蒸汽处理装置 【技术领域】
本发明涉及一种在被处理物的表面喷射蒸汽来进行蒸汽处理的蒸汽处理装置，特别是涉及适用于半导体器件、液晶显示屏等的制造工序中的清洗(漂洗)工序和照相平板印刷工序的保护层剥离工序等的技术。
背景技术
在半导体器件、液晶显示屏等电子机器的领域中，在其制造过程中必须有对半导体基板或玻璃基板等被处理基板进行清洗处理的工序。
在用于这样的清洗工序中的清洗装置中，有一种将蒸汽喷射到被处理基板的表面来进行清洗的类型的清洗装置。图4是示意喷射蒸汽类型的现有的清洗装置的简略构成图(例如，参照专利文献1)。
图4中的符号60为腔室。在该腔室60里具有：送出被处理基板61地机构62、基板的支承·旋转机构63、接触被支承于该支承·旋转机构63上的基板61并供给基板表面水蒸汽的蒸汽导入口71、将水蒸汽喷射在基板61表面的水蒸汽喷嘴72、将气体喷射在基板61表面的气体喷嘴73和排气·排液机构66。
在使用图4的清洗装置来清洗基板时，把输送到腔室60内的被处理基板61支承在支承·旋转机构63上之后，来自气体喷嘴73的气体喷射在该被清洗基板61的表面，同时，通过从水蒸汽喷嘴72喷射水蒸汽来进行清洗处理。
【专利文献1】
特开2001-252631号公报。
但是图4这样的装置，被供给用于清洗之后的蒸汽，因从被处理基板61弹回等而向整个腔室60内飞散，有时会附着在腔室60的内壁等上。被供给用于清洗之后的蒸汽，由于含从基板除去的除去物较多，所以，上述除去物会附着在腔室60的内壁等上。
另外，由于腔室60的排气是由排气·排液机构66一起排气，所以，被供给清洗用于之后的蒸汽在进入排气的气流之前会附着在腔室60的内壁上凝结。在该冷凝液中，由于溶解有附着在腔室60内壁的除去物，一旦它们落在被清洗基板上，就会产生已经洗净的面又被污染的问题。另外，在现有的清洗装置中，由于腔室60内由排气·排液机构66一起进行，所以，排气量增多。
另外，存在着因构成腔室60的材料，在溶解于附着在上述内壁的冷凝液中，它们落在被清洗基板上而产生污染之类的问题。作为其对策，虽然可以净化腔室，即，由不会污染被处理基板的材料来构成腔室，但是这样成本太高。
【发明内容】
本发明是鉴于上述情况，其目的在于提供一种能够防止从被处理物除去的除去物再次附着在被处理物上、而且能够减小排气量、降低成本的蒸汽处理装置。
本发明者为了解决上述课题刻苦钻研以及反复研究，结果发现，由于附着在被处理物上的微粒子等的粒子和有机物等附着物，用蒸汽比用液体的方法更容易除去，所以通过把调整了温度和压力的蒸汽喷射在被处理物上能够高效地除去，另外，从被处理物除去的除去物和液体一起排出比和蒸汽一起排出，搬运除去物的能力更高，将供给蒸汽处理后的蒸汽冷却成为冷凝液，并通过与该冷凝液一起排出能够高效地排出上述除去物，通过以上处理能够解决上述课题而完成了本发明。
即，本发明的蒸汽处理装置，其特征在于，具有：由向被处理物喷射用于蒸汽处理的蒸汽的蒸汽喷嘴、设在该蒸汽喷嘴附近并将供给蒸汽处理后的蒸汽的至少一部分排出到蒸汽处理系统外的排气机构、以及冷却蒸汽处理后的蒸汽的冷却机构所组成的蒸汽处理部，在上述被处理物表面和上述蒸汽处理部之间的间隙中，形成有使被上述冷却机构冷却而凝结的上述蒸汽的冷凝液流过的流路。
作为从蒸汽喷嘴喷射出的蒸汽，不限于水蒸汽，根据本发明的蒸汽处理装置的用途也可以是保护层剥离液等药液的蒸汽。
根据这种结构的蒸汽处理装置，通过调整由蒸汽喷射嘴喷向基板的蒸汽的温度和压力，能够高效地除去被处理物上的附着物。然后，由于供给蒸汽处理后的蒸汽的至少一部分被上述冷却机构冷却成为冷凝液，所以，供给蒸汽处理后仍以蒸汽形式存在的蒸汽减少，而且，由于剩下的该蒸汽能够由排气机构迅速排出到蒸汽处理部的系统外，所以，与现有的装置相比，供给蒸汽处理后的蒸汽飞散的区域减小了，而且从被处理物除去的有机物和尘埃等的除去物与上述冷凝液一起、能够经由上述流路高效地排出到蒸汽处理系统外，从而能够防止从被处理物除去的除去物(被处理物的除去物)再次附着在被处理物上。
并且，在本实施例的蒸汽处理装置中，供给蒸汽处理后的蒸汽继续以蒸汽形式存在的蒸汽减少，能够减小排气量。
另外，在本发明的蒸汽处理装置中，由于供给蒸汽处理后的蒸汽飞散的区域减小，不必净化蒸汽处理装置的整体，例如，由于只要由不会污染被处理物的材料来构成排气机构部分即可，能够消减净化所必需的材料费，从而能够实现低成本。
在本发明的蒸汽处理装置中，上述冷却机构也可以由冷却流入上述排气机构前的蒸汽的第1冷却机构和冷却通过上述排气机构的蒸汽的第2冷却机构构成。
根据这种结构的蒸汽处理装置，由于能够提高供给蒸汽处理后的蒸汽的冷凝效果，所以，从被处理物除去的除去物与上述冷凝液一起、经由上述流路能够高效地排出到蒸汽处理系统外。具体地说，供给蒸汽处理后的蒸汽的至少一部分，在流入上述排气机构之前被上述第1冷却机构冷却而成为冷凝液，从被处理物除去的除去物与该冷凝液一起，能够经由上述流路高效地排出到蒸汽处理系统外，另外，供给蒸汽处理后的蒸汽中进入了上述排气机构的蒸汽被上述第2冷却机构冷却而成为冷凝液，从被处理物除去的除去物与该冷凝液一起、能够经由上述流路高效地排出到蒸汽处理系统外。
另外，在本发明的蒸汽处理装置中，把上述蒸汽的冷凝液排出蒸汽处理系统外的冷凝液排出机构，最好与上述流路连通。
根据这种结构的蒸汽处理装置，由于能够提高通过上述流路的冷凝液的排出效果，所以也能够提高被该冷凝液搬运的被处理物的除去物的排出效果，从而也能够提高防止被处理物的除去物再次附着在被处理物上的效果。
另外，本发明的蒸汽处理装置，最好具有使上述被处理物以倾斜的状态输送的倾斜输送机构。在这种情况下，蒸汽喷嘴最好设在被移动物的移动方向一侧。
根据这种结构的蒸汽处理装置，由于沿被处理物的移动方向、以被处理物上升的角度倾斜输送，供给蒸汽处理后产生的冷凝液能够高效地脱离被处理物，所以能够进一步提高冷凝液以及被处理物的除去物的排出效果，也能够进一步提高防止被处理物的除去物再次附着在被处理物上的效果，从而能够高效地进行蒸汽处理。
另外，本发明的蒸汽处理装置，也可以是使上述第1冷却机构和上述第2冷却机构一体化的装置。
根据这种结构的蒸汽处理装置，与分别设置第1冷却机构和上述第2冷却机构的情况相比较，具有能够小型化蒸汽处理装置的优点。
【附图说明】
图1是表示本发明第1实施例的蒸汽处理装置的概略构成图。
图2是表示本发明第2实施例的蒸汽处理装置的概略构成图。
图3是表示本发明第3实施例的蒸汽处理装置的概略构成图。
图4是表示使用蒸汽来清洗基板的类型与现有的清洗装置的概略构成图。
图中：1-本体，1a-喷嘴侧底面，1b-排出管侧底面，2-蒸汽喷嘴，5-排气机构，5a-蒸汽排气管，5b-排气泵，5c-开口部，6-冷却机构(第1以及第2冷却机构)，6a、26a、36a-冷却用管，6b、26b、36b-冷却水储蓄槽，6c、26c、36c-冷却水，8-冷凝液排出机构，8a冷凝液排出管，8b-排液泵，10、10a、10b-蒸汽处理部，14-蒸汽处理区域，15-流路，25-输送滚轮(输送机构)，26-第1冷却机构，36-第2冷却机构，35-输送滚轮(倾斜输送机构)，A-被处理基板(被处理物)，G1-蒸汽，G2-供给蒸汽处理后的蒸汽(蒸汽处理后的蒸汽)，L2-蒸汽的冷凝液，S-输送方向。
【具体实施方式】
下面参照附图对本发明的实施例进行说明。另外，用以下叙述的实施例、对将本发明的蒸汽处理装置应用于对作为被处理物的数百mm见方、最好1～2m见方的大型的玻璃基板等的被处理基板进行湿刻处理后，进行实施清洗处理(漂洗处理)工序的情况进行说明。
[第1实施例]
图1是表示本发明的第1实施例的蒸汽处理装置的概略结构的截面图。
第1实施例的蒸汽处理装置，具有：以本体1和设置在该本体1侧方的多个蒸汽喷嘴2为本体的蒸汽处理部10、和多个输送滚轮(输送机构)25。
在本体1上，设有将供给蒸汽处理后的蒸汽的至少一部分排出到蒸汽处理系统外的排气机构5、对供给蒸汽处理后的蒸汽进行冷却的冷却机构6、将被该冷却机构6冷却而凝结的蒸汽的冷凝液排出到蒸汽处理系统外的冷凝液排出机构8。蒸汽处理部10的本体1的底面具有平坦面。另外，本体1的侧面之中设有蒸汽喷嘴2一侧的侧面呈倾斜面。
本实施例的蒸汽处理装置的蒸汽处理部10，配设于在蒸汽处理时的被处理基板A的上侧，并设置为此时在蒸汽处理部10和被处理基板A的表面之间具有间隙。另外，在该被处理基板A的表面和蒸汽处理部10的间隙中形成有被所述冷却机构6冷却而凝结的蒸汽的冷凝液可以通过的流路15。
多个输送滚轮(输送机构)25输送经湿刻处理后的被处理基板A，并能够使其从蒸汽处理部10的下方通过。另外，图中的符号S为被处理基板A的输送方向(移动方向)。
蒸汽喷嘴2沿本体1的侧面设有多个，被处理基板A被输送到蒸汽处理部10的下侧时，使这些有数蒸汽喷嘴2位于被处理基板A的上侧，并且沿与被处理基板A的移动方向交叉的方向并排设置。在被处理基板A被输送到蒸汽处理部10的下侧时，各蒸汽喷嘴2的前端配置为朝向被处理基板A的表面。另外，在图1中，由于其他的蒸汽喷嘴2被前面一侧的蒸汽喷嘴2挡住而看不见，所以只图示出一根蒸汽喷嘴2。
用于供给该蒸汽喷嘴2蒸汽的蒸汽供给源2a，通过连接管2b连结在各蒸汽喷嘴2上。本实施例的蒸汽处理装置在用于上述这种清洗工序时，由蒸汽供给源2a供给各蒸汽喷嘴2水蒸汽。另外，在蒸汽供给源2a上具有将供给该蒸汽供给源2a的液体L1加热并气化的加热机构(图示省略)。
在蒸汽供给源2a上还具有对加热所述液体L1而产生蒸汽的温度、蒸汽的压力、蒸汽饱和度、蒸汽产生量进行控制的控制机构(图示省略)。
在进行蒸汽处理时，蒸汽处理部10，其蒸汽喷嘴2配置在被处理基板A的输送方向S一侧。
在进行蒸汽处理时，向本体1的底面和被处理基板A表面的间隙中、并朝向被处理基板A表面，从多个蒸汽喷嘴2喷射蒸汽G1，利用该蒸汽G1进行清洗。因此，在本体1的底面和被处理基板A表面的间隙中形成蒸汽处理区域14。另外，该蒸汽处理区域14主要形成于比后面叙述的冷却用管6a靠蒸汽喷嘴2一侧的本体1的底面(喷嘴一侧底面)1a和被处理基板A表面之间的间隙的区域。
排气机构5是由设在本体1上的多个蒸汽排气管5a和连接在各蒸汽排气管5a上的排气泵5b所构成。
设在本体1上的多个蒸汽排气管5a，在被处理基板A被输送到蒸汽处理部10的下侧时，这些多个蒸汽排气管5a，在被处理基板A的上侧并且沿与被处理基板A的移动方向S交差的方向并排配置。各蒸汽排气管5a，被设置成从本体1的上面向底面倾斜。另外，各蒸汽排气管5a的一端部在本体1的底面开口，各蒸汽排气管5a与本体1的底面和被处理基板A表面的间隙连通。蒸汽排气管5a的开口部5c形成于蒸汽喷嘴2的附近位置。而且，在图1中，由于其他的蒸汽喷嘴5a被前面一侧的蒸汽喷嘴5a挡住而看不见，所以只图示出一个蒸汽排气管5a。
供给蒸汽处理后的蒸汽G2(有时也称为蒸汽处理后的蒸汽)尽管存在于本体1的底面和被处理基板A之间，但通过排气泵5b的动作，至少一部分蒸汽处理后的蒸汽G2能够经由蒸汽排气管5a被排出到蒸汽处理系统外。
冷却机构6，由形成于本体1上比蒸汽排气管5a靠近蒸汽喷嘴2的冷却用管6a和连接在该冷却用管6a上的冷却水储蓄槽6b所构成。该冷却用管6a的延伸方向平行于多个蒸汽喷嘴2的排列方向。另外，该冷却用管6a设置成接触到比蒸汽排气管5a靠近蒸汽喷嘴2一侧的本体1的底面(喷嘴侧底面)1a和蒸汽排气管5a的侧面。
在该冷却机构6中，在蒸汽处理时从冷却水储蓄槽6b向冷却用管6a内供给冷却水6c，但由于该冷却用管6a接触喷嘴侧底面1a，所以通过冷却用管6a对蒸汽处理后的蒸汽G2中的、流入蒸汽排气管5a之前的蒸汽进行冷却，能够使其成为蒸汽的冷凝液L2。该冷凝液L2存在于被处理基板A表面和喷嘴侧底面1a的间隙中。
另外，由于该冷却用管6a接触蒸汽排气管5a的侧面，所以经由蒸汽排气管5a内的蒸汽处理后的蒸汽G2至少有一部分得到冷却，并能够成为蒸汽的冷凝液L2。由于该蒸汽排气管5a如上述那样是倾斜的，所以，在蒸汽排气管5a产生的蒸汽的冷凝液L2被传送到管的内表面而落在被处理基板A表面和本体1底面的间隙中。因而，蒸汽处理后的蒸汽G2的大部分在冷却用管6a的附近被冷却而成为蒸汽的冷凝液L2。
本实施例中的冷却机构6，是将对流入排气机构前的蒸汽进行冷却的第1冷却机构、和对经由排气机构的蒸汽进行冷却的第2冷却机构一体化式的冷却机构。
冷凝液排出机构8，是由在与本体1的、设有蒸汽喷嘴2一侧相反侧的侧面附近所设置的多个冷凝液排出管8a、和连接在该冷凝液排出管8a上的排液泵8b所构成。
设在本体1上的多个冷凝液排出管8a，被设置为在将被处理基板A输送到蒸汽处理部10的下侧时，这些多个冷凝液排出管8a，在被处理基板A的上侧并且沿与被处理基板A的移动方向S交差的方向并排设置。另外，各冷凝液排出管8a的一端在本体1的底面开口，该冷凝液排出管8a与本体1的底面和被处理基板A表面的间隙连通。而且，在图1中，由于其他的冷凝液排出管8a被前面一侧的冷凝液排出管8a挡住而看不见，所以只图示出一个冷凝液排出管8a。
冷凝液排出机构8在蒸汽处理时，一旦排液泵8b动作，则在蒸汽排气管5a和冷却用管6a的附近产生的蒸汽的冷凝液L2，经由比蒸汽排气管5a靠近冷凝液排出管8a一侧的本体1的底面(排出管侧底面)1b和被处理基板A表面的间隙进入冷凝液排出管8a，并经由该冷凝液排出管8a内排出到蒸汽处理的系统外。因而，排出管侧底面1b和被处理基板A表面的间隙，成为蒸汽的冷凝液的流路15。该流路15形成于蒸汽处理区域14的后方(与被处理基板的前进方向相反的方向)。
使用图1所示的蒸汽处理装置10、对被处理基板A实施蒸汽处理来清洗基板表面，其实施过程如下：
向从冷却水储蓄槽6b向冷却用管6a供给冷却水6c、并且也使排气泵5b以及排液泵8b动作的蒸汽处理部10的下侧，一边以规定速度由输送滚轮25输送被处理基板A、一边由多个蒸汽喷嘴2把蒸汽喷射到被处理基板A的表面实施蒸汽处理，除去附着在基板A表面的附着物。在蒸汽处理时，控制由蒸汽喷嘴2喷射的蒸汽，以便根据附着在基板A上的附着物的种类、由所述控制机构控制蒸汽压和温度等条件，能够以高效率除去附着物。
虽然蒸汽处理后的蒸汽G2存在于本体1的底面和被处理基板A之间，但蒸汽处理后的蒸汽G2至少有一部分经由蒸汽排气管5a内排出到蒸汽处理系统外，另外，蒸汽处理后的蒸汽G2之中的、流入蒸汽排气管5a前的蒸汽G2的一部分和流入蒸汽排气管5a的蒸汽G2的一部分，在冷却用管6a的附近被冷却成为蒸汽的冷凝液L2。这些蒸汽的冷凝液L2经由流路15进入冷凝液排出管8a内，并经由冷凝液排出管8a被排出到蒸汽处理系统外。
采用本实施例的蒸汽处理装置，被处理基板A的附着物能够被从蒸汽喷嘴向基板喷射的蒸汽高效地去除。
然后，由于蒸汽处理后的蒸汽G2的大部分被冷却用管6a冷却成为蒸汽的冷凝液L2，所以，供给蒸汽处理后仍以蒸汽形式继续存在的蒸汽减少，而且，由于剩下的该蒸汽由排气机构5能够迅速排出到蒸汽处理部的系统外，所以，与现有的装置相比，蒸汽处理后的蒸汽飞散的区域减小，从被处理基板A除去的有机物和尘埃等的除去物(被处理基板的除去物)能够与蒸汽的冷凝液G2一起、依次经由流路15和冷凝液排出管8a高效地排出蒸汽处理系统外，能够防止被处理基板的除去物再次附着在被处理基板上。
并且，在本实施例的蒸汽处理装置中，供给蒸汽处理后的蒸汽G2仍以蒸汽形式存在的蒸汽减少，能够减小排气量。
另外，在本实施例的蒸汽处理装置中，供给蒸汽处理后的蒸汽G2飞散区域减少，所以不需要净化整个蒸汽处理装置，例如，只要将蒸汽排气管5a的内面和本体1的底面用不会污染被处理基板A的的材料构成即可，所以可以减少因净化所需要的材料费用，可降低成本。
另外，在本实施例的蒸汽处理装置中，配置在蒸汽处理部10的冷却机构26，兼作第1冷却机构和第2冷却机构，所以与分别设置所述第1冷却机构和所述第2冷却机构的情况相比，具有能够使蒸汽处理装置小型化的优点。
[第2实施例]
图2是表示本发明的第2实施例的蒸汽处理装置的概略结构的截面图。
第2实施例的蒸汽处理装置，与图1所示的第1实施例的蒸汽处理装置的不同之处在于，设置在蒸汽处理装置10a上的冷却机构，由第1冷却机构26、和与该第1冷却机构26分开来设置的第2冷却机构36所构成。
第1冷却机构26，由在比蒸汽排气管5a靠近蒸汽喷嘴2的、在本体1上形成的冷却用管26a和与该冷却用管26a连接的冷却水储蓄槽26b所构成。该冷却用管26a的延伸方向与多个蒸汽喷嘴2的排列方向平行。另外，该冷却用管26a设置成接触比蒸汽排气管5a靠近蒸汽喷嘴2一侧的本体1的底面(喷嘴侧底面)1a。
第2冷却机构36，由在比蒸汽排气管5a靠近冷凝液排出管8a的、在本体1上形成的冷却用管36a和与该冷却用管36a连接的冷却水储蓄槽36b所构成。该冷却用管36a的延伸方向与多个蒸汽喷嘴2的排列方向平行。另外，该冷却用管36a设置成接触蒸汽排气管5a的侧面和排出管侧底面1b。
在该冷却机构26中，在蒸汽处理时，从冷却水储蓄槽26b向冷却用管26a内供给冷却水26c，但由于该冷却用管26a接触喷嘴侧底面1a，所以利用冷却用管26a可对蒸汽处理后的蒸汽G2之中流入蒸汽排气管5a前的蒸汽进行冷却，并使之成为蒸汽的冷凝液L2。该冷凝液L2存在于被处理基板A表面和喷嘴侧底面1a的间隙中。
在该冷却机构36中，在蒸汽处理时，从冷却水储蓄槽36b向冷却用管26a内供给冷却水36c，但由于该冷却用管36a接触蒸汽排气管5a的侧面，所以经由蒸汽排气管5a内的蒸汽处理后的蒸汽G2的至少一部分被冷却，并能够成为蒸汽的冷凝液L2。由于该蒸汽排气管5a如上述的那样是倾斜的，所以，在蒸汽排气管5a产生的蒸汽的冷凝液L2被传送到管内表面、并落在被处理基板A表面和本体1底面的间隙中。另外，由于该冷却用管36a接触排出管侧底面1b，所以在蒸汽G2不进入蒸汽排气管5a内、而到达排出管侧底面1b和被处理基板A的间隙中的情况下，冷却该蒸汽G2被冷却，能够成为蒸汽的冷凝液L2。因而，蒸汽处理后的蒸汽G2的大部分，在冷却用管26a以及36a的附近被冷却而成为蒸汽的冷凝液L2。
本实施例的冷却机构，是分别设置对流入排气机构前的蒸汽进行冷却的第1冷却机构26、和对经由排气机构的蒸汽进行冷却的第2冷却机构36的类型的冷却机构。
使用图2所示的蒸汽处理装置对被处理基板A实施蒸汽处理来清洗基板表面，实施以下过程。
向从对应于冷却用管26a、36a的冷却水储蓄槽供给冷却水、并且使排气泵5b以及排液泵8b工作的蒸汽处理部10的下侧，以规定速度由输送滚轮25输送被处理基板A，同时将对由多个蒸汽喷嘴2喷出的蒸汽压和温度等条件进行控制的蒸汽、喷射到被处理基板A的表面实施蒸汽处理，除去附着在基板A表面的附着物。
蒸汽处理后的蒸汽G2，虽然存在于本体1的底面和被处理基板A之间，但蒸汽处理后的蒸汽G2至少一部分，经由蒸汽排气管5a内排出蒸汽处理系统外，另外，蒸汽处理后的蒸汽G2中的、流入蒸汽排气管5a前的蒸汽G2的一部分，在冷却用管26a的附近被冷却成为蒸汽的冷凝液L2。另外，在蒸汽处理后的蒸汽G2中的、流入了蒸汽排气管5a的蒸汽G2的一部分，在冷却用管36a的附近被冷却成为蒸汽的冷凝液L2。另外，在有于蒸汽处理后的蒸汽G2中的、没流入蒸汽排气管5a内而到达排出管侧底面1b和被处理基板A之间的间隙的蒸汽G2的情况下，使这些蒸汽G2在冷却用管36a的附近被冷却而成为蒸汽的冷凝液L2。这些蒸汽的冷凝液L2经由流路15进入冷凝液排出管8a内，并经由冷凝液排出管8a排出到蒸汽处理系统外。
采用本实施例的蒸汽处理装置，由于能够提高蒸汽处理后的蒸汽G2的冷凝效果，所以，从被处理基板出去的除去物能够与冷凝液L2一起经由流路15而进一步高效地排出到蒸汽处理系统外。
[第3实施例]
图3是表示本发明的第3实施例的蒸汽处理装置的概略结构的截面图。
第3实施例的蒸汽处理装置，与图1所示的第1实施例的蒸汽处理装置的不同之处在于，具有以倾斜的状态输送被处理基板的多个输送滚轮(倾斜输送机构)35，另外一点是，在蒸汽处理部10b上没有设置冷凝液排出机构8。
多个输送滚轮35(倾斜输送机构)以倾斜的状态输送湿处理后的被处理基板A，使其能够通过蒸汽处理部10b的下方。具体地说，多个输送滚轮35被设置成能够以被处理基板A沿移动方向(输送方向)S上升的角度进行输送。
使用图3所示的蒸汽处理装置对被处理基板A实施蒸汽处理来清洗基板表面，其实施过程如下。
从冷却水储蓄槽6b向冷却用管6a供给冷却水6c，并且由输送滚轮35把被处理基板A以沿移动方向(输送方向)上升的角度并以规定速度输送到使排气泵5b工作的蒸汽处理部10的下侧，同时把控制了蒸汽压和温度等条件的、从多个蒸汽喷嘴2喷出的蒸汽、喷射到被处理基板A的表面实施蒸汽处理，除去附着在基板A表面的附着物。在蒸汽处理时，如像上那样倾斜输送被处理基板A的话，则在比蒸汽处理区域14低的位置形成流路15。
蒸汽处理后的蒸汽G2虽然存在于本体1的底面和被处理基板A之间，但蒸汽处理后的蒸汽G2的至少一部分经由蒸汽排气管5a排出到蒸汽处理系统外，另外，蒸汽处理后的蒸汽G2中的、流入蒸汽排气管5a前的蒸汽G2的一部分、和流入了蒸汽排气管5a的蒸汽G2的一部分，在冷却用管6a的附近被冷却而成为蒸汽的冷凝液L2。这些蒸汽的冷凝液L2经由流路15到达被处理基板A的端部并在这里落到下方，被排出到蒸汽处理系统外。
本实施例的蒸汽处理装置，能够防止从被处理基板A除去的除去物再次附着在被处理基板A上，而且能够减少排气量，能够实现低成本的蒸汽处理装置。
另外，在第1～第3实施例中，虽然是对将本发明应用于用于进行清洗的装置进行了说明，但本发明并不限于清洗工序，本发明还能够应用于进行像保护层剥离工序等除去被处理物的附着物那样的一种以上工序的装置。
另外，在第1～第3实施例中，虽然对被处理物为数百mm见方，更好是1～2m见方的大型玻璃基板等被处理基板的情况进行了说明，但也可以是半导体晶圆那样的圆形的被处理物。
根据以上说明的本发明，能够防止从被处理物除去的除去物再次附着在被处理物上，而且能够减少排气量，能够实现低成本的蒸汽处理装置。