出装置，是根据液滴喷出法用于制造装置的装置，所以含有备有喷墨头的喷墨装置。喷墨装置的喷墨头是利用喷墨法可定量喷出液体材料的液滴，例如，是可定量断续滴下每1圆点1-300纳克液体材料的装置。另外，作为液滴喷出装置也可以是分配器装置。
所谓液体状材料(液体)是指具有能从液滴喷出装置的喷头喷嘴喷出粘度的介质。不管是水性的还是油性的，只要具有可以从喷嘴等喷出流动性(粘度)的就足已，即使混入固体物质，作为整体可以是流动体。另外，液体状材料中所含的材料是在熔点以上加热可溶解的，作为微粒子也可以是在溶剂中能搅拌的，除了溶剂外，也可以是添加了染料或颜料及其他功能性材料的。液滴喷出的基质材料，除了指平面基板外，也可以是曲面状的基板。进而，形成图案面的硬度，没有必要是硬的，除了玻璃、塑料和金属外，也可是像薄膜、纸、橡胶等具有挠曲性的表面。
另外，利用液滴喷出装置的喷头向基质材料上喷出液体状材料液滴，制造装置时，上述液体状材料中含有功能性材料。所谓功能性材料，是在形成装置用材料中，通过配置在基质材料(基板)上发挥规定功能的材料。作为功能性材料，例如有，为形成含有彩色滤光器的液晶装置(液晶元件)，形成液晶元件用的材料，为形成有机EL(电致发光)装置(有机EL元件)，形成有机EL元件用的材料，及为形成电流流动配线图案，形成含金属配线图案用的材料等。
【附图说明】
图1是表示本发明具有检查装置的液滴喷出装置一实施形态的简要立体图。
图2是喷头示意图。
图3是喷头示意图。
图4是表示检查装置一实施形态简要立体图。
图5是表示由喷头喷出的液滴，通过检查装置的检测光光路时的形态模式图。
图6是喷嘴喷出液滴后，到喷出下一个液滴，喷头移动距离的模式说明图。
图7是表示检测光的光束直径比接受光部分计测区域尺寸，一例检测动作的模式图。
图8A-图8F是表示作为装置，制造彩色滤光器工序的一实例图。
图9是有机EL装置的侧断面图。
图10是等离子显示的分解立体图。
图11是为说明图案形成方法的流程图。
图12A和12B是表示图案形成方法的一例模式图。
图13A和13B是表示图案形成方法的一例模式图。
图14A和14B是表示图案形成方法的一例模式图。
图15A-15D是微型透镜制造方法的工序说明图。
图16A和16B是图像显示装置的电子源基板模式图。
图17A-17C是图像显示装置的制造工序说明图。
图18A-18C是塔载装置的一例电子仪器示意图。
图中，
1-喷头、4-移动装置、11(11A～11C)-喷嘴、30-检查装置、
31-投光部、32-接受光部、CONT-控制装置、IJ-液滴喷出装置
【具体实施方式】
以下、边参照附图边说明具有本发明检查装置的液滴喷出装置。
图1是具有本发明检查装置的液滴喷出装置一实施形态简要立体图。
图1中，液滴喷出装置IJ包括喷出液体状材料液滴的喷头1、支撑为制造装置的基质材料基板P的台面装置2、与台面装置2相对送入和送出基板P(加载和卸载)的输送装置3、和包括喷头1的喷出动作在内，控制整个液滴喷出装置IJ动作的控制装置CONT。本实施形态中，输送装置3具有机械臂，设在台面装置2的图中X方向上。喷头1，在其喷出面IP上具有多个喷出液体材料液滴的喷嘴11(参照图2)。本实施形态中，喷嘴11，在喷头1的喷出面IP中，至少在X轴方向(规定方向)上并行设置多个。液体状材料装在未图示的盛装容器(罐)内，通过管子从喷头1喷出。液滴喷出装置IJ，由喷头1将液体状材料配置在基板P的表面上，使液体状材料中所含的功能性材料形成膜。喷头1由移动装置4操纵可在XY方向(水平方向)上移动，同时，也能在Z方向(垂直方向)上移动。进而，喷头1可在-X方向(X轴附近的方向)、-Y方向(Y轴附近方向)、和-Z方向(Z轴附近方向)上移动。台面装置2由驱动装置5可在图中XY方向上移动，同时，可在Z方向和-Z方向上移动。利用移动装置4和驱动装置5可使支撑基板P的台面装置2相对于喷头1移动。
在与台面装置2不同的位置，即与利用喷头1制造装置的进行喷出液滴动作位置不同的位置上，设有为清洗喷头1的清洗单元6和压盖喷头的压盖单元7。在本实施形态中，清洗单元6和封堵单元7设在台面装置2的+Y方向上。清洗单元6对喷头1的喷嘴进行清洗。在进行清洗时，首先，确定喷头1相对于清洗单元6的位置，连接清洗单元6和喷头1的喷出面IP。接着，清洗单元6抽吸由该清洗单元6和喷头1的喷出面IP形成空间中的空气。在抽吸上述空间时，抽吸存在于喷头1的喷嘴11中的液体材料，由此，对喷头1和喷嘴11进行清洗。封堵单元7是为防止喷头1的喷出面IP干燥的，在不制造装置而待机时，用盖子盖住喷出面IP。
图2是喷头1的分解立体图，图3是喷头1的部分斜视断面图。如图2所示，喷头1包括带喷嘴11的喷嘴板10，带振动板12的压力室基板13、装嵌这些喷嘴板10和振动板12并支撑的箱体14。如图3所示，喷头1的主要部分结构为由喷嘴板10和振动板12夹持压力室基板13的结构。压力室基板13是由硅单晶基板等构成，在对其进行腐蚀时，具有形成的多个内腔(压力室)16。喷嘴11在喷嘴板10上，当喷嘴板10与压力室基板13贴合时，形成在与内腔16相对应的位置上。
多个内腔16彼此之间由侧壁17分离开。内腔16通过供给口18分别与共通流路的容器15连接。振动板12，例如由热氧化膜等形成。振动板12具有罐口19，由罐口19，通过与上述罐连接的管子供给液体状材料。在振动板12上与内腔16对应的位置上，设有压电体元件20。压电体元件20的结构是由上部电极和下部电极(未图示)夹持PZT元件等压电性陶瓷结晶的结构。压电体元件20随施加电压而变形。
再回到图1，液滴喷出装置IJ具有检查是否从喷头1的喷嘴11喷出液体状材料液滴的检查装置30。检查装置30设在与台面装置2不同的位置上，即，与利用喷头1制造装置进行液滴喷出动作位置不同的位置上，在本实施形态中，设在台面装置2的+X方向上。检查装置30通过检查设在喷头1上的多个喷嘴11是否各喷嘴喷出液体状材料的液滴，以检测出因堵塞等引起不能喷出液滴的喷嘴(不工作喷嘴)。由此，检查装置30，在向基板P上喷出液滴形成圆点图案时，能检查出基板P上是否发生圆点遗漏。
检查装置30具有射出检测光的投光部分31，和由投光部分31射出的检测光被照射的接受光部分32。投光部分31是由射出规定直径激光的激光照射装置构成。而，接受光部分32，例如由光二极管构成。另外，液滴喷出装置IJ具有显示有关该检查装置30的检查结果和检查状态信息的显示装置40。显示装置40，例如由液晶显示屏或CRT等构成。
图4是具有投光部分31和接受光部分32的检查装置30简要立体图。如图4所示，使投光部分31和接受光部分32相对向设置。本实施形态中，投光部分31沿着Y轴方向射出检测光的激光。检测光的光束直径设定为D，从投光部分31射出的检测光直接射向受部分32。喷头1，由移动装置4的驱动。在检测光的光路上方(+Z侧)，相对于检测光的光路方向(Y轴方向)在交叉方向(X轴方向)上，一边以一定的速度移动，一边喷出液滴。并设定成从喷头1的喷嘴11，以定时间间隔喷出液滴，使从喷嘴11喷出的液滴通过检测光的光路。
图5是从喷头1的喷嘴11喷出的液滴，通过检测光光路时的形态模式图。另外，图5所示的喷头，在移动方向的X轴方向上具有3个并列的喷嘴11A、11B、和11C。设在喷头1上的喷嘴11的数目可以任意设定。
如图5所示，喷头1在X轴方向上，一边以一定速度移动一边由各个喷嘴11A-11C喷出液滴。此时，喷嘴11A-11C的并列方向与喷头1的移动方向一致。液滴同时由喷嘴11A-11C喷出。各个喷嘴11A-11C以一定的时间间隔分别喷出液滴。喷出的液滴通过检测光束的光路。液滴通过检测光的光路，通过使液滴配置在该检测光的光路上，接受光部分32接受到的检测光光量，相对于检测光的光路上设有配置液滴状态下的接受光量发生了变化。即，通过检测光的光路上配置液滴，接受光部分32接受的光量，与检测光光路上没有配置液滴时相比，降低了。接受光部分32的接受光结果(接受光信号)输出给控制装置CONT。控制装置CONT，根据由通过检测光光路上的液滴引起检测光的接受光部分32的接受光量变化(降低)，可以判别是否从喷嘴11喷出液滴。
具体是当检测光的光路上配置了液滴时，伴随着接受光部分32的接受光量降低，接受光部分32的输出信号(输出电压)发生变化，接受光部分32根据该输出电压，将“高”或“低”2个信号值中的任何一个输出给控制装置CONT。例如，接受光部分32，在检测光光路上配置液滴时输出“高”的信号，在检测光光路上未配置液滴时，输出“低”的信号。
检测装置30，D：上述检测光的光束直径，d：从喷嘴11喷出的液滴直径，L：在喷头1的移动方向上喷嘴彼此间的间距，H：由喷嘴喷出1个液滴直到喷出出下1个液滴为止，喷头1的移动距离，如果这样，设定必需满足下述条件。
D/2+d/2≤L ……(1)而且
H≤D ……(2)
如图6所示模式图，距离H是以一定速度移动喷头1，例如从喷嘴11B喷出第1个液滴，在规定的时间间隔后，直到喷出下一个液滴为止，即第2个液滴，喷头1移动的距离。
通过满足上述条件，由于在检测光的光路上，仅配置了1个从喷嘴11(11A-11C)喷出的液滴，所以能准确地检查出喷嘴是否正常喷出液滴。即，在没有满足上述(1)式的条件时，例如从喷嘴11A和喷嘴11B分别喷出液滴，也就是在检测光的光路上产生配置2个液滴的状态。如果这样，例如，喷嘴11A因堵塞等引起不工作状态，不喷出液滴，只由喷嘴11B喷出液滴，在此状态下，由于接受光部分32是输出“高”或“低”2个信号值中的任何一个信号，根据检测光光路上存在的由喷嘴11B喷出的液滴，尽管没有从喷嘴11A喷出液滴，仍输出“高”的输出信号，控制装置CONT会产生错误的判断，认为“液滴是由喷嘴11A喷出的”。因此，通过满足上述(1)式的条件，例如，从喷嘴11A喷出的液滴在通过检测光光路的状态下，由于从喷嘴11B喷出的液滴通过了检测光光路的外侧，所以避免了上述错误判断的发生。
在没有满足上述(2)式的条件时，例如，喷嘴11B，尽管在每个规定时间间隔内进行正常的喷出动作，图6中，第1个液滴通过检测光光路的-X方向外侧，同时，也会产生第2个液滴通过检测光的+X方向外侧的状态。即，尽管从喷嘴11B以规定的时间间隔正常喷出液滴，但第1个液滴和第2个液滴都没有通过检测光的光路，换言之，喷出第2个液滴时，喷嘴11B过分通过了检测光的光路，接受光部分32产生所谓不能检测出液滴喷出的现象。因此，通过满足上述(2)式条件，以规定时间间隔正常地喷出液滴通过检测光的光路，所以避免了上述不良现象的发生。
以下对使用具有上述结构的检查装置30检查是否从喷嘴11(11A-11C)喷出液滴的方法进行说明。
首先，控制装置CONT利用移动装置4将喷头1移动到进行检查不工作喷嘴的位置，即，靠近检查装置30处。这样，控制装置CONT，从投光部分31相对接受光部分32照射检测光，同时使多个喷嘴11A-11C的并列方向与喷头1的移动方向一致，一边使该喷头1在相对于检测光光路的交叉方向上以一定的速度移动，一边由各个喷嘴11A-11C以一定的时间间隔喷出液滴。接受光部分32的输出信号，输出给控制装置CONT，由控制装置CONT对接受光部分32的输出信号进行信号处理。控制装置CONT根据液滴通过检测光光路引起检测光接受光部分32的接受光量变化，可检查出各个喷嘴11A-11C是否喷出液滴。
在此，当控制装置CONT判断出检查装置30没有满足上述(1)、(2)式的条件时，重新设定检测光的光束直径D、液滴的直径d、和距离H中的至少1个值，以满足上述条件。由此，在改变检测光的光束直径D时，控制装置CONT，例如，使用未图示的驱动装置，通过设置在靠近投光部分31的检测光射出部分的光学元件(透镜或针孔)可调整直径D。在变更液滴直径d时，控制装置CONT，例如，通过调整喷头1的压电体元件20的振幅(调整喷头1的驱动电压)，控制1个液滴的喷出量，可调整直径d。改变距离H时，例如，控制装置CONT，通过调整利用移动装置4移动喷头1的速度，调整各喷嘴11A-11C喷出液滴的喷出时间间隔，可调整距离H。
根据检查装置30的检查结果，判断多个喷嘴11A-11C中没有不能喷出液滴的不工作喷嘴，控制装置CONT结束对喷嘴检查的一连串处理后，将喷头1移动到台面装置2(为制造装置进行液滴喷出工作的位置)处，相对于台面装置2上支撑的基板P，由喷头1喷出液体状材料液滴。另一方面，根据检查装置30的检查结果，判断出存在不工作喷嘴时，控制装置CONT，例如，使用图1所示清洗单元6对该喷头1进行清洗处理。
如以上说明，关于光学检查喷嘴11是否喷出液滴的检查装置，通过设定上述(1)、(2)式所示条件，可在检测光光路上只配置1个从各喷嘴11A-11C喷出的液滴，所以能准确地检查出喷嘴11A-11C是否正常喷出液滴。
另外，在上述实施形态中，直径D是检测光的光束直径，但检测光的光束直径大于接受光部分32的圆形计测区域直径时，上述(1)、(2)式中的直径D，意指上述计测区域的直径。即，如图7所示模式图，检测光的光束直径D1大于接受光部分32的计测区域直径D2时，液滴通过检测光光路的部分区域AR情况下，该通过区域AR是相当于接受光部分32的计测区域以外的部分时，接受光部分32不能检出通过的液滴。因此，检测光的光束直径D1在接受光部分32的计测区域直径D2以上情况下，采用“上述条件式的直径D＝计测区域的直径D2”。而检测光的光束直径D1在接受光部分32的计测区域直径D2以下情况时，采用“上述条件式的直径D＝检测光的光束直径D1”。
图1中虽然只示出了1个喷头1和台面装置2，但是，液滴喷出装置IJ也可以是具有多个喷头1和台面装置2的构成。这种情况，可从多个喷头1分别喷出相同或不同液体材料液滴。这样，对于基板P，这些喷头中，从第1个喷头喷出第1种液体状材料后，将其烧结或干燥，接着从第2个喷头对基板P喷出第2种液体状材料后，将其烧结或干燥，以下，用多个喷头进行同样处理，在基板P上进行数层材料层层叠，形成多层图案。
图8是表示利用本发明的液滴喷出装置IJ制造装置工序的一例图，是一例制造液晶装置彩色滤光器工序的示意图。
首先，如图8A所示，对于透明基板P的一个面，形成黑色基质52。作为形成这种黑色基质52的方法，将不透光性树脂(最好黑色)用旋转涂布方法涂布成规定的厚度(例如2m)。关于这种由黑色基质52的格子围绕的最小显示要素，即，滤光元件53，例如，X轴方向形成30m宽，Y轴方向形成100m长。
接着，如图8B所示，从上述的喷出装置喷出彩色滤光器用的液体状材料(液滴)54，使其喷着在滤光元件53中。关于喷出液体状材料54的量，考虑到加热工序中液体状材料的体积会减少，所以量要充分。
这样，将液滴54填充在基板P上所有的滤光元件53中后，用加热器将基板P加热到规定的温度(例如，70℃)，进行加热处理。通过这种加热处理，蒸发掉液体状材料中的溶剂，以减少液体状材料的体积。这种体积减少急剧时，作为彩色滤光器，要达到充分厚度的膜，必须重复进行液滴喷出工序和加热工序。通过这种处理，蒸发掉液体状材料中所含的溶剂，最终只残留液体状材料中所含的固体成分(功能性材料)形成薄膜，得到如图8C所示的彩色滤光器55。
接着，使基板P平坦化，而且为了保护彩色滤光器55，如图8D所示，在基板P上形成保护膜56覆盖住彩色滤光器55和黑色基质52。在形成该保护膜56时，可采用旋转涂布法、辊子涂布法、刮刀法等，与彩色滤光器55的情况一样，也可采用上述喷出装置进行。
接着，如图8E所示，在保护膜56整个面上，利用浅射法和真空蒸镀法等，形成透明导电膜57。之后，将透明导电膜57形成图案，将像素电极58形成与上述滤光元件53相对应的图案。在使用TET(Thin FilmTransistor)驱动液晶显示屏时，不采用这种形成图案。
在制造这种彩色滤光器中，由于使用上述喷头1，所以能够毫无阻碍地连续喷出彩色滤光器材料。因此，能形成良好的彩色滤光器，同时，又能提高生产效率。
在上述彩色滤光器的制造工序之前，使用本发明的检查装置30，进行检查喷头1是否从喷嘴11喷出液滴的工作。另外，使用上述喷出装置，通过适当选择液体状材料，可形成电光学装置的任意构成要件，例如，通过将有机EL元件的形成材料或形成金属配线材料的金属胶体，进而微型透镜材料，液晶材料等各种材料用作液体状材料，可形成构成电光学装置的各种要件。或者，作为电光学装置也可形成SED(Surface ConductionElectron Emitter Display)。
以下对使用上述液滴喷出装置IJ制造电光学装置的方法进行说明。
首先，作为电光学装置的构成要件形成例，对有机EL装置的制造方法进行说明。
图9是利用上述喷出装置制造部分构成要件的有机EL装置的侧断面图，首先，说明该有机EL装置的简要构成。此处形成的有机EL装置是形成本发明中电光学装置一种实施形态。
如图9所示，该有机EL装置301，其构成是将弹性基板(未图示)的配线和驱动IC(未图示)与由基板311、电路元件部分321、像素电极331、堤岸部分341、发光元件351、阴极361(对置电极)和封闭基板371构成的有机EL元件302相连接。电路元件部分321形成在基板311上，多个像素电极331排列在电路元件部分321上。在各像素电极331之间形成格子状的堤岸部分341，由堤岸部分341产生的凹部开口344处，形成发光元件351。阴极361，形成在堤岸部分341和发光元件351上部的整个面上，在阴极361上形成封闭用的基板371层叠。
含有有机EL元件的有机EL装置301的制造工艺包括以下工序，即，形成堤岸部341的堤岸部分形成工序，为适当形成发光元件351的等离子体处理工序、形成发光元件351的发光元件形成工序、形成阴极361的对置电极形成工序、和在阴极361上层叠封闭用基板371进行封闭的封闭工序。
发光元件形成工序，由于通过在凹部开口344，即像素电极331上形成空穴注入层352和发光层353，形成发光元件351，所以包括形成空穴注入层的工序和形成发光层的工序。这样，形成空穴注入层的工序，包括将为形成空穴注入层352的第1组合物(液体状材料)喷出到各像素电极331上的第1喷出工序，和将喷出的第1组合物进行干燥，形成空穴注入层352的第1干燥工序。形成发光层的工序，包括将为形成发光层353的第2组合物(液体状材料)喷出到空穴注入层352上的第2喷出工序，和将喷出的第2组合物进行干燥，形成发光层353的第2干燥工序。
在该形成发光元件的工序中，在形成空穴注入层工序的第1喷出工序和形成发光层工序的第2喷出工序中，使用了上述液滴喷出装置IJ。
在该有机EL装置301的制造中，为形成各构成要件的喷出之前，通过预先进行喷头1的喷出工作检查，可使喷头1能很好地喷出空穴注入层的形成材料，和发光层的形成材料，因此，可提高所得有机EL装置301的可靠性。
以下作为上述构成要件的形成例，对等离子体显示制造方法进行说明。
图10是利用上述液滴喷出装置IJ制造部分构成要件，即，地址电极511和总线(bus)电极512a的等离子体显示分解立体图，图10中符号500是等离子显示器。该等离子显示器500主要由相互相对配置的玻璃基板501和玻璃基板502，和其间形成的放电显示部分510所构成。
放电显示部分510是集合了多个放电室516所形成，多个放电室516中，成对地形成红色放电室516(R)、绿色放电室516(G)、兰色放电室516(B)的3个放电室516，配置而构成1个像素。
在上述(玻璃)基板501的上面，以规定间隔形成线条状的地址电极511，形成电介质层519覆盖住这些地址电极511和基板501的上面，进而，在电介质层519上，位于地址电极511，511之间，沿着各地址电极511形成隔壁515。在隔壁515中，其纵向的规定位置上，也在与地址电极511垂直交叉方向上，以规定间隔隔开(示图示)，基本上是由与地址电极511宽度方向左右两侧邻接的隔壁，和与地址电极511垂直交叉方向上延伸设置的隔壁，进行隔离，形成长方形的区域，与这些长方形区域相对应形成放电室516，这些长方形区域形成3对，构成1个像素。在由隔壁515分隔的长方形区域的内侧，配置荧光体517。由于荧光体517可发出红、绿、兰任何荧光，所以在红色放电室516(R)的底部配置红色荧光体517(R)，在绿色放电室516(G)的底部配置绿色荧光体517(G)、在兰色放电室516(B)的底部配置兰色荧光体517(B)。
接着，在上述玻璃基板502侧，在与地址电极511垂直交叉方向上，以规定的间隔形成线条状的多个由ITO形成的透明显示电极512，同时，为了辅助高电阻的ITO，形成由金属形成的总线电极512a。形成电介质层513将其覆盖，进而由MgO等形成保护膜514。
这样，上述基板501与玻璃基板502的基板2相对彼此贴合，使上述地址电极511…与显示电极512…相互形成垂直交叉，将由基板501、隔壁515、和在玻璃基板502侧形成的保护膜514围绕的空间部分进行排气，封入稀有气体，形成放电室516。另外，在玻璃基板502侧形成的显示电极512，相对于各放电室516形成每2个的配置。
上述地址电极511和显示电极512，与图中未示的交流电源连接，向各电极通电，在所需位置的放电显示部分510中激励荧光体517发光，可形成彩色显示。
在本例中，特别是关于上述地址电极511和总线电极512a，及荧光体517，都是用上述液滴喷出装置IJ形成。即，关于这些地址电极511和总线电极512a，特别是因为利于形成图案，所以通过以下方式形成，即将金属胶体材料(例如金胶体或银胶体)或导电性微粒子(例如金属微粒子)进行分散，喷出形成的液体状材料(液体)，并进行干燥、烧结而成。关于荧光体517可通过以下方式形成，即，将荧光体材料溶解在溶剂中或分散在分散介质中，喷出形成的液体状材料(液体)，并进行干燥、烧结而成。
在制造等离子显示器500中，地址电极511、总线电极512a的形成，以及荧光体517的形成，在喷出之前，预先对喷头1的喷出动作进行检查，可很好地从喷头1喷出各电极511，512a的形成材料(液体材料)、荧光体517的形成材料(液体材料)，因此，可提高等离子体显示500的可靠性。
以下，作为上述构成要件的形成例，对导电膜配线图案(金属配线图案)以形成方法进行说明。
图11是表示一例形成导电膜配线图案方法的流程图。
图11中，示出本例形成图案的方法包括以下工序，即，清洗工序(步骤S1)，以使用规定的溶剂等清洗配置了液体材料液滴的基板；疏液化处理工序(步骤S2)，其是基板表面处理工序的部分构成；疏液性控制处理工序(步骤S3)，是调整疏液化处理的基板表面疏液性的表面处理工序部分构成；材料配置工序(步骤S4)，是根据液滴喷出法，在表面处理的基板上配置含有形成导电膜配线用材料的液体材料液滴，描绘出膜图案(成形)；中间干燥处理工序(步骤S5)，包括热·光处理，至少除去一部分配置在基板上液体材料中的溶剂成分；以及烧成工序(步骤S7)，将描绘了规定图案的基板进行烧结。在中间干燥工序之后，判断规定图案的描绘是否结束(步骤S6)，图案描绘结束，进行烧结工序，而描绘图案未结束，进行材料配置工序。
以下对利用液滴喷出装置IJ根据液滴喷出法进行材料配置工序(步骤S4)进行说明。
本例的材料配置工序是利用上述液滴喷出装置IJ的液滴喷头1将含有形成导电膜配线用材料的液体材料液滴配置在基板P上，在基板P上并列形成数条线状膜图案(配线图案)的工序。液体材料是将形成导电膜配线用材料的金属等导电性微粒子分散在分散介质中形成的液体。在以下说明中，对在基板P上形成3个第1、第2和第3膜图案(线状图案)W1、W2、和W3的情况进行说明。
图12、图13、和图14是本例中之一例在基板P上配置液滴顺序的说明图。这些图中，在基板P上设定具有配置液体材料液滴的多个格子状单位区域像素(pixel)的位影像(bitmap)。因此，1个像素设定为正方形。这样，这些像素中，与规定的像素相对应，设定形成第1、第2、第3的膜图案W1、W2、W3的第1、第2、第3图案形成区域R1、R2、R3。这些多个图案形成区域R1、R2、R3并列设在X轴方向上。另外，图12～图14中，图案形成区域R1、R2、R3是画斜线的区域。
另外，基板P上的第1图案形成区域R1设定为配置从设在液滴喷出装置IJ的喷头1上的多个喷嘴中第1个喷嘴11A喷出的液体材料液滴区。同样，在基板P上的第2、第3图案形成区域R2、R3，设定为配置从设在液滴喷出装置IJ的喷头1上的多个喷嘴中的第2、第3喷嘴11B、11C喷出液体材料液滴。即，设定喷嘴11A、11B、11C时，分别使与第1、第2、第3图案形成区域R1、R2、R3相对应。这样，喷头1依次将多个液滴配置在设定的多个图案形成区域R1、R2、R3的各多个像素的位置上。
进而，在第1、第2、第3图案形成区域R1、R2、R3内，分别设定在这些图案形成区域R1、R2、R3中形成的所有第1、第2、第3膜图案W1、W2、W3，从线宽方向的一侧(-X侧)第1侧部分图案Wa开始形成，接着，形成另一侧(+X侧)的第2侧部分图案Wb，在形成第1、第2侧部分图案Wa、Wb后，再在线宽方向中央部分形成中面图案Wc。
在本例中，各膜图案(线状图案)W1-W3，进而各图案形成区域R1-R3各自具有相同的线宽度L，该线宽L设定为3个像素的大小。另外，各图案间的空间部分也分别设定相同的宽度S，该宽度S也设定为3个像素的大小。这样，喷嘴11A-11C相互间的间隔，即喷嘴间距，设定为6个像素。
以下说明中，具有喷嘴11A、11B、11C的喷头1相对于基板P，一边在Y轴方向上扫描一边喷出液滴。这样，在使用图12-图14的说明中，对于第1次扫描时配置的液滴，付与“1”，对于第2次、第3次、…第n次扫描时，配置的液滴，付与“2”、“3”…“n”。
如图12A所示，在第1次扫描时，对于第1、第2、第3图案形成区域R1、R2、R3，为形成第1侧部分图案Wa，在形成第1侧部分图案的预定区域内，一边每次增加1个像素，一边由第1、第2、第3喷嘴11A、11B、11C同时配置液滴。另外，在由各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在该喷出之前，预先检查喷头1的喷出动作。在此，对基板P配置的液滴，随着喷着在基板P上，在基板P上湿润扩展。即，如图12A中圆圈所示，喷着在基板P上的液滴，湿润扩展到具有比1个像素大小大的直径C。液滴由于在Y轴方向上以规定间隔(1个像素)配置，所以设定配置在基板P上的液滴彼此不能重叠。由此，在Y轴方向上，可防止在基板P上设置过多的液体材料，并可防止发生凸起。
在图12A中，虽然在基板P上配置液滴时彼此不重叠配置，但也可以配置液滴稍稍重叠。此处，虽然以1个像素配置液滴，但也可以以2个以上任意数目的像素配置液滴。这种情况下，增加喷头1相对基板P的扫描动作和配置动作(喷出动作)，也可在基板上液滴彼此间进行插补。
基板P的表面，由于在步骤S2和S3中预先加工成所要求的疏液性，所以能抑制配置在基板P上的液滴过度扩展。为此，确实能以良好的状态控制图案的形状，同时，也容易厚膜化。
图12B是根据第2次扫描从喷头1向基板P配置液滴时的模式图。另外，图12B中，对第2次扫描时配置的液滴付与“2”。在第2次扫描时，由各喷嘴11A、11B、11C同时配置液滴，在第1次扫描时配置液滴“1”之间进行插补。这样，在第1次和第2次扫描和配置动作下，液滴彼此连接，在第1、第2、第3图案形成区域R1、R2、R3的各区域中，形成第1侧部分图案Wa。在此，液滴“2”喷着在基板P上也进行湿润扩展，液滴“2”的一部分与在先配置在基板P上的液滴“1”一部分形成重合。具体是液滴“2”的一部分重合在液滴“1”上。另外，在第2次扫描中，从各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在喷出之前，可预先检查喷头1的喷出动作。
因此，在基板P上配置为形成第1侧部分图案Wa的液滴后，为除去分散介质，根据需要可进行中间干燥处理(步骤S5)。中间干燥处理，例如，除了使用热板、电炉、和热风机等加热装置的一般热处理外，也可以是使用灯退火的光处理。
接着，使喷头1和基板P在X轴方向上相对移动2个像素的大小。因此，喷头1相对基板P，在+X方向上只移动了2个像素的步骤。伴随着上述移动，喷嘴11A、11B、11C也进行移动。这样，喷头1进行第3次扫描。由此，如图13A所示，为了形成构成膜图案W1、W2、W3各自一部分的第2侧部分图案Wb，由各喷嘴11A、11B、11C相对于第1侧部分图案Wa，在X轴方向上，以间隔同时在基板P上配置液滴“3”。此时，在Y轴方向上也以1个像素配置液滴“3”。在第3次扫描中，从各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在喷出之前，可预先检查喷头1的喷出动作。
图13B是根据第4次扫描，由喷头1向基板P配置液滴时的模式图。图13B中，付与第4次扫描时配置的液滴为“4”。在第4次扫描时，由各喷嘴11A、11B、11C同时配置液滴，在第3次扫描时配置的液滴“3”之间进行插补。这样，在第3次和第4次扫描及配置动作下，液滴彼此间形成连续，在图案形成区域R1、R2、R3各区内形成第2侧部分图案Wb。此处，液滴“4”的一部分与在先配置在基板P上的液滴“3”一部分重合。具体是液滴“4”的一部分重合在液滴“3”上。而且在第4次扫描中，也由各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，喷出之前，可预先检查喷头1的喷出动作。
此处，在基板P上配置为形成第2侧部分图案Wb的液滴后，进行分散介质去除，根据需要，可进行中间干燥处理。
接着，将喷头1相对基板，在-X方向上移动1个像素的步骤，伴随着上述移动，喷嘴11A、11B、11C也在-X方向上移动1个像素。这样，喷头1进行第5次扫描。由此，如图14A所示，为形成构成膜图案W1、W2、W3各自一部分的中央图案Wc，同时在基板上配置液滴“5”。此时，在Y轴方向上，以1个像素配置液滴“5”。液滴“5”的一部分与在先配置在基板P上的液滴“1”，“3”的一部分重合。具体是液滴“5”的一部分重合在液滴“1”、“3”上。在第5次扫描中，各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在喷出之前，可预先检查喷头1的喷出动作。
图14B是根据第6次扫描，由喷头1向基板P上配置液滴时的模式图。图14B中，对第6次扫描时配置的液滴付与“6”。在第6次扫描时，由各喷嘴11A、11B、11C同时配置液滴，以在第5次扫描时配置的液滴“5”之间进行插补。这样，在第5次和第6次扫描和配置动作下，液滴彼此间形成连续，在图案形成区域R1、R2、R3的各区中形成中央图案Wc。此时，液滴“6”的一部分与在先配置在基板P上的液滴“5”一部分形成重合。具体是液滴“6”的一部分重合在液滴“5”上。进而，液滴“6”的一部分重合在在先配置在基板P上的液滴“2”、“4”上。在第6次扫描中，由各喷嘴11A、11B、11C喷出液滴时，在喷出之前，可预先检查喷头1的喷出动作。
根据以上，在各图案形成区域R1、R2、R3的各区内形成膜图案W1、W2、W3。
如以上说明，在图案形成区域R1、R2、R3中依次配置多个液滴，形成相互大致相同形状的膜图案W1、W2、W3时，由于相对于各图案形成区域R1、R2、R3各区中的多个像素，设置了相同的配置液滴的配置顺序，所以各液滴“1”-“6”，各自配置时，其一部分形成重合，就各膜图案W1、W2、W3而言，其外观重叠形态是相同的，所以各膜图案W1、W2、W3彼此之间也能形成相同的外观。因此，能抑制各膜图案W1、W2、W3彼此之间就外观上的偏差。
对于各膜图案W1、W2、W3，各自的液滴配置顺序是相同的，对于各膜图案W1、W2、W3各自的液滴配置(液滴彼此的重叠形态)是相同的，所以能抑制外观上产生差异。
进而，由于设定膜图案W1、W2、W3各自的液滴彼此重叠状态是相同的，所以膜图案各自的膜厚分布大致是相同的。因此，该膜图案在基板面的方向上重复形成图案时，具体是，例如，与显示装置的像素相对应，设置多个图案时，各像素分别具有相同的膜厚分布。因此，在基板面方向的各个位置上能发挥同样的功能。
另外，在形成第1，第2侧部分图案Wa、Wb后，为形成中央图案Wc而配置的液滴“5”、“6”，埋在其间，各膜图案W1、W2、W3大致形成均匀的线宽度。即，在基板P上形成中央图案Wc后，再配置为形成侧部分图案Wa、Wb的液滴“1”、“2”、“3”、“4”时，由于会产生将这些液滴拉近到在先基板P上形成的中央图案Wc上的现象，所以有时很难控制各膜图案W1、W2、W3的线宽度，如本实施形态，先在基板P上形成侧部分图案Wa、Wb后，再配置为形成中央图案Wc的液滴“5”、“6”，埋置其间，所以能精确地控制各膜图案W1、W2、W3的线宽精度。
在形成中央图案Wc后，也可以形成侧部分图案Wa、Wb。这种情况，对于各膜图案W1-W3分别按顺序配置相同的液滴，可以抑制各图案彼此间在外观上产生差异。
即使在这样的导电膜配线图案(金属配线图案)的形成中，在喷出之前，通过预先检查喷头1的喷出动作，可很好地喷出液滴。因此，能提高所得导电膜配线图案的可靠性。
以下，作为上述构成要件的形成例，对微型透镜的制造方法进行说明。
本例中，首先，如图15A所示，利用上述液滴喷出装置IJ的喷头1，向基板P上喷出由透光性树脂形成的液滴22a，将其余布。另外，在从各喷头1喷出液滴622a时，在喷出之前，预先对喷头1的喷出动作进行检查。
作为基板P，例如，将得到的微型透镜用于荧光屏用的光学膜时，可使用由醋酸纤维素或丙基纤维素等纤维素系树脂、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚酯等透明树脂(透光性树脂)形成的透光性片或透光性膜。作为基板，也可使用由玻璃、聚碳酸酯、聚烯丙酸酯、聚醚砜、非晶态聚烯径、聚乙烯对酞酸酯、聚甲基甲基丙烯酸酯等透明材料(透光性材料)形成的基板。
作为透光性树脂，例如有聚甲基甲基丙烯酸酯、聚羟乙基甲基丙烯酸酯、聚环忆基甲基丙烯酸酯等丙烯酸系树脂、聚乙二醇二烯丙基碳酸酯、聚碳酸酯等烯丙基系树脂、甲基丙烯酸树脂、聚氨酯系树脂、聚酯系树脂、聚氯乙烯系树脂、聚醋酸乙烯系树脂、纤维素系树脂、聚酰胺系树脂、氟系树脂、聚丙烯系树脂、聚苯乙烯系树脂等热塑性或热固化性树脂，可以使用这些中的一种，或多种混合使用。
但是，本例中，作为透光性树脂，可用射线照射固化型的。这种射线照射固化型的是在上述透光性树脂中配合二咪唑系化合物等光聚合引发剂形成的树脂，通过配合这种光聚合引发剂，可付与射线照射固化性。所谓射线是可见光线、紫外线、远紫外线、X射线、电子射线等的总称，一般都使用紫外线。根据所要求的单一微型透镜的大小，将这种射线照射固化型的透光性树脂的液滴622a向基板P上喷出1个或多个。如果这样，由该液滴622形成的透光性树脂623，如图15A所示，由其表面张力会形成凸形状物(略呈半球状)。这样，对形成所有的单一微型透镜，喷出涂布规定量的透光性树脂，进而将这种涂布处理分成多个所要求的微型透镜，向这些透光性树脂623照射紫外线等射线，如图15B所示，使其固化，形成固化体623a。从喷头1喷出的液滴622a的每一滴容量，根据喷头1和喷出墨材料而不同，通常为1pL-20pL。
以下如图15C所示，在这些固化体623a的各自上，由喷头1喷出规定个数的分散了多个光扩散性微粒子626的液滴622b，附着在固化体623a的表面上。作为光扩散性微粒子626，例如有氧化硅、氧化铝、氧化钛、碳酸钙、氢氧化铝、丙烯酸树脂、有机硅树脂、聚苯乙烯、尿素树脂、甲醛缩合物等微粒子，这些中，可用一种，或多种混合使用。为了使先扩散性微粒子626充分发挥光扩散性，该微粒子为透光性时，必须使其折射率与上述透光性树脂的折射率具有充分的差异。因此，在光扩散性微粒子626为透光性时，要想满足这样的条件，可根据所用透光性树脂适当选择使用。
通过将这样的光扩散性微粒子626分散在适宜的溶剂(例如，透光性树脂中使用的溶剂)中，对可从喷头1喷出的墨进行调整，这时，将光扩散性微粒子626的表面用表面活性剂进行被覆处理，或者用熔融树脂覆盖处理，这样可很好地提高光扩散性微粒子626向溶剂中的分散性，通过进行这种处理，可将形成从喷头1良好喷出的流动性，附加给光扩散性微粒子626。此外，作为为进行表面处理的表面活性剂，有阳离子系、阴离子系、非离子系、两性的、硅系、氟树脂系等的，可根据光扩散微粒子624的种类适当选择使用。
作为这种光扩散性微粒子626，最好使用粒径在200nm以上，500nm以下的。若采用这样的范围，是因为通过粒径在200nm以上，可确保其良好的光扩散性，而在500nm以下，可使喷头1的喷嘴获得良好的喷出。
再有，关于喷出分散了光扩散性微粒子626的液滴622b，最好使用和喷出透光性树脂液体22a相同的喷头1，也可使用不同的。在使用相同的时，可使含有喷头1的装置结构简单化。而使用不同的时，可采用对各种墨专用的喷头(由透光性树脂形成的墨和由光扩散性微粒子24形成的墨)，在切换涂布墨时，没有必要对喷头进行清洗等，从而可提高生产效率。
随后，通过进行加热处理、减压处理、或加热减压处理，使分散了光扩散性微粒子624的液滴622b中的溶剂蒸发掉。这样，固化体623a的表面，由液滴622b的溶剂所软化，而附着上光扩散性微粒子626，伴随着溶剂蒸发，固化体623a的表面再次固化，光扩散性微粒子624固定在透光性树脂固化体623a表面上。这样，通过光扩散性微粒子624固定在固化体623a表面上，如图15D所示，其表面部分分散了光扩散性微粒子624，得到本发明的微型透镜625。
即使在这种微型透镜625的制造方法中，在喷出之前，通过预先检查喷头1的喷出动作，可很好地喷出液滴622a，622b，因此，可提高所得微型透镜625的可靠性。
另外，使用喷墨法，由透光性树脂623和光扩散性微粒子624形成凸形状(略呈半球状)的微型透镜625，所以没有必要像使用型具成形法和喷射成形法那样使用成形模具，也几乎没有形成材料损失。因此，可获得降低制造成本。而且由于所得微型透镜625形成凸形状(略呈半球状)物，所以能使该微型透镜。例如在所谓360°的宽广角度范围(方向)内进行大致均匀的光扩散，而且，通过使光扩散性粒子626复合化，可给所得微型透镜付与很高的扩散性能。
以下作为上述构成要件的形成例，对制造具有释放电子元件的图像显示装置的方法进行说明。
图16A和图16B中所示基体70A，是通过利用上述液滴喷出装置IJ处理，形成构成要件一部分的图像显示装置电子源基板70B的基板。基体70A具有的多个被喷出部分78。
具体讲，基体70A包括基72，位于基板72上的钠扩散防止层74，位于钠扩散防止层74上的多个元件电极76A、76B、位于多个元件电极76A上的多个金属配线79A、和位于多个元件电极76B上的多个金属配线79B。多个金属配线79A各自具有Y轴方向上延伸的形状。多个金属配线79A各自具有X轴方向上延伸的形状。由于在金属配线79A和金属配线79B之间形成绝缘膜75，所以金属配线79A与金属配线79B形成电绝缘。
含有1对元件电极76A和元件电极76B的部分与1个像素区域相对应。1对元件电极76A和元件电极76B相互隔离规定间距，在钠扩散防止层74上相对向。与某像素区域相对应的元件电极76A与对应的金属配线79A电连接。与该像素区域对应的元件电极76B与对应的金属配线79B电连接。在本说明书中，将基板72和钠扩散防止层74合在一起的部分记作支撑基板。
在基体70A的各个像素区域内，元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、和在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74，与被喷出部分78相对应。更具体讲，被喷出部分78是形成导电性薄膜411F(参照图17B)的整个区域，形成的导电性薄膜411F覆盖住元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分，和元件电极76A、76B之间的间隙。图16B中如虚线表示，本例中被喷出部分78的形状是圆形的。
图15B中所示基体70A，其位置与由X轴方向和Y轴方向规定的假想平面相平行。这样形成多个被喷出部分78的基质行方向和列方向，分别与X轴方向和Y轴方向平行。在基体70A中，被喷出部分78，在X轴方向上的该序号周期排列。进而，被喷出部分78在Y轴方向上以规定间隔排列成1列。
被喷出部分78彼此沿着X轴方向的间隔LRX大致为190m。被喷出部分78彼此的上述间隙和被喷出部分的上述大小，在40英寸大小的高清晰度电视中，与像素区域彼此的间隔相对应。
上述液滴喷出装置IJ，相对于图16A、图16B中基体70A的各个被喷出部分78，喷出液体状材料(液体)导电性薄膜材料411，作为这种导电性薄膜材料411，例如使用有机钯溶液。
对于使用液滴喷出装置IJ制造图像显示装置，首先，在由钠玻璃等形成的基板72上，形成以二氧化硅(SiO2)为主成分的钠扩散防止层74。具体是使用溅射法，在基板72上形成1m厚的SiO2膜，得到钠扩散防止层74。然后，在钠扩散防止层74上，利用溅射法或真空蒸镀法形成5nm厚的钛层。同样，利用光刻技术和腐蚀技术，从该钛层上，相互以规定间隔隔离的元件电极76A和元件电极76B为1对电极，形成数对，随后，用筛网印刷技术，在钠扩散防止层74上和多个元件电极76A上，涂布银(Ag)糊，并进行烧结，形成在Y轴方向上延伸的数条金属配线79A。接着，使用筛用印刷技术，在各金属配线79A的一部分上涂布玻璃糊，并进行烧结，形成绝缘膜75。同样，用筛网印刷技术，在钠扩散防止层74和多个元件电极76B上，涂布Ag糊，并进行烧结，形成在X轴方向上延伸的数条金属配线79B。此外，制作金属配线79B时，涂布Ag糊时，使金属配线79B通过绝缘膜75与金属配线79A形成交叉。根据如上工序，得到图16A、图16B所示的基体70A。
接着，在大气压下通过等离子体氧的处理形成亲液化基体70A。通过该处理，使元件电极76A表面的一部分、元件电极76B表面的一部分，和在元件电极76A和元件电极76B之间露出的支撑基板表面，形成亲液化。这样，这些表面形成了被喷出部分78。根据材质，即使不进行上述的表面处理，也能得到呈现要求亲液性的表面。对于这种情况，即使不实施上述表面处理，元件电极76A表面的一部分、元件电极76B表面的一部分，在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74表面也能形成被喷出部分78。
形成被喷出部分78的基体70A，由输送装置送到液滴喷出装置IJ的台面上。这样，如图17A所示，液滴喷出装置IJ对全部被喷出部分78，由喷头1喷出导电性薄膜材料411，形成导电性薄膜411F。在喷出该导电性薄膜材料411时，在其喷出之前，预先检查喷头1的喷出动作。
在本例中，喷着在被喷出部分78上的导电性薄膜材料411液滴的直径为60-80m，由喷头1进行喷出。在基体70A的全部被喷出部分78上形成导电性薄膜材料411层时，输送装置将基体70A送入干燥装置内。对被喷出部分78上的导电性薄膜材料411进行完全干燥，在被喷出部分78上得到以氧化钯为主成分的导电性薄膜411F。这样，在各个像素区域内形成导电性薄膜411F，覆盖住元件电极76A的一部分，元件电极76B的一部分、和在元件电极76A和元件电极76B之间露出的钠扩散防止层74。
接着，在元件电极76A和元件电极76B之间施加脉冲规定电压，使一部分导电性薄膜411F上形成释放电子部分411D。而且对元件电极76A和元件电极76B之间施加电压，最好分别在有机物气氛中和真空条件下进行。之所以这样做是因为更好地提高释放电子部分411D的释放电子效率。元件电极76A、相对应的元件电极76B、和设置了释放电子部分411D的导电性薄膜411F是释放电子元件。另外，各个释放电子元件分别与各像素区域相对应。
如图17B所示，根据以上工序，基体70A形成电子源基板70B。
接着，如图17C所示，利用公知的方法，将电子源基板70B和前面基板70C贴合在一起，得到具有释放电子元件的图像显示装置70。前面基板70C具有玻璃基板82、在玻璃基板82上位于基质状的多个荧光部分84、和覆盖多个荧光部分84的金属板86。金属板86作为电极而发挥功能，以便加速来自释放电子部分411D的电子束。电子源基板70B和前面基板70C的贴合位置，必须使多个释放电子的元件与多个荧光部分84分别相对。并使电子源基板70B和前面基板70C之间保持真空状态。
即使是在制造具有这种释放电子元件的图像显示装置中，在喷出之前，通过预先检查喷头1的喷出动作，可很好地喷出导电性薄膜材料411，因此，可提高所得图像显示装置的可靠性。
利用本发明的液滴喷出装置IJ可制造上述液晶装置及有机EL装置等电光学装置(设备)。以下对具有用带液滴喷出装置的装置制造装置IJ制得电光学装置的电子仪器适用例进行说明。
图18A是一例携带式电话的立体图。图18A中，符号1000表示携带电话本体，符号1001表示使用了上述电光学装置的显示部分。图18B是一例手表时型电子仪器的立体图。图18B中，符号1100表示计时型电子仪器主体，符号1101表示使用了上述电光学装置的显示部分。图18C是文字处理机，个人计算机等便携型信息处理装置立体图。图18C中，符号1200表示信息处理装置，符号1202表示键盘等输入部分，符号1204表示信息处理装置主体，符号1206表示使用了上述电光学装置的显示部分。图18A-18C中示出的电子仪器。由于具有上述实例形态的电光学装置，所以可获得具有显示品位优良，清晰画面显示部分的电子仪器。
除了上述例之外，作为其他实例，有液晶电视、探视器型和直视监视型的视频信号磁带记录器、汽车驾驶导向装置、寻呼机、电子笔记本、桌式电子计算机、数字处理器、工作台、电视电话、POS终端、电子纸、具有触摩屏的设备等。本发明的电光学装置也适用于作这种电子仪器的显示部分。